JP2006218571A - ドレッシングボードおよびドレッシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードであって切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部とを具備している。
【選択図】 図3
Description
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
ことを特徴とするドレッシングボードが提供される。
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
カセット載置テーブル8上に載置されたカセット9の所定位置に収容されている被加工物10は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル8が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段15が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物10を仮置きテーブル14上に搬出する。仮置きテーブル14に搬出された被加工物10は、搬送手段16の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。チャックテーブル3上に被加工物10が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物10をチャックテーブル3上に吸引保持する。また、被加工物10を保護テープ12を介して支持する支持フレーム11は、上記クランプ33によって固定される。このようにして被加工物10を保持したチャックテーブル3は、アライメント手段6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3がアライメント手段6の直下に位置付けられると、アライメント手段6によって被加工物10に形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット4を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード43との精密位置合わせ作業が行われる。
図3に示す第1に実施形態におけるドレッシングボード100は、切削ブレード43の外形を修正する外形修正部101と、切削ブレード43の目立てをする目立て部102とが同一平面上に隣接して形成されている。外形修正部101は、酸化アルミ(Al2O3)からなるホワイトアランダム(WA)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにホワイトアランダム(WA)砥粒によって形成された外形修正部101は、比較的硬度が高いので切削ブレードの外形修正に適する。一方、目立て部102は、炭化珪素(SiC)からなるグリーンカーボランダム(GC)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにグリーンカーボランダム(GC)砥粒によって形成された目立て部102は、比較的硬度が低いので切削ブレードの目立てに適する。なお、図示の実施形態においては、外形修正よりも目立ての頻度が高い(例えば、外形修正1:目立て5)ことから、目立て部102は外形修正部101より大きい面積を有しているが、両方とも同じ面積でもよい。このように形成された外形修正部101と目立て部102は、図3に示すように同一平面上で接着剤等によって互いに接合される。
先ず、上記図3に示すドレッシングボード100を用いたドレッシング方法の一実施形態について、図5および図6を参照して説明する。
上記切削装置における図1に示す待機位置に位置付けられているチャックテーブル3を構成する吸着チャック32上にドレッシングボード100を載置し、図示しない吸引手段の吸引作用によって吸着チャック32上にドレッシングボード100を吸引保持する。このとき、図5および図6に示すようにドレッシングボード100は、ガラス基板120の表面にワックス等の接着剤によって装着し、ガラス基板120を介して吸着チャック32上に吸引保持される(ドレッシングボード保持工程)。このようにドレッシングボード100を吸引保持したチャックテーブル3は、撮像機構6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像機構6の直下に位置付けられると、撮像機構6によってドレッシングボード100の縁辺が検出され、外形修正部101と目立て部102が矢印Xで示す切削送り方向に対して並列になるように位置合わせ作業が行われる(アライメント工程)。
この実施形態においては、上述したアライメント工程において、図7および図8に示すようにドレッシングボード100の外形修正部101と目立て部102が矢印Xで示す切削送り方向に対して縦列するように位置付けられる。
この実施形態においては、ドレッシングボード保持工程においてドレッシングボード110は、図9および図10に示すように目立て部112側をガラス基板120に装着する。従って、ドレッシングボード110は外形修正部111が上側となる。このようにしてドレッシングボード保持工程を実施したならば、ドレッシングボード110を吸引保持したチャックテーブル3は、撮像機構6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像機構6の直下に位置付けられると、撮像機構6によってドレッシングボード110の縁辺が検出され、該縁辺と矢印Xで示す切削送り方向とが平行になるように位置合わせ作業が行われる(アライメント工程)。
3:チャックテーブ
4:スピンドルユニット
6:アライメント手段
7:表示手段
8:カセット載置テーブル
9:カセット
10:被加工物
11:環状の支持フレーム
12:保護テープ
14:仮置きテーブル
15:搬出手段
16:搬送手段
17:洗浄手段
18:洗浄搬送手段
43:切削ブレード
100、110: ドレッシングボード
101、111:ドレッシングボードの外形修正部
102、112:ドレッシングボードの目立て部
Claims (7)
- 砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードにおいて、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
ことを特徴とするドレッシングボード。 - 該外形修正部と該目立て部は、同一平面上に隣接して形成されている、請求項1記載のドレッシングボード。
- 該外形修正部と該目立て部は、互いに重合して形成されている、請求項1記載のドレッシングボード。
- 該外形修正部はホワイトアランダム砥粒を樹脂で結合して形成され、該目立て部はグリーンカーボランダム砥粒を樹脂で結合して形成されている、請求項1から3のいずれかに記載のドレッシングボード。
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。 - 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。 - 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
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