JP2018134723A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a、4b 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動機構(加工送りユニット)
10a X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル(保持テーブル)
14a 保持面
16 クランプ
18 仮置き機構
18a、18b ガイドレール
20 第1支持構造
22 第1レール
24 第1移動機構
26 第1搬送ユニット
26a 把持機構
28 第2レール
30 第2移動機構
32 第2搬送ユニット
34 第2支持構造
36 Y軸Z軸移動機構(割り出し送りユニット、切り込み送りユニット)
38 切削ユニット
40 切削ブレード
42 撮像ユニット(カメラ)
44 清掃ユニット
46 昇降機構(ブラシ移動ユニット)
48 ブラシ
50 洗浄ユニット
52 スピンナテーブル
54 噴射ノズル
11 被加工物
13 粘着テープ(ダイシングテープ)
15 フレーム
Claims (3)
- 環状のフレームの開口部に張られた粘着テープによって被加工物が支持されてなるフレームユニットを保持する保持面を有し、回転可能なチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該フレームユニット内の該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、
該保持面と平行な加工送り方向に沿って該チャックテーブルを移動させる加工送りユニットと、
該保持面と垂直な切り込み送り方向に沿って該切削ユニットを移動させる切り込み送りユニットと、
該切削ユニットによる加工で該被加工物から切り出された端材を該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該フレームから除去する清掃ユニットと、を備え、
該清掃ユニットは、
該加工送りユニットによって該チャックテーブルが移動できる範囲内で該チャックテーブルの上方に配置され、該加工送り方向と交差する方向に延びるブラシと、
該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該フレームに接触する清掃位置と、該清掃位置から離れた退避位置と、の間で該ブラシを移動させるブラシ移動ユニットと、を備え、
該ブラシを該清掃位置に位置付けた状態で該チャックテーブルを回転又は加工送りさせることによって、該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該フレームに付着した該端材を該フレームから除去することを特徴とする切削装置。 - 該ブラシ移動ユニットは、該フレームユニットが該チャックテーブルに保持されていない状態で、該チャックテーブルの該保持面に接触する保持面清掃位置と、該保持面清掃位置から離れた該退避位置と、の間で該ブラシを移動させることができるように構成されており、
該ブラシを該保持面清掃位置に位置付けた状態で該チャックテーブルを回転又は加工送りさせることによって、該チャックテーブルの該保持面に付着した該端材を該保持面から除去することを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 該ブラシは、該切削ユニットに対して該切削ブレードの回転に伴い該端材が飛散する側に配置されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の切削装置。
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---|---|---|---|---|
JP2021048350A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 株式会社東京精密 | フレーム洗浄機構 |
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JPH05253552A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | リングフレ−ム洗浄装置 |
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- 2017-02-24 JP JP2017032883A patent/JP6821254B2/ja active Active
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JP2021048350A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 株式会社東京精密 | フレーム洗浄機構 |
JP7386424B2 (ja) | 2019-09-20 | 2023-11-27 | 株式会社東京精密 | フレーム洗浄機構 |
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JP6821254B2 (ja) | 2021-01-27 |
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