JP4648119B2 - 切削装置 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 101
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- -1 gallium nitride compound Chemical class 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Description
該切削手段が回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に配設され該切削ブレードを挟持する第1のフランジ部材および第2のフランジ部材とを具備している切削装置において、
該第1のフランジ部材と該第2のフランジ部材の少なくとも一方に配設された超音波振動子と、
該超音波振動子に交流電圧を印加する電圧印加手段と、を具備しており、
該電圧印加手段が回転スピンドルに配設されたスピンドル側電極端子と、該第1のフランジ部材に配設され該スピンドル側電極端子に接触するフランジ部材側電極端子とを設け、
交流電圧は、スピンドル側電極端子、フランジ部材側電極端子を経て、該スピンドルと該第1のフランジ部材の内部を介して印加される、ことを特徴とする切削装置が提供される。
該第1のフランジ部材の内部に配設され、フランジ部材側電極端子と該超音波振動子の該電極板に接続するリード線とを備えている。上記超音波振動子は、第1のフランジ部材と第2のフランジ部材にそれぞれ配設されていることが望ましい。
この切削ブレード43およびその取付け構造について、図2乃至図5を参照して説明する。切削ブレード43は、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合剤で結合して円環状に形成した砥石ブレードからなっている。この切削ブレードとしては、砥粒をレジンボンド材に混錬し環状に成型して焼成したレジノイドブレードや、砥粒を金属ボンド材に混錬し環状に成型して焼成したメタルブレードや、アルミニウム等によって形成された基台の側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード等が用いられる。なお、円環状に形成された切削ブレード43の嵌合穴431の直径は、後述する第1のフランジ部材5の装着部52に嵌合する寸法に形成されている。
カセット載置テーブル24上に載置されたカセット25の所定位置に収容されている被加工物Wは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル24が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段27が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物Wを仮置きテーブル26上に搬出する。仮置きテーブル26に搬出された被加工物Wは、搬送手段28の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。チャックテーブル3上に被加工物Wが載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物Wをチャックテーブル3上に吸引保持する。また、被加工物Wを保護テープTを介して支持する支持フレームFは、上記クランプ33によって固定される。このようにして被加工物Wを保持したチャックテーブル3は、アライメント手段22の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3がアライメント手段22の直下に位置付けられると、アライメント手段22によって被加工物Wに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット4を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード43との精密位置合わせ作業が行われる。
なお、上述した実施形態においては、第1のフランジ部材5と第2のフランジ部材6にそれぞれ超音波振動子を配設した例を示したが、超音波振動子は第1のフランジ部材5か第2のフランジ部材6のいずれか一方に配設してもよい。
3:チャックテーブ
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:切削ブレード
5:第1のフランジ部材
51:フランジ部
52:装着部
6:第2のフランジ部材
8a:第1の超音波振動子
81a:圧電体
82a、83a:電極板
84a:絶縁体
8b:第1の超音波振動子
81b:圧電体
82b、83b:電極板
84b:絶縁体
9:電圧印加手段
11:交流電源
12:周波数変換器
22:アライメント手段
23:表示手段
24:カセット載置テーブル
25:カセット
26:仮置きテーブル
27:搬出手段
28:搬送手段
29:洗浄手段
30:洗浄搬送手段
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円環状の切削ブレードを備えた切削手段とを含み、
該切削手段が回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に配設され該切削ブレードを挟持する第1のフランジ部材および第2のフランジ部材とを具備している切削装置において、
該第1のフランジ部材と該第2のフランジ部材の少なくとも一方に配設された超音波振動子と、
該超音波振動子に交流電圧を印加する電圧印加手段と、を具備しており、
該電圧印加手段が回転スピンドルに配設されたスピンドル側電極端子と、該第1のフランジ部材に配設され該スピンドル側電極端子に接触するフランジ部材側電極端子とを設け、
交流電圧は、スピンドル側電極端子、フランジ部材側電極端子を経て、該スピンドルと該第1のフランジ部材の内部を介して印加される、ことを特徴とする切削装置。 - 該超音波振動子は該回転スピンドルの軸方向に分極された環状の圧電体と該圧電体の両側分極面にそれぞれ配設された電極板とを備えており、該電圧印加手段は該超音波振動子の該電極板に交流電圧を印加する、請求項1記載の切削装置。
- 該電圧印加手段は、該回転スピンドルの中心部に軸方向に形成された穴に配設されスピンドル側電極端子と交流電源に接続するリード線と、
該第1のフランジ部材の内部に配設され、フランジ部材側電極端子と該超音波振動子の該電極板に接続するリード線とを備えている、請求項1記載の切削装置。 - 該超音波振動子は、該第1のフランジ部材と該第2のフランジ部材にそれぞれ配設されている、請求項1から3のいずれかに記載の切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005211515A JP4648119B2 (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005211515A JP4648119B2 (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007021701A JP2007021701A (ja) | 2007-02-01 |
JP4648119B2 true JP4648119B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=37783109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005211515A Active JP4648119B2 (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4648119B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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