JP4693529B2 - 超音波振動切削装置および超音波振動切削装置に用いられる取付補助治具 - Google Patents
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Description
円柱状の凸部21a,21bを有する。切削ブレード22は、先端部24の接合面と、凸部21aの接合面とで密着されるとともに、凸部21bの接合面と、凸部21bと同じ円柱状のスペーサ23の接合面とで密着される。なお、先端部24の接合面、凸部21a,21bの接合面、スペーサ23の接合面は、径方向すなわちX−Y平面に平行な面であり、かつ平坦な面であり、密着性が高まるように形成されている。このスピンドル25、切削ブレード22、スペーサ23は、取付ボルト29によって軸方向に相互に締め付けられるように構成される。すなわち、先端部24の切削ブレード22側には、取付ボルト29の先端と螺合できるように取付ボルト29先端側にタップが立てられた穴24cが形成されている。また、基台部21の回転軸を中心には、取付ボルト29が挿入される貫通孔21cが形成されている。さらに、スペーサ23の回転軸中心にも、取付ボルト29が挿入される貫通孔23cが形成されるとともに、接合面の反対側には、取付ボルト29の頭が配置される開口部が形成されている。
導通 密着部材は設けなくてもよい。
2 カセット機構
3 被加工物搬出・搬入機構
4 チャックテーブル機構
6 洗浄機構
7 被加工物搬送機構
8 モニタ
10 切削装置
12 被加工物
13 吸着チャック
14 チャックテーブル
15 吸着チャック支持台
20 超音波振動切削装置
21 基台部
21a,21b 凸部
21c,23c 貫通孔
22 切削ブレード
22a 切削砥石部
23 スペーサ
24 先端部
24c 穴
25 スピンドル
26 スピンドルハウジング
27 切削水供給ノズル
28 ブレードカバー
29 取付ボルト
30 ラジアルエアベアリング
31 スラストエアベアリング
32 モータ
33 超音波振動子
40 非接触式給電装置
42 1次トランス
44 2次トランス
52,54 密着部材
60 上部本体
61 下部本体
62,63 固定ネジ
251 スラストプレート
321 ロータ
322 ステータ
Claims (5)
- スピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記スピンドルの先端部に装着され、切削砥石部と該切削砥石部を支持する基台部と該基台部の中心部に形成された基台部貫通孔とを有した切削ブレードと、前記スピンドルに設けられて超音波振動を発する振動子とを備え、前記振動子から発せられ前記スピンドルの軸方向に伝達される超音波振動の伝達方向を前記切削ブレードの径方向に変換し、該径方向に超音波振動する前記切削ブレードによって被加工物を切削する超音波振動切削装置において、
前記スピンドルの先端部が接合する前記切削ブレードの接合面と反対側の接合面で前記切削ブレードに接合し、少なくとも前記超音波振動の周波数に応じて前記超音波振動の振動状態を調整し、中心部にスペーサ貫通孔が設けられたスペーサを備え、
前記スペーサ貫通孔と前記基台部貫通孔とを介して前記スピンドルの先端部のねじ穴に螺合するボルト部材の締結によって前記スペーサと前記切削ブレードとを前記スピンドルの先端部に固定するとともに、前記ボルト部材と前記スペーサ貫通孔の内壁とを接触状態にし、前記ボルト部材と前記基台部貫通孔の内壁とを非接触状態にすることを特徴とする超音波振動切削装置。 - 前記切削ブレードと前記スピンドルの先端部とが接合する面の間に密着部材を有し、前記密着部材は、導電性を有することを特徴とする請求項1に記載の超音波振動切削装置。
- 前記切削ブレードと前記スピンドルの先端部とが接合する面の間と、前記スペーサと前記切削ブレードとが接合する面の間との間に密着部材を配置し、該密着部材のいずれか一方あるいは双方が導電性を有することを特徴とする請求項1に記載の超音波振動切削装置。
- 前記密着部材は、体積抵抗が107Ω・m以下であることを特徴とする請求項2または3に記載の超音波振動切削装置。
- 前記密着部材は、樹脂に導電性材料を混合して形成した部材であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一つに記載の超音波振動切削装置。
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