JP2005203540A - ウエーハの切削方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 切削ブレードによって形成された切削溝を検出することにより、ウエーハは完全切断されたか否か判定しつつ切削するウエーハの切削方法を提供する。
【解決手段】 ダイシングテープに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを切削ブレードによって切削するウエーハの切削方法であって、ウエーハをチャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、ウエーハの切削すべき領域に切削ブレードをダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け切削ブレードがウエーハの外周縁を越えてダイシングフレームに達しない範囲で切削ブレードとチャックテーブルを相対移動しウエーハを切削する切削工程と、ウエーハとダイシングフレームとの間に露出しているダイシングテープを撮像手段の撮像領域に位置付け撮像手段によってダイシングテープを撮像してダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程とを含む。
【選択図】 図13
【解決手段】 ダイシングテープに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを切削ブレードによって切削するウエーハの切削方法であって、ウエーハをチャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、ウエーハの切削すべき領域に切削ブレードをダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け切削ブレードがウエーハの外周縁を越えてダイシングフレームに達しない範囲で切削ブレードとチャックテーブルを相対移動しウエーハを切削する切削工程と、ウエーハとダイシングフレームとの間に露出しているダイシングテープを撮像手段の撮像領域に位置付け撮像手段によってダイシングテープを撮像してダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程とを含む。
【選択図】 図13
Description
本発明は、切削ブレードによって形成された切削溝を確認しつつウエーハを切削するウエーハの切削方法に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路を形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することにより回路が形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。なお、半導体ウエーハを切断する際には、半導体ウエーハを環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着して実施する。
また、ストリートの表面にテスト エレメント グループ(Teg)と称するテスト用の金属パターンが部分的に配設されている半導体ウエーハがある。このようにストリートにTegが配設された半導体ウエーハをシリコン等の半導体素材を切削する切削ブレードによって切削すると、切削ブレードに目詰まりが生じたり、半導体ウエーハを損傷させるという問題がある。
上述した問題を解消するために、厚さが比較的厚い切削ブレードによってストリートに配設されたTegを除去する第1の切削溝を形成することにより半導体素材を露出させ、その後に薄い厚さの切削ブレードにより第1の切削溝に沿って半導体素材を切断する第2の切削溝を形成する方法が採用されている。
而して、半導体ウエーハを切断する際に切削ブレードが磨耗したり切り込み深さが不十分な場合には、個々の半導体チップに完全に切断されず、ダイシングテープから半導体チップをピックアップする際に半導体チップが損傷したり、ピックアップ作業に支障を来たし生産性が低下するという問題がある。
一方、半導体ウエーハのストリートに形成されたテスト用の金属パターンを除去する際に、厚さが比較的厚い切削ブレードによって半導体ウエーハを完全切断すると半導体ウエーハに損傷を与えるという問題がある。
なお、上述した問題は、半導体ウエーハに限らず、圧電素子が複数形成されたリチウムタンタレート基板等のウエーハにおいても同様に生ずる。
一方、半導体ウエーハのストリートに形成されたテスト用の金属パターンを除去する際に、厚さが比較的厚い切削ブレードによって半導体ウエーハを完全切断すると半導体ウエーハに損傷を与えるという問題がある。
なお、上述した問題は、半導体ウエーハに限らず、圧電素子が複数形成されたリチウムタンタレート基板等のウエーハにおいても同様に生ずる。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、切削ブレードによって形成された切削溝を検出することにより、ウエーハは完全切断されたか否か判定しつつ切削するウエーハの切削方法を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す切削ブレードを備えた切削手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段とを具備する切削装置を用い、環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを該切削手段によって切削するウエーハの切削方法であって、
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハを切削する切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該フレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法が提供される。
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハを切削する切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該フレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法が提供される。
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には、該切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達する位置に調整する。
また、本発明によれば、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、該第1の切削手段によって切削された領域に更に切削加工を施す第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段とを具備する切削装置を用い、環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを該第1の切削手段および該第2の切削手段によって切削するウエーハの切削方法であって、
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該第1の切削ブレードを所定の切り込み込み深さをもって位置付け、該第1の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第1の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該第1の切削工程によって形成された該第1の切削溝に該第2の切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該第2の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第2の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該ダイシングフレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに該第1の切削溝と第2の切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第1の切削溝および/または第2の切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに該第1の切削溝および第2の切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法が提供される。
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該第1の切削ブレードを所定の切り込み込み深さをもって位置付け、該第1の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第1の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該第1の切削工程によって形成された該第1の切削溝に該第2の切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該第2の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第2の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該ダイシングフレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに該第1の切削溝と第2の切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第1の切削溝および/または第2の切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに該第1の切削溝および第2の切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法が提供される。
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第1の切削溝が検出された場合には、該第1の切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達しない所定位置に調整する。また、該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第2の切削溝が検出されない場合には、該第2の切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達する位置に調整する。
本発明によるウエーハの切削方法によれば、ダイシングテープに切削溝が形成されているか否か検出することによりウエーハが切断されていか否かを判定するので、その確認が極めて容易で確実となる。
以下、本発明によるウエーハの切削方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1には、本発明によるウエーハの切削方法を実施する切削装置の一実施形態の斜視図が示されている。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2の側面にはカセット載置機構3が配設されている。カセット載置機構3は、静止基台2の側面に上下方向に設けられた2本のガイドレール31、31に摺動可能に配設されたカセット載置台32と、カセット載置台32をガイドレール31、31に沿って上下方向(矢印Zで示す方向)に移動させるための昇降手段33を具備している。そして、カセット載置台32の上面には、被加工物である半導体ウエーハを収納するカセット4が載置される。このカセット4に収容される半導体ウエーハ10は、図2に示すように表面10aに複数のストリート101が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート101によって区画された複数の領域にIC、LSI等の回路102が形成されている。この半導体ウエーハ10は、図3に示すように環状のダイシングフレーム11に装着されたダイシングテープ12の表面に貼着される。このようにダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10は、上記カセット4に収容される。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2の側面にはカセット載置機構3が配設されている。カセット載置機構3は、静止基台2の側面に上下方向に設けられた2本のガイドレール31、31に摺動可能に配設されたカセット載置台32と、カセット載置台32をガイドレール31、31に沿って上下方向(矢印Zで示す方向)に移動させるための昇降手段33を具備している。そして、カセット載置台32の上面には、被加工物である半導体ウエーハを収納するカセット4が載置される。このカセット4に収容される半導体ウエーハ10は、図2に示すように表面10aに複数のストリート101が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート101によって区画された複数の領域にIC、LSI等の回路102が形成されている。この半導体ウエーハ10は、図3に示すように環状のダイシングフレーム11に装着されたダイシングテープ12の表面に貼着される。このようにダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10は、上記カセット4に収容される。
図1に戻って説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記カセット載置台32上に載置されたカセット4に収納されている加工前の半導体ウエーハ10を搬出するとともに、カセット4に加工後の半導体ウエーハ10を搬入するための被加工物搬出入機構5を具備している。被加工物搬出入機構5は、半導体ウエーハ10を保持するハンド51と、該ハンド51を支持するハンド支持部材52と、該ハンド支持部材52に支持されたハンド51を矢印Yで示す方向に移動せしめるハンド移動手段53とからなっている。ハンド51は、薄板材によってフォーク状に形成され、その表面には内部に形成された図示しない通路と連通する吸引保持孔511が形成されており、この吸引保持孔511は上記図示しない通路を介して図示しない吸引制御手段に連通されている。ハンド移動手段53は、静止基台2の前面に矢印Yで示す方向に延在して配設され回転可能に支持された雄ねじロッド531と、該雄ねじロッド531を回転せしめる正転および逆転可能なパルスモータ532とからなっており、雄ねじロッド531に上記ハンド支持部材52の基端部に設けられた雌ねじ穴521が螺合するようになっている。従って、パルスモータ532を一方向に回転駆動するとハンド支持部材52に支持されたハンド51は矢印Y1で示す方向に移動せしめられ、パルスモータ532を他方向に回転駆動するとハンド支持部材52に支持されたハンド51は矢印Y2で示す方向に移動せしめられる。即ち、ハンド移動手段53は、ハンド51を上記カセット載置台32上に載置されたカセット4内に進入する進入位置と、後述するチャックテーブルの被加工物載置領域の上方位置である搬出位置と、該搬出位置から退避する退避位置に作動する。
図示の実施形態における切削装置は、上記被加工物搬出入機構5によって搬出された被加工物を保持するチャックテーブル機構6と、該チャックテーブル機構6に保持された被加工物を切削する切削機構7と、該切削機構7によって切削された被加工物を洗浄する洗浄機構8と、上記被加工物搬出入機構5によって搬出された被加工物をチャックテーブル機構6の後述するチャックテーブルに搬送するとともに該チャックテーブルに保持された加工後の被加工物を洗浄機構8に搬送する被加工物搬送機構9を具備している。
チャックテーブル機構6は、静止基台2上に固定された支持台61と、該支持台61上に矢印Xで示す方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール62、62と、該ガイドレール62、62上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設された被加工物を保持するチャックテーブル63を具備している。このチャックテーブル63は、ガイドレール62、62上に移動可能に配設された吸着チャック支持台631と、該吸着チャック支持台631上に装着された吸着チャック632とを具備している。吸着チャック632は、図示しない負圧制御手段に接続されており、適宜負圧が作用せしられるようになっている。従って、吸着チャック632上に載置された被加工物である半導体ウエーハは、図示しない負圧制御手段を作動することにより吸着チャック632上に吸引保持される。
また、チャックテーブル機構6は、チャックテーブル63を2本のガイドレール62、62に沿って矢印Xで示す方向に移動させるためのチャックテーブル移動手段64を具備している。チャックテーブル移動手段64は、上記2本のガイドレール62、62の間に平行に配設された雄ネジロッド641と、吸着チャック支持台631に装着され雄ネジロッド641に螺合する図示しない雌ネジブロックと、雄ネジロッド641を回転駆動するための図示しないパルスモータ等の駆動源を含んでいる。従って、図示しないパルスモータによって雄ネジロッド641を回動することにより、チャックテーブル63が矢印Xで示す方向に移動せしめられる。即ち、チャックテーブル63は被加工物載置領域6aから加工領域6bの間を移動することができる。なお、上記チャックテーブル機構6は、吸着チャック632を回転する図示しない回転機構を具備している。
次に、上記切削機構7について説明する。
切削機構7は、上記静止基台2上に固定された門型の支持台71を具備している。この門型の支持台71は、上記切削領域6bを跨ぐように配設されている。支持台71の側壁には矢印Yで示す方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール711、711が設けられているとともに、該2本のガイドレール711、711の間に平行に2本の雄ネジロッド721a、721bが配設されている。このガイドレール711、711に沿って第1の基部73aおよび第2の基部73bがそれぞれ矢印Yで示す方向に摺動可能に配設されている。第1の基部73aおよび第2の基部73bにはそれぞれ上記雄ネジロッド72aおよび72bに螺合する図示しない駆動雌ネジブロックが装着されており、この駆動雌ネジブロックをパルスモータ722a、722bによって回動することにより、第1の基部73aおよび第2の基部73bをガイドレール711、711に沿って矢印Yで示す方向に移動するとができる。
切削機構7は、上記静止基台2上に固定された門型の支持台71を具備している。この門型の支持台71は、上記切削領域6bを跨ぐように配設されている。支持台71の側壁には矢印Yで示す方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール711、711が設けられているとともに、該2本のガイドレール711、711の間に平行に2本の雄ネジロッド721a、721bが配設されている。このガイドレール711、711に沿って第1の基部73aおよび第2の基部73bがそれぞれ矢印Yで示す方向に摺動可能に配設されている。第1の基部73aおよび第2の基部73bにはそれぞれ上記雄ネジロッド72aおよび72bに螺合する図示しない駆動雌ネジブロックが装着されており、この駆動雌ネジブロックをパルスモータ722a、722bによって回動することにより、第1の基部73aおよび第2の基部73bをガイドレール711、711に沿って矢印Yで示す方向に移動するとができる。
上記第1の基部73aおよび第2の基部73bにはそれぞれ一対のガイドレール731aおよび731bが矢印Zで示す切り込み送り方向に沿って設けられており、このガイドレール731aおよび731bに沿って第1の懸垂ブラケット74aおよび第2の懸垂ブラケット74bがそれぞれ矢印Zで示す切り込み送り方向に摺動可能に配設されている。第1の基部73aおよび第2の基部73bにはそれぞれパルスモータ75aおよび75b等の駆動源によって回動せしめられる図示しない雄ネジロッドが配設されており、第1の支持部74aおよび第2の支持部74bにはそれぞれ上記雄ネジロッドに螺合する雌ネジブロックが装着されている。従って、パルスモータ75aおよび75bによって図示しない雄ネジロッドを回動することにより、第1の懸垂ブラケット74aおよび第2の懸垂ブラケット74bをガイドレール731aおよび731bに沿って上記吸着チャック632の被加工物保持面に垂直な矢印Zで示す切り込み送り方向に移動するとができる。
上記第1の懸垂ブラケット74aおよび第2の懸垂ブラケット74bには、第1の切削手段としての第1のスピンドルユニット76aと第2の切削手段としての第2のスピンドルユニット76bが装着されている。この第1のスピンドルユニット76aおよび第2のスピンドルユニット76bについて、簡略化して示されている図4を参照して説明する。第1のスピンドルユニット76aおよび第2のスピンドルユニット76bは、それぞれ第1の懸垂ブラケット74aおよび第2の懸垂ブラケット74bに固定された第1のスピンドルハウジング761aおよび第2のスピンドルハウジング761bと、該第1のスピンドルハウジング761aおよび第2のスピンドルハウジング761bにそれぞれ回転可能に支持された第1の回転スピンドル762aおよび第2の回転スピンドル762bと、該第1の回転スピンドル762aおよび第2の回転スピンドル762bの一端部に装着された第1の切削ブレード763aおよび第2の切削ブレード763bと、第1の回転スピンドル762aおよび第2の回転スピンドル762bをそれぞれ回転駆動する第1のサーボモータ764aおよび第2の第1のサーボモータ764bとからなっている。このように構成された第1のスピンドルユニット76aおよび第2のスピンドルユニット76bは、第1の切削ブレード763aと第2の切削ブレード763bが互いに対向するように配設されている。即ち、第1のスピンドルユニット76aと第2のスピンドルユニット76bは、それぞれ軸芯が矢印Yで示す割り出し送り方向に向くように一直線上に配設されている。なお、図示の実施形態においては、上記第1の切削ブレード763aは厚さが例えば40μm程度のテスト用の金属パターン除去用に形成されており、第2の切削ブレード763bは厚さが例えば20μm程度の切断用に形成されている。
このように構成された第1のスピンドルユニット76aおよび第2のスピンドルユニット76bには、それぞれ第1の撮像手段77aおよび第2の撮像手段77bが設けられている。この第1の撮像手段77aは第1のスピンドルハウジング761aに固定され、第2の撮像手段77bは第2のスピンドルハウジング761bに固定されている。第1の撮像手段77aおよび第2の撮像手段77bは、それぞれ図5に示すように撮像する領域を照明する照明手段771a、771bと、撮像する領域を拡大して投影する顕微鏡772a、772bと、該顕微鏡772a、772bから入光された光度に対応した電気電気信号を出力する撮像素子(CCD)773a、773bとから構成されている。撮像素子(CCD)773a、773bから出力された電気信号は、コンピュータからなる制御手段78に送られる。制御手段78は、入力した電気信号に基づいて画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に表示する。なお、顕微鏡772a、772bにはそれぞれ図6で示すように基準線La、Lbが形成されており、この基準線La、Lbが上記第1の切削ブレード763a、第2の切削ブレード763bと一致するように調整されている。
図1に戻って説明を続けると、上記洗浄機構8は、上記カセット載置台32とチャックテーブル63の被加工物載置領域6aとを結ぶ延長線上に配設されており、スピンナーテーブル81を有する周知のスピンナー洗浄・乾燥手段からなっている。上記被加工物搬送機構9は、吸着パッド91と、該吸着パッド91を支持するパッド支持部材92と、該パッド支持部材92に支持された吸着パッド91を矢印Yで示す方向に移動せしめるパッド移動手段93とからなっている。吸着パッド91は、図示しない吸引手段に接続されている。パッド支持部材92は、エアシリンダ921によって吸着パッド91を上下方向に移動可能に支持している。パッド移動手段93は、上記門型の支持台71に矢印Yで示す方向に延在して配設され回転可能に支持された雄ねじロッド931と、該雄ねじロッド931を回転せしめる正転および逆転可能なパルスモータ932とからなっており、雄ねじロッド931に上記パッド支持部材92の基端部に設けられた雌ねじ穴922が螺合するようになっている。従って、パルスモータ932を一方向に回転駆動するとパッド支持部材92に支持された吸着パッド91は矢印Y1で示す方向に移動せしめられ、パルスモータ932を他方向に回転駆動するとパッド支持部材92に支持された吸着パッド91は矢印Y2で示す方向に移動せしめられる。
次に、上述した切削装置の切削加工処理動作について主に図1に基づいて説明する。
切削加工を開始するに先立って、加工前の半導体ウエーハ10(ダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10)を所定枚数収納したカセット4をカセット載置台32上に載置する。そして、切削加工開始スイッチ(図示せず)が投入されると、カセット載置機構3の昇降手段33を作動してカセット載置台32に載置されたカセット4を搬出入位置に位置付ける。カセット4が搬出入位置に位置付けられたら、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y1で示す方向に移動し、カセット10内に進入せしめて所定の棚上に載置された半導体ウエーハ10を保持する。作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、被加工物載置領域6aの上方である搬出位置に位置付ける。この間に、被加工物搬送機構9のパッド移動手段93を作動して吸着パッド91を被加工物載置領域6aの上方に位置付けている。この結果、搬出位置に位置付られたハンド51上に支持されている半導体ウエーハ10は、被加工物載置領域6aに位置付けられた吸着パッド91の下側に位置付けられることになる。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、吸着パッド91を半導体ウエーハ10に接する位置まで下降させる。そして、図示しない吸引手段を作動して半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持する。吸着パッド91によって半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持したならば、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、ハンド51を洗浄機構8が配設されている退避位置に位置付ける。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持した吸着パッド91を下降し、半導体ウエーハ10を被加工物載置領域6aに位置付けられているチャックテーブル機構6のチャックテーブル63上に載置する。そして、吸着パッド91による半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11の吸引保持を解除するとともに、図示しない吸引制御手段を作動してチャックテーブル63上に半導体ウエーハ10を吸引保持する。なお、半導体ウエーハ10をダイシングテープ12を介して支持するダイシングフレーム11は、チャックテーブル63に装着された図示しないフレーム支持手段によって支持される。
切削加工を開始するに先立って、加工前の半導体ウエーハ10(ダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10)を所定枚数収納したカセット4をカセット載置台32上に載置する。そして、切削加工開始スイッチ(図示せず)が投入されると、カセット載置機構3の昇降手段33を作動してカセット載置台32に載置されたカセット4を搬出入位置に位置付ける。カセット4が搬出入位置に位置付けられたら、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y1で示す方向に移動し、カセット10内に進入せしめて所定の棚上に載置された半導体ウエーハ10を保持する。作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、被加工物載置領域6aの上方である搬出位置に位置付ける。この間に、被加工物搬送機構9のパッド移動手段93を作動して吸着パッド91を被加工物載置領域6aの上方に位置付けている。この結果、搬出位置に位置付られたハンド51上に支持されている半導体ウエーハ10は、被加工物載置領域6aに位置付けられた吸着パッド91の下側に位置付けられることになる。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、吸着パッド91を半導体ウエーハ10に接する位置まで下降させる。そして、図示しない吸引手段を作動して半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持する。吸着パッド91によって半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持したならば、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、ハンド51を洗浄機構8が配設されている退避位置に位置付ける。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持した吸着パッド91を下降し、半導体ウエーハ10を被加工物載置領域6aに位置付けられているチャックテーブル機構6のチャックテーブル63上に載置する。そして、吸着パッド91による半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11の吸引保持を解除するとともに、図示しない吸引制御手段を作動してチャックテーブル63上に半導体ウエーハ10を吸引保持する。なお、半導体ウエーハ10をダイシングテープ12を介して支持するダイシングフレーム11は、チャックテーブル63に装着された図示しないフレーム支持手段によって支持される。
チャックテーブル63上に半導体ウエーハ10を吸引保持したならば、チャックテーブル63を矢印X方向に移動するとともに、第1のスピンドルユニット76aおよび第2のスピンドルユニット76bを装着した第1の懸垂ブラケット74aおよび第2の懸垂ブラケット74bが取り付けられている第1の基部73aおよび第2の基部73bを矢印Y方向に移動し、チャックテーブル63上の半導体ウエーハ10を第1の撮像手段77aおよび第2の撮像手段77bの直下に位置付ける。そして、第1の撮像手段77aおよび第2の撮像手段77bによって半導体ウエーハ10の表面が撮像され、半導体ウエーハ10の表面に形成された切削すべき領域であるストリート101のうち少なくとも1本がそれぞれ検出されて、このそれぞれ検出されたストリート101と第1の切削ブレード763aおよび第2の切削ブレード763bの矢印Y方向の位置合わせが行われる(アライメント工程)。このとき図示の実施形態においては、第1の基部73aおよび第2の基部73bの矢印Y方向の位置は、支持台71に配設された1本のリニアスケール70による計測値に基づいて精密制御される。
次に、半導体ウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル63を加工領域6bに移動する。そして、図7の(a)に示すように第1のスピンドルユニット76aの第1の切削ブレード763aをチャックテーブル63に吸引保持された半導体ウエーハ10のストリートにおける図において最左側のストリート101に対応した位置に所定の切り込み深さHIをもって位置付ける。このとき、第1の切削ブレード763aは、図8において実線で示すように上記ストリート101の延長線上においてウエーハ10の外周縁とフレーム11に露出しているダイシングテープ12の上方に位置付けられる。なお、第2のスピンドルユニット76bの第2の切削ブレード763bは、図7の(a)に示すように半導体ウエーハ10の左方に位置付けられる。次に、第1の切削ブレード763aを回転するとともに、チャックテーブル63を図7の(a)において紙面に垂直な方向、図8のおいて矢印X1で示す方向に切削送りすることにより、図7の(b)に示すように半導体ウエーハ10の図において最左側のストリート101に沿って所定深さHIの切削溝G1が形成される(第1の切削工程)。なお、上記切削送りは、第1の切削ブレード763aが図8において2点鎖線で示すようにウエーハ10の外周縁(図8において右端)とフレーム11との間に露出しているダイシングテープ12の上方に位置するまでチャックテーブル63を移動する。これにより、ストリート101の表面に形成されているテスト用の金属パターンが除去される。このようにして、半導体ウエーハ10の図7の(b)において最左側のストリート101に沿って切削溝G1を形成したならば、第1のスピンドルユニット76aの第1の切削ブレード763aを上方に所定量移動し図7において右方にストリートの間隔に相当する量だけ割り出し送りするとともに、チャックテーブル63を図8において矢印X1で示す方向と反対方向に移動することにより、第1の切削ブレード763aと半導体ウエーハ10との矢印X1で示す方向の相対位置を図8において実線で示す位置に位置付ける。次に、第1の切削ブレード763aを下方に所定量切り込み送りして図7において左から2番目のストリート101に対応した位置に所定の切り込み深さHIをもって位置付ける。そして、上述したように第1の切削ブレード763aを回転するとともにチャックテーブル63を図8において矢印X1で示す方向に切削送りすることにより、図7において左から2番目のストリート101に沿って所定深さHIの第1の切削溝G1が形成される。
上述したように、第1のスピンドルユニット76aの第1の切削ブレード763aにより例えば2本のストリートに沿って第1の切削溝G1を形成したならば、図9の(a)に示すように第1のスピンドルユニット76aの第1の切削ブレード763aを半導体ウエーハ10の図において左から3番目のストリート101に対応した位置に所定の切り込み深さHIをもって位置付けるとともに、第2のスピンドルユニット76bの第2の切削ブレード763bを半導体ウエーハ10の図において最左側の第1の切削溝G1が形成されているストリート101に対応した位置にダイシングテープ12に達する切り込み深さH2をもって位置付ける。従って、第2の切削ブレード763bは、上述したように第1の切削ブレード763aによって形成された第1の切削溝G1の幅方向中心位置に位置付けられる。このとき、第2の切削ブレード763bは、図10において実線で示すように上記ストリート101の延長線上においてウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出されたダイシングフレーム12の上に位置付けられる。なお、第1の切削ブレード763aは、上述したと同様に図8において実線で示すように上記ストリート101の延長線上においてウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12の上方に位置付けられる。次に、第1の切削ブレード763aおよび第2の切削ブレード763bを回転するとともに、チャックテーブル63を図9の(a)において紙面に垂直な方向、図10のおいて矢印X1で示す方向に切削送りする。この結果、図9の(b)に示すように半導体ウエーハ10の図において最左側のストリート101に形成されている第1の切削溝G1に沿って第1の切削溝G1の底から深さH3の第2の切削溝G2が形成される(第2の切削工程)とともに、図において左から3番目のストリート101に沿って所定深さHIの第1の切削溝G1が形成される。なお、上記切削送りは、第1の切削ブレード763aが図8において2点鎖線で示すように、また、第2の切削ブレード763bが図10において2点鎖線で示すようにウエーハ10の外周縁(図8および図10において右端)とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12に達する位置するまでチャックテーブル63を移動する。従って、ウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12には、図11に示すように第2の切削ブレード763bによって第2の切削溝G2が形成される。以上の操作を繰り返すことにより、半導体ウエーハ10の所定方向に形成されたストリート101に沿って第1の切削溝G1および第2の切削溝G2が形成されとともに、ダイシングテープ12にも第2の切削溝G2が形成され、半導体ウエーハ10はストリート101に沿って切断される。
しかるに、第1の切削ブレード763aによってテスト用の金属パターンを除去する際に、半導体ウエーハを完全切断すると半導体ウエーハに損傷を与えるという問題がある。一方、第2の切削ブレード763bが磨耗したり切り込み深さが不十分な場合には、半導体ウエーハを完全切断することができず、ダイシングテープから半導体チップをピックアップする際に半導体チップが損傷したり、ピックアップ作業に支障を来たし生産性が低下するという問題がある。そこで、上述した切削工程を所定本数のストリートに実施したならば、上記第1の切削溝G1および第2の切削溝G2の形成状態を検出する。以下、第1の切削溝G1および第2の切削溝G2と検出する方法について説明する。
先ず、第1の切削ブレード763aによって形成された第1の切削溝G1の検出方法について説明する。
第1の切削ブレード763aによって形成された第1の切削溝G1を検出するには、半導体ウエーハ10のストリート101に沿って最後に形成された第1の切削溝G1を第1の撮像手段77aの直下に位置付ける。このとき、撮像手段77aが半導体ウエーハ10の外周部とウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12を撮像できる位置に位置付ける。そして、第1の撮像手段77aによって第1の切削溝G1を撮像すると、第1の撮像手段77aによる撮像信号に基づいて制御手段78は画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に図12に示す画像を表示する。図12に示す画像は、半導体ウエーハ10のストリート101に沿って第1の切削溝G1が形成されているが、ダイシングテープ12には第1の切削溝G1が形成されていないことを示している。もし、ダイシングテープ12に第1の切削溝G1が形成されている場合には、厚さが比較的厚い第1の切削ブレード763aによって半導体ウエーハ10が完全切断されたことになり、半導体ウエーハに損傷を与えるという問題があるため、第1の切削ブレード763aの切り込み深さ調整する必要がある。従って、ダイシングテープ12に第1の切削溝G1が形成されている場合には、パルスモータ75aを駆動して第1の懸垂ブラケット74aを図1において上方に移動せしめ、第1の切削ブレード763aの切り込み深さがダイシングテープ12に達しない所定位置、即ち半導体ウエーハ10の表面から上記H1になるように調整する。
第1の切削ブレード763aによって形成された第1の切削溝G1を検出するには、半導体ウエーハ10のストリート101に沿って最後に形成された第1の切削溝G1を第1の撮像手段77aの直下に位置付ける。このとき、撮像手段77aが半導体ウエーハ10の外周部とウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12を撮像できる位置に位置付ける。そして、第1の撮像手段77aによって第1の切削溝G1を撮像すると、第1の撮像手段77aによる撮像信号に基づいて制御手段78は画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に図12に示す画像を表示する。図12に示す画像は、半導体ウエーハ10のストリート101に沿って第1の切削溝G1が形成されているが、ダイシングテープ12には第1の切削溝G1が形成されていないことを示している。もし、ダイシングテープ12に第1の切削溝G1が形成されている場合には、厚さが比較的厚い第1の切削ブレード763aによって半導体ウエーハ10が完全切断されたことになり、半導体ウエーハに損傷を与えるという問題があるため、第1の切削ブレード763aの切り込み深さ調整する必要がある。従って、ダイシングテープ12に第1の切削溝G1が形成されている場合には、パルスモータ75aを駆動して第1の懸垂ブラケット74aを図1において上方に移動せしめ、第1の切削ブレード763aの切り込み深さがダイシングテープ12に達しない所定位置、即ち半導体ウエーハ10の表面から上記H1になるように調整する。
次に、第2の切削ブレード763bによって形成された第2の切削溝G2の検出方法について説明する。
第2の切削ブレード763bによって形成された第2の切削溝G2を検出する場合には、上記第1の切削溝G1に沿って最後に形成された第2の切削溝G2を第2の撮像手段77bの直下に位置付ける。このとき、撮像手段77bが半導体ウエーハ10の外周部とウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12を撮像できる位置に位置付ける。そして、第2の撮像手段77bによって第2の切削溝G2を撮像すると、第2の撮像手段77bによる撮像信号に基づいて制御手段78は画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に図13に示す画像を表示する。図13に示す画像は、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていることを示している。このように、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されている場合には、半導体ウエーハ10が完全に切断されていると判定することができる。もし、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていない場合は、第2の切削ブレード763bが磨耗したり切り込み深さが不十分であることを示している。半導体ウエーハ10が完全に切断されない状態でダイシングテープ12から半導体チップをピックアップすると、半導体チップが損傷したり、ピックアップ作業に支障を来たし生産性が低下するという問題があるため、第2の切削ブレード763bの切り込み深さ調整する必要がある。従って、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていない場合には、パルスモータ75bを駆動して第2の懸垂ブラケット74bを図1において下方に移動せしめ、第2の切削ブレード763bの切り込み深さがダイシングテープ12に達する上記H2になるように調整する。
第2の切削ブレード763bによって形成された第2の切削溝G2を検出する場合には、上記第1の切削溝G1に沿って最後に形成された第2の切削溝G2を第2の撮像手段77bの直下に位置付ける。このとき、撮像手段77bが半導体ウエーハ10の外周部とウエーハ10の外周縁とフレーム11との間に露出するダイシングテープ12を撮像できる位置に位置付ける。そして、第2の撮像手段77bによって第2の切削溝G2を撮像すると、第2の撮像手段77bによる撮像信号に基づいて制御手段78は画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に図13に示す画像を表示する。図13に示す画像は、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていることを示している。このように、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されている場合には、半導体ウエーハ10が完全に切断されていると判定することができる。もし、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていない場合は、第2の切削ブレード763bが磨耗したり切り込み深さが不十分であることを示している。半導体ウエーハ10が完全に切断されない状態でダイシングテープ12から半導体チップをピックアップすると、半導体チップが損傷したり、ピックアップ作業に支障を来たし生産性が低下するという問題があるため、第2の切削ブレード763bの切り込み深さ調整する必要がある。従って、ダイシングテープ12に第2の切削溝G2が形成されていない場合には、パルスモータ75bを駆動して第2の懸垂ブラケット74bを図1において下方に移動せしめ、第2の切削ブレード763bの切り込み深さがダイシングテープ12に達する上記H2になるように調整する。
以上のようにして第1の切削ブレード763aによって形成された第1の切削溝G1および第2の切削ブレード763bによって形成された第2の切削溝G2を検出し、必要に応じて上記第1の切削ブレード763aおよび第2の切削ブレード763bの切り込み深さの調整を実施したならば、第2の切削溝G2を検出しなかったストリートを第2の切削ブレード763bと対応する位置に位置付け、上記切削工程を再度実施する。以後、上述した切削作業を繰り返し実施し、半導体ウエーハ10の所定方向に形成されたストリート101に沿って上記第1の切削溝G1および第2の切削溝G2を形成したならば、半導体ウエーハ10を吸引保持した吸着チャック63を90度回転させて、上記と同様の切削作業および切削溝の検出作業を実行することにより、半導体ウエーハ10に形成された所定方向と直交する方向に形成されたストリート101に沿って上記第1の切削溝G1および第2の切削溝G2を形成する。このようにして半導体ウエーハ10に所定方向に形成されたストリート101および所定方向と直交する方向に形成されたストリート101に沿って上記第1の切削溝G1および第2の切削溝G2を形成することにより、半導体ウエーハ10は個々の半導体チップに分割される。なお、個々に分割された半導体チップは、ダイシングテープ12に貼着されているのでバラバラにはならず、半導体ウエーハ10の形態が維持されている。
上述したように切削作業が終了したら、図1に示す加工領域6bに位置しているチャックテーブル63を被加工物載置領域6aに移動するとともに、半導体ウエーハ10を吸引保持を解除する。そして、被加工物搬送機構9を作動して吸着パッド91によって半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持し、洗浄機構8のスピンナーテーブル81上に搬送する。この間に被加工物搬出入機構5のハンド51は、被加工物載置領域6aの上方である搬出位置に位置付けられる。スピンナーテーブル81上に搬送された加工後の半導体ウエーハ10は、ここで洗浄および乾燥される。このようにして半導体ウエーハ10が洗浄および乾燥されたならば、被加工物搬送機構9を作動して吸着パッド91によって半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持し、被加工物載置領域6aの上方である搬出位置に位置付けられている被加工物搬出入機構5のハンド51の上側に位置付ける。そして、吸着パッド91を下降して半導体ウエーハ10をハンド51上に載置し、吸着パッド91による半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11の吸引保持を解除するとともに、ハンド51の上面に半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持する。次に、被加工物搬出入機構5を作動し、ハンド51に保持されたダイシングフレーム11に支持されている加工済の半導体ウエーハ10をカセット10の所定の収容室に収容する。
以上本発明を第1の切削ブレード763aを備えた第1のスピンドルユニット76aと第2の切削ブレード763bを備えた第2のスピンドルユニット76bを具備した切削装置を用い2回の切削工程を実施することによりウエーハを切断する例を示したが、本発明は1個の切削ブレードを具備した切削装置を用い1回の切削工程でウエーハを切断する切削方法にも適用することができる。
2:静止基台
3:カセット載置機構
31:ガイドレール
32:カセット載置台
33:駆動手段
4:カセット
5:被加工物搬出入機構
51:ハンド
52:ハンド支持部材
53:ハンド移動手段
6:チャックテーブル機構
61:支持台
62:ガイドレール
63:チャックテーブル
64:チャックテーブル移動手段
7:切削機構
71:支持台
711:ガイドレール
73a:第1の基部
73b:第2の基部
74a:第1の懸垂ブラケット
74b:第2の懸垂ブラケット
75a:パルスモータ
75b:パルスモータ
76a:第1のスピンドルユニット
763a:第1の切削ブレード
76b:第2のスピンドルユニット
763b:第2の切削ブレード
77a:第1の撮像手段
77b:第2の撮像手段
78:制御手段
79:表示手段
8:洗浄機構
81:スピンナーテーブル
9:被加工物搬送機構
91:吸着パッド
92:パッド支持部材
93:パッド移動手段
10:半導体ウエーハ
3:カセット載置機構
31:ガイドレール
32:カセット載置台
33:駆動手段
4:カセット
5:被加工物搬出入機構
51:ハンド
52:ハンド支持部材
53:ハンド移動手段
6:チャックテーブル機構
61:支持台
62:ガイドレール
63:チャックテーブル
64:チャックテーブル移動手段
7:切削機構
71:支持台
711:ガイドレール
73a:第1の基部
73b:第2の基部
74a:第1の懸垂ブラケット
74b:第2の懸垂ブラケット
75a:パルスモータ
75b:パルスモータ
76a:第1のスピンドルユニット
763a:第1の切削ブレード
76b:第2のスピンドルユニット
763b:第2の切削ブレード
77a:第1の撮像手段
77b:第2の撮像手段
78:制御手段
79:表示手段
8:洗浄機構
81:スピンナーテーブル
9:被加工物搬送機構
91:吸着パッド
92:パッド支持部材
93:パッド移動手段
10:半導体ウエーハ
Claims (5)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す切削ブレードを備えた切削手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段とを具備する切削装置を用い、環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを該切削手段によって切削するウエーハの切削方法であって、
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハを切削する切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該フレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法。 - 該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には、該切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達する位置に調整する、請求項1記載のウエーハの切削方法。
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、該第1の切削手段によって切削された領域に更に切削加工を施す第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段とを具備する切削装置を用い、環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを該第1の切削手段および該第2の切削手段によって切削するウエーハの切削方法であって、
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該第1の切削ブレードを所定の切り込み込み深さをもって位置付け、該第1の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第1の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該第1の切削工程によって形成された該第1の切削溝に該第2の切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該第2の切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該第2の切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハに第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該ダイシングフレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに該第1の切削溝と第2の切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第1の切削溝および/または第2の切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに該第1の切削溝および第2の切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法。 - 該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第1の切削溝が検出された場合には、該第1の切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達しない所定位置に調整する、請求項3記載のウエーハの切削方法。
- 該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに該第2の切削溝が検出されない場合には、該第2の切削ブレードの切り込み深さを該ダイシングテープに達する位置に調整する、請求項3記載のウエーハの切削方法。
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