JP4664788B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該撮像手段の該対物レンズを収容した対物レンズケースの下方を遮蔽する遮蔽手段を備えており、
該遮蔽手段は、該対物レンズケースの下端に該対物レンズの光軸に対して直角に装着され該対物レンズケースと対応する第1の穴を備えたガイド部材と、該ガイド部材の下側に移動可能に配設され該第1の穴と対応する第2の穴を備えた可撓性を有するシート材からなる遮蔽部材と、該遮蔽部材を該ガイド部材の下面に沿って移動し該第2の穴を該第1の穴と対向する作用位置と該第1の穴を遮蔽する遮蔽位置に位置付ける作動手段と、を具備している、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
図1に示された切削装置は、基台2を具備している。この基台2上には、被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル機構3が配設されている。
図示の実施形態における遮蔽手段54は、対物レンズケース533の下端に対物レンズ532の光軸に対して直角に装着されたガイド部材55と、該ガイド部材55の下側に移動可能に配設された遮蔽部材56と、該遮蔽部材56をガイド部材55の下面に沿って移動する作動手段57とを具備している。
案内部551の下面に沿って移動可能に配設される。従って、遮蔽部材56に設けられた第2の穴56aを上記第1の穴551aと対向する開放位置に位置付けることにより、撮像手段53のよる対物レンズケース533を通しての撮像を可能とする。また、遮蔽部材56を上記開放位置から少なくとも第2の穴56aの直径に相当する量移動した遮蔽位置に位置付けることにより、上記第1の穴551aを遮蔽する。なお、遮蔽部材56の一端部には作動手段57と連結するための2個の穴56b、56bが設けられている。
3: チャックテーブル機構
31a:第1の案内レール
31b:第2の案内レール
32a:第1の支持基台
32b:第2の支持基台
34a:第1のチャックテーブル
34b:第2のチャックテーブル
36a:第1のブレード検出手段
36b:第2のブレード検出手段
37a:第1の切削送り手段
37b:第2の切削送り手段
4:門型の支持フレーム
5a:第1のアライメント手段
5b:第2のアライメント手段
52:移動手段
53:撮像手段
532:対物レンズ
533:対物レンズケース
54:遮蔽手段
55:ガイド部材
56:遮蔽部材
57:作動手段
58:連結部材
6a:第1の切削手段
6b:第2の切削手段
61:割り出し移動基台
62:切り込み移動基台
63:スピンドルユニット
632:回転スピンドル
633:切削ブレード
64:割り出し送り手段
65:切り込み送り手段
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の加工すべき領域を検出する対物レンズを有する撮像手段を備えたアライメント手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削加工を施す切削手段と、を具備する切削装置において、
該撮像手段の該対物レンズを収容した対物レンズケースの下方を遮蔽する遮蔽手段を備えており、
該遮蔽手段は、該対物レンズケースの下端に該対物レンズの光軸に対して直角に装着され該対物レンズケースと対応する第1の穴を備えたガイド部材と、該ガイド部材の下側に移動可能に配設され該第1の穴と対応する第2の穴を備えた可撓性を有するシート材からなる遮蔽部材と、該遮蔽部材を該ガイド部材の下面に沿って移動し該第2の穴を該第1の穴と対向する作用位置と該第1の穴を遮蔽する遮蔽位置に位置付ける作動手段と、を具備している、
ことを特徴とする切削装置。 - 該作動手段は、シリンダと該シリンダ内に摺動可能に配設されたピストンと該ピストンに連結されたピストンロッドとを有するエアーピストン機構からなり、該ピストンロッドが該遮蔽部材に連結される、請求項1記載の切削装置。
- 該作動手段は、該ピストンの摺動方向が該対物レンズの光軸と平行になるように該撮像手段の本体に配設されている、請求項2記載の切削装置。
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