JP2000108119A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 切削水や研削水等の加工液を供給しながら各
種の加工を行う加工装置において、加工時に飛散する加
工液が外部に飛散するのを防止する開閉扉が設けられ、
当該開閉扉にガスダンパー、オイルダンパー等の開閉補
助部材が配設されている場合に、飛散する加工液が開閉
補助部材に付着するのを防止する。 【解決手段】 開閉補助部材２１と加工液が飛散する加
工領域１６との間に仕切り手段２３を設け、開閉補助部
材２１に加工液が付着するのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加工液を供給しな
がら種々の加工を行う加工装置に関し、特に、加工の際
に飛散する加工液が外部に飛散するのを防止する開閉扉
が設けられた加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の加工装置としては、例えば、図
４に示したダイシング装置４０が従来例として周知であ
る。このダイシング装置４０は、半導体ウェーハ等をダ
イシングする装置であり、ダイシングしようとする半導
体ウェーハＷは、保持テープＴを介してフレームＦに保
持され、チャックテーブル１１に吸引保持される。

【０００３】そして、チャックテーブル１１がＸ軸方向
に移動して撮像手段１２によって半導体ウェーハＷの表
面が撮像され、アライメント手段１３によって切削すべ
き領域が検出される。そして更に、チャックテーブル１
１がＸ軸方向に移動することによって、高速回転する切
削ブレード１４の作用を受けてダイシングが行われる。

【０００４】ダイシングの際には、切削ブレード１４と
半導体ウェーハＷとの接触部を冷却するために切削水供
給ノズル１５から切削水が供給されるため、切削ブレー
ド１４の回転によって切削水が飛散する。そこで、図４
に示したように、切削水が外部に飛散しないように、加
工領域１６には、透明な扉本体１７と、扉本体１７を開
閉自在に支持する蝶番部１８と、オペレータが把持する
把持部１９とからなる開閉扉２０が設けられている。

【０００５】更に、開閉扉２０の開閉を容易にし、開閉
の安全性を図ること等を目的として、図５に示すよう
に、扉本体１７の内側の面とダイシング装置本体との間
に、ガスダンパー、オイルダンパー等の開閉補助部材２
１を架設させることもある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、加工領
域１６において切削液が飛散すると、開閉補助部材２１
に切削水が付着して錆びたり、また、開閉補助部材２１
がオイルダンパーの場合にはオイルが溶け出したりする
ことがある。このような場合は、錆やオイルが落下し
て、加工領域１６を汚染するおそれがある。特に、ダイ
シング装置４０において半導体ウェーハＷの表面に錆や
オイルが付着すると、半導体チップの品質を著しく低下
させることとなり、実質上開閉補助部材を使用すること
は困難である。

【０００７】このような問題は、ダイシング装置のみな
らず、例えば研削水を供給しながら半導体ウェーハ等を
研削する研削装置等の他の加工装置においても同様に発
生しうる。

【０００８】従って、切削水、研削水等の加工液を供給
しながら各種の加工を行い、開閉扉によって当該加工液
の外部への飛散を遮断する加工装置においては、開閉補
助部材を用いることにより開閉扉の開閉の容易性、安全
性を確保しつつ、加工領域の汚染を防止し、ひいては被
加工物の品質を低下させないようにすることに解決すべ
き課題を有している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、少なくとも、加工液を供
給しながら加工を遂行する加工領域と、該加工領域にお
いて飛散する加工液が外部へ飛散するのを遮断する開閉
扉とを含む加工装置であって、開閉扉は、扉本体と、加
工装置本体に扉本体を開閉自在に連結する蝶番部と、扉
本体に形成されオペレータが開閉する際に把持する把持
部とを少なくとも含み、扉本体と加工装置本体とには蝶
番部を三角形の頂点としてその対辺に開閉補助部材を架
設し、該開閉補助部材の下方には、該開閉補助部材を覆
うようにして開閉補助部材と加工領域とを仕切る仕切り
手段を設けたことを特徴とする加工装置を提供するもの
である。

【００１０】そして、仕切り手段は扉本体に固定されて
いること、扉本体は透明な合成樹脂で形成されているこ
と、開閉補助部材はガスダンパーまたはオイルダンパー
であること、加工液は切削水であり、加工領域はダイシ
ング領域であり、加工装置はダイシング装置であること
を付加的要件とするものである。

【００１１】このように構成される加工装置において
は、加工時に加工領域において加工液が飛散しても、仕
切り手段によって遮断されて開閉補助部材に加工液が付
着しなくなるため、開閉補助部材が錆びることがない。
また、開閉補助部材がオイルダンパーの場合にオイルが
溶けるといった問題が生じない

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示すダイシング装置１０を例に挙げて説明する。な
お、図１に示すダイシング装置１０は、図４に示したダ
イシング装置４０とほぼ同様に構成されており、開閉補
助部材２１と仕切り手段２３とが配設されている点のみ
が異なっている。従って、図４に示した従来のダイシン
グ装置４０と同一の部分には共通の符号を付して説明す
ることとする。

【００１３】加工領域１６における切削によって、切削
水は加工領域１６全体に飛散する。従って、加工領域１
６から切削水が外部に飛散しないようにするために、加
工領域１６の上部には、図２に示す開閉扉２０が設けら
れている。

【００１４】開閉扉２０を構成する扉本体１７は、例え
ば透明な合成樹脂により形成されており、蝶番部１８を
介してダイシング装置本体２２の上面に開閉自在に連結
されている。

【００１５】図２に拡大して示すように、蝶番部１８
は、ネジ止めによって扉本体１７及びダイシング装置本
体２２に固定されており、蝶番部１８のうち扉本体１７
に固定された部分は回転軸を中心として所要角度回転と
なっている。従って、扉本体１７もこれに対応して所要
角度回転可能であり、扉本体１７は、図２に示した状態
では閉状態である。そして、把持部１９を引き上げると
開状態となる。

【００１６】図３に示すように、ダイシング装置本体２
２において蝶番部１８が取り付けられた位置の下部の側
面には、開閉補助部材２１の端部２６がブラケット２８
を介して取り付けられている。また、開閉補助部材２１
の端部２７は、扉本体１７の内側の面にブラケット２９
を介して取り付けられている。そして、端部２６と端部
２７と蝶番部１８とは三角形の頂点となっており、蝶番
部１８を頂点としてその対辺に開閉補助部材２１が配設
されている。

【００１７】開閉補助部材２１は、例えばガスダンパ
ー、オイルダンパー等であり、扉本体１７の開閉時にお
けるダイシング装置本体２２への衝撃を緩衝する役割を
果たすと共に、開閉を容易にし、開状態及び閉状態を安
定的に維持する役割を有する。

【００１８】図２及び図３に示すように、開閉補助部材
２１の下方には、開閉補助部材２１を覆うようにして、
開閉補助部材２１と加工領域１６とを仕切る仕切り手段
２３が設けられている。仕切り手段２３は、縦仕切り板
２４と横仕切り板２５とからなる断面が略Ｌ字状に形成
された板状部材であり、縦仕切り板２４と横仕切り板２
５は扉本体１７の内側の面に固定されている。

【００１９】半導体ウェーハＷを切削する際は、切削水
が外部に飛散するのを防止するために、図１に示したよ
うに、開閉扉２０は閉状態となっている。即ち、仕切り
手段２３の横仕切り板２５の端部はダイシング装置本体
２２の側面に接触した状態となっており、開閉補助部材
２１は、仕切り手段２３によって下側から完全に覆われ
ている。よって、加工領域１６において上方に飛散した
切削水は、仕切り手段２３によって遮断され、開閉補助
部材２１には一切付着しない。また、切削水と共に飛散
する切削屑（コンタミ）も遮断され、開閉補助部材２１
に付着しない。

【００２０】従って、開閉補助部材２１が錆びることが
なく、錆が落下して半導体ウェーハＷを汚染し品質を低
下させることがない。また、開閉補助部材２１がオイル
ダンパーである場合には、付着した切削水によってオイ
ルが溶けてオイルが落下し、そのオイルが半導体ウェー
ハＷに付着して半導体チップの品質を低下させるといっ
た問題もなくなる。

【００２１】なお、必ずしも必須ではないが、加工領域
１６以外の領域、例えば図１における搬送領域３０にも
切削水が飛散する可能性がある場合には、図示したよう
に搬送領域３０を覆う開閉扉２０に開閉補助部材２１を
設け、飛散する切削水を遮断して開閉補助部材２１への
切削水の付着を防止する仕切り手段２３を配設すること
もできる。

【００２２】また、本実施の形態においては加工装置と
してダイシング装置を例に挙げて説明したが、これに限
定されるものではなく、加工液を供給しながら加工が行
われる加工装置であれば、本発明を適用することができ
る。

【００２３】更に、仕切り手段２３の形状及び取り付け
方は、図２、３の場合には限定されず、加工時に開閉補
助部材２１と加工領域１６とを仕切ることができれば、
どんな形状でもよいし、どのようにして取り付けてもよ
い。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る加工
装置においては、加工時に加工領域において加工液が飛
散しても、仕切り手段によって遮断されて開閉補助部材
に加工液が付着せず、開閉補助部材が錆びることがない
ため、開閉補助部材としての機能を低下させることがな
い。また、錆が落下して被加工物を汚染して品質を低下
させることもない。

【００２５】また、開閉補助部材がオイルダンパーの場
合に切削水の付着によってオイルが溶けるといった問題
が生じないため、オイルが落下して被加工物に付着する
ことがなく、当該被加工物の品質を低下させることがな
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る加工装置の実施の形態の一例であ
るダイシング装置を示す斜視図である。

【図２】同ダイシング装置の開閉扉を拡大して示した斜
視図である。

【図３】同開閉扉を示す側面図である。

【図４】従来のダイシング装置を示す斜視図である。

【図５】同ダイシング装置において、開閉補助部材を配
設した開閉扉を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０……ダイシング装置 １１……チャックテーブル
１２……撮像手段 １３……アライメント手段 １４……切削ブレード １
５……切削水供給ノズル １６……加工領域 １７……扉本体 １８……蝶番部
１９……把持部 ２０……開閉扉 ２１……開閉補助部材 ２２……ダイ
シング装置本体 ２３……仕切り手段 ２４……縦仕切り板 ２５……横
仕切り板 ２６、２７……端部 ２８、２９……ブラケット ３０
……搬送領域 ４０……ダイシング装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも、加工液を供給しながら加工
   を遂行する加工領域と、該加工領域において飛散する加
   工液が外部へ飛散するのを遮断する開閉扉とを含む加工
   装置であって、 該開閉扉は、扉本体と、該加工装置本体に該扉本体を開
   閉自在に連結する蝶番部と、該扉本体に形成されオペレ
   ータが開閉する際に把持する把持部とを少なくとも含
   み、 該扉本体と該加工装置本体とには該蝶番部を三角形の頂
   点としてその対辺に開閉補助部材を架設し、該開閉補助
   部材の下方には、該開閉補助部材を覆うようにして該開
   閉補助部材と該加工領域とを仕切る仕切り手段を設けた
   ことを特徴とする加工装置。
2. 【請求項２】 仕切り手段は扉本体に固定されている請
   求項１に記載の加工装置。
3. 【請求項３】 扉本体は透明な合成樹脂で形成されてい
   る請求項１または２に記載の加工装置。
4. 【請求項４】 開閉補助部材はガスダンパーまたはオイ
   ルダンパーである請求項１乃至３に記載の加工装置。
5. 【請求項５】 加工液は切削水であり、加工領域はダイ
   シング領域であり、加工装置はダイシング装置である請
   求項１乃至４に記載の加工装置。