JP2004142086A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004142086A JP2004142086A JP2002312781A JP2002312781A JP2004142086A JP 2004142086 A JP2004142086 A JP 2004142086A JP 2002312781 A JP2002312781 A JP 2002312781A JP 2002312781 A JP2002312781 A JP 2002312781A JP 2004142086 A JP2004142086 A JP 2004142086A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- chuck table
- disposed
- area
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 132
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 34
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 20
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】被加工物を保持し切削領域および切削領域に隣接するアライメント領域に移動可能に構成されたチャックテーブル33と、切削領域に配設されチャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削する切削手段54と、アライメント領域に配設されチャックテーブルに保持された被加工物の切削すべき領域を検出する撮像手段6と、チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル移動手段とを具備する切削装置であって、切削領域とアライメント領域との間に配設され下端がチャックテーブルの上面より僅かに上方に位置付けられた隔壁81と、チャックテーブルの移動方向にチャックテーブルとともに移動可能に構成され上面がチャックテーブルの上面と略同一面となるように配設されたカバー部材82とを有する切削水遮蔽手段8を備えている。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハ等の薄板状の被加工物を切削するための切削装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリート(切断ライン)によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路を形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによって回路が形成された領域を分離して個々の半導体チップを製造している。半導体ウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、被加工物を保持し切削領域および該切削領域に隣接するアライメント領域に移動可能に構成されたチャックテーブルと、該切削領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削する切削手段と、該アライメント領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物の切削すべき領域を検出する撮像手段と、該チャックテーブルを該アライメント領域から該切削領域まで移動するとともに切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル移動手段とを具備している。このような切削装置においては、被加工物の切削加工精度を維持するため熱変動による切削手段等の構成部材の熱伸縮が生じないようにアライメント作業時においても切削水を供給している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上述した切削装置においては、切削領域とアライメント領域とは隣接して設けられているため、撮像手段を構成する対物レンズに切削水が付着する。
この対物レンズに切削水が付着するとアライメント作業に誤動作が生じる。このため、オペレータはアライメント作業を実施する都度、対物レンズを清掃する作業を行う必要があり、生産性が低下する原因の一つとなっている。
【0004】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、撮像手段を構成する対物レンズに切削水が付着するのを防止することができる切削装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持し切削領域および該切削領域に隣接するアライメント領域に移動可能に構成されたチャックテーブルと、該切削領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削する切削手段と、該アライメント領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物の切削すべき領域を検出する撮像手段と、該チャックテーブルを該アライメント領域から該切削領域まで移動するとともに切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル移動手段と、を具備する切削装置において、
該切削領域と該アライメント領域との間に配設され下端が該チャックテーブルの上面より僅かに上方に位置付けられた隔壁と、該チャックテーブルの移動方向に該チャックテーブルとともに移動可能に構成され上面が該チャックテーブルの上面と略同一面となるように配設されたカバー部材とを有する切削水遮蔽手段を備えている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
【0006】
上記隔壁は隔壁板と該隔壁板に装着され下端が隔壁板の下端より下方に突出せしめられている可撓性を有するシート板とからなっていることが望ましく、シール板は隔壁板の両側面にそれぞれ装着されていることが望ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された切削装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1には、本発明によって構成された切削装置の斜視図が示されている。
図1に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジング1を具備している。
この装置ハウジング1内には、図2に示す静止基台2と、該静止基台2に切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に割り出し送り方向である矢印Yで示す方向(切削送り方向である矢印Xで示す方向に垂直な方向)に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4に切り込み送り方向である矢印Zで示す方向に移動可能に配設された切削手段としてのスピンドルユニット5が配設されている。
【0008】
上記チャックテーブル機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す方向に沿って平行に配設された2本の案内レール31、32と、該案内レール31、32上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設された被加工物保持手段としてのチャックテーブル33と、該チャックテーブル33を支持するチャックテーブル支持機構34を具備している。このチャックテーブル支持機構34は、案内レール31、32上に移動可能に配設されたチャックテーブル支持台341と、該チャックテーブル支持台341上に配設された円筒部材342と、該円筒部材342の上端に装着されチャックテーブル33の上面から所定高さ下方に配設された防水カバー343を具備している。図3も参照して説明すると、チャックテーブル支持台341上に配設された円筒部材342には回転軸35が回転自在に配設されており、この回転軸35の上端にチャックテーブル33が装着される。回転軸35は、円筒部材342内に配設された図示しないサーボモータによって回転駆動せしめられるようになっている。なお、チャックテーブル33は図示しない吸引手段に接続されており、その上面に載置された被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを吸引保持するように構成されている。上記防水カバー343は矩形状に形成され中央部に上記回転軸35が挿通する穴343aを備えており、円筒部材342の上端に設けられた取付けフランジ342aの上面に装着されている。この防水カバー343の切削送り方向X(図2参照)の両端面にはチャックテーブル支持機構34の移動に対応して伸縮せしめられる蛇腹手段36、36が装着されている(図1も参照)。
【0009】
図2に戻って説明を続けると、図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、チャックテーブル33を支持するチャックテーブル支持機構34を2本の案内レール31、32に沿って矢印Xで示す切削送り方向に移動させるための駆動手段37を具備している。駆動手段37は、上記2本の案内レール31と32の間に平行に配設された雄ネジロッド371と、該雄ネジロッド371を回転駆動するためのサーボモータ372等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド371は、その一端が上記静止基台2に固定された軸受ブロック373に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ372の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド371は、チャックテーブル支持機構34を構成するチャックテーブル支持台341の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、サーボモータ372によって雄ネジロッド371を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル支持機構34は案内レール31、32に沿って矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられる。従って、2本の案内レール31、32および駆動手段37は、チャックテーブル切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル移動手段として機能する。このチャックテーブル移動手段は、チャックテーブル33を図1に示す待機位置からアライメント領域Aおよび切削領域Bとの間を移動可能に構成されている。なお、アライメント領域Aと切削領域Bとは、切削送り方向Xに隣接して設けられている。
【0010】
上記スピンドル支持機構4は、静止基台2上に矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された2本の案内レール41、42と、該案内レール41、42上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台43を具備している。この可動支持基台43は、案内レール41、42上に移動可能に配設された移動支持部431と、該移動支持部431に取り付けられた装着部432とからなっている。装着部432は、一側面に矢印Zで示す方向に延びる2本の案内レール432a、432aが平行に設けられている。図示の実施形態におけるスピンドル支持機構4は、可動支持基台43を2本の案内レール41、42に沿って矢印Yで示す方向に移動させるための駆動手段44を具備している。駆動手段44は、上記2本の案内レール41、42の間に平行に配設された雄ネジロッド441と、該雄ねじロッド441を回転駆動するためのパルスモータ442等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド441は、その一端が上記静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ442の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。
なお、雄ネジロッド441は、可動支持基台43を構成する移動支持部431の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ442によって雄ネジロッド441を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台43は案内レール41、42に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【0011】
図示の実施形態のおけるスピンドルユニット5は、ユニットホルダ51と、該ユニットホルダ51に取り付けられたスピンドルハウジング52と、該スピンドルハウジング52に回転可能に支持された回転スピンドル53を具備している。
ユニットホルダ51は、上記装着部432に設けられた2本の案内レール432a、432aに摺動可能に嵌合する2本の被案内レール51a、51aが設けられており、この被案内レール51a、51aを上記案内レール432a、432aに嵌合することにより、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動可能に支持される。上記回転スピンドル53はスピンドルハウジング52の先端から突出して配設されており、この回転スピンドル53の先端部に切削ブレード54が装着されている。この切削ブレード54は、図1に示すように切削領域Bに配置される。
切削ブレード54を装着した回転スピンドル53は、サーボモータ55等の駆動源によって回転駆動せしめられる。なお、切削ブレード54の両側には、切削時に被加工物に切削水を供給する切削水供給ノズル57が配設されている(図2においては一方だけが示されている)。
【0012】
図示の実施形態におけるスピンドルユニット5は、ホルダ51を2本の案内レール432a、432aに沿って矢印Zで示す方向に移動させるための駆動手段56を具備している。駆動手段56は、上記駆動手段34および44と同様に案内レール432a、432aの間に配設された雄ネジロッド(図示せず)と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ562等の駆動源を含んでおり、パルスモータ562によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ51とスピンドルハウジング52および回転スピンドル53を案内レール432a、432aに沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動せしめる。
【0013】
上記スピンドルユニット5を構成するスピンドルハウジング52の前端部には、撮像手段6が配設されている。この撮像手段6は、半導体ウエーハに形成されたストリート等を撮像するための顕微鏡やCCDカメラ等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。なお、撮像手段6は、図1に示すように装置ハウジング1のアライメント領域Aに配置された撮像手段収容部1aに配設される。また、図示の切削装置は、図1に示すように撮像手段6によって撮像された画像等を表示する表示手段7を具備している。
【0014】
図示の切削装置は、図3に示すように上記切削水供給ノズル57によって供給される切削水がアライメント領域Aへ飛散するのを遮蔽し、撮像手段6を構成する顕微鏡の対物レンズに切削水が付着するのを防止するための切削水遮蔽手段8を具備している。この切削水遮蔽手段8は、切削領域Bとアライメント領域Aとの間に配設された隔壁81と、上記チャックテーブル33の移動方向(図3において左右方向)にチャックテーブル33とともに移動可能に配設されカバー部材82とからなっている。隔壁81は、隔壁板811と、該隔壁板811の両側に装着されたシール板812、812とからなっている。隔壁板811は、チャックテーブル33の直径より大きい長さ寸法(図3において紙面に垂直な方向の寸法)を有する矩形状に形成されており、上部両側には直角に折り曲げ形成された取付け部811aが設けられている。シール板812、812は、ゴム等の可撓性シート部材からなり、隔壁板811の長さと略同一長さ寸法を有する矩形状に形成されている。このシール板812、812は、隔壁板811の両側面に下端を隔壁板811の下端より突出して装着される。シール板812、812の隔壁板811への取付け構造は、隔壁板811の両側に配設したシール板812、812のそれぞれ外面側に当て板813、813を配設し、複数個のビス814、814によって当て板813、813と共締めする。このように構成された隔壁81は、切削領域Bとアライメント領域Aとの間に上記チャックテーブル33の移動方向と直角な方向(図3において紙面に垂直な方向)に配設され、その上端部が撮像手段6が配設されている撮像手段収容部1aに複数個の取り付けボルト851によって取り付けられる。このように撮像手段収容部1aに取り付けられた隔壁81を構成するシール板812、812の下端は、チャックテーブル33の上面より1〜2mm上方の位置に位置付けられている。
【0015】
切削水遮蔽手段8を構成するカバー部材82は、上記隔壁81の長さと略同一の幅寸法(図3において紙面に垂直な方向の寸法)を有する矩形状に形成されている。このカバー部材82は、中央部にチャックテーブル33の直径より大きい直径を有する穴821が設けられており、この穴821をチャックテーブル33に遊嵌して配設される。なお、カバー部材82は、図3において右側が切削作用時においてチャックテーブル33がX1で示す方向にフルストローク移動した位置で上記隔壁81と対向しているとともに、図3において左側がチャックテーブル33上に半導体ウエーハを載置するとき乃至アライメント時にチャックテーブル33がX2で示す方向にフルストローク移動した位置で上記隔壁81と対向している長さ寸法を有している。このように構成されたカバー部材82は、上記チャックテーブル支持機構34を構成する防水カバー343にブラケット83によって取り付けられている。このようにして防水カバー343にブラケット83を介して取り付けられたカバー部材82は、その上面がチャックテーブル33の上面と略同一面となる高さ位置に位置付けられている。
【0016】
本発明に従って構成された切削装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
切削作業開始時には、チャックテーブル33は図1に示す待機位置に位置付けられている。この待機位置に位置付けられているチャックテーブル33上に、半導体ウエーハ9を載置する。チャックテーブル33上に載置された半導体ウエーハ9は、図示しない吸引手段の作動によってチャックテーブル33上に吸引保持される。このようにして半導体ウエーハ9を吸引保持したチャックテーブル33は、案内レール32、32に沿ってアライメント領域Aに移動される。チャックテーブル33がアライメント領域Aに位置付けられると、撮像手段6によって半導体ウエーハ9に形成されているストリート(切断ライン)が検出され、スピンドルユニット5を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節して精密位置合わせ作業が行われる。なお、アライメント作業時においては、切削水を供給した状態で行われる。この結果、切削水供給ノズル57から噴出された切削水は飛散するが、切削水遮蔽手段8を構成する隔壁81によってアライメント領域Aへの侵入が遮蔽される。即ち、隔壁81を構成するシール板812、812はチャックテーブル33が移動してもカバー部材82との間に僅かの隙間を維持しているので、切削水のアライメント領域Aへの侵入が遮蔽される。従って、切削水が撮像手段6を構成する対物レンズに付着することはない。また、隔壁81を構成するシール板812、812は、隔壁板811の両側面にそれぞれ装着されているので、ラビリンスシールとして機能するため、シール板812、812の下側を通してアライメント領域Aへ切削水が侵入することも防止できる。
【0017】
上述したようにしてアライメント作業が終了したら、半導体ウエーハ9を吸引保持したチャックテーブル33を切削領域Bに移動するとともに、切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動することにより、チャックテーブル33に保持された半導体ウエーハ9は切削ブレード54により所定の切断ラインに沿って切削される。即ち、切削ブレード54は割り出し方向である矢印Yで示す方向および切り込み方向である矢印Zで示す方向に移動調整されて位置決めされたスピンドルユニット5に装着され、サーボモータ55によって高速回転(例えば、30,000rpm)されているので、チャックテーブル33を切削ブレード54の下側に沿って矢印Xで示す切削送り方向に所定速度(例えば、50mm/sec)で移動することにより、チャックテーブル33に保持された半導体ウエーハ20は切削ブレード54により所定のストリート(切断ライン)に沿って切削される。
【0018】
上述した切削ブレード54による半導体ウエーハ9の切削時において、半導体ウエーハ9の切削部には切削水供給ノズル57から切削水が供給される。この切削水は飛散するが、上述したように隔壁81シール板812、812とカバー部材82とは常に対向して僅かな隙間を維持しているので、切削水遮蔽手段8によってアライメント領域Aへの侵入が遮蔽される。従って、切削水が撮像手段6を構成する対物レンズに付着することはない。
【0019】
【発明の効果】
本発明による切削装置は以上のように構成され、切削領域とアライメント領域との間に配設され下端がチャックテーブルの上面より僅かに上方に位置付けられた隔壁と、チャックテーブルの移動方向にチャックテーブルとともに移動可能に構成され上面がチャックテーブルの上面と略同一面となるように配設されたカバー部材とを有する切削水遮蔽手段を備えているので、該切削水遮蔽手段によって切削水のアライメント領域への侵入が遮蔽される。従って、切削水が撮像手段を構成する対物レンズに付着することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って構成された切削装置の斜視図。
【図2】図1に示す切削装置の要部斜視図。
【図3】図1に示す切削装置に装備される切削水遮蔽手段の断面図。
【符号の説明】
1:装置ハウジング
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
31、32:案内レール
33:チャックテーブル
34:チャックテーブル支持機構
341:チャックテーブル支持台
342:円筒部材
343:防水カバー
35:回転軸
36:蛇腹手段
37:駆動手段
4:スピンドル支持機構
41、42:案内レール
43:可動支持基台
44:駆動手段
5:スピンドルユニット
51:ユニットホルダ
52:スピンドルハウジング
53:回転スピンドル
54:切削ブレード
55:サーボモータ
57:切削水供給ノズル
6:撮像手段
7:表示手段
8:切削水遮蔽手段
81:隔壁
811:隔壁板
812:シール板
9:半導体ウエーハ
Claims (3)
- 被加工物を保持し切削領域および該切削領域に隣接するアライメント領域に移動可能に構成されたチャックテーブルと、該切削領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削する切削手段と、該アライメント領域に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物の切削すべき領域を検出する撮像手段と、該チャックテーブルを該アライメント領域から該切削領域まで移動するとともに切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル移動手段と、を具備する切削装置において、
該切削領域と該アライメント領域との間に配設され下端が該チャックテーブルの上面より僅かに上方に位置付けられた隔壁と、該チャックテーブルの移動方向に該チャックテーブルとともに移動可能に構成され上面が該チャックテーブルの上面と略同一面となるように配設されたカバー部材とを有する切削水遮蔽手段を備えている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該隔壁は、隔壁板と、該隔壁板に装着され下端が該隔壁板の下端より下方に突出せしめられている可撓性を有するシール板とからなっている、請求項1記載の切削装置。
- 該シール板は、該隔壁板の両側面にそれぞれ装着されている、請求項2記載の切削装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312781A JP4216565B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 切削装置 |
CNB2003101026509A CN1320607C (zh) | 2002-10-28 | 2003-10-28 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312781A JP4216565B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004142086A true JP2004142086A (ja) | 2004-05-20 |
JP4216565B2 JP4216565B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=32457579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002312781A Expired - Lifetime JP4216565B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 切削装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4216565B2 (ja) |
CN (1) | CN1320607C (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007088361A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009231436A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及びチップの生産方法 |
JP2011183483A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Mach Co Ltd | 距離測定機能付きの研削盤 |
CN105321863A (zh) * | 2014-07-30 | 2016-02-10 | 深圳市韵腾激光科技有限公司 | 晶圆切割定位装置及方法 |
EP2865489A4 (en) * | 2012-06-21 | 2016-05-11 | Kagoshima University Nat University Corp | OBSERVATION AND PHOTOGRAPHY APPARATUS |
CN106903810A (zh) * | 2015-10-21 | 2017-06-30 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN109560015A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
US11254010B2 (en) | 2018-10-05 | 2022-02-22 | Okuma Corporation | Machine tool |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006156481A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 超音波振動切削装置 |
JP5096100B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2012-12-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5415184B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-02-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5467816B2 (ja) * | 2009-08-25 | 2014-04-09 | 株式会社ディスコ | 撮像装置 |
JP5695359B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2015-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
CN112259475A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-22 | 河北圣昊光电科技有限公司 | 一种化合物半导体晶圆划片机 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5628673A (en) * | 1993-11-26 | 1997-05-13 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Dicing machine with non-contact setup function |
US5710825A (en) * | 1995-03-31 | 1998-01-20 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Cutting line measuring apparatus |
US5693596A (en) * | 1994-10-25 | 1997-12-02 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Cutting fluid, method for production thereof, and method for cutting ingot |
JP3316484B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2002-08-19 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2002
- 2002-10-28 JP JP2002312781A patent/JP4216565B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-10-28 CN CNB2003101026509A patent/CN1320607C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4664788B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2011-04-06 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2007088361A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009231436A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及びチップの生産方法 |
JP2011183483A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Mach Co Ltd | 距離測定機能付きの研削盤 |
US9804067B2 (en) | 2012-06-21 | 2017-10-31 | Kagoshima University, National University Corporation | Observation and photography apparatus |
EP2865489A4 (en) * | 2012-06-21 | 2016-05-11 | Kagoshima University Nat University Corp | OBSERVATION AND PHOTOGRAPHY APPARATUS |
CN105321863A (zh) * | 2014-07-30 | 2016-02-10 | 深圳市韵腾激光科技有限公司 | 晶圆切割定位装置及方法 |
CN106903810A (zh) * | 2015-10-21 | 2017-06-30 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN106903810B (zh) * | 2015-10-21 | 2020-02-21 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN109560015A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
TWI734937B (zh) * | 2017-09-27 | 2021-08-01 | 日商Towa股份有限公司 | 加工裝置 |
CN109560015B (zh) * | 2017-09-27 | 2023-06-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
US11254010B2 (en) | 2018-10-05 | 2022-02-22 | Okuma Corporation | Machine tool |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1320607C (zh) | 2007-06-06 |
JP4216565B2 (ja) | 2009-01-28 |
CN1499580A (zh) | 2004-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4216565B2 (ja) | 切削装置 | |
US6552811B2 (en) | Cutting blade detection mechanism for a cutting machine | |
JP5436917B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2011108979A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
TW200302552A (en) | Cutting device | |
KR20010030338A (ko) | 절삭방법 | |
TWI392004B (zh) | Cutting device | |
JP2009012127A (ja) | 切削装置 | |
JP2010021464A (ja) | 加工装置のチャックテーブル | |
JP2016192494A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JP2011023686A (ja) | 切削装置 | |
JP4676288B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2017213628A (ja) | 切削装置 | |
JP5875331B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2019115962A (ja) | チャックテーブル修正方法及び切削装置 | |
KR102551970B1 (ko) | 절삭 장치의 셋업 방법 | |
JP4634820B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2009206362A (ja) | 板状物の切削方法 | |
JP2010158760A (ja) | 加工装置のアイドリング方法 | |
JP2004327613A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
JP2007081317A (ja) | 切削装置 | |
JP2022064024A (ja) | 切削装置 | |
JP4481668B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6713195B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP6808292B2 (ja) | 加工装置の診断方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4216565 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |