JP2006156481A - 超音波振動切削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 切削ブレードをスピンドルに装着する際に,切削ブレードとスピンドルとを一体的に近い形態で強固に固定して相互に密着させることが可能な,超音波振動切削装置を提供すること。
【解決手段】
切削ブレード22を径方向に超音波振動させて被加工物を切削する超音波振動切削装置において,スピンドル25の先端部には,スピンドル25の先端側に向かうほど縮径するテーパ部252と,固定部材24と螺合する固定部材係合部254とが設けられている。また,切削ブレード22は基台部21と一体的に構成されており,基台部21の中心には,テーパ部252と係合するテーパ孔212が貫通形成されている。かかる超音波振動切削装置では,切削ブレード22をスピンドル25に装着するに際し,テーパ孔212をテーパ部252に係合させた後,固定部材24を固定部材係合部254に締結することによって,基台部21とスピンドル25とが密着して固定される。
【選択図】 図5
【解決手段】
切削ブレード22を径方向に超音波振動させて被加工物を切削する超音波振動切削装置において,スピンドル25の先端部には,スピンドル25の先端側に向かうほど縮径するテーパ部252と,固定部材24と螺合する固定部材係合部254とが設けられている。また,切削ブレード22は基台部21と一体的に構成されており,基台部21の中心には,テーパ部252と係合するテーパ孔212が貫通形成されている。かかる超音波振動切削装置では,切削ブレード22をスピンドル25に装着するに際し,テーパ孔212をテーパ部252に係合させた後,固定部材24を固定部材係合部254に締結することによって,基台部21とスピンドル25とが密着して固定される。
【選択図】 図5
Description
本発明は,超音波振動切削装置に関し,特に,切削ブレードを径方向に超音波振動させて被加工物を切削する超音波振動切削装置に関する。
半導体ウェハ等の被加工物をチップ状に分割するために,切削砥石である切削ブレードによって半導体ウェハを格子状に切削加工するダイシング装置等の切削装置が知られている。このような切削装置においては,加工点における温度上昇を抑えることや,切削抵抗を増加させずにチッピングを減少させることが,継続的な課題となっている。かかる課題の解決手段として,超音波振動を使用して切削することが検討されている。
このような超音波振動を利用した切削方法の一例として,特許文献1には,切削ブレードをその厚さ方向(回転軸方向)に撓ませるようにして超音波振動させる超音波振動切断装置が記載されている。しかし,この超音波振動切断装置では,超音波振動する切削ブレードによって半導体ウェハの切削溝を広げるような力が働くため,どうしても切削抵抗が増加し,チッピングが発生し易いという問題があった。
このような問題を解決できる方法として,特許文献2には,切削ブレードをその径方向に超音波振動させて被加工物を切断する超音波振動切断装置が記載されている。この超音波振動切断装置では,切削ブレードが取り付けられたスピンドルを介して水平方向に伝達された超音波振動の伝達方向を,切削ブレードと共に取り付けられた振動伝達方向変換部によって垂直方向に変換して,切削ブレードを径方向に振動させている。
このように,径方向に超音波振動させた切削ブレードによって被加工物を切削加工することにより,超音波振動させていない切削ブレードによる通常の切断加工と比較して,(1)切削抵抗を低減してチッピングを抑制できる,(2)加工点に切削水が供給され易くなるため,加工点における温度上昇を抑えて,熱による歪が生じ難い,(3)切削ブレードの振動によりコンタミネーションが振り落とされるため,切削ブレードにコンタミネーションが付着しない,(4)切削ブレードに対する負荷を軽減して寿命が延びる,といった利点がある。
上記超音波振動切断装置においては,切削ブレードをスピンドルに取り付けるに際し,切削ブレードを超音波振動させない通常の切削装置と比べて,超音波振動によって切削ブレードが外れ易くなるため,切削ブレードをスピンドルに強固に固定しなければならない。さらに,切削ブレードの取付位置も正確さが要求される。例えば,切削ブレードの中心位置とスピンドルの中心位置とが正確に一致していない場合には,切削ブレードが超音波振動しないか,或いは超音波振動したとしてもその振幅が偏ってしまう。
また,上記超音波振動切削装置は,スピンドルを介して伝達されるスピンドル軸方向の超音波振動を,振動伝達方向変換点で切削ブレードの径方向に変換して,切削ブレードを径方向に超音波振動させる構成である。このため,切削ブレードの形状を超音波振動し易い形状に工夫することも必要であるが,たとえこのように工夫したとしても,切削ブレードと,切削ブレードの基台部と,スピンドルとが相互に密着していない場合には,上記振動伝達方向変換点で超音波振動を変換できないので,切削ブレードを径方向に好適に超音波振動させることができない,という問題があった。
かかる各部材を密着させるためには,理想的には,切削ブレードとスピンドルとを一体的に構成することが望ましいが,切削ブレードが消耗する度に,高価なスピンドルまでも交換することは実用的ではない。従って,切削ブレードとスピンドルとを別体に構成した上で,極力一体的に近い状態で切削ブレードをスピンドルに取り付けることが必要とされた。
ところで,切削ブレードをスピンドルに取り付ける機構として,例えば特許文献3には,ハブブレードをハブフランジによってスピンドルに取り付ける機構が記載されている。この取り付け機構では,ハブブレードの取付孔をテーパ孔とし,ハブフランジに当該テーパ孔に係合するテーパ部を設け,更にハブフランジにもスピンドルのテーパ部に係合するテーパ孔が設けられた構成である。かかる構成により,ハブブレードを容易に着脱できる効果があると記載されている。
ところが,特許文献3の機構は,ハブブレードをハブフランジに取り付けるときに,ハブブレードのテーパ孔とハブフランジのテーパ部とが接触して位置決めされるとともに,ハブフランジの外周部とハブブレードのブレード部分とが接触して位置決めされる。このように2箇所で位置決めするためには,ハブブレードおよびハブフランジを非常に高精度で成形することが要求され,現実的には成形することが極めて困難であるという問題があった。
また,本願発明者が検証した結果,このような問題を解決できたとしても,特許文献3の機構では,ハブブレードとハブフランジとを固定する際に,ナット等による締め付け力がテーパ構造によって切削ブレードの径方向にも伝達されるために,テーパ構造を有さない場合と同程度の力で締め付けると,ハブブレードとハブフランジとが強固に固定されてしまい,特許文献3の記載内容とは反対に,却ってかじりが生じて取り外しが困難となってしまうことが分かった。
そこで,本発明は上記のような問題に鑑みてなされたもので,その目的とするところは,切削ブレードをスピンドルに取り付ける際に,切削ブレードとスピンドルとを一体的に近い形態で強固かつ正確に固定して相互に密着させることが可能な,新規かつ改良された超音波振動切削装置を提供することにある。
上記課題を解決するために,本発明の第1の観点によれば,スピンドルと,スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと,スピンドルの先端部に装着される切削ブレードと,スピンドルに設けられスピンドルを超音波振動させる超音波振動子とを備えた超音波振動切削装置が提供される。この超音波振動切削装置は,超音波振動子からスピンドルを介して伝達される超音波振動の伝達方向を変換し,切削ブレードを径方向に超音波振動させて被加工物を切削する。この超音波振動切削装置において,スピンドルの先端部には,スピンドルの先端側に向かうほど縮径するテーパ部と,テーパ部よりもスピンドルの先端側に形成され,固定部材と係合する固定部材係合部とが設けられている。また,切削ブレードは,切削ブレードを支持する基台部と一体的に構成されており,基台部の中心には,スピンドルのテーパ部と係合するテーパ孔が貫通形成されている。かかる超音波振動切削装置において,切削ブレードをスピンドルに装着するに際し,基台部のテーパ孔をスピンドルのテーパ部に係合させた後,固定部材をスピンドルの固定部材係合部に締結することによって,基台部とスピンドルとが密着して固定される。なお,固定部材は,例えば,固定ナットまたは固定ボルトなどで構成することができ,この固定ナットまたは固定ボルトが,スピンドルの固定部材係合部である雄ねじ部または雌ねじ部と螺合することによって,基台部がスピンドルの先端部に固定される。
かかる構成により,切削ブレードと一体形成された基台部を,ハブフランジ等の仲介なしに,スピンドルに対して直接的に固定するので,切削ブレードをスピンドルに対して一体的に近い形態で装着できる。さらに,基台部のテーパ孔とスピンドルのテーパ部との相互作用によって,締結する力が基台部及びスピンドルの径方向にも働くため,基台部をスピンドルに対して強固に固定できる。このため,基台部とスピンドルとが好適に密着するので,切削ブレードとスピンドルをより一体的に固定できるようになる。また,切削ブレードの装着時に,上記基台部のテーパ孔とスピンドルのテーパ部とを係合させることによって,切削ブレードの中心位置とスピンドルの中心位置とを容易かつ正確に一致させることができる。
以上説明したように本発明によれば,切削ブレードと一体形成された基台部を,ハブフランジ等の仲介なしに,スピンドルに対して直接的に固定する。このため,切削ブレードとスピンドルとを一体的に近い形態で固定できる。
さらに,基台部のテーパ孔とスピンドルのテーパ部とによって,基台部をスピンドルに対して強固に固定できる。このため,基台部とスピンドルとが密着して,切削ブレードとスピンドルをより一体的に固定できるようになる。
また,切削ブレードの装着時に,上記基台部のテーパ孔とスピンドルのテーパ部とを係合させることによって,切削ブレードの中心位置とスピンドルの中心位置とを容易かつ正確に一致させることができる。
このように,スピンドルを介して伝達された超音波振動の伝達方向を変換して切削ブレードを径方向に超音波振動させる超音波振動切削装置に適した態様で,切削ブレードをスピンドルに装着することができる。
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる超音波振動切削装置の一例として構成されたダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
図1に示すように,ダイシング装置10は,例えば,半導体ウェハなどの被加工物12を切削加工する切削ユニット(スピンドルユニット)20と,被加工物12を保持する保持手段であるチャックテーブル15と,切削ユニット移動機構(図示せず。)と,チャックテーブル移動機構(図示せず。)とを備える。
切削ユニット20は,スピンドルに装着された切削ブレード(詳細は後述する。)を備えている。この切削ユニット20は,径方向に超音波振動する切削ブレードを高速回転させながら被加工物12に切り込ませることにより,被加工物12を切削して極薄のカーフ(切溝)を形成することができる。
また,チャックテーブル15は,例えば,上面が略平坦な円盤状のテーブルであり,その上面に真空チャック(図示せず。)等を具備している。このチャックテーブル15は,例えば,ウェハテープ13を介してフレーム14に支持された状態の被加工物12が載置され,この被加工物12を真空吸着して安定的に保持することができる。
切削ユニット移動機構は,切削ユニット20を,Y軸方向に移動させる。このY軸方向は,切削方向(X軸方向)に対して直交する水平方向であり,例えば,切削ユニット20内に配設されたスピンドルの軸方向である。このようなY軸方向の移動により,切削ブレードの刃先を被加工物12の切削位置(切削ライン)に位置合わせすることができる。また,この切削ユニット移動機構は,切削ユニット20をZ軸方向(垂直方向)にも移動させる。これにより,被加工物12に対する切削ブレードの切り込み深さを調整したり,後述するブレード検出手段に向けて切削ブレードを降下したりできる。
チャックテーブル移動機構は,通常のダイシング加工時には,被加工物12を保持したチャックテーブル15を切削方向(X軸方向)に往復移動させて,被加工物12に対し切削ブレードの刃先を直線的な軌跡で作用させる。
かかる構成のダイシング装置10は,高速回転する切削ブレードを被加工物12に切り込ませながら,切削ユニット20とチャックテーブル15とを相対移動させることにより,被加工物12をダイシング加工することができる。なお,ダイシング装置10には,モニタ等の表示装置16が設けられている。この表示装置16は,アライメント時に撮像された被加工物12表面の画像や,切削加工設定情報などの各種情報を表示できる。
次に,図2に基づいて,本実施形態にかかる切削ユニット20の構成について説明する。なお,図2は,本実施形態にかかる切削ユニット20を示す斜視図である。
図2に示すように,切削ユニット20は,例えば,切削ブレード22と,切削ブレードと一体化された基台部21と,固定部材の一例である固定ナット24と,スピンドル25と,スピンドルハウジング26と,切削水供給ノズル27と,ホイルカバー28と,を主に備える。
切削ブレード22は,例えば,略リング形状を有する極薄の切削砥石(切り羽)であり,ダイヤモンド等の砥粒を電鋳して形成される。この切削ブレード22は,切削ブレード22を支持する基台部21と一体的に構成されている。即ち,切削ブレード22と基台部21は,切り羽部とマウント部とが一体化された所謂ハブブレードを構成している。かかる切削ブレード22および基台部21は,固定ナット24によって,スピンドル25の先端部に装着される。かかる切削ブレードの装着機構は,本実施形態にかかる特徴的構成であり,詳細については後述する(図5参照)。
また,スピンドル25は,例えば,後述するモータ(図示せず。)の回転駆動力を切削ブレード22に伝達するための回転軸であり,装着された切削ブレード22を例えば30,000rpmで高速回転させることができる。このスピンドル25の大部分は,スピンドルハウジング26に覆われているが,その先端部は,スピンドルハウジング26から露出しており,かかる先端部にブレード22および基台部21が装着される。
また,スピンドルハウジング26は,スピンドル25を覆うようにして設けられたハウジングである。このスピンドルハウジング26は,内部に設けられたエアベアリングによって,スピンドル25を高速回転可能に支持することができるが,詳細については後述する(図3参照)。
また,切削水供給ノズル27は,例えば切削ブレード22の両側に脱着可能に設けられ,加工点付近に切削水を供給して冷却する。また,ホイルカバー28は,切削ブレード22の外周を覆うにして設けられ,切削水や切削屑などの飛散を防止する。
かかる構成の切削ユニット20は,スピンドル25により切削ブレード22を高速回転させ,かかる切削ブレード22の刃先を被加工物12に切り込ませて相対移動させる。これにより,例えば,被加工物12の加工面を切削加工して,切削ラインに沿って極薄の切溝(カーフ)を形成することができる。
次に,図3および図4に基づいて,本実施形態にかかる切削ユニット20におけるスピンドルハウジング26の内部構成について説明する。なお,図3は,本実施形態にかかるスピンドルハウジング26の内部構成を示す部分切り欠き側面図である。この図3では,説明の便宜上,スピンドルハウジング26および非接触給電装置50等を,スピンドル25の中心軸を含む垂直面で切断した断面で表してある。
図3に示すように,切削ユニット20のスピンドルハウジング26の内部には,例えば,スピンドル25と,スピンドル25を回転可能に支持するラジアルエアベアリング30およびスラストエアベアリング31と,ロータ321およびステータ322を有するモータ32と,ステータ322に電力を供給するためのステータ用給電装置34と,スピンドル25の後端部側に設けられた超音波振動子33と,ラジアルエアベアリング30及びスラストエアベアリング31に高圧エアを供給するためのエア供給路(図示せず。)と,ラジアルエアベアリング30およびスラストエアベアリング31によって噴出されたエアを排出するための排気路(図示せず。)と,が設けられている。さらに,スピンドルハウジング26の後端部には,超音波振動子33に電力を供給するための非接触給電装置50が設けられている。
スピンドル25の後端部側は,モータ32を構成する回転軸であるロータ321が連結されている。ステータ用給電装置34によりステータ322に電力を供給すると,ロータ321およびステータ322の相互作用により回転駆動力が発生し,この回転駆動力によってスピンドル25が高速回転する構成である。また,スピンドル25の先端部側には,スピンドル25の軸径よりも大径のスラストプレート251が設けられている。
ラジアルエアベアリング30及びスラストエアベアリング31は,上記エア供給路を介して,高圧ポンプ等で構成されたエア供給手段(図示せず。)と連通している。これにより,エア供給手段が提供する高圧エアは,ラジアルエアベアリング30及びスラストエアベアリング31に供給される。
ラジアルエアベアリング30は,例えば,スピンドルハウジング26の内周面に略均等に設けられた複数の噴射口(図示せず。)から,スピンドル25の外周に向けてエアを噴出する。これにより,ラジアルエアベアリング30は,空気圧によって,スピンドル25が軸に対して垂直な径方向(ラジアル方向,即ち,XおよびZ軸方向)へ移動することを制限して,高速回転するスピンドル25をラジアル方向に支持することができる(即ち,横ブレを防止できる)。
一方,スラストエアベアリング31は,スラストプレート251の左右両側に設けられた噴射口(図示せず。)から,スラストプレート251を挟持するようにエアを噴出する。これにより,スラストエアベアリング31は,空気圧によって,スピンドル25が軸方向(スラスト方向,即ち,Y軸方向)へ移動することを制限して,高速回転するスピンドル25をスラスト方向に支持することができる(即ち,縦ブレを防止できる)。
このように,スピンドルハウジング26は,ラジアルエアベアリング30及びスラストエアベアリング31から噴出するエアによって,スピンドル25を高速回転可能に支持することができる。なお,エアベアリングの構成は,上記図3の例に限定されず,多様に設計変更可能である。例えば,スラストエアベアリング31およびスラストプレート251は,図3の例のように,スピンドル25の切削ブレード22側に1組だけ設けられる構成でなくてもよく,例えば,スピンドル25の略中央部や基部側などの箇所に1組設けられる,或いはこれらの箇所に複数組設けられるなどしてもよい。
また,ラジアルエアベアリング30およびスラストエアベアリング31から噴出されたエアの大部分は,上記排気路を通ってスピンドルハウジング26外部に排気されるが,一部のエアは,切削ブレード22側におけるスピンドル25とスピンドルハウジング26との隙間から排出され,エアシールとして機能する。なお,上記のようにしてスピンドルハウジング26内を流通するエアは,スピンドルハウジング26およびスピンドル25の温度を制御する温度制御媒体としても機能する。これにより,スピンドル25の温度を所定温度に維持して,スピンドル25に熱歪みが生ずることを防止できる。
以上のような,スピンドル25,スピンドルハウジング26,ラジアルエアベアリング30,スラストエアベアリング31,モータ32,エア供給路,排気路およびエア供給手段などは,エアスピンドルを構成している。
さらに,本実施形態にかかる切削ユニット20には,スピンドル25および切削ブレード22を超音波振動させるための振動発生手段として,図3に示すように,超音波振動子33と,この超音波振動子33に電力を供給する非接触給電装置50とが設けられている。
超音波振動子33は,スピンドル25の後端部側(切削ブレード22とは反対側)において,ロータ321よりさらに後端部側に配設されている。この超音波振動子33は,例えば,ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)等の圧電セラミックス材料からなる電歪振動子で構成されている。かかる超音波振動子33は,非接触給電装置50から供給された電力により,所定周波数の縦波の超音波振動を発生する。この超音波振動子33を構成する電歪振動子は,超磁歪振動子と比べて,安価であり,かつ,性能が安定しているためスピンドル25を好適に超音波振動させることができるという利点がある。
なお,超音波振動子33は,かかる電歪振動子の例に限定されず,超音波振動を発生可能であれば,例えば,磁歪振動子(超磁歪振動子を含む。)または水晶振動子などで構成することもできる。また,超音波振動子33は,例えば,スピンドル25の最後端部,中央部,先端部側など,スピンドル25の如何なる箇所に設置してもよい。
非接触給電装置50は,上記超音波振動子33に非接触方式で電力を供給する。この非接触給電装置50は,外部電源(図示せず。)に接続された給電側のトランスである一次側トランス52と,スピンドル25の後端部に連結された受電側のトランスである二次側トランス54とからなる。この一次側トランス52と二次側トランス54とは,所定間隔を空けて離隔配置されている。この非接触給電装置50は,外部電源からの電力を,一次側トランス52から二次側トランス54に電磁誘導方式により非接触で伝達し,スピンドル25を介して超音波振動子33に供給する。
このように供給された電力により,超音波振動子33は超音波振動を発生してスピンドル25を超音波振動させる。例えば,超音波振動子33を例えば50kHzで超音波振動させるために,非接触給電装置50は,例えば50kw〜60kwの電力を供給する。しかし,非接触給電装置50の供給電力は,超音波振動子33の特性に応じて異なり,かかる例に限定されるものではない。
このように,本実施形態にかかる切削ユニット20では,スピンドル25に設けられた電歪振動子である超音波振動子33に対して,非接触給電装置50を用いて非接触で給電している。上記のようなエアスピンドル機構においてスピンドル25はスピンドルハウジング26によって非接触で保持されている。かかる機構において,非接触給電装置50によって給電することにより,スピンドル25に給電用の部材を接触させなくて済むので,スピンドル25が円滑に回転でき,エアスピンドルの利点を生かすことができる。かかる観点から,給電装置として上記非接触給電装置50を用いることが好ましいが,かかる例に限定されず,接触式の給電装置を用いることも可能である。なお,超音波振動子33として磁歪振動子を用いる場合には,上記給電装置は不要である。
かかる構成の非接触給電装置50から電力が供給された超音波振動子33は,超音波振動を発生してスピンドル25を超音波振動させる。この超音波振動は,スピンドル25の軸方向(Y軸方向)に伝達され,スピンドル25の先端部に装着された切削ブレード22に向かう。
さらに,このようにスピンドル25の軸方向(Y軸方向)に伝達される超音波振動を切削ブレード22の径方向(XZ平面方向)に変換するときの振動伝達方向変換点のY軸位置が,スピンドル25に対する切削ブレード22の装着位置(切削ブレード22のY軸位置)と略同一となるように,スピンドル25および基台部21等の形状および配置や,超音波振動子33の周波数などが調整されている。
以上のような構成によって,スピンドル25の軸方向に超音波振動を伝達させ,切削ブレード22と略同一位置にある振動伝達方向変換点で,当該伝達された超音波振動の伝達方向を切削ブレード22の径方向に変換できる。これにより,切削ブレード22を径方向に超音波振動させる,即ち,リング形状の切削ブレード22を高周波で拡径,縮径を繰り返すように振動させながら,当該切削ブレード22によって被加工物12を切削することができる。
このように切削ブレード22を径方向に超音波振動させる原理についは,例えば上記特許文献2に記載されており公知であるが,以下に,図4に基づいて簡単に説明する。
図4は,本実施形態にかかる切削ユニット25において,超音波振動子33からの超音波振動に共振する振動波形W1と,伝達方向が径方向に変換された振動波形W2とを示す説明図である。振動波形W1は,共振による超音波振動の瞬間的な変位(振動振幅)を表し,振動波形W2は,伝達方向が径方向に変換された超音波振動の瞬間的な変位(振動振幅)を表す。
図4に示すように,スピンドル25の軸上(Y軸上)には,振動波形W1の最大振動振幅点A,C,E,Gと,最小振動振幅点B,D,F,Hが存在する。通常,最小振動振幅点B,D,F,Hでは,スピンドル25の径方向の伸長が最大となる。従って,スピンドル25とスピンドルハウジング26との間隔は,少なくとも最小振動振幅点B,D,F,Hにおけるスピンドル25の最大拡径量よりも大きくしなければならない。しかし,その他の点に関しては,切削ユニット20がエアスピンドル機構を採用しているため,メカスピンドル機構の場合のように最小振動振幅点B,D,F,H付近を構造的に補強したりする必要はない。
振動波形W1の最小振動振幅点Bは,振動伝達方向変換点であり,この振動伝達方向変換点と同一位置若しくはその近傍の位置に,切削ブレード22が配置されている。振動伝達方向変換点Bにおいて,超音波振動の伝達方向が,スピンドル25の軸方向(以下,単に「軸方向」という場合もある。)から,切削ブレード22の径方向(以下,単に「径方向」という場合もある。)に変換される。このように伝達方向が径方向に変換された超音波振動の振動波形W2における最大振動振幅点α,βが,切削ブレード22の刃先位置に位置するように,切削ブレード22のブレード径や超音波振動の周波数等が調整されている。
さらに,上記超音波振動を好適に伝達および変換するために,切削ブレード22と基台部21とが一体構成されており,さらに,ナット24と基台部21とスピンドル25先端部とが相互に密着して強固に固定されるように各部が構成されているが,詳細は後述する。
以上のようにして,スピンドル25を軸方向に伝達してきた超音波振動の伝達方向を径方向に変換することにより,切削ブレード22は拡径,縮径を繰り返して,切削ブレード22の刃先が,図4の矢印で示す径方向に振動する。
なお,振動伝達方向変換点(上記B点)において,振動伝達方向の変換を促すために,ホーンなどの振動伝達方向変換部材を配置することもできるが,振動伝達方向変換点の位置と切削ブレード22の位置とが略同一であれば,この振動伝達方向変換部材を別途に配設しなくとも,振動伝達方向を変換することは可能である。
以上,図2〜図4に基づいて,本実施形態にかかる切削ユニット20の構成,特に,切削ブレード22を径方向に超音波振動させるための構成について説明した。
次に,図5に基づいて,本発明の特徴である切削ブレード装着機構について説明する。図5は,本実施形態にかかる切削ブレード装着機構の構造を示す断面図である。このうち,(a)は各部材を分離させた状態を示す断面図であり,(b)は各部材を結合させた状態を示す断面図である。
図5に示すように,スピンドル25の先端部には,基台部21のテーパ孔212と係合するテーパ部252と,固定ナット24と螺合する雄ねじ部254と,が形成されている。テーパ部252は,スピンドル25の先端に向かうほど縮径するように形成されている。このテーパ部252のテーパ面の傾斜は,例えば1/8〜1/20である。また,雄ねじ部254は,固定部材の一例である固定ナット24と係合する固定部材係合部の一例である。この雄ねじ部254は,テーパ部252よりもスピンドル25の先端側に配設されている。かかる雄ねじ部254は,その外周に螺旋状のねじ溝が形成されており,固定ナット24と螺合する。
また,切削ブレード22と,この切削ブレード22を支持する基台部21とは一体構成されている。このように,切削ブレード22と基台部21とを一体構成する手法としては,例えば,別体に構成された切削ブレード22と基台部21とを,接着剤等により相互に接着して一体化してもよいし,或いは,電解メッキ法によって基台部21の外周部に切り羽を成長させて切削ブレード22を形成するようにしてもよい。
基台部21は,リング状の切削ブレード22を支持してスピンドル25に軸着するための部材である。この基台部21は,中心側に設けられた小径の軸着部214と,軸着部214の外周にツバ状に突出形成された環状支持部216とからなる。軸着部214は,スピンドル25に軸着される比較的厚い部分である。環状支持部216は切削ブレード22を支持する比較的薄い部分であり,この環状支持部216の一側には切削ブレード22が一体化されている。かかる軸着部214と環状支持部216は,スピンドル25の軸方向に略対称な形状となるように成形されている。
さらに,基台部21の軸着部214の中心には,スピンドル25の軸方向に,テーパ形状の貫通孔であるテーパ孔212が形成されている。このテーパ孔212は,スピンドル25の軸方向前方(固定ナット24側)に向かうほど縮径するようなテーパ形状を有する。かかるテーパ孔212のテーパ面の傾斜は,上記スピンドル25のテーパ部252のテーパ面と同一の傾斜であり,例えば1/8〜1/20である。さらに,テーパ孔212のスピンドル25軸方向の長さ(軸着部214の肉厚)は,テーパ部252のスピンドル25軸方向の長さよりも短い。
このため,かかるテーパ孔212はスピンドル25のテーパ部252と正確に係合する。即ち,基台部21のテーパ孔212内にスピンドル25のテーパ部252を挿入したときには,テーパ孔212のテーパ面(内周面)とテーパ部252のテーパ面(外周面)とが,隙間なく相互接面して密接する。
固定ナット24は,基台部21をスピンドル25の先端部に軸着して固定する機能を有する。この固定ナット24は,その内周面に,スピンドル25の雄ねじ部254と螺合する雌ねじ部242が形成されている。また,固定ナット24の外径は,基台部21のテーパ孔212の固定ナット24側の孔径よりも大きい。
また,上記のような基台部21および固定ナット24の材質は例えばアルミであり,スピンドル25の材質は例えばステンレスであるが,かかる例に限定されず,その他の金属または樹脂などの各種材質で形成してもよい。このような基台部21,固定ナット24およびスピンドル25の材質によって超音波振動の伝達速度などが相違するが,この相違は,これらの部材の形状,大きさ等による影響と比較すると軽微であるので,現実にはほとんど影響がないと思われる。
以上,本実施形態にかかる切削ブレード装着機構の構成について説明した。以下に,このような切削ブレード装着機構を用いて,切削ブレード22をスピンドル25に装着する手法について説明する。
まず,基台部21のテーパ孔212内にスピンドル25の先端部を挿入して,基台部21のテーパ孔212とスピンドル25のテーパ部252とを係合させる。これにより,スピンドル25の先端部が基台部21を貫通して,基台部21の反対側(図5の左側)に雄ねじ部254が突出する。
次いで,固定ナット24をスピンドル25の雄ねじ部254に螺合させて,固定ナット24を締結する。これにより,基台部21が固定ナット24とスピンドル25のテーパ部252との間に挟み込まれて,スピンドル25の先端部に安定的に軸着される。このとき,基台部21のテーパ孔212とスピンドル25のテーパ部252とが,密着して固定される。つまり,上記テーパ孔212と上記テーパ部252とからなるテーパ構造を利用するため,固定ナット24を締結する力が,スピンドル25の軸方向のみならず,切削ブレード22の径方向にも伝達される。このため,固定ナット24を締結することにより,基台部21をスピンドル25先端部に対してより強固に固定して,基台部21とスピンドル25とを密着させることができる。
このように,本実施形態にかかる切削ブレード装着機構では,フランジ等の別途のマウント部材を用いることなく,切削ブレード22が一体化された基台部21をスピンドル25に直接的に装着する。従って,切削ブレード22をスピンドル25に対して一体的に近い形態で装着できる。
以上のように,切削ブレード22をスピンドル25に装着したときに,双方の間に介在する部材は基台部21のみであり,しかも,この基台部21は切削ブレード22と一体構成されている。また,別体構成された基台部21とスピンドル25とは,強固に固定されて,相互に密着する。従って,切削ブレード21とスピンドル25を一体構成した場合と近い形態で装着できるので,スピンドル25を介して伝達された超音波振動を,好適に変換して切削ブレード22まで伝達できる。
また,切削ブレード22の装着時に,上記基台部21とスピンドル25のテーパ構造によって,切削ブレード22の中心位置とスピンドル25の中心位置とを容易かつ正確に一致させることができる。このように切削ブレード22の装着位置が正確であるので,超音波振動させようとしたときに,装着位置のずれが原因で,切削ブレード22が振動しない,或いは振動したとしてもその振幅が偏ってしまうといったことがない。
以上のように,本実施形態にかかる切削ブレード装着機構では,超音波振動切削装置に適した態様で,切削ブレード22をスピンドル25に装着することができる。
また,切削ブレード22が消耗した場合には,一体化された切削ブレード22および基台部21を,スピンドル25から取り外して交換することもできる。よって,高価なスピンドル25までも交換する必要がないので,経済的である。
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば,上記実施形態では,超音波振動切削装置としてダイシング装置10の例を挙げて説明したが,本発明は,かかる例に限定されない。例えば,スピンドル25により高速回転する切削ブレード22を用いて被加工物12を切削加工する装置であれば,例えば,ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。
また,上記実施形態にかかる切削ユニット20では,スピンドル25の支持機構として,エアスピンドルの例を挙げて説明したが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,スピンドル25の支持機構は,スピンドル25をベアリングで機械的に支持するメカスピンドルであってもよい。本発明は,切削ブレード22を径方向に超音波振動させる超音波振動切削装置であれば,如何なるスピンドルの支持機構であっても適用可能である。
また,上記実施形態では,超音波振動子33は,スピンドル25の後端部側に設けられたが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,超音波振動子33は,スピンドル25の中央部または先端部側などに設けてもよい。
また,上記実施形態では,固定部材として固定ナット24を用いて基台部21をスピンドル25の先端部に固定したが,本発明は,かかる例に限定されず,任意の固定部材を用いてもよい。例えば,スピンドル25の先端部に形成された雌ねじ部(固定部材係合部に該当する。)と螺合する固定ボルトを用いて,当該固定ボルトの頭で基台部21を係止するようにして,基台部21をスピンドル25の先端部に固定してもよい。
また,基台部21の形状は上記実施形態の例に限定されず,切削ブレード22を支持可能であれば,任意の形状とすることができる。このとき,基台部21は,振動伝達方向変換点B(図4参照)を中心として,スピンドル25の軸方向に対称な形状とすることが好ましい。これにより,超音波振動の伝達方向を好適に変換して切削ブレード22に好適に伝達できる。
本発明は,切削ブレードを径方向に超音波振動させながら切削を行う超音波振動切削装置に適用可能である。
10 : ダイシング装置
12 : 被加工物
15 : チャックテーブル
16 : 表示装置
20 : 切削ユニット
21 : 基台部
22 : 切削ブレード
24 : 固定ナット(固定部材)
25 : スピンドル
26 : スピンドルハウジング
33 : 超音波振動子
50 : 非接触給電装置
212 : テーパ孔
214 : 軸着部
216 : 環状支持部
242 : 雌ねじ部
252 : テーパ部
254 : 雄ねじ部(固定部材係合部)
12 : 被加工物
15 : チャックテーブル
16 : 表示装置
20 : 切削ユニット
21 : 基台部
22 : 切削ブレード
24 : 固定ナット(固定部材)
25 : スピンドル
26 : スピンドルハウジング
33 : 超音波振動子
50 : 非接触給電装置
212 : テーパ孔
214 : 軸着部
216 : 環状支持部
242 : 雌ねじ部
252 : テーパ部
254 : 雄ねじ部(固定部材係合部)
Claims (1)
- スピンドルと,前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと,前記スピンドルの先端部に装着される切削ブレードと,前記スピンドルに設けられ前記スピンドルを超音波振動させる超音波振動子とを備え,前記超音波振動子から前記スピンドルを介して伝達される超音波振動の伝達方向を変換し,前記切削ブレードを径方向に超音波振動させて被加工物を切削する超音波振動切削装置において:
前記スピンドルの先端部には,前記スピンドルの先端側に向かうほど縮径するテーパ部と,前記テーパ部よりも前記スピンドルの先端側に形成され,固定部材と係合する固定部材係合部とが設けられており,
前記切削ブレードは,前記切削ブレードを支持する基台部と一体的に構成されており,
前記基台部の中心には,前記スピンドルの前記テーパ部と係合するテーパ孔が貫通形成されており,
前記切削ブレードを前記スピンドルに装着するに際し,前記基台部の前記テーパ孔を前記スピンドルの前記テーパ部に係合させた後,前記固定部材を前記スピンドルの前記固定部材係合部に締結することによって,前記基台部と前記スピンドルとが密着して固定されることを特徴とする,超音波振動切削装置。
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