JP2015123452A - 加工容器及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発振器から出射されたレーザ光と可視レーザ光源から出射された可視レーザ光とを集光して、加工対象物に向けて同軸に出射させる集光部を備えたヘッド部を支持する箱体状の加工容器において、加工容器は、加工対象物を配置する加工台と、ヘッド部を支持し、レーザ光及び可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、集光部の出射方向に沿った正面板と、正面板に隣接する隣接側面板と、を有し、正面板は、開閉可能に構成され、隣接側面板は、集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、正面板が開放された際に、近接側面部から可視光を通過させるように構成されている。
【選択図】図9
Description
例えば、下記特許文献1に記載される欠陥原因判定装置は、X軸方向及びY軸方向に移動可能なXYステージと、XYステージを収納する試料室と、XYステージ上に載置した試料の表面に位置合わせ用可視レーザ光を照射する位置合わせ用レーザ発振器と、欠陥部に照射するパルスレーザ光を出射するパルスレーザ発振器とを備えている。また、欠陥原因判定装置は、XYステージ上の試料表面を撮影するCCDビデオカメラを備え、ユーザは、CCDカメラによって撮影された可視レーザ光の試料表面上の位置をモニターで確認し、XYステージを操作して試料の位置合わせを行うように構成されている。
[レーザ加工装置1の概略構成]
図1に示すように、レーザ加工装置1は、レーザ光Lと可視レーザ光M(図2参照)をfθレンズ16から同軸上に出射するレーザヘッド部2と、レーザヘッド部2が上面板部36A上に固定される略箱体状の加工容器3とから構成されている。
図2、図3、図8及び図9に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ発振器18から出射されるレーザ光Lを停止した状態で、ガイド光部11の可視半導体レーザ27を駆動して可視レーザ光Mを出射する。そして、ガルバノスキャナ15の各モータ31、32を回転制御して所定位置で停止させ、fθレンズ16の光軸16A上に可視レーザ光Mを出射する。
次に、第2実施形態に係るレーザ加工装置71について図2、図3、図10乃至図12に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図1乃至図9の第1実施形態に係るレーザ加工装置1の構成等と同一符号は、第1実施形態に係るレーザ加工装置1の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
図2、図3、図10乃至図12に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Lを停止した状態で、ガイド光部11の可視半導体レーザ27を駆動して可視レーザ光Mを出射する。そして、ガルバノスキャナ15の各モータ31、32を回転制御して所定位置で停止させ、fθレンズ16の光軸16A上に可視レーザ光Mを出射する。
次に、第3実施形態に係るレーザ加工装置91について図2、図3、図13及び図14に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図1乃至図9の第1実施形態に係るレーザ加工装置1の構成等と同一符号は、第1実施形態に係るレーザ加工装置1の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
図13及び図14に示すように、加工容器92は、加工容器3とほぼ同じ構成であるが、各扉3Aに替えて、本体箱部36の前面側の開口部36Eを覆う取り外し可能なカバー部材93が設けられている点で異なっている。カバー部材93は、加工対象物22上で反射されたレーザ光Lを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
図2、図3、図13及び図14に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Lを停止した状態で、ガイド光部11の可視半導体レーザ27を駆動して可視レーザ光Mを出射する。そして、ガルバノスキャナ15の各モータ31、32を回転制御して所定位置で停止させ、fθレンズ16の光軸16A上に可視レーザ光Mを出射する。
次に、第4実施形態に係るレーザ加工装置111について図3、図15及び図16に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記図1乃至図9の第1実施形態に係るレーザ加工装置1、及び、図13及び図14の第3実施形態に係るレーザ加工装置91の構成等と同一符号は、第1実施形態に係るレーザ加工装置1及び第3実施形態に係るレーザ加工装置91の構成等と同一あるいは相当部分を示すものである。
図15及び図16に示すように、加工容器112は、加工容器92とほぼ同じであるが、カバー部材93に替えて、本体箱部36の前面側の開口部36Eを覆うカバー部材113が設けられている点で異なっている。カバー部材113は、加工対象物22上で反射されたレーザ光Lを遮光する鉄やステンレス等の材料で形成されている。
図3、図15及び図16に示すように、先ず、不図示のコントローラを介して、レーザ光Lを停止した状態で、ガイド光部11の可視半導体レーザ27を駆動して可視レーザ光Mを出射する。そして、ガルバノスキャナ15の各モータ31、32を回転制御して所定位置で停止させ、fθレンズ16の光軸16A上に可視レーザ光Mを出射する。
2 レーザヘッド部
3、72、92、112 加工容器
3A 扉
6 レーザ発振器
16 fθレンズ
16A 光軸
22 加工対象物
27 可視半導体レーザ
37 加工台
47 貫通孔
36、73 本体箱部
36A 上面板部
36C 側面板部
41、79、95 正面板
42、78、96 隣接側面板
43、81、97 隣接上面板
45、114 蝶番
52、83、95A、121 透孔
53、84、94、122 透過板
55 遮光膜
62、85、101 近接側面部
76 スライドレール
82 スライド係合部
93、113 カバー部材
98A〜98D 突出リブ
99A〜99D 段差部
Claims (9)
- レーザ光を出射する発振器と、
可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
前記発振器から出射されたレーザ光と前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光とを集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、
を備えたヘッド部を支持する箱体状の加工容器において、
前記加工容器は、
前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、
前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、
前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、
を有し、
前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、
前記複数の側面部材は、
前記複数の側面のうちの一面である正面板と、
前記正面板に隣接する隣接側面板と、
を含み、
前記正面板は、開閉可能に構成され、
前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、
前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視光を通過させることを特徴とする加工容器。 - 前記加工容器は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持する回動支持部を有することを特徴とする請求項1に記載の加工容器。
- 前記上面部材は、前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、
前記隣接上面板の前記正面板側の側縁部は、該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていることを特徴とする請求項2に記載の加工容器。 - 前記正面板の両側縁部にそれぞれ隣接する前記隣接側面板の前記正面板側の側縁部は、隣接する該正面板の各側縁部にそれぞれ固定され、
前記正面板と前記隣接上面板とは、前記集光部の光軸から前記正面板に伸ばした垂線に沿って切離され、
前記回動支持部は、前記正面板の各側縁部に固定された前記隣接側面板の該正面板に対して反対側の各側縁部を回動軸として該隣接側面板を回動自在に支持することを特徴とする請求項3に記載の加工容器。 - 前記加工容器は、
前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、
前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が取り外し可能に設けられる本体箱部と、
を有し、
前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、
前記カバー部材は、該隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に形成される係合部を有し、
前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記他方の側縁部に相対向する側縁部に形成されて、前記係合部に係合可能に構成される被係合部を有することを特徴とする請求項1に記載の加工容器。 - 前記カバー部材は、前記集光部の光軸から、前記正面板に近づく向きにある前記加工容器の天井部を覆う隣接上面板を有し、
前記隣接上面板は、前記正面板に対向する側縁部が該正面板の該隣接上面板側の側縁部に固定されると共に、前記隣接上面板の前記正面板に対して反対側の側縁部は、前記上面部材の相対向する側縁部と切離されていることを特徴とする請求項5に記載の加工容器。 - 前記加工容器は、
前記正面板と前記隣接側面板とによって形成されるカバー部材と、
前記加工台と前記上面部材を有して前記カバー部材が開閉可能に設けられる本体箱部と、
を有し、
前記隣接側面板の前記正面板側の一方の側縁部は、該正面板の該隣接側面板側の側縁部に固定され、
前記本体箱部は、前記隣接側面板の前記正面板に対して反対側の他方の側縁部に相対向する側縁部に形成され、該隣接側面板の前記他方の側縁部を摺動して前記カバー部材を前記光軸方向に沿ってスライド移動可能に支持するスライド支持部を有することを特徴とする請求項1に記載の加工容器。 - 前記隣接側面板は、
前記集光部の光軸から前記隣接側面板に伸ばした垂線が通る位置に形成された透孔と、
前記透孔を塞ぐと共に光を透過する透過板と、
を有し、
前記透過板は、前記レーザ光を遮光し、且つ、前記可視光を透過する遮光膜が設けられることを特徴とする請求項1に記載の加工容器。 - レーザ光を出射する発振器と、
可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
前記発振器から出射されたレーザ光と前記可視レーザ光源から出射された可視レーザ光とを集光して、加工対象物に向けて出射させる集光部と、
を有するヘッド部と、
前記ヘッド部を支持する箱体状の加工容器と、
を備え、
前記加工容器は、
前記集光部の出射方向側に設けられて、加工対象物を配置する加工台と、
前記ヘッド部を支持し、前記集光部から出射された前記レーザ光及び前記可視レーザ光が通過する孔が形成された上面部材と、
前記孔を通過した前記レーザ光及び前記可視レーザ光を囲むように前記集光部の出射方向に沿って、且つ互いに交差する複数の側面部材と、
を有し、
前記上面部材及び前記複数の側面部材は、前記加工対象物上で反射された前記レーザ光を遮光する遮光材料で形成され、
前記複数の側面部材は、
前記複数の側面のうちの一面である正面板と、
前記正面板に隣接する隣接側面板と、
を含み、
前記正面板は、開閉可能に構成され、
前記隣接側面板は、前記集光部の光軸から該隣接側面板に伸ばした垂線から、前記正面板に近づく向きにある近接側面部を覆うように構成され、
前記正面板が開放された際に、前記隣接側面板は、前記近接側面部の少なくとも前記光軸から該近接側面部に伸ばした垂線が通る部分から可視光を通過させることを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013267427A JP5983595B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 加工容器及びレーザ加工装置 |
PCT/JP2014/083856 WO2015098809A1 (ja) | 2013-12-25 | 2014-12-22 | 加工容器及びレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013267427A JP5983595B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 加工容器及びレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015123452A true JP2015123452A (ja) | 2015-07-06 |
JP5983595B2 JP5983595B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=53478663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013267427A Active JP5983595B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 加工容器及びレーザ加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5983595B2 (ja) |
WO (1) | WO2015098809A1 (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015098809A1 (ja) | 2015-07-02 |
JP5983595B2 (ja) | 2016-08-31 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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