JP2019129282A - 切削装置のセットアップ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
3 フレーム
5 テープ
2 切削装置
4 装置基台
6 X軸移動テーブル
8 防塵防滴カバー
10 チャックテーブル
10a 保持面
10b クランプ
10c 枠体
12 カセット載置台
12a カセット
14 切削ユニット
16 支持部
18a 割り出し送りユニット
18b 切り込み送りユニット
20,26 ガイドレール
22,28 移動プレート
24,30 ボールねじ
32 パルスモータ
34 カメラ
36 切削ブレード
38 洗浄ユニット
38a 洗浄テーブル
38b 洗浄ノズル
40 スピンドル
42 回転駆動源
44 セットアップユニット
46 接触予定箇所
48 接触痕
50 切削液供給ノズル
50a 切削液
52 エアブローユニット
52a エアー
Claims (2)
- 保持面を有し、被加工物を該保持面上に保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削するとともに該被加工物及び該切削ブレードに切削液を供給する切削ユニットと、
該切削ユニットを該保持面と垂直な切り込み送り方向に移動させる切り込み送りユニットと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を撮影するカメラと、
該チャックテーブル及び該切削ブレード間の電気的な導通を検出でき、該切り込み送りユニットにより該切削ユニットを移動させ該電気的な導通が検出されるときの該切削ユニットの該切り込み送り方向の位置を検出できるセットアップユニットと、を備える切削装置において該切削ブレードが該チャックテーブルに接触する際の該切削ユニットの位置を基準位置として導出する切削装置のセットアップ方法であって、
該保持面に向かって該切削ユニットを該切り込み送り方向に移動させ、該切削ブレード及び該チャックテーブル間の電気的な導通が検出された際の該切削ユニットの該切り込み送り方向の位置を仮基準位置として登録する仮基準位置登録ステップと、
該仮基準位置登録ステップを実施した後に、該保持面を該カメラで撮影し、該切削ブレードと、該チャックテーブルと、の接触により該保持面に形成される接触痕の有無を判定する接触痕判定ステップと、を備え、
該接触痕判定ステップで該接触痕が有ると判定された場合、該仮基準位置を該基準位置として設定する基準位置設定ステップを実施し、
該接触痕判定ステップで該接触痕が無いと判定された場合、該仮基準位置登録ステップと、該接触痕判定ステップと、を再度実施することを特徴とする切削装置のセットアップ方法。 - 該接触痕判定ステップで該接触痕が無いと判定された場合、該仮基準位置登録ステップを再度実施する前に、該保持面にエアーを吹き付けて該保持面に付着した該切削液を除去するエアブローステップを実施することを特徴とする請求項1記載の切削装置のセットアップ方法。
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