JP2006218571A - ドレッシングボードおよびドレッシング方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができるドレッシングボードおよびドレッシング方法を提供する。
【解決手段】 砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードであって切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部とを具備している。
【選択図】 図3

Description

本発明は、被加工物を切削する切削ブレード、更に詳しくはダイヤモンド等からなる砥粒を結合部材で結合して円形に形成した切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードおよびドレッシング方法に関する。
生セラミックス基板の表面に複数のコンデンサー(デバイス)がマトリックス状に配設されたウエーハや、樹脂基板の表面に複数のLED(デバイス)がマトリックス状に配設されたウエーハや、シリコン基板の表面に複数のIC、LSI等の回路(デバイス)がマトリックス状に配設されたウエーハは、各デバイスを区画する格子状のストリートに沿って切断することにより個々のチップ(デバイス)に分割され、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
上述したウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んでいる。このような切削装置に用いられる切削ブレードとしては、アルミニウム等によって形成された基台の側面に、ダイヤモンド等からなる砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒をレジンボンドで結合して円形に形成したレジノイドブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒を金属ボンドで焼き固めたメタルブレード等があり、厚さが30〜300μmに形成されている。このように、上記各種の結合部材で結合して形成された切削ブレードは、被加工物の種類に対応して適宜選択して使用されている。
しかるに、回転スピンドルの軸心と該回転スピンドルに装着された切削ブレードの回転中心が僅かに偏心していると、切削ブレードを装着した回転スピンドルを高速回転した際に、切削ブレードが回転軸芯と直交する方向(切り込み方向)に振動する。このように、切削ブレードが振動した状態でウエーハのストリートに沿って切削すると、ストリートにダメージを与えてチップの切削面にチッピングが発生する。このため、切削ブレードを交換した際には、切削ブレードの外周を修正する真円出しドレッシングを実施している。また、切削ブレードは切削を継続すると外周が先細りとなり、この状態で切削を続行するとチップの側面の形状精度を悪化させるという問題がある。このため、定期的に切削ブレードの外周を修正する外形修正ドレッシングを実施している。また、切削ブレードは切削を継続すると目つぶれが生じ切削能力が低下するため、定期的に目立てドレッシングを実施している。(例えば、特許文献1参照。)
特開平2000−49120号公報
而して、切削ブレードの外周を修正する外形修正用のドレッシングボードと目立て用のドレッシングボードは使用する砥粒が異なるため、従来はそれぞれのドレッシングに適したドレッシングボードを用意し、切削ブレードの外周修正と目立てとをそれぞれ別々に行わなければならず、効率的でないという問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができるドレッシングボードおよびドレッシング方法を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードにおいて、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
ことを特徴とするドレッシングボードが提供される。
上記外形修正部と上記目立て部は、同一平面上に隣接して形成されている。また、上記外形修正部と上記目立て部は、互いに重合して形成されている。上記外形修正部はホワイトアランダム砥粒を樹脂で結合して形成され、上記目立て部はグリーンカーボランダム砥粒を樹脂で結合して形成されている。
また、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
更に、発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
また、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
本発明によるドレッシングボードは切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とを具備しているので、ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができる。
以下、本発明に従って構成されたドレッシングボードおよびドレッシング方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
図1には、本発明に従って構成されたドレッシングボードを用いてドレッシングされる切削ブレードを装備した切削装置の斜視図が示されている。図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物を保持するチャックテーブル3が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル3は、吸着チャック支持台31と、該吸着チャック支持台31上に配設された吸着チャック32を具備しており、該吸着チャック32の上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル3は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル31には、被加工物として後述する半導体ウエーハを保護テープを介して支持する支持フレームを固定するためのクランプ33が配設されている。このように構成されたチャックテーブル3は、図示しない切削送り手段によって、矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
図示の実施形態における切削装置は、切削手段としてのスピンドルユニット4を具備している。スピンドルユニット4は、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Yで示す方向および切り込み方向である矢印Zで示す方向に移動調整されるスピンドルハウジング41と、該スピンドルハウジング41に回転自在に支持された回転スピンドル42と、該回転スピンドル42の前端部に装着された切削ブレード43とを具備している。この切削ブレード43およびその取付け構造について、図2を参照して説明する。図2に示す切削ブレード43は、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合剤で結合して円形に形成した切削ブレードからなっている。この切削ブレードとしては、砥粒をレジンボンド材に混錬し環状に成型して焼成したレジノイドブレードや、砥粒を金属ボンド材に混錬し環状に成型して焼成したメタルブレードや、アルミニウム等によって形成された基台の側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード等が用いられる。
上述したように構成された切削ブレード43は、切削装置のスピンドルハウジング41に回転自在に支持された回転スピンドル42に取付けられているマウンター44に装着される。即ち、マウンター44の円筒状の装着部441に環状の切削ブレード43を嵌合するとともに挟持部材45を嵌合した後、締め付けリング46をマウンター44に形成された雄ネジ部に螺合することにより、切削ブレード43をマウンター44に装着する。
以上のように構成された切削手段としてのスピンドルユニット4は、図示しない割り出し送り手段によって図1において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない切り込み送り手段によって図1において矢印Zで示す切り込み送り方向に移動せしめられるようになっている。
図1に戻って説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記チャックテーブル3上に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード43によって切削すべき領域を検出するためのアライメント手段6を具備している。このアライメント手段6は、顕微鏡やCCDカメラ等の光学手段からなる撮像手段を具備している。また、切削装置は、アライメント手段6によって撮像された画像を表示する表示手段7を具備している。
上記装置ハウジング2におけるカセット載置領域8aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル8が配設されている。このカセット載置テーブル8は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル8上には、被加工物10を収容するカセット9が載置される。カセット9に収容される被加工物10は、ウエーハの表面に格子状のストリートが形成されており、この格子状のストリートによって区画された複数の矩形領域にコンデンサーやLEDや回路等のデバイスが形成されている。このように形成された被加工物10は、環状の支持フレーム11に装着された保護テープ12の表面に裏面が貼着された状態でカセット9に収容される。
また、図示の実施形態における切削装置は、カセット載置テーブル8上に載置されたカセット9に収容されている被加工物10(環状のフレーム11に保護テープ12を介して支持されている状態)を仮置きテーブル14に搬出する搬出手段15と、仮置きテーブル14に搬出された被加工物10を上記チャックテーブル3上に搬送する搬送手段16と、チャックテーブル3上で切削加工された被加工物10を洗浄する洗浄手段17と、チャックテーブル3上で切削加工された被加工物10を洗浄手段17へ搬送する洗浄搬送手段18を具備している。
以上のように構成された切削装置の作動について、簡単に説明する。
カセット載置テーブル8上に載置されたカセット9の所定位置に収容されている被加工物10は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル8が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段15が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物10を仮置きテーブル14上に搬出する。仮置きテーブル14に搬出された被加工物10は、搬送手段16の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。チャックテーブル3上に被加工物10が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物10をチャックテーブル3上に吸引保持する。また、被加工物10を保護テープ12を介して支持する支持フレーム11は、上記クランプ33によって固定される。このようにして被加工物10を保持したチャックテーブル3は、アライメント手段6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3がアライメント手段6の直下に位置付けられると、アライメント手段6によって被加工物10に形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット4を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード43との精密位置合わせ作業が行われる。
その後、切削ブレード43を矢印Zで示す方向に所定量切り込み送りし所定の方向に回転させつつ、被加工物10を吸引保持したチャックテーブル3を切削送り方向である矢印Xで示す方向(切削ブレード43の回転軸と直交する方向)に所定の切削送り速度で移動することにより、チャックテーブル3上に保持された半導体ウエーハ10は切削ブレード43により所定のストリートに沿って切断される。被加工物10を所定のストリートに沿って切断したら、チャックテーブル3を矢印Yで示す方向にストリートの間隔だけ割り出し送りし、上記切断作業を実施する。そして、被加工物10の所定方向に延在するストリートの全てに沿って切断作業を実施したならば、チャックテーブル3を90度回転させて、被加工物10の所定方向と直交する方向に延在するストリートに沿って切削作業を実行することにより、被加工物10に格子状に形成された全てのストリートが切削されて個々のチップに分割される。なお、分割されたチップは、保護テープ12の作用によってバラバラにはならず、フレーム11に支持されたウエーハの状態が維持されている。
上述したように被加工物10のストリートに沿って切断作業が終了したら、被加工物10を保持したチャックテーブル3は最初に被加工物10を吸引保持した位置に戻される。そして、被加工物10の吸引保持を解除する。次に、被加工物10は洗浄搬送手段18によって洗浄手段17に搬送される。洗浄手段17に搬送された被加工物10は、ここで洗浄および乾燥される。このようにして洗浄および乾燥された被加工物10は、搬送手段16によって仮置きテーブル14に搬出される。そして、被加工物10は、搬出手段14によってカセット9の所定位置に収納される。従って、搬出手段14は、加工後の被加工物10をカセット9に搬入する搬入手段としての機能も備えている。
上述したように切削作業を継続すると、切削ブレード43は外周が先細りとなり、この状態で切削を続行するとチップの側面の形状精度を悪化させるという問題がある。このため、定期的に切削ブレードの外周を修正するドレッシングを実施する必要がある。また、切削ブレード43は切削を継続すると目つぶれが生じ切削能力が低下するため、定期的に目立てドレッシングを実施する必要がある。更に、切削ブレード43を交換した際には、上述したように切削ブレードの外周を修正する真円出しドレッシングを実施する必要がある。
ここで、切削ブレードの外周を修正するドレッシングと目立てドレッシングを実施することができるドレッシングボードについて、図3および図4を参照して説明する。
図3に示す第1に実施形態におけるドレッシングボード100は、切削ブレード43の外形を修正する外形修正部101と、切削ブレード43の目立てをする目立て部102とが同一平面上に隣接して形成されている。外形修正部101は、酸化アルミ(Al2O3)からなるホワイトアランダム(WA)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにホワイトアランダム(WA)砥粒によって形成された外形修正部101は、比較的硬度が高いので切削ブレードの外形修正に適する。一方、目立て部102は、炭化珪素(SiC)からなるグリーンカーボランダム(GC)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにグリーンカーボランダム(GC)砥粒によって形成された目立て部102は、比較的硬度が低いので切削ブレードの目立てに適する。なお、図示の実施形態においては、外形修正よりも目立ての頻度が高い(例えば、外形修正1:目立て5)ことから、目立て部102は外形修正部101より大きい面積を有しているが、両方とも同じ面積でもよい。このように形成された外形修正部101と目立て部102は、図3に示すように同一平面上で接着剤等によって互いに接合される。
図4に示す第2に実施形態におけるドレッシングボード110は、切削ブレード43の外形を修正する外形修正部111と、切削ブレード43の目立てをする目立て部112とが互いに積層して形成されている。外形修正部111は上記図3に示すドレッシングボード100の外形修正部101と同様に、酸化アルミ(Al2O3)からなるホワイトアランダム(WA)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが0.1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。また、目立て部112も上記図3に示すドレッシングボード100の目立て部102と同様に、炭化珪素(SiC)からなるグリーンカーボランダム(GC)砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが1mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。なお、外形修正部111と目立て部112は、同一の面積に形成される。このように形成された外形修正部111と目立て部112は、図4に示すように互いに重合し接着剤等によって接合される。
次に、上述したドレッシングボード100および110を用いて、切削ブレード43の外形修正および目立てをするためのドレッシング方法について説明する。
先ず、上記図3に示すドレッシングボード100を用いたドレッシング方法の一実施形態について、図5および図6を参照して説明する。
上記切削装置における図1に示す待機位置に位置付けられているチャックテーブル3を構成する吸着チャック32上にドレッシングボード100を載置し、図示しない吸引手段の吸引作用によって吸着チャック32上にドレッシングボード100を吸引保持する。このとき、図5および図6に示すようにドレッシングボード100は、ガラス基板120の表面にワックス等の接着剤によって装着し、ガラス基板120を介して吸着チャック32上に吸引保持される(ドレッシングボード保持工程)。このようにドレッシングボード100を吸引保持したチャックテーブル3は、撮像機構6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像機構6の直下に位置付けられると、撮像機構6によってドレッシングボード100の縁辺が検出され、外形修正部101と目立て部102が矢印Xで示す切削送り方向に対して並列になるように位置合わせ作業が行われる(アライメント工程)。
次に、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード100を構成する外形修正部101の所定位置に位置付けるとともに、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図5に示すように切削ブレード43を矢印で示す方向に例えば20,000rpmで回転させつつ、ドレッシングボード100を吸引保持したチャックテーブル3を矢印X1で示す切削送り方向に例えば1mm/秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード100を構成する外形修正部101の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード43をドレッシングする(外形修正工程)。この結果、切削ブレード43は、その外形が修正されて真円出しおよび外形が整形される。なお、切削ブレード43は外周が先細りまたは偏心が大きく、1回のドレッシングでは外形修正が十分でない場合には、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記外形修正工程を複数回実施する。
上述したように外形修正工程を実施したならば、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード100を構成する目立て部102の所定位置に位置付けるとともに、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図6に示すように切削ブレード43を矢印で示す方向に例えば20,000rpmで回転させつつ、ドレッシングボード100を吸引保持したチャックテーブル3を矢印X1で示す切削送り方向に例えば1mm/秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード100を構成する目立て部102の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード43をドレッシングする(目立て工程)。この結果、切削ブレード43は、外周面および両側面が目立てされる。なお、1回のドレッシングでは目立てが十分でない場合には、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記目立て工程を複数回実施する。
次に、上記図3に示すドレッシングボード100を用いたドレッシング方法の他の実施形態について、図7および図8を参照して説明する。
この実施形態においては、上述したアライメント工程において、図7および図8に示すようにドレッシングボード100の外形修正部101と目立て部102が矢印Xで示す切削送り方向に対して縦列するように位置付けられる。
上記アライメント工程を実施したならば、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード100を構成する外形修正部101の所定位置に位置付けるとともに、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図7に示すように切削ブレード43を矢印で示す方向に例えば20,000rpmで回転させつつ、ドレッシングボード100を吸引保持したチャックテーブル3を矢印X1で示す切削送り方向に例えば1mm/秒の送り速度で移動する。この結果、切削ブレード43は外形修正部101を切削する間に外形が修正される(外形修正工程)。このようにして外形修正部101を切削したならば、引き続き切削ブレード43は目立て部102を切削することにより、外周面および両側面が目立てされる(目立て工程)。この実施形態によれば、1回のドレッシング工程において外形修正工程と目立て工程を実施することができる。なお、1回のドレッシングでは外形修正および目立てが十分でない場合には、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記ドレッシングを複数回実施する。
次に、上記図4に示すドレッシングボード110を用いたドレッシング方法について、図9および図10を参照して説明する。
この実施形態においては、ドレッシングボード保持工程においてドレッシングボード110は、図9および図10に示すように目立て部112側をガラス基板120に装着する。従って、ドレッシングボード110は外形修正部111が上側となる。このようにしてドレッシングボード保持工程を実施したならば、ドレッシングボード110を吸引保持したチャックテーブル3は、撮像機構6の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像機構6の直下に位置付けられると、撮像機構6によってドレッシングボード110の縁辺が検出され、該縁辺と矢印Xで示す切削送り方向とが平行になるように位置合わせ作業が行われる(アライメント工程)。
上記アライメント工程を実施したならば、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード110の所定位置に位置付けるとともに、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動して目立て部112を切り込むことができる所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図9に示すように切削ブレード43を矢印で示す方向に例えば20,000rpmで回転させつつ、ドレッシングボード110を吸引保持したチャックテーブル3を矢印X1で示す切削送り方向に例えば1mm/秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード110の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード43をドレッシングする(整形工程)。このドレッシング工程においては、図10に示すように切削ブレード43は上側の外形修正部111を通過する際には外形が修正され、下側の目立て部112を通過する際には外周面および両側面が目立てされる。この実施形態によれば、1回のドレッシング工程において切削ブレード43の外形修正と目立てを同時に実施することができる。なお、1回のドレッシングでは外形修正および目立てが十分でない場合には、切削ブレード43を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記整形工程を複数回実施する。
以上のように、本発明によって構成されたドレッシングボード100および110は、切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部を具備しているので、ドレッシングボードを取り替えることなく、切削ブレードの外形修正と切削ブレードの目立てを行うことができる。
本発明によるドレッシング方法を実施する切削ブレードを装備した切削装置の斜視図。 図1に示す切削装置に装備されるスピンドルユニットの分解斜視図。 本発明に従って構成されたドレッシングボードの一実施形態を示す斜視図。 本発明に従って構成されたドレッシングボードの他の実施形態を示す斜視図。 図3に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の一実施形態における外形修正工程の説明図。 図3に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の一実施形態における目立て工程の説明図。 図3に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の他の実施形態における外形修正工程の説明図。 図3に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の他の実施形態における目立て工程の説明図。 図4に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の説明図。 図4に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法を示す断面図。
符号の説明
2:装置ハウジング
3:チャックテーブ
4:スピンドルユニット
6:アライメント手段
7:表示手段
8:カセット載置テーブル
9:カセット
10:被加工物
11:環状の支持フレーム
12:保護テープ
14:仮置きテーブル
15:搬出手段
16:搬送手段
17:洗浄手段
18:洗浄搬送手段
43:切削ブレード
100、110: ドレッシングボード
101、111:ドレッシングボードの外形修正部
102、112:ドレッシングボードの目立て部

Claims (7)

  1. 砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードにおいて、
    切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
    ことを特徴とするドレッシングボード。
  2. 該外形修正部と該目立て部は、同一平面上に隣接して形成されている、請求項1記載のドレッシングボード。
  3. 該外形修正部と該目立て部は、互いに重合して形成されている、請求項1記載のドレッシングボード。
  4. 該外形修正部はホワイトアランダム砥粒を樹脂で結合して形成され、該目立て部はグリーンカーボランダム砥粒を樹脂で結合して形成されている、請求項1から3のいずれかに記載のドレッシングボード。
  5. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
    切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
    該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
    該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
    該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
    ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
  6. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
    切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
    該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
    該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
    該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
    ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
  7. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
    切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
    該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
    ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
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