JP4645844B2 - マルチ式ワイヤソー及びワイヤソーによる加工方法 - Google Patents
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(1) 電極パターンの寸法誤差、
(2) 積層時の積層誤差、
(3) 圧着時の歪み誤差が含まれていることが挙げられる。
前記ワイヤ列に対してXYZθ方向に相対移動自在で、前記一対のワークローラの直下であるワーク加工位置、及び前記一対のワークローラの直下からX方向に外れた位置にあるワークセット位置と、を共に有するワークテーブルと、
前記ワークセット位置の1つ以上の撮像装置と、
前記撮像装置が撮像した情報の画像処理及び演算機能と、を有し、
前記ワークの表面には加工マークが施され、前記ワークは前記ワークテーブルに載置され、前記ワークセット位置における前記撮像装置による前記加工マークの撮像情報から、前記演算機能により仮想切断ラインを算出し、
前記ワーク加工位置において、前記ワークテーブルのYθの移動により、前記ワークと前記ワイヤ列の相対位置関係を補正し、前記仮想切断ラインに近似させた加工を行なうことを特徴としている。
前記マルチ式ワイヤソーにおいて、前記ワークローラは2箇所の所定領域に所望の2つのピッチでワイヤが巻き付けられ、前記ワークテーブルのY方向は前記2箇所の所定領域間を相対移動可能であり、前記ワークテーブルのθ方向は、90°以上の相対回転移動が可能であり、前記ワークテーブルのY方向への相対移動と、前記ワークテーブルのθ方向の相対移動によって、前記2箇所の所定領域において、前記2つのピッチのうちの第1のピッチで前記ワークの横方向切断を、第2のピッチで前記ワークの縦方向切断をそれぞれ可能としてもよい。
前記ワークローラの2箇所の所定領域に所望の2つのピッチの前記ワイヤ列を設けるとともに、前記ワイヤ列に対してXYZθ方向に相対移動自在のワークテーブルを用いることにより、前記ワークテーブルに載置された前記ワークは前記ワークローラの前記2箇所の所定領域間を前記ワークローラの軸方向に移動可能であり、且つ前記ワークは、90°以上θ方向に回転可能であり、
前記ワークを前記2つのピッチのうちの第1のピッチのワイヤ列領域で切断処理した後、
前記ワークを前記2つのピッチのうちの第2のピッチのワイヤ列領域まで移動するとともに前記ワークを90°回転し、
前記ワークを前記第2のピッチのワイヤ列領域で切断処理し、
前記ワークの横方向切断ライン及び縦方向切断ラインは、前記第1及び第2のピッチと対応し、
前記ワークテーブルは、前記一対のワークローラの直下であるワーク加工位置、及び前記一対のワークローラの直下からX方向に外れた位置にあるワークセット位置と、を共に有し、前記ワークの表面には加工マークが施されており、
前記ワークセット位置における撮像装置による前記加工マークの撮像情報から、仮想切断ラインを算出した後、
前記ワーク加工位置において、前記ワークテーブルのYθの移動により、前記ワークと前記ワイヤ列の相対位置関係を補正し、前記仮想切断ラインに近似させた加工を行なうことを特徴としている。
(1) ワーク30の交換時に、ワークローラ21,22やワイヤ列WLなどが邪魔にならず、作業性を高めることができる、
(2) ワーク30の供給、排出を自動で行なうローダ4を取り付けることが可能となるため、リードタイムの短縮が可能になる、
(3) ワーク30を撮像装置3で撮像することが可能となるため、画像処理によって切断位置をクローズ制御することができ、より精密な切断位置を得ることができる、
といった効果がある。
2 ワークテーブル
3 撮像装置
4 ローダ
5 加工室
6 操作盤
10 本体フレーム
11 ワイヤ供給リール
12 ワイヤ巻取リール
21,22 ワークローラ
25 ローラ揺動機構
30 ワーク
30DA ダミーワーク
41 セラミックグリーンシート
42 チップ部品群
43 加工マーク
W ワイヤ
WL ワイヤ列
HCL 横方向加工ライン
VCL 縦方向加工ライン
α 傾斜角度
Claims (5)
- ワークローラ間に多条に巻かれたワイヤと、前記ワイヤを正X方向或いは正逆X方向の繰返しでワイヤ供給リールからワイヤ巻取リールへ移動させ、ワークをZ方向相対移動させることで、一対のワークローラ間を走行するワイヤ列にて前記ワークを切断するマルチ式ワイヤソーであって、
前記ワイヤ列に対してXYZθ方向に相対移動自在で、前記一対のワークローラの直下であるワーク加工位置、及び前記一対のワークローラの直下からX方向に外れた位置にあるワークセット位置と、を共に有するワークテーブルと、
前記ワークセット位置の1つ以上の撮像装置と、
前記撮像装置が撮像した情報の画像処理及び演算機能と、を有し、
前記ワークの表面には加工マークが施され、前記ワークは前記ワークテーブルに載置され、前記ワークセット位置における前記撮像装置による前記加工マークの撮像情報から、前記演算機能により仮想切断ラインを算出し、
前記ワーク加工位置において、前記ワークテーブルのYθの移動により、前記ワークと前記ワイヤ列の相対位置関係を補正し、前記仮想切断ラインに近似させた加工を行なうことを特徴とするマルチ式ワイヤソー。 - 前記ワイヤ列による前記仮想切断ラインに近似させた加工は、前記ワークローラを揺動させて前記ワイヤ列を平行移動させることによるワイヤピッチの変化によってさらに為されることを特徴とする請求項1記載のマルチ式ワイヤソー。
- 前記ワークセット位置でワークの供給或いは排出を行う手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載のマルチ式ワイヤソー。
- 前記ワークローラは2箇所の所定領域に所望の2つのピッチでワイヤが巻き付けられ、
前記ワークテーブルのY方向は前記2箇所の所定領域間を相対移動可能であり、
前記ワークテーブルのθ方向は、90°以上の相対回転移動が可能であり、
前記ワークテーブルのY方向への相対移動と、前記ワークテーブルのθ方向の相対移動によって、前記2箇所の所定領域において、前記2つのピッチのうちの第1のピッチで前記ワークの横方向切断を、第2のピッチで前記ワークの縦方向切断をそれぞれ可能とすることを特徴とする請求項1記載のマルチ式ワイヤソー。 - 一対のワークローラ間を走行するワイヤ列にてワークを一度に複数箇所切断するワイヤソーによる加工方法であって、
前記ワークローラの2箇所の所定領域に所望の2つのピッチの前記ワイヤ列を設けるとともに、前記ワイヤ列に対してXYZθ方向に相対移動自在のワークテーブルを用いることにより、前記ワークテーブルに載置された前記ワークは前記ワークローラの前記2箇所の所定領域間を前記ワークローラの軸方向に移動可能であり、且つ前記ワークは、90°以上θ方向に回転可能であり、
前記ワークを前記2つのピッチのうちの第1のピッチのワイヤ列領域で切断処理した後、
前記ワークを前記2つのピッチのうちの第2のピッチのワイヤ列領域まで移動するとともに前記ワークを90°回転し、
前記ワークを前記第2のピッチのワイヤ列領域で切断処理し、
前記ワークの横方向切断ライン及び縦方向切断ラインは、前記第1及び第2のピッチと対応し、
前記ワークテーブルは、前記一対のワークローラの直下であるワーク加工位置、及び前記一対のワークローラの直下からX方向に外れた位置にあるワークセット位置と、を共に有し、前記ワークの表面には加工マークが施されており、
前記ワークセット位置における撮像装置による前記加工マークの撮像情報から、仮想切断ラインを算出した後、
前記ワーク加工位置において、前記ワークテーブルのYθの移動により、前記ワークと前記ワイヤ列の相対位置関係を補正し、前記仮想切断ラインに近似させた加工を行なうことを特徴とするマルチ式ワイヤソーによる加工方法。
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