JP2010120130A - 研磨装置、研磨方法および研磨用制御プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨効率を維持しつつワークを研磨しながら同時に加工状態を検出することができるようにする。
【解決手段】研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨パッド51を保持手段7に対して保持面71に平行な方向に往復移動させるとともに、被研磨面Wbの一部が露出した位置で被研磨面Wbの加工状態を測定手段18により測定させるようにした。
【選択図】 図6
【解決手段】研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨パッド51を保持手段7に対して保持面71に平行な方向に往復移動させるとともに、被研磨面Wbの一部が露出した位置で被研磨面Wbの加工状態を測定手段18により測定させるようにした。
【選択図】 図6
Description
本発明は、半導体ウエーハ等のワークを研磨する研磨装置、研磨方法および研磨用制御プログラムに関するものである。
IC,LSI等のデバイスが複数形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚さに形成され、その後ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。
電子機器の軽量化、小型化を可能にするために、ウエーハの厚みが100μm以下、あるいは50μm以下になるように研削されるが、研削によってウエーハの裏面には研削歪層が残存し、それに起因してデバイスの抗折強度が著しく低下するという問題がある。そこで、このようなウエーハの裏面から研削歪層を除去する研磨装置が提案されている。
このような半導体ウエーハの裏面を平坦化する方法としては、化学的機械的研磨(Chemical Mechanical PolishingまたはChemical Mechanical Planarization、以下では、適宜“CMP”と称す)技術が広く用いられている。
CMP装置でワークを研磨する場合、通常は、研磨パッドの研磨面をワークの表面を全面的に覆うように接触させて研磨するようにしている。この場合、研磨パッドは、ワークに接触する研磨面にスラリーと呼ばれる研磨液をワークに供給するための供給口を有し、スラリーをワーク全体に効率よく行渡らせるために供給口に連通する格子状の溝が研磨面全体に形成されていることがある。
また、ワークの研磨面の一部が露出した状態で研磨を遂行し、ワークの露出部の表面状態を検出する状態検出センサを配設し、ワークを研磨している際に表面状態を検出するようにした提案例もある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前者のように、研磨パッドの研磨面をワークの表面を全面的に覆うように接触させて研磨する研磨方式では、研磨レートが高く研磨効率はよいものの、研磨中のワークが研磨パッドに覆われているために厚みなどのワークの加工状態を研磨しながら同時に検出することができないという不具合がある。
一方、特許文献1に示される後者の研磨方式では、ワークの一部が露出した状態で研磨を遂行するようにしているので、ワークを研磨しながら同時に表面状態を検出することができるものの、露出部分の研磨処理が進まないため、研磨レートが下がって研磨効率が低下してしまうという不具合がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、研磨効率を維持しつつワークを研磨しながら同時に加工状態を検出することができる研磨装置、研磨方法および研磨用制御プログラムを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる研磨装置は、ワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段とを有する研磨装置であって、前記研磨工具は、前記ワークよりも大きな面積に形成されて前記ワークの被研磨面に接触する研磨面と、該研磨面に研磨液を供給する連通路と、該連通路に連通させて前記研磨面に形成された溝とを有し、前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、前記研磨面を前記ワークの前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させるとともに、前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させるように制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨装置は、上記発明において、前記測定手段は、前記平行移動手段によって前記研磨工具と一体に移動して前記被研磨面の一部が露出した位置に位置付けられることを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨装置は、上記発明において、前記平行移動手段は、前記研磨工具を前記保持手段に対して直線的に往復移動させることを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨装置は、上記発明において、前記測定手段は、計測光を前記ワークの前記被研磨面に照射する照射部を含み、該照射部と前記被研磨面との間の空間は液体で満たされていることを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨装置は、被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する回転可能な保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面を研磨する研磨パッドと該研磨パッドを回転自在に支持する支持部とを有し、前記研磨パッドが、前記ワークよりも大きな面積に形成されて前記被研磨面に接触する研磨面と、該研磨面の中心に開口してスラリー供給源に連通するスラリー供給口と、該スラリー供給口に連通させて前記研磨面全体に広がるように形成された格子状の溝とを有する研磨手段と、前記研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記研磨手段を前記保持面に対して平行な方向に直線的に往復移動させる平行移動手段と、前記被研磨面に向けて計測光を照射する照射部と、前記被研磨面で反射した前記計測光を受光する受光部と、前記被研磨面と前記照射部および前記受光部との間の空間に水を供給して該空間を水で満たす水供給部とを有して前記研磨手段と一体に設けられ、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、前記研磨面を前記ワークの前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨パッドを前記被研磨面に対して直線的に往復移動させるとともに、前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させるように制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨方法は、被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨面を有する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、を有する研磨装置を用い、前記保持面に保持された前記ワークに対する研磨開始に際して前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨工具の前記研磨面を前記被研磨面に接触させる接触工程と、研磨液供給源を駆動させて前記研磨面と前記被研磨面との間に研磨液を供給させる研磨液供給工程と、前記研磨面を前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させる研磨工程と、該研磨工程中において前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を測定手段により測定する測定工程と、該測定工程の測定結果による研磨終了後に前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨面を前記被研磨面から離反させる離反工程と、を含み、前記研磨工程と前記測定工程とを複数回繰り返すことを特徴とする。
また、本発明にかかる研磨用制御プログラムは、被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨面を有する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、を有する研磨装置が備えるコンピュータに、前記保持面に保持された前記ワークに対する研磨開始に際して前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨工具の前記研磨面を前記被研磨面に接触させる接触手順と、研磨液供給源を駆動させて前記研磨面と前記被研磨面との間に研磨液を供給する研磨液供給手順と、前記研磨面を前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させる研磨手順と、該研磨手順の実行中において前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させる測定手順と、該測定手順の測定結果による研磨終了後に前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨面を前記被研磨面から離反させる離反手順と、を実行させ、前記研磨手順と前記測定手順とを複数回繰り返し実行させることを特徴とする。
本発明によれば、研磨面をワークの被研磨面に回転接触させた状態で、研磨面が被研磨面の全面を覆う位置と被研磨面の一部が露出する位置との間で研磨工具と保持手段とを相対的に移動させるとともに、被研磨面の一部が露出した位置で被研磨面の加工状態を測定手段により測定させるようにしたので、研磨面が被研磨面の全面を覆う位置で研磨加工を行わせることで、研磨レートが高いため研磨効率を維持することができ、また、研磨中であっても加工状態の測定を要する場合には被研磨面の一部が露出する位置に移動させて研磨加工を継続させることで、ワークを研磨しながら同時に加工状態を検出することができるという効果を奏する。
以下、本発明を実施するための最良の形態である研磨装置、研磨方法および研磨用制御プログラムについて図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態にかかる研磨装置を含む加工装置の構成例を示す斜視図であり、図2は、研磨手段周りの構成を拡大して示す斜視図であり、図3は、研磨手段周りの構成を示す概略側面図であり、図4は、研磨パッドの研磨面の構成を示す平面図である。
本実施の形態の研磨装置を含む加工装置1は、半導体ウエーハ等の円盤状のワークWの裏面を薄型化のために研削加工するとともに、研削加工されたワークWの研削面である被研磨面を高精度に平坦化するために研磨加工するものである。本実施の形態の加工装置1は、例えば、ハウジング2と、第1の研削手段3と、第2の研削手段4と、研磨手段5と、ターンテーブル6上に設置された例えば4つの保持手段7と、カセット8,9と、位置合わせ手段10と、搬入手段11と、搬出手段12と、洗浄手段13と、搬出入手段14と、制御手段15とを備えている。
第1の研削手段3は、保持手段7に保持されたワークWの裏面を粗研削加工するためのものである。同様に、第2の研削手段4は、保持手段7に保持された粗研削済みのワークWの裏面を仕上げ研削加工するためのものである。
ターンテーブル6は、ハウジング2の上面に設けられた円盤状のテーブルであり、水平面内で回転可能に設けられ、適宜タイミングで回転駆動される。このターンテーブル6上には、例えば4つの保持手段7が、例えば90度の位相角で等間隔に配設されている。これら保持手段7は、上面に真空チャックを備えたチャックテーブル構造のものであり、保持面71に載置されたワークWを真空吸着して保持する。これら保持手段7は、研削加工時及び研磨加工時には、回転駆動機構によって水平面内で回転駆動される。このような保持手段7は、ターンテーブル6の回転によって、搬入搬出位置A、粗研削位置B、仕上げ研削位置C、研磨位置D、搬入搬出位置Aに順次移動される。
なお、ワークWは、特に限定はされないが、例えばシリコンウエーハやGaAs等の半導体ウエーハや、セラミック、ガラス、サファイア(Al2O3)系の無機材料基板や、板状金属や樹脂の延性材料、さらには、ミクロンオーダからサブミクロンオーダの平坦度(TTV:Total Thickness Variation:ウエーハ被研削面を基準面として厚み方向に測定した高さのウエーハ全面における最大値と最小値の差)が要求される各種加工材料が挙げられる。
カセット8,9は、複数のスロットを有するワークW用の収容器である。一方のカセット8は、研削加工前のワークWを収容し、他方のカセット9は、研磨加工後のワークWを収容する。また、位置合わせ手段10は、カセット8から取り出されたワークWが仮置きされて、その中心位置合わせを行うためのテーブルである。
また、搬入手段11は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬送アームからなり、位置合わせ手段10で位置合わせされた研削加工前のワークWを吸着保持して搬入搬出位置Aに位置する保持手段7上に搬入する。搬出手段12は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬送アームからなり、搬入搬出位置Aに位置する保持手段7上に保持された研磨加工後のワークWを吸着保持して洗浄手段13に搬出する。
また、搬出入手段14は、例えばU字型ハンド14aを備えるロボットピックであり、U字型ハンド14aによってワークWを吸着保持して搬送する。具体的には、搬出入手段14は、研削加工前のワークWをカセット8から位置合わせ手段10へ搬出するとともに、研磨加工後のワークWを洗浄手段13からカセット9へ搬入する。洗浄手段13は、研磨加工後のワークWを洗浄し、研削及び研磨された加工面に付着している研削屑や研磨屑等のコンタミネーションを除去する。
また、研磨手段5は、研磨位置Dの保持手段7の保持面71に保持されたワークWの被研磨面Wbを研磨するためのものであり、研磨パッド51と、支持部52と、ハウジング53と、駆動モータ54とを備える。研磨パッド51は、研磨工具として設けられたもので、研磨位置Dにて保持面71に対向するように配設されている。また、支持部52は、研磨パッド51を回転自在に支持するものであり、ハウジング53は、この支持部52を覆う円筒状部材である。駆動モータ54は、研磨パッド51を高速回転させるための駆動源である。
ここで、研磨パッド51は、円盤状に形成されたものであり、研磨位置Dの保持手段7の保持面71上に保持されたワークWの被研磨面Wbに接触してこの被研磨面Wbを研磨する下面は、研磨面51aとされている。この研磨面51aは、研磨対象となるワークWよりも大きな円形形状に形成されている。また、研磨パッド51は、CMP方式のものであり、研磨面51aの中心に開口して研磨液であるスラリーを供給する研磨液供給源としてのスラリー供給源55(図3参照)に連通する連通路としてのスラリー供給口51bを備える。さらに、研磨パッド51の研磨面51aには溝51cが形成されている。この溝51cは、図4に示すように、中央のスラリー供給口51bに連通させて研磨面51a全体に広がるように格子状に形成されている。
また、本実施の形態の加工装置1は、研磨手段5に対して垂直移動手段16と平行移動手段17と測定手段18とを備える。まず、垂直移動手段16は、研磨パッド51等を有する研磨手段5を保持面71に対して垂直な方向(Z方向)に移動させることで、研磨パッド51の研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに押圧接触させたり、研磨パッド51の研磨面51aをワークWの被研磨面Wbから離反させるためのものである。この垂直移動手段16は、垂直に設けられた基台161と、この基台161に支持されて垂直方向に配設されたボールねじ162と、ボールねじ162の上端に連結されたパルスモータ163と、基台161上にボールねじ162と平行に配設された垂直方向のガイドレール部材164と、図示しない内部のナットがボールねじ162と螺合するとともにガイドレール部材164に対する摺動部を有して垂直方向に移動自在で研磨手段5を支持する昇降ブロック165とからなる。これにより、パルスモータ163が駆動されてボールねじ162が正逆両方向に回転することにより、昇降ブロック165がガイドレール部材164にガイドされて昇降し、研磨手段5および測定手段18も昇降する構成となっている。
平行移動手段17は、研磨パッド51等を有する研磨手段5を研磨位置Dの保持手段7の保持面71に対して平行な方向(X方向)に直線的に往復移動させるためのものである。具体的には、研磨パッド51の研磨面51aがワークWの被研磨面Wbの全面を覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨手段5(研磨パッド51)を被研磨面Wbに対して平行な方向(X方向)に直線的に往復移動させるために用いられる。この平行移動手段17は、ハウジング2の一部に垂直に設けられた支持ブロック171と、この支持ブロック171に支持されて水平方向(X方向)に配設されたボールねじ172と、ボールねじ172の一端に連結されたパルスモータ173と、支持ブロック171上にボールねじ172と平行に配設された水平方向のガイドレール174と、基台161に形成されてボールねじ172が螺合する図示しない内部のナットと、基台161に形成されてガイドレール174に沿って移動する摺動部161aとからなる。これにより、パルスモータ173が駆動されてボールねじ172が正逆両方向に回転することにより、基台161がガイドレール174にガイドされて水平方向に移動し、研磨手段5、垂直移動手段16および測定手段18も、水平方向に往復移動する構成となっている。
また、測定手段18は、研磨位置Dの保持手段7の保持面71に保持されたワークWの被研磨面Wbの加工状態として、例えば被研磨面Wbの研磨量を測定するためのものであり、研磨手段5と一体に設けられている。より具体的には、この測定手段18は、図1等に示すように、平行移動手段17による研磨手段5の移動方向であるX方向の一側に位置させて、保持面71側に対向可能となるように研磨手段5と一体に設けられている。図5は、測定手段18の構成を示す縦断側面図である。測定手段18は、まず、計測光の処理を行なう第1室181と、計測光の反射位置を覆うとともに下部が開口し水182が満たされる第2室183と、第1室181と第2室183とを仕切る仕切り壁184とを備える。仕切り壁184は、計測光を通す部分に位置させて透明な発光側レンズ184aと受光側レンズ184bとを備えている。
また、測定手段18は、第1室181内に位置させて、照射部185と受光部186とを備えている。照射部185は、照射点185aから被研磨面Wbに向けてレーザ光等の計測光187aを照射するための光源部である。受光部186は、照射部185から照射されて被研磨面Wbで反射した計測光187bを受光面186aで受光してその受光点の位置を認識するとともに認識された受光点の位置から計測光187aのワークWにおける反射点の厚さ方向(Z方向)の位置を算出させるためのスケール素子である。この受光部186は、例えばリニアスケール、ラインセンサ等からなる。なお、受光面186aは、照射点185aとほぼ同一高さ位置となるように配置されている。
ここで、照射部185から照射される計測光187aの光軸は、ワークWの被研磨面Wbに対して垂直な方向から若干傾斜し、既知の入射角αをなすように設定されている。したがって、被研磨面Wbで反射される計測光187bも逆方向に反射角αだけ傾斜して受光部186の受光面186aに到達するように設定されている。なお、計測光187a,187bのなす角度2αは、三角関数の近似式を適用可能な程度に小さい角度となるように設定されている。ワークWに対する計測光187aの照射およびその反射された計測光187bの受光は、いずれもレンズ184a,184bを介して行われる。
さらに、測定手段18の第2室183は、側壁183aによって覆われ下部側が開口した筒状に形成されることで、被研磨面Wbに近接対向する位置に位置付けられた場合に、被研磨面Wbと照射部185および受光部186との間に略閉塞された空間を形成するように構成されている。このような第2室183が形成する空間には、水源188から水182を供給して水182で満たすための水供給部183bが形成されている。
ここで、本実施の形態の測定手段18による被研磨面Wbの研磨量の測定方法について図5を参照して説明する。図5は、実線で示す研磨加工前のワークWの被研磨面Wbが、一点鎖線で示す被研磨面Wb´の位置まで研磨された場合を誇張して示している。この場合、研磨加工前に照射部185の照射点185aから計測光187aを入射角αでワークWに向けて照射し、研磨加工前のワークWの被研磨面Wbの反射点位置から反射角αで反射された計測光187bを受光部186の受光面186aにおいて受光する。そして、そのときの受光部186の受光点での読み取り値(照射部185の照射点185aの位置を基準とする;以下同様)L1に基づく演算処理により、ワークWの被研磨面Wbの反射点の厚さ方向(Z方向)の位置情報(照射部185の照射点185aの位置を基準とする;以下同様)を第1の表面位置情報Z1として取得する。
一方、被研磨面Wb´については、計測時に照射部185から計測光187aを入射角αでワークWに向けて照射し、研磨されたワークWの被研磨面Wb´の反射点位置から反射角αで反射された計測光187cを受光部186の受光面186aにおいて受光する。そして、そのときの受光部186の受光点での読み取り値L2に基づく演算処理により、ワークWの被研磨面Wb´の反射点の厚さ方向の位置情報を第2の表面位置情報Z2として取得する。
よって、ワークWの研磨量hは、
h=Z1−Z2
により算出することができる(なお、図5では、上述のように研磨量hを誇張して示している)。これにより、研磨量hを、ワークWに対して非接触で測定することができる。この際、被研磨面Wb上には水182が供給されて満たされており、レーザ光を用いた計測光187は、水中を直進するため、測定を正確に行うことができる。
h=Z1−Z2
により算出することができる(なお、図5では、上述のように研磨量hを誇張して示している)。これにより、研磨量hを、ワークWに対して非接触で測定することができる。この際、被研磨面Wb上には水182が供給されて満たされており、レーザ光を用いた計測光187は、水中を直進するため、測定を正確に行うことができる。
なお、計測光187aの反射点の厚さ方向の位置情報をZiとし、反射点で反射された各計測光187b,187cの受光部186における受光点での読み取り値をLiとすると、上述の照射点と反射点と受光点とを結ぶ三角形を用いた三角関数の近似式により、
(Zi/cosα)=(Li/sin2α)
なる関係が成立する。よって、Ziは、
Zi=Li/2sinα
によって求めることができる。したがって、既知の角度αを用いることにより、Li=L1の場合にはZ1=L1/2sinα,Li=L2の場合にはZ2=L2/2sinαとして求められる。
(Zi/cosα)=(Li/sin2α)
なる関係が成立する。よって、Ziは、
Zi=Li/2sinα
によって求めることができる。したがって、既知の角度αを用いることにより、Li=L1の場合にはZ1=L1/2sinα,Li=L2の場合にはZ2=L2/2sinαとして求められる。
また、制御手段15は、コンピュータによって構成されて加工装置1の各部を制御するものである。この制御手段15は、特に図示しないが、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置(CPU)や、研削制御用プログラムや研磨制御用プログラム等を格納するROMや、各種データや演算結果等を格納する読み書き可能なRAMなどを備えている。本実施の形態の制御手段15中のCPUは、研磨制御用プログラムに従い実行される接触手順、研磨液供給手順、研磨手順、測定手順、離反手順等の機能を備えている。
以下、本実施の形態の加工装置1において、研磨制御用プログラムに従い制御手段15の制御の下に実行されるワークWに対する研磨処理について図6および図7を参照して説明する。図6は、研磨加工中の研磨手段5周りの構成を示す概略側面図であり、図7は、研磨制御用プログラムに従う研磨動作の制御例を示す概略フローチャートである。
研磨処理の開始が指示されると、制御手段15は、仕上げ研削位置Cに位置して仕上げ研削済みのワークWを被研磨面Wbが上向きで露出する状態で真空吸着している保持手段7をターンテーブル6の回転により研磨位置Dに移動させることで、研磨パッド51の直下に位置付ける(ステップS1)。
ついで、制御手段15は、駆動モータ54を駆動させて研磨パッド51を所定の速度で高速回転させるとともに、垂直移動手段16のパルスモータ163を駆動させて研磨手段5全体を下降させることで、研磨パッド51の研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに接触させる(ステップS2;接触工程、接触手順)。この際、図6(b)に示すように、研磨パッド51を、被研磨面Wbの一部が露出する位置でこの被研磨面Wbに接触させる。制御手段15は、この処理に並行して、スラリー供給源55を駆動させることで、スラリー供給口51b、格子状の溝51cを介して、研磨面51aと被研磨面Wbとの間にスラリーを供給する(ステップS3;研磨液供給工程、研磨液供給手順)。
また、制御手段15は、このような研磨加工開始の状態で、図6(b)に示すように、被研磨面Wbの露出した位置に位置付けられている測定手段18を動作させて、照射部185から計測光187aを照射させ、被研磨面Wbから反射される計測光187bを受光部186に受光させる。この動作により、研磨加工前の初期の加工状態の検知として、ワークWの被研磨面Wbの位置を第1の表面位置情報Z1として測定する(ステップS4;測定工程、測定手順)。
初期の加工状態の検知後、制御手段15は、研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、平行移動手段17のパルスモータ173を駆動させて、図6(b)に示す被研磨面Wbの一部が露出する位置から、図6(a)に示す研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置まで、研磨パッド51を被研磨面Wbに対して直線的に移動させながら研磨加工を行わせる(ステップS5;研磨工程、研磨手順)。さらに、制御手段15は、研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、平行移動手段17のパルスモータ173を正逆転駆動させて、ワークWよりも大きな面積で形成された研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う範囲内で、研磨パッド51を被研磨面Wbに対して直線往復移動させながら研磨加工を継続させる(ステップS6;研磨工程、研磨手順)。このステップS7の往復移動処理は、加工状態検知タイミングとなる予め設定された所定回数に達するまで(ステップS7;No)、繰り返して実行される。
そして、制御手段15は、加工状態検知タイミングに達すると(ステップS7;Yes)、研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、平行移動手段17のパルスモータ173を駆動させて、図6(a)に示す研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置から、図6(b)に示す被研磨面Wbの一部が露出する位置まで、研磨パッド51を被研磨面Wbに対して直線的に移動させながら研磨加工を継続させる(ステップS8;研磨工程、研磨手順)。
また、制御手段15は、このような加工状態検知タイミングで、図6(b)に示すように、被研磨面Wbの露出した位置に位置付けられた測定手段18を動作させて、照射部185から計測光187aを照射させ、被研磨面Wbから反射される計測光187bを受光部186に受光させる。この動作により、研磨加工状態の検知として、ワークWの被研磨面Wb´の位置を第2の表面位置情報Z2として測定する(ステップS9;測定工程、測定手順)。
そして、制御手段15は、測定された第1,第2の表面位置情報Z1,Z2に基づき研磨量h=Z1−Z2を算出し、予めRAM等に格納されている目標とする研磨量に一致するか否かにより、所望の加工状態に達したか否かを判定する(ステップS10)。所望の加工状態に達していなければ(ステップS10;No)、ステップS5以降の処理を繰り返す。
所望の加工状態に達した場合には(ステップS10;Yes)、制御手段15は、垂直移動手段16のパルスモータ163を駆動させて研磨手段5全体を上昇させることで、研磨パッド51の研磨面51aをワークWの被研磨面Wbから離反させる(ステップS11;離反工程、離反手順)。この際、制御手段15は、駆動モータ54を停止させて研磨パッド51の回転を停止させるとともに、スラリー供給源55を停止させてスラリーの供給も停止させる。そして、制御手段15は、ターンテーブル6の回転に伴い研磨加工済みのワークWを保持した保持手段7を研磨位置Dから搬入搬出位置Aまで移動させ、真空吸着を解除して研磨加工済みのワークWを搬出手段12により保持面71から外し、洗浄手段13により洗浄を経て、搬出入手段14によりカセット9内に排出させる(ステップS12)。この後、仕上げ研削位置Cの保持手段7に次の仕上げ研削済みのワークWがあるか
否かを判定し(ステップS13)、あれば(ステップS13;Yes)、ステップS1以降の処理を繰り返し、なければ(ステップS13;No)、一連の研磨処理を終了する。
否かを判定し(ステップS13)、あれば(ステップS13;Yes)、ステップS1以降の処理を繰り返し、なければ(ステップS13;No)、一連の研磨処理を終了する。
このように本実施の形態によれば、研磨面51aをワークWの被研磨面Wbに回転接触させた状態で、研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨パッド51を保持手段7に対して保持面71に平行な方向に直線的に往復移動させるとともに、被研磨面Wbの一部が露出した位置で被研磨面Wbの加工状態、例えば研磨量を測定手段18により測定させるようにしたものである。よって、研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置で研磨加工を行わせることで、研磨レートが高いため研磨効率を維持することができ、また、研磨中であっても加工状態の測定を要する場合には被研磨面Wbの一部が露出する位置に移動させて研磨加工を継続させることで、ワークWを研磨しながら同時に加工状態を検出することができる。
また、スラリー供給を伴う研磨加工中には、研磨パッド51を保持面71に平行な方向に直線往復移動させるので、スラリーをワークWの被研磨面Wbの全面に十分かつ効率よく供給させることができ、CMP方式の研磨加工を良好に行わせることができる。
また、平行移動手段17を駆動させることで、研磨面51aが被研磨面Wbの全面を覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨パッド51を保持手段7に対して保持面71に平行な方向に直線的に往復移動させて研磨加工を行わせるので、研磨パッド51が研磨面51a全体に格子状の溝51cを有していても、研磨パッド51とワークWとの接触位置がランダムとなり、研磨パッド51の研磨面51aの形状(溝51cの型)がワークWの被研磨面Wb側に転写するようなことはなく、均一性のよい研磨結果を得ることができる。また、研磨パッド51の研磨面51a自体に不均一さがあったとしても、回転接触させた状態で直線的に往復移動させる研磨加工により、研磨面51aの不均一さに由来する研磨の不均一さの影響を分散させることができる。特に、本実施の形態では、被研磨面Wbの一部を露出させるのは加工状態の検知タイミングだけの最小限とし、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う位置での研磨加工状態を長くし、かつ、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う範囲内でも直線的に往復移動させて研磨加工を行わせるので、研磨効率をより一層向上させ得るとともに、溝51cの型の転写や研磨の不均一さのない良好なる研磨を行わせることができる。
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う位置でも被研磨面Wbを全面的に覆う範囲内で研磨パッド51を直線的に往復移動させて研磨加工を行わせるようにしたが、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う位置では研磨パッド51を位置固定させて研磨加工を行わせるようにしてもよい。この場合の加工状態検知タイミングは、例えば予め設定された時間により管理するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う位置での研磨加工状態を長く設定したが、毎回、研磨面51aが被研磨面Wbを全面的に覆う位置と被研磨面Wbの一部が露出する位置との間で研磨パッド51を直線的に往復移動させて研磨加工を行わせるとともに、毎回、測定手段18で被研磨面Wbの加工状態を測定させるようにしてもよい。
また、本実施の形態では、被研磨面Wbの加工状態として研磨量hの測定を行わせるようにしたが、ワークWの厚み測定であってもよい。この場合、ワークWを載置させる前の保持面71の表面位置情報と研磨加工される被研磨面Wbの表面位置情報とを測定手段18によって測定し、両者の差を求めるようにすればよい。さらには、ワークWの研磨量や厚みに限らず、例えば被研磨面Wbにおけるスクラッチの有無を対象として加工状態を測定させるようにしてもよい。
また、本実施の形態では、非接触の測定手段18として光学式のものを用いるようにしたが、このような方式に限らず、例えば送波部から超音波を被研磨面Wbに向けて送波し被研磨面Wbで反射された超音波の反射波を受波部で受波することで、ワークWの研磨量や厚みを測定するものであってもよい。
さらに、本実施の形態では、研磨装置として、ワークWに対して研削処理を施す研削手段3,4を研磨手段5の上流側に配置させた加工装置への適用例で説明したが、研磨手段のみを備える研磨単独の研磨装置であっても同様に適用可能である。
1 加工装置
5 研磨手段
7 保持手段
15 制御手段
16 垂直移動手段
17 平行移動手段
18 測定手段
51 研磨パッド
51a 研磨面
51b スラリー供給口
51c 溝
52 支持部
55 スラリー供給源
71 保持面
182 水
183b 水供給部
185 照射部
186 受光部
187a〜187c 計測光
W ワーク
Wb,Wb´ 被研磨面
5 研磨手段
7 保持手段
15 制御手段
16 垂直移動手段
17 平行移動手段
18 測定手段
51 研磨パッド
51a 研磨面
51b スラリー供給口
51c 溝
52 支持部
55 スラリー供給源
71 保持面
182 水
183b 水供給部
185 照射部
186 受光部
187a〜187c 計測光
W ワーク
Wb,Wb´ 被研磨面
Claims (7)
- ワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段とを有する研磨装置であって、
前記研磨工具は、前記ワークよりも大きな面積に形成されて前記ワークの被研磨面に接触する研磨面と、該研磨面に研磨液を供給する連通路と、該連通路に連通させて前記研磨面に形成された溝とを有し、
前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、
前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、
前記研磨面を前記ワークの前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させるとともに、前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させるように制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする研磨装置。 - 前記測定手段は、前記平行移動手段によって前記研磨工具と一体に移動して前記被研磨面の一部が露出した位置に位置付けられることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記平行移動手段は、前記研磨工具を前記保持手段に対して直線的に往復移動させることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨装置。
- 前記測定手段は、計測光を前記ワークの前記被研磨面に照射する照射部を含み、該照射部と前記被研磨面との間の空間は液体で満たされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の研磨装置。
- 被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する回転可能な保持手段と、
前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面を研磨する研磨パッドと該研磨パッドを回転自在に支持する支持部とを有し、前記研磨パッドが、前記ワークよりも大きな面積に形成されて前記被研磨面に接触する研磨面と、該研磨面の中心に開口してスラリー供給源に連通するスラリー供給口と、該スラリー供給口に連通させて前記研磨面全体に広がるように形成された格子状の溝とを有する研磨手段と、
前記研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、
前記研磨手段を前記保持面に対して平行な方向に直線的に往復移動させる平行移動手段と、
前記被研磨面に向けて計測光を照射する照射部と、前記被研磨面で反射した前記計測光を受光する受光部と、前記被研磨面と前記照射部および前記受光部との間の空間に水を供給して該空間を水で満たす水供給部とを有して前記研磨手段と一体に設けられ、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、
前記研磨面を前記ワークの前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨パッドを前記被研磨面に対して直線的に往復移動させるとともに、前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させるように制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする研磨装置。 - 被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨面を有する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、を有する研磨装置を用い、
前記保持面に保持された前記ワークに対する研磨開始に際して前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨工具の前記研磨面を前記被研磨面に接触させる接触工程と、
研磨液供給源を駆動させて前記研磨面と前記被研磨面との間に研磨液を供給させる研磨液供給工程と、
前記研磨面を前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させる研磨工程と、
該研磨工程中において前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を測定手段により測定する測定工程と、
該測定工程の測定結果による研磨終了後に前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨面を前記被研磨面から離反させる離反工程と、
を含み、
前記研磨工程と前記測定工程とを複数回繰り返すことを特徴とする研磨方法。 - 被研磨面を露出させてワークを保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持された前記ワークを研磨する研磨面を有する研磨工具を回転自在に保持する研磨手段と、該研磨手段を前記保持面に対して垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、前記研磨工具と前記保持手段とを前記保持面に平行な方向に相対的に移動させる平行移動手段と、前記保持面に保持された前記ワークの前記被研磨面の加工状態を測定する測定手段と、を有する研磨装置が備えるコンピュータに、
前記保持面に保持された前記ワークに対する研磨開始に際して前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨工具の前記研磨面を前記被研磨面に接触させる接触手順と、
研磨液供給源を駆動させて前記研磨面と前記被研磨面との間に研磨液を供給する研磨液供給手順と、
前記研磨面を前記被研磨面に回転接触させた状態で、前記平行移動手段を駆動させて前記研磨面が前記被研磨面の全面を覆う位置と前記被研磨面の一部が露出する位置との間で前記研磨工具と前記保持手段とを相対的に移動させる研磨手順と、
該研磨手順の実行中において前記被研磨面の一部が露出した位置で前記被研磨面の加工状態を前記測定手段により測定させる測定手順と、
該測定手順の測定結果による研磨終了後に前記垂直移動手段を駆動させて前記研磨面を前記被研磨面から離反させる離反手順と、
を実行させ、
前記研磨手順と前記測定手順とを複数回繰り返し実行させることを特徴とする研磨用制御プログラム。
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JP2008297129A JP2010120130A (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 研磨装置、研磨方法および研磨用制御プログラム |
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