JP5341564B2 - 工具取り付けマウントの修正冶具 - Google Patents
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Description
このような問題を解消するために、工具取り付けマウントの切削ブレードを支持する端面を研削する端面修正冶具が提案されている。(例えば、特許文献2参照。)
該切削手段が、該チャックテーブルの保持面と平行に配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に装着された工具取り付けマウントと、該工具取り付けマウントに着脱可能に装着され外周部に切削ブレードが装着された円環状の基台に超音波振動子を配設した切削工具とを具備し、
該工具取り付けマウントが、該切削工具の円環状の基台が嵌合する装着軸部と装着軸部の外周側に設けられ該切削工具の円環状の基台を挟持する環状の挟持面および該環状の挟持面の外周側に配設され該超音波振動子に高周波電圧を印加するための電極端子を備えている、切削装置における工具取り付けマウントの修正冶具であって、
該チャックテーブルに保持される支持基台と、該支持基台に固定されたモータと、該モータの回転軸に装着され端面が研削面として機能する円柱状の研削砥石とを具備し、
該モータは、回転軸が該チャックテーブルの保持面に載置される該支持基台の下面と平行になるように該支持基台に固定されており、
該円柱状の研削砥石の直径は、該工具取り付けマウントの環状の挟持面の幅より大きく該装着軸部の外周面から該電極端子までの径方向距離より小さい値に設定されている、
ことを特徴とする工具取り付けマウントの修正冶具が提供される。
図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物を保持するチャックテーブル3が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル3は、吸着チャック支持台31と、該吸着チャック支持台31上に配設された吸着チャック32を具備しており、該吸着チャック32の上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル3は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル31には、被加工物として後述するウエーハを保護テープを介して支持する支持フレームを固定するためのクランプ33が配設されている。このように構成されたチャックテーブル3は、図示しない切削送り手段によって、矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
カセット載置テーブル14上に載置されたカセット15の所定位置に収容されている被加工物Wは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル14が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段17が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物Wを仮置きテーブル16上に搬出する。仮置きテーブル16に搬出された被加工物Wは、第1の搬送手段18の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。チャックテーブル3上に被加工物Wが載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物Wをチャックテーブル3上に吸引保持する。また、被加工物Wを保護テープTを介して支持する環状のフレームFは、上記クランプ33によって固定される。このようにして被加工物Wを保持したチャックテーブル3は、撮像手段12の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像手段12の直下に位置付けられると、撮像手段12によって被加工物Wに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット4を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削工具43の切削ブレード432との精密位置合わせ作業が行われる。
3:チャックテーブル
4:スピンドルユニット
42:回転スピンドル
43:切削工具
431:円環状の基台
432:切削ブレード
433:電極
434:超音波振動子
5:工具取り付けマウント
51:フランジ部
511:環状の挟持面
52:装着部
7:電極端子
8:電圧印加手段
9:工具取り付けマウントの修正冶具
91:円盤状に支持基台
92:モータ
93:円柱状の研削砥石
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を切削するする切削手段とを含み、
該切削手段が、該チャックテーブルの保持面と平行に配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に装着された工具取り付けマウントと、該工具取り付けマウントに着脱可能に装着され外周部に切削ブレードが装着された円環状の基台に超音波振動子を配設した切削工具とを具備し、
該工具取り付けマウントが、該切削工具の円環状の基台が嵌合する装着軸部と装着軸部の外周側に設けられ該切削工具の円環状の基台を挟持する環状の挟持面および該環状の挟持面の外周側に配設され該超音波振動子に高周波電圧を印加するための電極端子を備えている、切削装置における工具取り付けマウントの修正冶具であって、
該チャックテーブルに保持される支持基台と、該支持基台に固定されたモータと、該モータの回転軸に装着され端面が研削面として機能する円柱状の研削砥石とを具備し、
該モータは、回転軸が該チャックテーブルの保持面に載置される該支持基台の下面と平行になるように該支持基台に固定されており、
該円柱状の研削砥石の直径は、該工具取り付けマウントの環状の挟持面の幅より大きく該装着軸部の外周面から該電極端子までの径方向距離より小さい値に設定されている、
ことを特徴とする工具取り付けマウントの修正冶具。
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