JP7157511B2 - 切削装置及び切削ブレード検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、切削装置及び切削ブレード検出方法に関する。

半導体ウェーハ等の被加工物を分割加工するダイシング装置等の精密切削装置においては、切削ブレードを装着した切削手段を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させ、回転する切削ブレードを被加工物に対して所定の深さに切り込ませる高さに位置づける一方、被加工物を保持する保持手段を水平方向に切削送りして被加工物を切削している。このため、切削ブレードの先端が被加工物を保持する保持面に接触するときの切削手段の高さを予め認識しておく必要があり、その切削手段の高さを認識するセットアップを行っている。このようなセットアップは、例えば、切削ブレードを交換した場合に交換した切削ブレードの先端の高さ位置を認識する際、あるいは、切削ブレードが摩耗した場合の摩耗状態を認識する際に実施される。

セットアップについては、保持面に切削ブレードを接触させたときの切削手段の高さを認識する接触セットアップと、保持面に切削ブレードを接触させずにセットアップを可能とする非接触セットアップとが知られている。非接触セットアップ用の検出手段として光学センサが用いられる。光学センサの発光部と受光部の間に切削ブレードの外周縁を配置し、切削手段の上下方向位置を変化させて切削ブレードの外周縁によって遮られる光の状態を検知して、切削ブレードの高さ位置や摩耗を検出している。

切削装置における切削手段は、モータによって回転駆動されるスピンドルの先端に取り付けられる装着フランジ（装着工具）に対して、円環状の切れ刃を有する切削ブレードを装着して構成される。そして、装着フランジの径方向の外周縁を超えて突出する切削ブレードの長さ（刃先出し量）や刃厚等の情報（切削ブレード情報）が入力手段によって入力されることで、切削ブレードの高さ位置やブレード摩耗量を管理し、適切な切り込み量で被加工物を切削することが可能となっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１５－１３１３７２号公報

切削装置に切削ブレードを装着する際には、切削ブレードの所望の刃先出し量に対応する外径サイズの装着フランジを選択して取り付ける。従来、選択して取り付けた装着フランジの外径サイズは、切削装置を操作するオペレーターが入力していた。ここで装着フランジの外径サイズを誤って入力してしまうと、セットアップで切削装置が認識する切削ブレードの刃先出し量と、装着フランジに対する切削ブレードの実際の刃先出し量とが一致しなくなる。その結果、刃先出し量が不適正な状態で切削加工を行ってしまい、被加工物や切削ブレードにダメージを与えたり、加工不良を生じたりしてしまうおそれがある。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの刃先出し量を的確に認識可能な切削装置及び切削ブレード検出方法を提供することを目的とする。

本発明は、被加工物を保持する保持手段と、回転駆動されるスピンドル及びスピンドルの先端に取り付けられた装着工具に円環状の切削ブレードが装着される切削手段と、スピンドルをＺ軸方向に昇降させるＺ軸方向送り手段と、切削ブレードのＺ軸方向の先端位置を検出するブレード検出手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、制御手段は、ブレード検出手段にて検出された、スピンドル先端に装着され且つ切削ブレードが装着されていない装着工具のＺ軸方向先端位置を記憶する装着工具先端位置記憶部と、ブレード検出手段にて検出された、装着工具に装着された切削ブレードのＺ軸方向先端位置を記憶する切削ブレード先端位置記憶部と、装着工具及び切削ブレードのＺ軸方向先端位置情報から切削ブレードの装着工具から突出した刃先出し量を算出する算出部と、を備えることを特徴とする。

また、本発明は、保持手段に保持された被加工物に対して回転する切削ブレードをＺ軸方向に切り込ませて切削する切削装置において、装着工具に対する切削ブレードの刃先出し量を検出する切削ブレード検出方法であって、回転可能なスピンドルの先端に固定された、切削ブレードが装着されていない装着工具のＺ軸方向の先端位置をブレード検出手段により検出して制御手段が記憶する装着工具先端位置検出工程と、装着工具に対して装着された切削ブレードのＺ軸方向の先端位置をブレード検出手段により検出して制御手段が記憶する切削ブレード先端位置検出工程と、装着工具先端位置検出工程と切削ブレード先端位置検出工程で記憶された装着工具と切削ブレードのＺ軸方向先端位置情報に基づき、制御手段が装着工具から突出した切削ブレードの刃先出し量を算出する算出工程と、を有することを特徴とする。

本発明の切削装置及び切削ブレード検出方法によれば、装着工具と切削ブレードの両方のＺ方向先端位置を検出及び記憶して刃先出し量を算出するので、切削ブレードの刃先出し量を的確に認識することが可能である。

本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。 切削装置を構成する切削手段と先端検出センサの斜視図である。 切削装置における非接触セットアップを示す図であり、（Ａ）はフランジ検出工程、（Ｂ）は切削ブレード検出工程である。

図１に示す切削装置１０は、被加工物であるウェーハ（図示略）に対して切削を行うものである。各図において、切削装置１０における加工送り方向をＸ軸方向、割り出し送り方向をＹ軸方向、切削の切り込み送り方向（上下方向）をＺ軸方向として表している。

切削装置１０は、ウェーハを保持するチャックテーブル１１を備えている。チャックテーブル１１は、ポーラスセラミック材により形成された保持面を上面側に備えており、ウェーハを保持面に吸着保持することができる。図示を省略するが、ウェーハの表面上には格子状の切削予定ラインが形成され、切削予定ラインで区画される各領域にデバイスが形成されている。

切削装置１０の基台１２上には、チャックテーブル１１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向送り手段（図示略）が設けられている。Ｘ軸方向送り手段は、図１に示す防水カバー１３の下方に配置されていて図には表れていないが、Ｘ軸駆動モータ（図示略）の駆動によってボールネジ（図示略）を回転させ、ボールネジが回転すると移動版１４をＸ軸方向に移動させるものである。移動版１４上にチャックテーブル１１が支持されており、チャックテーブル１１は移動版１４に対してＺ軸方向の軸を中心として回転可能である。

基台１２の上面には門型のコラム１５が設けられている。コラム１５には、切削手段３０をＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸方向送り手段１６と、切削手段３０をＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸方向送り手段１７とが設けられている。

Ｙ軸方向送り手段１６は、コラム１５の前面に配置されたＹ軸方向に延びる一対のＹ軸ガイド２０と、各Ｙ軸ガイド２０にスライド可能に支持されたＹ軸テーブル２１とを有している。Ｚ軸方向送り手段１７は、Ｙ軸テーブル２１上に配置されたＺ軸方向に延びる一対のＺ軸ガイド２２と、各Ｚ軸ガイド２２にスライド可能に支持されたＺ軸テーブル２３とを有している。

Ｙ軸テーブル２１とＺ軸テーブル２３の背面側には、それぞれナット部（図示略）が形成されている。Ｙ軸テーブル２１のナット部にボールネジ２４が螺合し、Ｚ軸テーブル２３のナット部にボールネジ２５が螺合している。ボールネジ２４の一端部にはＹ軸駆動モータ（図示略）が連結され、ボールネジ２５の一端部にはＺ軸駆動モータ２６が連結されている。Ｙ軸駆動モータによりボールネジ２４が回転駆動されることで、Ｙ軸テーブル２１がＹ軸ガイド２０に沿ってＹ軸方向に移動される。Ｚ軸駆動モータ２６によりボールネジ２５が回転駆動されることで、Ｚ軸テーブル２３がＺ軸ガイド２２に沿ってＺ軸方向に移動される。Ｚ軸テーブル２３の下部には、切削手段３０が設けられている。Ｙ軸駆動モータとＺ軸駆動モータ２６の駆動によって切削手段３０がＹ軸方向とＺ軸方向に移動される。

切削手段３０は、被加工物であるウェーハを切削加工する加工ユニットである。図２及び図３に示すように、切削手段３０は、切削ブレード３１とスピンドル３２と装着部材３３とを有している。

切削ブレード３１は、円環状の切れ刃のみで構成されたワッシャブレード（ハブレスブレード）であり、ダイヤモンド等の砥粒をボンド剤で固めて形成されている。切削ブレード３１の中央には円形状の開口部が形成されている。

スピンドル３２は、Ｚ軸テーブル２３の下端に支持されるスピンドルハウジング３４に対して、Ｙ軸方向に向く回転軸心Ｐ（図３）を中心として回転自在に支持された回転軸である。スピンドルハウジング３４内にはスピンドルモータ（図示略）が設けられており、スピンドルモータによってスピンドル３２が回転軸心Ｐを中心として回転駆動される。

装着部材３３は、スピンドル３２の先端部に固定される装着フランジ３３ａと、装着フランジ３３ａと対向して配置される保持フランジ３３ｂとを備えている。装着フランジ３３ａと保持フランジ３３ｂはそれぞれ円形状の外周形状を有する部材であり、互いの対向面の間に切削ブレード３１を挟持可能である。

装着フランジ３３ａは、スピンドル３２の先端部に対して単独で固定することができる（図３（Ａ）参照）。装着フランジ３３ａの対向面上には円筒状のボス部３３ｃが突出している。装着フランジ３３ａに対して切削ブレード３１を取り付ける際には、ボス部３３ｃに対して切削ブレード３１の開口部を挿入させて、装着フランジ３３ａの対向面に切削ブレード３１の片側の側面を接近させる。ボス部３３ｃによって切削ブレード３１の径方向位置が定まり、装着フランジ３３ａと切削ブレード３１のそれぞれの中心軸がスピンドル３２の回転軸心Ｐと一致する。

続いて、切削ブレード３１の反対側の側面に保持フランジ３３ｂの対向面を当て付け、装着フランジ３３ａと保持フランジ３３ｂの互いの対向面によって切削ブレード３１を挟む状態にする。そして、スピンドル３２の先端部に螺合する固定ナット３５によって保持フランジ３３ｂを締め付けることにより、装着フランジ３３ａと保持フランジ３３ｂの間に切削ブレード３１が挟持される（図３（Ｂ）参照）。

装着フランジ３３ａと保持フランジ３３ｂの外径は同じであり、切削ブレード３１の外径は、装着フランジ３３ａ及び保持フランジ３３ｂの外径よりも大きい。従って、図３（Ｂ）に示す切削ブレード３１の装着完了状態では、切削ブレード３１の径方向の外周縁が、装着フランジ３３ａ及び保持フランジ３３ｂの径方向の外周縁を超えて突出する。この装着フランジ３３ａ及び保持フランジ３３ｂに対する切削ブレード３１の径方向の突出量が、切削ブレード３１における刃先出し量となる。

図２に示すように、スピンドルハウジング３４の端部には、切削ブレード３１を囲むブレードカバー３６が取り付けられている。ブレードカバー３６は、下面側に切削ブレード３１の外周縁を露出させる開口を有しており、切削手段３０の下方に位置する被加工物（ウェーハ）に対して切削ブレード３１による切削を行うことができる。ブレードカバー３６の下部には、切削時に切削ブレード３１周りに切削水を供給する切削水ノズル３７が設けられている。

切削装置１０は、各部を統括制御する制御手段４０（図１）を備える。制御手段４０は、先に述べたＸ軸駆動モータ（図示略）とＹ軸駆動モータ（図示略）とＺ軸駆動モータ２６の駆動を制御して、チャックテーブル１１と切削手段３０の相対位置を変化させる。また、スピンドルモータ（図示略）の駆動を制御してスピンドル３２を回転動作させる。

制御手段４０はさらに、後述するセットアップで用いられる、装着工具先端位置記憶部４１と切削ブレード先端位置記憶部４２と算出部４３を備えている。これらの各部は、制御手段４０が担う特定の機能を概念化したものであり、具体的な構成としては、制御手段４０を構成するプロセッサやメモリとして備えられている。

以上の構成の切削装置１０で切削加工を行う場合、チャックテーブル１１上にウェーハ（図示略）を保持した状態で、ウェーハ上の切削予定ライン上に切削ブレード３１が位置するように、チャックテーブル１１のＸ軸方向の位置調整と、Ｙ軸方向送り手段１６による切削手段３０のＹ軸方向の位置調整を行う。

そして、切削用の所定の回転速度でスピンドル３２を回転駆動させ、Ｚ軸方向送り手段１７によって切削手段３０をＺ軸方向に所定の切り込み深さまで下降させると共に、チャックテーブル１１をＸ軸方向に加工送りさせる。これにより、回転する切削ブレード３１が切削予定ラインに沿って被加工物を切削する。１本の切削予定ラインに沿う切削が完了したら、Ｚ軸方向送り手段１７により切削手段３０を上方に移動させ、Ｙ軸方向送り手段１６により切削手段３０をＹ軸方向に移動させて次の切削予定ライン上に切削ブレード３１を位置づける。そして、上記と同様に切削予定ラインに沿う切削を行う。Ｙ軸方向に並ぶ全ての切削予定ラインに沿う切削が完了したら、チャックテーブル１１を９０度回転させ、未切削の複数の切削予定ラインがＹ軸方向に並ぶようにし、上記と同様に各切削予定ラインに沿う切削を行う。このようにして、ウェーハ上の格子状の全ての切削予定ラインに対する切削が実施される。

ところで、切削装置１０において適正な切り込み深さで切削加工を行うためには、Ｚ軸方向における切削手段３０の高さ位置や切削ブレード３１の摩耗状態を、制御手段４０が正しく認識している必要がある。切削装置１０は、Ｚ軸方向における切削ブレード３１の位置検出を行うブレード検出手段として、非接触セットアップ用の先端検出センサ５０（図２、図３）を備えている。

先端検出センサ５０は光学センサであり、Ｙ軸方向に離間して対向する発光部５１と受光部５２を有している。先端検出センサ５０は、発光部５１から受光部５２へ向けて光Ｌ（図３）を投射し、投射された光Ｌが受光部５２で受光されるか否かを検知して、検出信号を制御手段４０（図１）に送る。

切削ブレード３１の交換後などの所定のタイミングで、切削ブレード３１のＺ軸方向の高さ位置や切削ブレード３１の摩耗状態を検出するべく、セットアップが行われる。なお、以下の各工程におけるオペレーターの操作や、制御手段４０側からのオペレーターへの指示及び報知は、切削装置１０に設けたタッチパネル式の画面を通して行うものとする。

オペレーターの操作によってセットアップの実行が入力されると、制御手段４０は切削装置１０をセットアップモードにする。セットアップモードでは、制御手段４０は、Ｚ軸方向における装着フランジ３３ａの先端（外周縁）位置を検出するフランジ検出工程（装着工具先端位置検出工程）と、Ｚ軸方向における切削ブレード３１の先端（外周縁）位置を検出する切削ブレード検出工程（切削ブレード先端位置検出工程）を順次行うように制御する（図３参照）。

図３（Ａ）に示すように、フランジ検出工程はスピンドル３２の先端部に装着フランジ３３ａのみを装着し、切削ブレード３１及び保持フランジ３３ｂを装着しない状態で行われる。フランジ検出工程において制御手段４０は、切削装置１０に設けたタッチパネルへの表示などによって、装着フランジ３３ａのみを装着するようにオペレーターに指示を出す。装着フランジ３３ａの装着が完了してオペレーターが検出実行を指示すると、制御手段４０は、先端検出センサ５０の発光部５１と受光部５２の間の上方に装着フランジ３３ａを位置づけた状態から、Ｚ軸方向送り手段１７によって切削手段３０をＺ軸方向に下降させる。

このとき、制御手段４０はスピンドル３２を回転させずに切削手段３０を下降させる。フランジ検出工程での検出対象である装着フランジ３３ａは、切削ブレード３１に比して肉厚が大きい金属製の部材であり剛性が高く、切削加工時の高速回転による変形が生じにくい。従って、装着フランジ３３ａを回転させない先端検出において、適切な検出結果が得られる。なお、図３（Ｂ）では、切削ブレード３１を見やすくするために実際よりも大きい厚さで示しているが、実際には切削ブレード３１の厚みよりも装着フランジ３３ａの厚みの方が大きい。

図３（Ａ）のように、下降する装着フランジ３３ａの径方向の先端が、発光部５１から受光部５２へ向かう光Ｌの光路上に達すると、装着フランジ３３ａの外周縁によって光Ｌが遮られる。制御手段４０は、装着フランジ３３ａにより受光部５２への光Ｌの入射が遮られたときの切削手段３０のＺ軸方向の位置を、装着工具先端位置記憶部４１に記憶する。該記憶後に、制御手段４０は、Ｚ軸方向送り手段１７によって切削手段３０をＺ軸方向に上昇させて、先端検出センサ５０から装着フランジ３３ａを離間させる。

続いて、切削ブレード検出工程を行う。図３（Ｂ）に示すように、切削ブレード検出工程は、装着フランジ３３ａと保持フランジ３３ｂの間に切削ブレード３１を挟持し、実際の切削加工と同じ切削ブレード３１の装着状態にして行われる。切削ブレード検出工程において制御手段４０は、切削装置１０に設けたタッチパネルへの表示などによって、切削ブレード３１の装着（保持フランジ３３ｂと固定ナット３５を用いた固定）を行うようにオペレーターに指示を出す。切削ブレード３１の装着が完了してオペレーターが検出実行を指示すると、制御手段４０は、先端検出センサ５０の発光部５１と受光部５２の間の上方に切削ブレード３１を位置づけた状態から、Ｚ軸方向送り手段１７によって切削手段３０をＺ軸方向に下降させる。

このとき、制御手段４０はスピンドル３２を所定の速度で回転させながら切削手段３０を下降させる。薄い板状の切削ブレード３１は、切削加工時の高速回転により径方向の大きさが変化しやすい。従って、切削加工時に対応する速度で切削ブレード３１を回転させることによって、実際に切削する状態での切削ブレード３１の先端位置が検出され、高精度な検出結果を得ることができる。

図３（Ｂ）のように、下降する切削ブレード３１の径方向の先端が、発光部５１から受光部５２へ向かう光Ｌの光路上に達すると、切削ブレード３１の外周縁によって光Ｌが遮られる。制御手段４０は、切削ブレード３１により受光部５２への光Ｌの入射が遮られたときの切削手段３０のＺ軸方向の位置を、切削ブレード先端位置記憶部４２に記憶する。該記憶後に、制御手段４０は、Ｚ軸方向送り手段１７によって切削手段３０をＺ軸方向に上昇させて、先端検出センサ５０から切削ブレード３１を離間させる。

切削ブレード３１は装着フランジ３３ａの外周縁よりも径方向に突出しているので、装着フランジ３３ａの先端よりも切削ブレード３１の先端の方が早いタイミングで先端検出センサ５０に検出される。すなわち、切削ブレード検出工程で切削ブレード先端位置記憶部４２に記憶される切削手段３０のＺ軸方向の位置は、フランジ検出工程で装着工具先端位置記憶部４１に記憶される切削手段３０のＺ軸方向の位置よりも上方となる。この記憶された２つの位置の差が、切削ブレード３１の刃先出し量Ｔ（図３参照）となる。

制御手段４０の算出部４３は、装着工具先端位置記憶部４１に記憶した装着フランジ３３ａのＺ軸方向の位置情報（図３（Ａ）に示す切削手段３０の位置）と、切削ブレード先端位置記憶部４２に記憶した切削ブレード３１のＺ軸方向の位置情報（図３（Ｂ）に示す切削手段３０の位置）から、装着フランジ３３ａに対して径方向に突出する切削ブレード３１の刃先出し量Ｔを算出する。

以上のようにして算出された刃先出し量Ｔは、切削ブレード３１と装着フランジ３３ａの両方の先端位置を先端検出センサ５０で検出した実測値に基づくものである。従って、スピンドル３２に装着されている装着フランジ３３ａの外径サイズをオペレーターが誤入力してしまうおそれがなく、切削ブレード３１の刃先出し量を的確に認識することが可能となる。

また、切削装置１０に対してオペレーターにより別途入力された切削ブレード情報（刃先出し量や刃厚の情報）が存在する場合、制御手段４０は、以上のように検出及び算出を経て得られた切削ブレードの刃先出し量Ｔを参照して、当該切削ブレードの切削ブレード情報に適合しているかを判定することができる。例えば、先のフランジ検出工程で、オペレーターがスピンドル３２に対して誤った外径サイズの装着フランジ３３ａを装着した場合、算出された切削ブレードの刃先出し量Ｔが、切削ブレード情報に含まれている刃先出し量と大幅に異なる可能性がある。このような場合、制御手段４０の制御によって、オペレーターに対して刃先出し量に関するエラー状態の報知などを行うことも可能である。

上記実施形態では、先端検出センサ５０による装着フランジ３３ａと切削ブレード３１の検出を行う際に、装着フランジ３３ａ及び切削ブレード３１のＺ軸方向下方の先端を検出している。これと異なり、装着フランジ３３ａ及び切削ブレード３１のＺ軸方向上方の先端を検出しても、上記実施形態と同様に、切削ブレード３１の刃先出し量を的確に認識することができる。すなわち、先端検出センサ５０に相当するブレード検出手段を、装着フランジ３３ａや切削ブレード３１の上方に配置し、装着フランジ３３ａや切削ブレード３１を上方に移動させて先端位置を検出する形態も可能である。この場合、図２に示す切削手段３０は、装着フランジ３３ａや切削ブレード３１の上方を覆うブレードカバー３６を備えるので、ブレードカバー３６が検出の妨げにならないように、ブレードカバー３６を開くなどの対応を行った上で各検出工程を行うとよい。

切削ブレード３１に加えて装着フランジ３３ａも検出対象となるため、上記実施形態のように、光学式の先端検出センサ５０などを用いた非接触セットアップを行うことが好ましい。しかし、本発明は接触セットアップによって実施することも可能である。

また、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

以上説明したように、本発明は切削ブレードの刃先出し量を的確に認識できるという効果を有し、切削ブレードの刃先出し量を高精度に管理して精密な切削加工を行う切削装置に有用である。

１０ ：切削装置
１１ ：チャックテーブル
１４ ：移動版
１６ ：Ｙ軸方向送り手段
１７ ：Ｚ軸方向送り手段
２０ ：Ｙ軸ガイド
２１ ：Ｙ軸テーブル
２３ ：Ｚ軸テーブル
２６ ：Ｚ軸駆動モータ
３０ ：切削手段
３１ ：切削ブレード
３２ ：スピンドル
３３ ：装着部材（装着工具）
３３ａ ：装着フランジ（装着工具）
３３ｂ ：保持フランジ
３５ ：固定ナット
４０ ：制御手段
４１ ：装着工具先端位置記憶部
４２ ：切削ブレード先端位置記憶部
４３ ：算出部
５０ ：先端検出センサ（ブレード検出手段）
５１ ：発光部
５２ ：受光部
Ｐ ：回転軸心
Ｔ ：刃先出し量

Claims (2)

1. 被加工物を保持する保持手段と、回転駆動されるスピンドル及び前記スピンドルの先端に取り付けられた装着工具に円環状の切削ブレードが装着される切削手段と、該スピンドルをＺ方向に昇降させるＺ軸方向送り手段と、該切削ブレードのＺ軸方向の先端位置を検出するブレード検出手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、
   該制御手段は、
   該ブレード検出手段にて検出された、該スピンドル先端に装着され且つ該切削ブレードが装着されていない装着工具のＺ軸方向先端位置を記憶する装着工具先端位置記憶部と、
   該ブレード検出手段にて検出された、該装着工具に装着された該切削ブレードのＺ軸方向先端位置を記憶する切削ブレード先端位置記憶部と、
   該装着工具及び該切削ブレードの該Ｚ軸方向先端位置情報から該切削ブレードの該装着工具から突出した刃先出し量を算出する算出部と、
   を備えることを特徴とする切削装置。
2. 保持手段に保持された被加工物に対して回転する切削ブレードをＺ軸方向に切り込ませて切削する切削装置において、装着工具に対する該切削ブレードの刃先出し量を検出する切削ブレード検出方法であって、
   回転可能なスピンドルの先端に固定された、該切削ブレードが装着されていない該装着工具のＺ軸方向の先端位置をブレード検出手段により検出して制御手段が記憶する装着工具先端位置検出工程と、
   該装着工具に対して装着された該切削ブレードのＺ軸方向の先端位置を該ブレード検出手段により検出して該制御手段が記憶する切削ブレード先端位置検出工程と、
   該装着工具先端位置検出工程と該切削ブレード先端位置検出工程で記憶された該装着工具と該切削ブレードのＺ軸方向先端位置情報に基づき、該制御手段が該装着工具から突出した該切削ブレードの刃先出し量を算出する算出工程と、
   を有することを特徴とする切削ブレード検出方法。

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