JP2006312217A - ブレードコンディショニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラスや樹脂等の材料に溝加工や切断加工を施す薄刃砥石(ブレード)のツルーイングとドレッシングとを有効に行うことのできるブレードコンディショニング方法を提供すること。
【解決手段】ツルーイング用砥石41とドレッシング用砥石42とを1枚の環状フレームFにマウントし、ダイシングブレード(ブレード)22でツルーイング用砥石41とドレッシング用砥石42に溝加工を施すことによってダイシングブレード22のツルーイング作業とドレッシング作業を一連の動作で行うようにし、有効なブレードコンディショニングを容易に実施できるようにした。
【選択図】 図3
【解決手段】ツルーイング用砥石41とドレッシング用砥石42とを1枚の環状フレームFにマウントし、ダイシングブレード(ブレード)22でツルーイング用砥石41とドレッシング用砥石42に溝加工を施すことによってダイシングブレード22のツルーイング作業とドレッシング作業を一連の動作で行うようにし、有効なブレードコンディショニングを容易に実施できるようにした。
【選択図】 図3
Description
本発明は、ブレードコンディショニング方法に関するもので、特に水晶、サファイヤ、ガラス等の難研削材をダイシング装置で完全切断したり所定深さの溝を形成したりするための薄刃砥石をツルーイングやドレッシングするブレードコンディショニング方法に関する。
超小型の振動子、表面弾性波フィルタ、その他電子部品等の製造工程においては、水晶、サファイヤ、ガラス等の難研削材の板材に溝加工を施したり、完全切断して個々の部品に分割する工程が用いられることが多い。
一方、表面に半導体装置が多数形成されたウェーハを個々の半導体チップに分割する工程では、ダイシングブレードと呼ばれる薄刃砥石(以後、単にブレードと称することがある。)でウェーハに不完全溝を形成(ハーフカットと称される。)するか、あるいは完全溝を形成(フルカットと称される。)して、個々のチップに分割するダイシング装置が用いられる。
また最近、半導体装置の小型化をより一層促進したチップサイズパッケージの製造工程においては、半導体装置チップが複数個マウントされた樹脂基板を個々の半導体装置に分割するためにダイシング装置が用いられている。
また前述した水晶、サファイヤ、ガラス等の難研削材の溝加工や切断加工においても、ダイシング装置を用い、回転する薄刃砥石(ブレード)をワークに対して水平方向に相対移動させ、研削液をかけながら研削することが行われている。
ブレードは、ダイヤモンド砥粒をフェノール樹脂等の樹脂系ボンド材で結合したレジンボンドブレードやニッケル等の金属をボンド材としたメタルボンドブレード、あるいは樹脂と金属の混合ボンド材を用いたメタルレジンブレードが一般的である。
このブレードで前述したワークに溝加工や切断加工を行った場合、加工が進行するにつれ研削屑が砥粒と砥粒との間に詰まって切れ味が低下する目づまり現象や、砥粒の先端が磨耗して切れ味が低下する目つぶれ現象が生じてくる。このような現象が生じた場合、研削屑を除去するとともに、先端が磨耗した砥粒を脱落させ新しい切刃を覗かせるドレッシングと称する目直し作業を行い、ブレードの切れ味を維持することが行われている。
ドレッシングは通常、ワークの代わりにGC(Green Silicon Carbide)砥石又はWA(White Fused Alumina)砥石からなるドレスボードと称されるプレートに溝入れを行うことによって行われる。
このドレッシングを効率よく行うために種々の提案がなされている(例えば、特許文献1参照。)。この特許文献1に記載された提案では、ダイシングブレードの上面にドレスボードを設け、ワークを切断すると同時にドレスボードにも切り込みを入れるようにしている。
特開平10−275786号公報
ところで、前述のドレッシング作業は頻繁に行うほどブレードの切れ味を低下させずに研削加工を行うことができるが、反面ブレードの磨耗が多くなる。前述した特許文献1(特開平10−275786号公報)に開示された提案の場合、ワークの溝加工と同時に毎回ドレスボードにも溝入れを行うので、ブレードの磨耗が激しく、溝幅の減少による加工精度の低下とブレード寿命の低下とが生じ、実用的でないという問題を有していた。
また、ブレードを最初にダイシング装置のスピンドルに取り付けた時のブレード外周の偏心を修正するためのツルーイングと称する形直し作業を行う必要があるが、前述した特許文献1ではこのツルーイングについてなんら記載がされていない。そのため、前述の特許文献1の場合にはツルーイング作業をダイシング装置外で別途行うか、あるいはダイシング装置内の別の位置で別工程で行う必要がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、水晶、サファイヤ、ガラス等の難研削材や、樹脂等の目づまりし易い材料に溝加工や切断加工を施す薄刃砥石(ブレード)のツルーイングとドレッシングとを有効に行うことのできるブレードコンディショニング方法を提供することを目的とする。
本発明は前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、ダイシングブレードのブレードコンディショニング方法において、少なくともツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とを表面に粘着層を有したシートを介して1枚の環状フレームにマウントし、
前記ツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とがマウントされた前記環状フレームをダイシング装置のワークテーブルに固着し、前記ダイシングブレードで前記ツルーイング用砥石に所定条件で溝加工を施し、前記ダイシングブレードで前記ドレッシング用砥石に所定条件で溝加工を施し、前記ダイシングブレードの形直しと目直しとを一連の動作で行うことを特徴とするブレードコンディショニング方法を提供する。
前記ツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とがマウントされた前記環状フレームをダイシング装置のワークテーブルに固着し、前記ダイシングブレードで前記ツルーイング用砥石に所定条件で溝加工を施し、前記ダイシングブレードで前記ドレッシング用砥石に所定条件で溝加工を施し、前記ダイシングブレードの形直しと目直しとを一連の動作で行うことを特徴とするブレードコンディショニング方法を提供する。
請求項1の発明によれば、少なくともツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とを1枚の環状フレームにマウントし、ダイシングブレードでツルーイング用砥石とドレッシング用砥石に溝加工を施すことによってダイシングブレードのツルーイング作業とドレッシング作業を一連の動作で行うので、有効なブレードコンディショニングを容易に実施することができる。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1の発明において、前記ダイシングブレードの両側面を片面ずつ前記ツルーイング用砥石又は前記ドレッシング用砥石或いは別の専用砥石の側面に接触させ、該両側面の目直しを行うことを特徴とするブレードコンディショニング方法を提供する。
請求項2の発明によれば、ダイシングブレードの両側面を片面ずつ砥石の側面に接触させて側面ドレッシングを行うので、ダイシングブレードの厚さ方向の磨耗を抑制しつつ側面ドレッシングを有効に行うことができる。
以上説明したように本発明のブレードコンディショニング方法によれば、ダイシングブレードのツルーイング作業とドレッシング作業とを一連の動作で行うことができ、有効なブレードコンディショニングを容易に実施することができる。
以下添付図面に従って本発明に係る研削加工方法の好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
最初に、ダイシング装置についてその概要を説明する。図1は、ダイシング装置の外観を示す斜視図である。ダイシング装置10は、加工部20、操作・表示部11、撮像手段12、モニターテレビ13、表示灯14、及びコントローラ15等から構成されている。
加工部20は、ワークに溝加工や切断加工を行う部分である。撮像手段12はワークのアライメントや加工状態を評価するために、ワーク表面を撮像する部分で、操作・表示部11にはダイシング装置10の各部の操作を行うスイッチや表示手段が設けられている。コントローラ15はダイシング装置10の各動作をコントロールする部分で、マイクロプロセッサ、メモリ、及び入出力回路等で構成され、ダイシング装置10の架台内部に格納されている。
図2は、加工部20の構造を示す斜視図である。図2に示すように、加工部20には、先端にブレード22を設けたスピンドル24が保持ブロック25を介してZテーブル26に吊下げ保持されている。
Zテーブル26は、Yテーブル28に設けられたZガイド26A、26Aに案内されて図示しないボールスクリューとステッピングモータによって切込み送り方向であるZ方向に駆動される。
またYテーブル28はYベース30に設けられたYガイド28A、28Aに案内されて同じく図示しないボールスクリューとステッピングモータによってインデックス送り方向であるY方向に駆動される。
このZ方向及びY方向の駆動では、どちらも図示しないリニアスケールからの位置信号によるフィードバック制御を行っており、夫々精密に駆動される。一方、研削送り方向であるX方向には、図示しないXガイドとリニアモータによって駆動されるXテーブル36があり、上部にワークを載置するワークテーブル34が組み込まれている。
ワークテーブル34のワークテーブル上面ベース34Bにはワークを吸着載置する吸着盤34Aが着脱可能に取付けられている。ワークテーブル34はまた、図示しない駆動機構によりθ方向に回転駆動されるようになっていて、基準位置(CH1位置)と90度回転した位置(CH2位置)とに位置付けられる。このような機構によって、ブレード22はZ方向の切込み送りとY方向のインデックス送りとがなされ、ワークはX方向の研削送りとθ方向の回転送りとがなされる。
次に、このダイシング装置10を用いた本発明に係るブレードコンディショニング方法
の実施の形態について説明する。先ず、図3に示すように、板状のツルーイング用砥石41、ドレッシング用砥石42、及びスティック状の側面ドレス用の専用砥石43を上面に粘着層を有するシートであるダイシングシートSに貼付するとともに、このダイシングシートSを環状フレームFに貼付することによって、これらを一体化する。
の実施の形態について説明する。先ず、図3に示すように、板状のツルーイング用砥石41、ドレッシング用砥石42、及びスティック状の側面ドレス用の専用砥石43を上面に粘着層を有するシートであるダイシングシートSに貼付するとともに、このダイシングシートSを環状フレームFに貼付することによって、これらを一体化する。
次に、このダイシングシートSを介して環状フレームFにマウントされたツルーイング用砥石41、ドレッシング用砥石42、及び専用砥石43を、環状フレームFごとダイシング装置10のワークテーブル34に載置して固定する。
次に、図4(a)に示すように、ダイシング装置10のスピンドル24に取り付けられて高速回転するブレード22の一方側の側面をドレッシングする。この場合、Z方向の所定の切り込み量位置にてブレード22の一方側の側面を側面ドレスの専用砥石43の側面に接触させ、紙面に対して垂直方向に所定の送り速度で研削送りし、これを数ライン繰り返す。次いで図4(b)に示すように、ブレード22の他方側の側面も同様に数ライン研削送りしてブレード22の両側面をドレッシングする(ステップS1)。
この側面ドレスでは、ブレード22の側面が専用砥石43の側面に接触した位置から更に5μm程度専用砥石43に押し付けた状態で研削送りする。ブレード22の片面は拘束されていないので一方側の側面を5μm程度押し付けることにより反対側に逃げるが、この時の応力により押し付けられた側の側面が適度にドレッシングされる。
次に、図4(c)に示すように、ブレード22によって所定の切り込み量、所定の送り速度で、所定のライン数ツルーイング用砥石41に溝加工を行う。これにより、ブレード22の偏心を形直しするとともに先端の目立てを行うツルーイングを実施する(ステップS2)。
引き続き、図4(d)に示すように、ブレード22によって所定の切り込み量、所定の送り速度で、所定のライン数ドレッシング用砥石42に溝加工を行う。これにより、ブレード22の主に外周部の目立てと目慣らしを行うドレッシングを実施する(ステップS3)。
以上説明したように、本発明のブレードコンディショニング方法では、ブレード22の側面ドレッシング用の専用砥石43、ツルーイング用砥石41、及びドレッシング用砥石42を1個の環状フレームFにマウントしてブレードコンディショニングを行うので、ブレード22の側面ドレッシング、ツルーイング、及びドレッシングを一連の動作で実行することができ、効率のよいブレードコンディショニングを行うことができる。
また、環状フレームFをワークをマウントするフレームと同一寸法として共用することにより、ワークの搬送手段を用いてブレードコンディショニング用の砥石を搬送することができ、ブレードコンディショニング動作の自動化を図ることができる。
外径寸法90mm×90mm、厚さ800μmのパイレックスガラス(商品名)をフルカットダイシングするためのブレード22のブレードコンディショニングを行った。使用ブレードは、旭ダイヤモンド工業株式会社製のレジン系ブレード型式SDC400−100BS662(54D−0.20T−40H)である。
このブレード22は、型式からも分かるように、ダイヤモンド砥粒の粒度が#400で、外径54mm、厚さ0.2mm、内径40mmのレジンブレードである。また、予めダイシング加工に使用して、かなり目づまりしたものを用いて行った。
また、ブレードコンディショニング砥石は、側面ドレスの専用砥石43が粒度#400のWA砥石で、断面寸法12mm×12mm長さ100mmのスティック型砥石、ツルーイング用砥石41が粒度#320のWA砥石で、縦75mm×横75mm厚さ1.5mmの板状砥石、ドレッシング用砥石が粒度#800のWA砥石で、縦75mm×横75mm厚さ1.5mmの板状砥石であり、いずれも株式会社ノリタケカンパニーリミテド製を用いた。
図5にブレードコンディショニング条件を一覧表で示す。先ず、ステップS1にてブレード22の側面ドレスを行った。このステップS1ではZ方向の切り込み量を1.5mmとし、ブレード22の一方側の側面を専用砥石43の側面に接触させてから更に5μm押し付け、送り速度2mm/secで4回研削送りし、ブレード22の一方側の側面をドレスした後、他方側の側面も同条件でドレスした。
次に、ステップS2で、ツルーイング用砥石41を切り込み量1mm、送り速度20mm/secで3ライン溝入れしてブレード22の主に外周先端部をツルーイングし、最後にステップS3で、ドレッシング用砥石42を切り込み量0.5mm、送り速度50mm/secで3ライン溝入れしてブレード22の主に外周先端部をドレッシングした。なお、スピンドル回転数は各ステップとも30,000rpmとした。また、これらの各ステップをドレスプログラムとしてプログラミングし、一連の動作で実行した。
以上のブレードコンディショニングの結果、外周先端部及び側面が著しく目づまりしていたブレード22であったが、その目づまりはきれいに解消されていた。ブレード22の先端形状は、やや丸みを帯びた形状に変化していたが、先細りの傾向はあまり見られなかった。また、ブレード22のコンディショニング後の外径磨耗量は60μm、コンディショニング時の最大スピンドル負荷は1.5A、所要時間は5分であった。
なお、前述した本実施の形態では、ブレード22の側面ドレッシング用の専用砥石43を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ツルーイング用砥石41及びドレッシング用砥石42のみを用いてブレードコンディショニングを実行するようにしてもよい。
10…ダイシング装置、20…加工部、22…ダイシングブレード(ブレード)、34 …ワークテーブル、41…ツルーイング用砥石、42…ドレッシング用砥石、43…専用砥石、F…環状フレーム、S…ダイシングシート(シート)
Claims (2)
- ダイシングブレードのブレードコンディショニング方法において、
少なくともツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とを表面に粘着層を有したシートを介して1枚の環状フレームにマウントし、
前記ツルーイング用砥石とドレッシング用砥石とがマウントされた前記環状フレームをダイシング装置のワークテーブルに固着し、
前記ダイシングブレードで前記ツルーイング用砥石に所定条件で溝加工を施し、
前記ダイシングブレードで前記ドレッシング用砥石に所定条件で溝加工を施し、
前記ダイシングブレードの形直しと目直しとを一連の動作で行うことを特徴とするブレードコンディショニング方法。 - 前記ダイシングブレードの両側面を片面ずつ前記ツルーイング用砥石又は前記ドレッシング用砥石或いは別の専用砥石の側面に接触させ、該両側面の目直しを行うことを特徴とする請求項1に記載のブレードコンディショニング方法。
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