JP2018062030A - 加工装置及び被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a 開口
6 搬送機構
8a,8b カセット
10a,10b カセットテーブル
12 位置調整機構
14 搬入機構
16 ターンテーブル(移動ユニット)
18 チャックテーブル
18a 保持面
20 支持構造
22 Z軸移動機構(加工送りユニット)
24 Z軸ガイドレール
26 Z軸移動プレート
28 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
32 固定具
34 研削ユニット(加工ユニット)
36 スピンドルハウジング
38 スピンドル
40 マウント
42 研削ホイール
44 ホイール基台
46 研削砥石
48 ドレッシングユニット
50 検査ユニット
52 搬出機構
54 洗浄機構
56 制御ユニット
62 支持構造
64 Z軸移動機構(進退ユニット)
66 Z軸ガイドレール
68 シリンダ
68a ナット部
70 Z軸ボールネジ
72 Z軸パルスモータ
74 ピストンロッド
76 圧力調整機構
78 流体供給源
80 支持プレート
82 回転駆動源
82a 回転軸
84 保持プレート
86 ドレスボード(ドレッシング部材)
92 ハウジング
92a 隔壁
92b 液体充填室
94 レーザーダイオード(LD)
96 対物レンズ
98 ビームスプリッタ(ハーフミラー)
100 集光レンズ
102 遮光部材
102a スリット
104 受光素子
106 判定部
108 集光レンズ
110 カメラ
112 モニタ
114 液体供給路
114a 一端
116 液体供給バルブ
118 液体供給源
120 圧力計
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
21 保護部材
21a 表面
21b 裏面
Claims (4)
- 板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を研削砥石又は研磨パッドで加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルと該加工ユニットとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
該チャックテーブルと該加工ユニットとを該保持面と直交する方向に相対的に移動させる加工送りユニットと、
該加工ユニットで加工中の被加工物の加工痕を検査する検査ユニットと、
該加工ユニットの該研削砥石又は該研磨パッドをドレッシングするドレッシングユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、該検査ユニットで被加工物の被加工面に閾値を超える大きさの加工痕が検出された場合に、被加工物の加工を停止させ、該研削砥石又は該研磨パッドを該ドレッシングユニットでドレッシングしてから、被加工物の加工を再開させることを特徴とする加工装置。 - 該チャックテーブルは、被加工物を着脱する着脱位置と、被加工物を該加工ユニットで加工する加工位置との間で移動可能であり、
該ドレッシングユニットは、該チャックテーブルが該加工位置に位置付けられた状態で該研削砥石又は該研磨パッドをドレッシングすることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 該ドレッシングユニットは、該研削砥石又は該研磨パッドに接触するドレッシング部材と、該研削砥石又は該研磨パッドに対してドレッシング部材を進退させる進退ユニットと、を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の加工装置を用いる被加工物の加工方法であって、
被加工物の表面側に保護部材を貼着する保護部材貼着ステップと、
該保護部材を介して該チャックテーブルに保持された被加工物の裏面側を該研削砥石又は該研磨パッドで加工しつつ、被加工物の該裏面に発生する加工痕を該検査ユニットで検出する加工ステップと、を備え、
該加工ステップでは、該閾値を超える大きさの加工痕を検出した場合に、被加工物の加工を停止し、該研削砥石又は該研磨パッドを該ドレッシングユニットでドレッシングしてから、被加工物の加工を再開することを特徴とする被加工物の加工方法。
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