JP6262593B2 - 研削装置 - Google Patents
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Landscapes
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Description
3 チャックテーブル
4 研削手段
6 測定手段
7 制御手段
36 回転手段
37 回転数認識部
61 発光部
62 受光部
63 参照反射面
65 算出部
71 基準値算出部
72 許容範囲設定部
73 切換部
74 判断部
87 ビア孔
88 デバイス
W 板状ワーク
W1 上側ワーク
W2 下側ワーク
Claims (3)
- 複数のビア孔を有する板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸に回転させる回転手段と、該回転手段で回転される該チャックテーブルの回転数を認識する回転数認識部と、該チャックテーブルが保持する板状ワークの上方から非接触で板状ワークの上面高さを測定する測定手段と、板状ワークに研削砥石を当接させて研削する研削手段と、該研削手段を制御する制御手段と、を備える研削装置であって、
該測定手段は、
板状ワークに該測定光を発射する発光部と、該発光部から発射した該測定光が板状ワークの上面で反射する反射光を受光する受光部と、該受光部が受光した反射光によって板状ワークの上面の高さを算出する算出部と、を備え、
該制御手段は、
該回転手段で回転する板状ワークが1回転する間に、該測定手段が測定する複数の測定ポイントにおける板状ワークの上面の高さを測定した複数の測定値から基準値となる平均値もしくは中央値を算出する基準値算出部と、
該基準値算出部が算出した該基準値を基準として所定の許容範囲を設定する許容範囲設定部と、
該回転手段で回転する板状ワークの該回転数認識部で認識する回転数が予め設定した所定の回転数に達する毎に、該測定手段が測定した該複数の測定値の中から該許容範囲から外れたものを除いて該基準値算出部が算出して該基準値を切換える切換部と、
該切換部で順次切換えられた該基準値が予め設定した仕上げ厚みに対応した上面高さに達した時に研削終了と判断する判断部と、を備える研削装置。 - 該判断部を、該許容範囲に入っている複数の該測定値の中の最大値が予め設定した仕上げ厚みに対応した上面高さに達した時に研削終了と判断させる請求項1記載の研削装置。
- 複数のビア孔を有する板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸に回転させる回転手段と、該回転手段で回転される該チャックテーブルの回転数を認識する回転数認識部と、該チャックテーブルが保持する板状ワークの上方から非接触で板状ワークの厚みを測定する測定手段と、板状ワークに研削砥石を当接させて研削する研削手段と、該研削手段を制御する制御手段と、を備える研削装置であって、
該測定手段は、
板状ワークに該測定光を発射する発光部と、該発光部から発射した該測定光が板状ワークの上面及び下面で反射する反射光を受光する受光部と、該受光部が受光した反射光によって板状ワークの厚みを算出する算出部と、を備え、
該制御手段は、
該回転手段で回転する板状ワークが1回転する間に、該測定手段が測定する複数の測定ポイントにおける板状ワークの厚みを測定した複数の測定値から基準値となる平均値もしくは中央値を算出する基準値算出部と、
該基準値算出部が算出した該基準値を基準として所定の許容範囲を設定する許容範囲設定部と、
該回転手段で回転する板状ワークの該回転数認識部で認識する回転数が予め設定した所定の回転数に達する毎に、該測定手段が測定した該複数の測定値の中から該許容範囲から外れたものを除いて該基準値算出部が算出して該基準値を切換える切換部と、
該許容範囲に入っている複数の該測定値の中の最大値が予め設定した仕上げ厚みに達した時に研削終了と判断する判断部と、を備える研削装置。
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