JP6727699B2 - 切削装置のセットアップ方法 - Google Patents
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Description
13 テープ
15 フレーム
21 切削液
23 光
2 切削装置
4 基台
6 X軸移動機構
8 X軸ガイドレール
10 X軸移動テーブル
12 X軸ボールねじ
14 X軸パルスモータ
16 テーブルベース
18 チャックテーブル
18a クランプ
18b 保持面
20 ウォーターケース
22 支持構造
24 切削ユニット移動機構(移動機構、移動手段)
26 Y軸ガイドレール
28 Y軸移動プレート
30 Y軸ボールねじ
32 Y軸パルスモータ
34 Z軸ガイドレール
36 Z軸移動プレート
38 Z軸ボールねじ
40 Z軸パルスモータ
42 切削ユニット(切削手段)
44 カメラ(撮像ユニット、撮像手段)
46 切削ブレード
48 切削液供給ノズル(切削液供給ユニット、切削液供給手段)
50 刃先位置検出ユニット(刃先位置検出手段)
52 制御ユニット(制御手段)
52a 電圧比較部
52b 先端位置検出部
52c 算出部
52d 位置補正部
54 ベース
54a 支持部
54b 検出部
54c ブレード侵入部
56 発光部
58 受光部
60 エアー供給ノズル(エアー供給部)
62 液体供給ノズル(液体供給部)
64 連結具
66 カバー
68 光源
70 光電変換部
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着された切削ユニットと、該切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ユニットと、該切削ユニットを該保持面と直交する切り込み送り方向に移動する移動機構と、該切削ブレードが侵入するブレード侵入部を挟んで対面する発光部と受光部とを有し該切り込み送り方向での該切削ブレードの先端の位置を検出する刃先位置検出ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える切削装置を用いて、該切削ブレードの先端の位置を検出する切削装置のセットアップ方法であって、
該切削ブレードへの切削液の供給を停止する供給停止ステップと、
該供給停止ステップを実施した後、該刃先位置検出ユニットで該切削ユニットの位置を検出することなく該切削ユニットを該切り込み送り方向に移動させ、該切削液が付着した状態で回転する該切削ブレードを該ブレード侵入部に侵入させることで、該切削ブレードの周囲の気流を変化させ、該切削ブレードに伴って回転する切削液を周囲へと飛散させる水切りステップと、
該水切りステップを実施した後、回転する該切削ブレードを再び該ブレード侵入部に侵入させ、該受光部の受光量が所定の光量になった際の該切削ユニットの位置を検出する位置検出ステップと、を備えることを特徴とする切削装置のセットアップ方法。 - 該刃先位置検出ユニットは、該受光部及び該発光部の端面にエアーを供給するエアー供給部を有し、該水切りステップ中に該エアー供給部からエアーを供給することを特徴とする請求項1記載の切削装置のセットアップ方法。
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