JPH08108427A - 櫛歯状溝加工装置 - Google Patents
櫛歯状溝加工装置Info
- Publication number
- JPH08108427A JPH08108427A JP24611494A JP24611494A JPH08108427A JP H08108427 A JPH08108427 A JP H08108427A JP 24611494 A JP24611494 A JP 24611494A JP 24611494 A JP24611494 A JP 24611494A JP H08108427 A JPH08108427 A JP H08108427A
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- Japan
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- comb
- grindstone
- blade
- groove processing
- shaped groove
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 狭ピッチの櫛歯状溝加工および深溝加工を高
速および高精度に行う。 【構成】 複数枚の砥石１が組み合わせられたマルチブ
レード２と、前記マルチブレード２を回転駆動させるス
ピンドルシャフト３と、前記マルチブレード２を上下方
向に移動させるＺ軸駆動部４と、前記マルチブレード２
による被加工物９に対する加工の位置決めを行う可動ス
テージ５および６とを備え、マルチブレード２により、
被加工物９に対して複数の溝を同時に加工することによ
って櫛歯状の溝を高速および高精度に加工している。
速および高精度に行う。 【構成】 複数枚の砥石１が組み合わせられたマルチブ
レード２と、前記マルチブレード２を回転駆動させるス
ピンドルシャフト３と、前記マルチブレード２を上下方
向に移動させるＺ軸駆動部４と、前記マルチブレード２
による被加工物９に対する加工の位置決めを行う可動ス
テージ５および６とを備え、マルチブレード２により、
被加工物９に対して複数の溝を同時に加工することによ
って櫛歯状の溝を高速および高精度に加工している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、櫛歯状の溝を加工する
装置に関し、特に、ピエゾ素子等の圧電素子に対してピ
ッチの小さい櫛歯状の溝を加工する櫛歯状溝加工装置に
関する。
装置に関し、特に、ピエゾ素子等の圧電素子に対してピ
ッチの小さい櫛歯状の溝を加工する櫛歯状溝加工装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の櫛歯状の溝加工では、１
枚の砥石を用いて、この砥石をピッチ送りして順次櫛状
の溝を加工していた。
枚の砥石を用いて、この砥石をピッチ送りして順次櫛状
の溝を加工していた。
【０００３】この従来の溝加工装置について図４を参照
して説明すると、砥石１は、スピンドルシャフト３に固
着されており、このスピンドルシャフト３は制御部８か
ら出力される制御信号にしたがって回転駆動することで
同様に回転する。スピンドルシャフト３は、可動ステー
ジ５上に設置されるＺ軸駆動部４に装着されており、ま
た、可動ステージ５およびＺ軸駆動部４は、それぞれ制
御部８から出力される制御信号にしたがって駆動する。
被加工物であるピエゾ素子９は、可動ステージ６上に載
置されており、この可動ステージ６および可動ステージ
５は、石定盤７上に設置されている。そして、これら可
動ステージ５および６によりピエゾ素子９に対する加工
位置の位置決めがなされる。
して説明すると、砥石１は、スピンドルシャフト３に固
着されており、このスピンドルシャフト３は制御部８か
ら出力される制御信号にしたがって回転駆動することで
同様に回転する。スピンドルシャフト３は、可動ステー
ジ５上に設置されるＺ軸駆動部４に装着されており、ま
た、可動ステージ５およびＺ軸駆動部４は、それぞれ制
御部８から出力される制御信号にしたがって駆動する。
被加工物であるピエゾ素子９は、可動ステージ６上に載
置されており、この可動ステージ６および可動ステージ
５は、石定盤７上に設置されている。そして、これら可
動ステージ５および６によりピエゾ素子９に対する加工
位置の位置決めがなされる。
【０００４】そして、このような構成を備える従来の溝
加工装置では、まず、Ｚ軸駆動部４により砥石１が下降
し、ピエゾ素子９に対して１つ目の溝を加工する。この
加工が終了すると、再び、Ｚ軸駆動部４により砥石１は
上方に移動する。次に、可動ステージ５が制御部８から
出力される制御信号により予め設定される溝加工ピッチ
に対応する移動量だけ矢印Ａ方向に移動する。これによ
り、砥石１も矢印Ａ方向に溝加工ピッチだけ移動する。
そして、再び、Ｚ軸駆動部４により砥石１が下降し、ピ
エゾ素子９に対して２つ目の溝を加工する。そして、こ
のような動作を予め定められた数の溝がピエゾ素子９に
対して加工し終わるまで繰り返されていた。
加工装置では、まず、Ｚ軸駆動部４により砥石１が下降
し、ピエゾ素子９に対して１つ目の溝を加工する。この
加工が終了すると、再び、Ｚ軸駆動部４により砥石１は
上方に移動する。次に、可動ステージ５が制御部８から
出力される制御信号により予め設定される溝加工ピッチ
に対応する移動量だけ矢印Ａ方向に移動する。これによ
り、砥石１も矢印Ａ方向に溝加工ピッチだけ移動する。
そして、再び、Ｚ軸駆動部４により砥石１が下降し、ピ
エゾ素子９に対して２つ目の溝を加工する。そして、こ
のような動作を予め定められた数の溝がピエゾ素子９に
対して加工し終わるまで繰り返されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の溝加工装置
では、１枚の砥石しか用いていないために、溝加工を行
うごとに、可動ステージにより砥石をピッチ送りすると
ともに、Ｚ軸駆動部により砥石を上下に駆動するなど、
長時間の加工作業を余儀なくされていた。
では、１枚の砥石しか用いていないために、溝加工を行
うごとに、可動ステージにより砥石をピッチ送りすると
ともに、Ｚ軸駆動部により砥石を上下に駆動するなど、
長時間の加工作業を余儀なくされていた。
【０００６】さらに、ピエゾ素子等の圧電素子に対して
櫛歯状の溝を加工する場合には加工誤差が０．０１ｍｍ
以内であることが要求される。さらに、ピエゾ素子は、
セラミック積層構造を有しているために非常に脆いとい
うことも念頭に置かなければならないが、従来の溝加工
装置では、２つ目以降の溝加工において、砥石を挟んで
左右の抵抗が加工済み側と未加工側とで異なるために、
ピエゾ素子等の脆い物質に対しては、図５に示すような
倒れ５１や先細り５２、欠け５３等が発生してしまうと
いう問題点があり、深い溝や狭ピッチの溝加工を行うこ
とができなかった。
櫛歯状の溝を加工する場合には加工誤差が０．０１ｍｍ
以内であることが要求される。さらに、ピエゾ素子は、
セラミック積層構造を有しているために非常に脆いとい
うことも念頭に置かなければならないが、従来の溝加工
装置では、２つ目以降の溝加工において、砥石を挟んで
左右の抵抗が加工済み側と未加工側とで異なるために、
ピエゾ素子等の脆い物質に対しては、図５に示すような
倒れ５１や先細り５２、欠け５３等が発生してしまうと
いう問題点があり、深い溝や狭ピッチの溝加工を行うこ
とができなかった。
【０００７】さらに、溝加工を繰り返すにつれて、砥石
には目詰まりが生じることによって、加工抵抗が増大す
ることになり、前述の問題点が顕著になっていた。
には目詰まりが生じることによって、加工抵抗が増大す
ることになり、前述の問題点が顕著になっていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の櫛歯状溝加工装置は、複数枚の砥石が組
み合わせられたマルチブレードと、前記マルチブレード
を回転駆動させる手段と、前記マルチブレードを上下方
向に移動させる手段と、前記マルチブレードによる被加
工物に対する加工の位置決めを行う手段とを備えてい
る。
めに、本発明の櫛歯状溝加工装置は、複数枚の砥石が組
み合わせられたマルチブレードと、前記マルチブレード
を回転駆動させる手段と、前記マルチブレードを上下方
向に移動させる手段と、前記マルチブレードによる被加
工物に対する加工の位置決めを行う手段とを備えてい
る。
【０００９】このような構成を備える本発明の櫛歯状溝
加工装置は、マルチブレードにより被加工物に対して複
数の溝を同時に加工するので、櫛歯状の溝を短時間で高
精度に加工することができる。
加工装置は、マルチブレードにより被加工物に対して複
数の溝を同時に加工するので、櫛歯状の溝を短時間で高
精度に加工することができる。
【００１０】さらに、マルチブレードによる溝加工中
に、砥石に対して電解ドレッシングを行って、砥石の目
詰まりを防止することにより、狭ピッチの溝加工および
深溝加工を高精度に行うことができる。
に、砥石に対して電解ドレッシングを行って、砥石の目
詰まりを防止することにより、狭ピッチの溝加工および
深溝加工を高精度に行うことができる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の櫛歯状溝加工装置の一実施例
について図面を参照して説明する。
について図面を参照して説明する。
【００１２】本発明の第１の実施例は、予め定めた複数
の砥石を組み合わせたマルチブレードを用い、このマル
チブレードにより被加工物に対して同時に複数の溝を加
工するというものである。
の砥石を組み合わせたマルチブレードを用い、このマル
チブレードにより被加工物に対して同時に複数の溝を加
工するというものである。
【００１３】図１は、第１の実施例の構成を示す模式図
であり、図４に示した従来の溝加工装置の構成と比較し
て、１枚の砥石１からなるブレードの代わり、複数の砥
石１を組み合わせたマルチブレード２がスピンドルシャ
フト３に固着されている点で異なる。このマルチブレー
ド２は、図２に示すように、ピエゾ素子９の加工すべき
溝の数と同枚数の砥石１がスペーサ１０を介して組み合
わされている。ここで、マルチブレード２を構成する砥
石１の枚数は、ピエゾ素子９の加工すべき溝数に合わせ
るべく、容易に変更することができる。
であり、図４に示した従来の溝加工装置の構成と比較し
て、１枚の砥石１からなるブレードの代わり、複数の砥
石１を組み合わせたマルチブレード２がスピンドルシャ
フト３に固着されている点で異なる。このマルチブレー
ド２は、図２に示すように、ピエゾ素子９の加工すべき
溝の数と同枚数の砥石１がスペーサ１０を介して組み合
わされている。ここで、マルチブレード２を構成する砥
石１の枚数は、ピエゾ素子９の加工すべき溝数に合わせ
るべく、容易に変更することができる。
【００１４】そして、可動ステージ５および６によりピ
エゾ素子９に対する加工位置決めがなされた後、Ｚ軸駆
動部４によりマルチブレード２は下降し、ピエゾ素子９
に対して砥石１の枚数分だけ同時に溝加工を行う。溝加
工が終了した後、Ｚ軸駆動部４によりマルチブレード２
は上方に移動する。
エゾ素子９に対する加工位置決めがなされた後、Ｚ軸駆
動部４によりマルチブレード２は下降し、ピエゾ素子９
に対して砥石１の枚数分だけ同時に溝加工を行う。溝加
工が終了した後、Ｚ軸駆動部４によりマルチブレード２
は上方に移動する。
【００１５】このように、ピエゾ素子９に対して複数の
溝を同時に加工することにより、加工時におけるそれぞ
れの砥石１の左右の抵抗はほぼ同一となり、ピッチ誤差
の少ない高精度な櫛歯状の溝を加工することができる。
溝を同時に加工することにより、加工時におけるそれぞ
れの砥石１の左右の抵抗はほぼ同一となり、ピッチ誤差
の少ない高精度な櫛歯状の溝を加工することができる。
【００１６】次に、本発明の第２の実施例について図を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１７】本実施例は、砥石の目詰まりを除去する手
段を備えるものであり、砥石の目詰まりを除去しながら
櫛歯状の溝加工を行うというものである。
段を備えるものであり、砥石の目詰まりを除去しながら
櫛歯状の溝加工を行うというものである。
【００１８】図３は、櫛歯状の溝を加工中にマルチブレ
ードを構成する複数の砥石の目詰まりを除去するための
電解ドレッシング手段の構成を示し、（ａ）はその正面
図、（ｂ）はその平面図である。
ードを構成する複数の砥石の目詰まりを除去するための
電解ドレッシング手段の構成を示し、（ａ）はその正面
図、（ｂ）はその平面図である。
【００１９】本実施例における電解ドレッシング手段で
は、マルチブレード２を構成する複数のメタルボンドダ
イヤモンド砥粒の砥石１における実際に溝加工を行う
面、所謂、研削作業面１５の近傍には電解電極１１が設
けられている。電解電極１１の研削作業面１５と対向す
る位置にはそれぞれ複数の研削液供給孔１２が設けられ
ており、この研削液供給孔１２から砥石１の研削作業面
１５に研削液供給部１３から研削液を供給する。そし
て、各々、電解電極１１と砥石１の間に電源１４によっ
て電解電圧を印加することによりメタルボンドの電解反
応を利用して砥石１の目詰まりを除去する。
は、マルチブレード２を構成する複数のメタルボンドダ
イヤモンド砥粒の砥石１における実際に溝加工を行う
面、所謂、研削作業面１５の近傍には電解電極１１が設
けられている。電解電極１１の研削作業面１５と対向す
る位置にはそれぞれ複数の研削液供給孔１２が設けられ
ており、この研削液供給孔１２から砥石１の研削作業面
１５に研削液供給部１３から研削液を供給する。そし
て、各々、電解電極１１と砥石１の間に電源１４によっ
て電解電圧を印加することによりメタルボンドの電解反
応を利用して砥石１の目詰まりを除去する。
【００２０】このような構成を備える電解ドレッシング
手段では、砥石１の研削作業面１５に研削液が十分に供
給されることになるとともに、高速回転する砥石１と電
解電極１１との通電が良好に保たれ、安定した電解ドレ
ッシングを行うことができる。さらに、電解電極１１を
櫛歯状に設けることによって、砥石１の研削作業面１５
だけではなく、その近傍の側面をも同時に電解ドレッシ
ングすることができ、砥石１の目詰まり除去効果を向上
させている。
手段では、砥石１の研削作業面１５に研削液が十分に供
給されることになるとともに、高速回転する砥石１と電
解電極１１との通電が良好に保たれ、安定した電解ドレ
ッシングを行うことができる。さらに、電解電極１１を
櫛歯状に設けることによって、砥石１の研削作業面１５
だけではなく、その近傍の側面をも同時に電解ドレッシ
ングすることができ、砥石１の目詰まり除去効果を向上
させている。
【００２１】この電解ドレッシング手段により砥石１の
目詰まりを除去しながら、ピエゾ素子９に対して櫛歯状
の溝を加工していくために、目詰まりによる加工抵抗の
増加を抑えることができる。したがって、より高精度な
溝加工を行えるとともに、所望の加工深さの溝加工も容
易に行うことができる。
目詰まりを除去しながら、ピエゾ素子９に対して櫛歯状
の溝を加工していくために、目詰まりによる加工抵抗の
増加を抑えることができる。したがって、より高精度な
溝加工を行えるとともに、所望の加工深さの溝加工も容
易に行うことができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の櫛歯状溝
加工装置では、複数の砥石を組み合わせたマルチブレー
ドを用いて、同時に複数の溝加工を行うために、櫛歯状
の溝を加工する作業時間を大幅に減少させることができ
るとともに、狭ピッチの櫛歯状溝加工や深溝加工を高精
度に行うことができる。
加工装置では、複数の砥石を組み合わせたマルチブレー
ドを用いて、同時に複数の溝加工を行うために、櫛歯状
の溝を加工する作業時間を大幅に減少させることができ
るとともに、狭ピッチの櫛歯状溝加工や深溝加工を高精
度に行うことができる。
【００２３】さらに、溝加工中にマルチブレードを構成
する複数の砥石それぞれに対して電解ドレッシングを施
すことによって、砥石の目詰まりを防ぐことができ、よ
り高精度な櫛歯状の溝加工を行うことができる。
する複数の砥石それぞれに対して電解ドレッシングを施
すことによって、砥石の目詰まりを防ぐことができ、よ
り高精度な櫛歯状の溝加工を行うことができる。
【図１】本発明の第１の実施例の構成を示す図。
【図２】第１の実施例のマルチブレードの構成を示す
図。
図。
【図３】本発明の第２の実施例の特徴部分の構成を示す
図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図で
ある。。
図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図で
ある。。
【図４】従来の櫛歯状溝加工装置の構成を示す図。
【図５】従来の櫛歯状溝加工装置によって加工が行われ
た被加工物の状態を示す図。
た被加工物の状態を示す図。
１ 砥石 ２ マルチブレード ３ スピンドルシャフト ４ Ｚ軸駆動部 ５、６ 可動ステージ ７ 石定盤 ８ 制御部 １１ 電解電極 １２ 研削液供給孔 １３ 研削液供給部 １４ 電源 １５ 研削作業面
Claims (5)
- 【請求項１】 複数枚の砥石が組み合わせられたマルチ
ブレードと、 前記マルチブレードを回転駆動させる手段と、 前記マルチブレードを上下方向に移動させる手段と、 前記マルチブレードによる被加工物に対する加工の位置
決めを行う手段とを備える櫛歯状溝加工装置。 - 【請求項２】 前記マルチブレードを構成する前記砥石
の枚数は変更可能であることを特徴とする前記請求項１
に記載の櫛歯状溝加工装置。 - 【請求項３】 前記砥石はメタルボンドによって製作さ
れており、 前記マルチブレードによる被加工物に対する櫛歯状溝の
加工を行っている間に、前記砥石を電解ドレッシングす
る手段を備えることを特徴とする前記請求項１に記載の
櫛歯状溝加工装置。 - 【請求項４】 前記砥石に電解ドレッシングする手段
は、 マルチブレードを構成する複数の砥石の加工作業面の近
傍に設けられる電解電極と、 前記電解電極の前記砥石の加工作業面に対向する位置に
設けられる研削液供給孔と、 前記研削液供給孔から前記砥石に対して研削液を供給す
る手段と、 前記電解電極と前記砥石との間に電解電圧を印加する手
段とを備えることを特徴とする前記請求項２に記載の櫛
歯状溝加工装置。 - 【請求項５】 前記電解電極は櫛歯状の形状を有してい
ることを特徴とする前記請求項３に記載の櫛歯状溝加工
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24611494A JPH08108427A (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 櫛歯状溝加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24611494A JPH08108427A (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 櫛歯状溝加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08108427A true JPH08108427A (ja) | 1996-04-30 |
Family
ID=17143698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24611494A Pending JPH08108427A (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 櫛歯状溝加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08108427A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009172707A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | 研削装置及び研削方法 |
| JP2011200994A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | 研削装置及び研削方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815674A (ja) * | 1981-07-22 | 1983-01-29 | Hitachi Ltd | 薄刃マルチ砥石の精密組刃方法 |
| JPH04135174A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-08 | Nec Corp | 電解ドレッシング研削装置 |
-
1994
- 1994-10-12 JP JP24611494A patent/JPH08108427A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815674A (ja) * | 1981-07-22 | 1983-01-29 | Hitachi Ltd | 薄刃マルチ砥石の精密組刃方法 |
| JPH04135174A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-08 | Nec Corp | 電解ドレッシング研削装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009172707A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | 研削装置及び研削方法 |
| JP2011200994A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | 研削装置及び研削方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970107 |