JP4917399B2 - 切削ブレードに付与する超音波振動の周波数設定方法および切削装置 - Google Patents
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Description
(例えば、特許文献1参照。)
該超音波振動手段に切削ブレードが互いに90度の位相をもって拡大と縮小を交互に繰り返す逆位相モードで共振する周波数の交流電力を印加し、切削ブレードの振幅を検出する第1の振幅検出工程と、
該超音波振動手段に切削ブレードが放射方向に拡大と縮小を繰り返す同位相モードで共振する周波数の交流電力を印加し、切削ブレードの振幅を検出する第2の振幅検出工程と、
該第1の振幅検出工程と該第2の振幅検出工程によって検出された切削ブレードの振幅のうち大きい振幅が得られた周波数を該超音波振動手段に印加する交流電力の周波数として選定する周波数選定工程と、を含む、
ことを特徴とする切削工具に超音波振動を付与するための交流電力の周波数設定方法が提供される。
該回転スピンドルに取り付けられた該切削工具の切削ブレードの振幅を検出し、振幅信号を該制御手段に送る振幅検出手段を具備し、
該制御手段は、該超音波振動手段に切削ブレードが互いに90度の位相をもって拡大と縮小を交互に繰り返す逆位相モードで共振する周波数と切削ブレードが放射方向に拡大と縮小を繰り返す同位相モードで共振する周波数の交流電力を印加した際に該振幅検出手段が該切削ブレードの振幅を検出した振幅信号に基いて、振幅が大きいほうの位相モードにおける周波数を選定する、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
電力供給手段7は、スピンドルユニット4の後端部に配設されたロータリートランス8を具備している。ロータリートランス8は、回転スピンドル42の後端に配設された受電手段81と、該受電手段81と対向して配設されスピンドルハウジング41の後端部に配設された給電手段82とを具備している。受電手段81は、回転スピンドル42に装着されたロータ側コア811と、該ロータ側コア811に巻回された受電コイル812とからなっている。このように構成された受電手段81の受電コイル812の一端は上記超音波振動子6の電極板62に接続され、他端は電極板63に接続される。上記給電手段82は、受電手段81の外周側に配設されたステータ側コア821と、該ステータ側コア821に配設された給電コイル822とからなっている。このように構成された給電手段82の給電コイル822は、電気配線73、74を介して交流電力が供給される。
上記カバー部材30上に配設された検出器本体971を切削ブレード45の直下に移動する。次に、図2に示すように切削ブレード45を下降して検出器本体971のブレード受け入れ部974に侵入せしめる。そして、切削ブレード45の下端が発光手段972と受光手段973の中心に位置するように位置付ける。次に、電力供給手段7から電動モータ5のステータコイル52に交流電力を供給する。この結果、電動モータ5が回転して回転スピンドル42が回転し、該回転スピンドル42の先端に取付けられた切削工具43の振動伝達部材44に装着された切削ブレード45が回転せしめられる。
上述したように電動モータ5を駆動し回転スピンドル42を回転して切削ブレード45を回転した状態で、超音波振動子6に例えば10kHzの周波数の交流電力を印加する。そして、印加する交流電力の周波数を徐々に高めていく。その結果、例えば52kHz付近において逆位相モードで共振が発生する。このとき、発光手段972から発光された光を受光する受光手段973の受光量に対応した電圧信号が光電変換手段978から制御手段94に送られる。制御手段94は、光電変換手段978から送られた信号に基いて最大値と最小値を求め、最大値と最小値から切削ブレード45の振幅を検出する。そして、制御手段94は、切削ブレード45の振幅が最も大きいときの周波数を逆位相モードにおける周波数として制御手段94のメモリ941に格納する(第1の振幅検出工程)。次に、印加する交流電力の周波数を徐々に高めていくと、切削ブレード45の振幅は小さくなり、例えば55kHz付近において同位相モードで共振が発生する。このとき、発光手段972から発光された光を受光する受光手段973の受光量に対応した電圧信号が光電変換手段978から制御手段94に送られる。制御手段94は、光電変換手段978から送られた信号に基いて最大値と最小値を求め、最大値と最小値から切削ブレード45の振幅を検出する。そして、制御手段94は、切削ブレード45の振幅が最も大きいときの周波数を同位相モードにおける周波数として制御手段94のメモリ941に格納する(第2の振幅検出工程)。そして、制御手段94は、逆位相モードにおける切削ブレード45の振幅と同位相モードにおける切削ブレード45の振幅とを比較し、振幅が大きいほうの位相モードにおける上記周波数を選定しメモリ941に格納する(周波数選定工程)。
図3はメタルボンド切削ブレードを装着した切削工具(A)とレジンボンド切削ブレードを装着した切削工具(B)について、上述した逆位相モードにおけるブレードの振幅と同位相モードにおけるブレードの振幅を検出した結果を示すものである。なお、メタルボンド切削ブレードを装着した切削工具(A)は外径が80mm、内径が42mm、厚さが0.3mmであり、レジンボンド切削ブレードは外径が80mm、内径が42mm、厚さが0.1mmである。そして、上記超音波振動子6に印加する交流電力は、電圧が55Vで電流が600mAであった。図3に示すようにメタルボンド切削ブレードを装着した切削工具(A)は、逆位相モードのときの振幅が8.24μmで同位相モードのときの振幅が3.8μmであり、逆位相モードの方が振幅が大きい。一方、レジンボンド切削ブレードを装着した切削工具(B)
は、逆位相モードのときの振幅が6.48μmで同位相モードのときの振幅が8.32μmであり、同位相モードの方が振幅が大きい。従って、メタルボンド切削ブレードを装着した切削工具(A)を用いる場合は逆位相モードの周波数を選定し、レジンボンド切削ブレードを装着した切削工具(B)
を用いる場合は同位相モードの周波数を選定することが望ましい。
切削作業を実施するに際しては、回転スピンドル42の先端に取付けられた切削工具43について上述したように逆位相モードにおけるブレードの振幅と同位相モードにおけるブレードの振幅を検出し、振幅が大きいほうの位相モードにおける上記周波数を選定して制御手段94のメモリ941に格納する。また、上述したように予め切削工具43について上述したように逆位相モードにおけるブレードの振幅と同位相モードにおけるブレードの振幅を検出し、振幅が大きいほうの位相モードにおける上記周波数を選定して制御手段94のメモリ941に格納してある場合には、入力手段95から該当する切削工具のコードNo.を入力する。
3:チャックテーブ機構
30:チャックテーブル
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:切削工具
44:振動伝達部材
45:砥石ブレード
5:電動モータ
6:超音波振動子
7:電力供給手段
8:ロータリートランス
81:受電手段
82:給電手段
91:交流電源
92:電流調整手段
93:周波数調整手段
94:制御手段
95:入力手段
97:振幅検出手段
12:アライメント手段
13:表示手段
34:カセット載置テーブル
15:カセット
16:仮置きテーブル
17:搬出手段
18:搬送手段
19:洗浄手段
Claims (3)
- 切削ブレードが装着された切削工具を取り付けた回転スピンドルに配設されている超音波振動手段に印加する交流電力の周波数を設定する方法であって、
該超音波振動手段に切削ブレードが互いに90度の位相をもって拡大と縮小を交互に繰り返す逆位相モードで共振する周波数の交流電力を印加し、切削ブレードの振幅を検出する第1の振幅検出工程と、
該超音波振動手段に切削ブレードが放射方向に拡大と縮小を繰り返す同位相モードで共振する周波数の交流電力を印加し、切削ブレードの振幅を検出する第2の振幅検出工程と、
該第1の振幅検出工程と該第2の振幅検出工程によって検出された切削ブレードの振幅のうち大きい振幅が得られた周波数を該超音波振動手段に印加する交流電力の周波数として選定する周波数選定工程と、を含む、
ことを特徴とする切削工具に超音波振動を付与するための交流電力の周波数設定方法。 - 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための回転スピンドルと該回転スピンドルの端面に取り付けられた切削ブレードを備えた切削工具と該回転スピンドルに配設された超音波振動手段を備えた切削手段と、該超音波振動手段に交流電力を印加する電力供給手段とを具備し、該電力供給手段が超音波振動手段に印加する交流電力の周波数を調整する周波数調整手段と該周波数調整手段を制御する制御手段とを具備している、切削装置において、
該回転スピンドルに取り付けられた該切削工具の切削ブレードの振幅を検出し、振幅信号を該制御手段に送る振幅検出手段を具備し、
該制御手段は、該超音波振動手段に切削ブレードが互いに90度の位相をもって拡大と縮小を交互に繰り返す逆位相モードで共振する周波数と切削ブレードが放射方向に拡大と縮小を繰り返す同位相モードで共振する周波数の交流電力を印加した際に該振幅検出手段が該切削ブレードの振幅を検出した振幅信号に基いて、振幅が大きいほうの位相モードにおける周波数を選定する、
ことを特徴とする切削装置。 - 該制御手段は、選定した周波数を格納するメモリを具備しており、該メモリに格納された周波数に基いて上記周波数調整手段を制御する、請求項2記載の切削装置。
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