JPH09141647A - 内周刃ブレードの目立て方法 - Google Patents
内周刃ブレードの目立て方法Info
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- JPH09141647A JPH09141647A JP34464695A JP34464695A JPH09141647A JP H09141647 A JPH09141647 A JP H09141647A JP 34464695 A JP34464695 A JP 34464695A JP 34464695 A JP34464695 A JP 34464695A JP H09141647 A JPH09141647 A JP H09141647A
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 内周刃ブレードの切れ味をさらに向上させる
と共に、内周刃ブレードの切れ味を安定した状態で保つ
ことができる内周刃ブレードの目立て方法を提供するこ
とができる。 【構成】 シリコンインゴット４の側面に保持材５を固
着させる。保持材５の側面に粗ドレス材１と仕上げドレ
ス材２を設ける。シリコンインゴット４を内周刃ブレー
ド３により切断する。この際、保持材５を切断すると同
時に粗ドレス材１の次に仕上げドレス材２を切断するこ
とにより、内周刃ブレード３の刃先３１の目立てを行
う。
と共に、内周刃ブレードの切れ味を安定した状態で保つ
ことができる内周刃ブレードの目立て方法を提供するこ
とができる。 【構成】 シリコンインゴット４の側面に保持材５を固
着させる。保持材５の側面に粗ドレス材１と仕上げドレ
ス材２を設ける。シリコンインゴット４を内周刃ブレー
ド３により切断する。この際、保持材５を切断すると同
時に粗ドレス材１の次に仕上げドレス材２を切断するこ
とにより、内周刃ブレード３の刃先３１の目立てを行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、シリコンインゴットを
切断する内周刃ブレードを目立てする内周刃ブレードの
目立て方法に関するものである。
切断する内周刃ブレードを目立てする内周刃ブレードの
目立て方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリコンインゴットを切断する内周刃ブ
レードは、スライスの回数を重ねるに従い、切れ味が悪
くなり切断抵抗値が上がるため、この内周刃ブレードを
目立てする必要がある。従来この目立ては、切断抵抗値
がある一定値まで上昇するか又は一定回数のスライスを
行った後に切断工程を一旦止め、１０ｍｍ角程度の酸化
アルミ等のドレッシングストーンを切断するテーブルド
レッシングにより行われていた。この通常切断における
ドレッシングによる切断抵抗の変化は図５に示すように
なる。
レードは、スライスの回数を重ねるに従い、切れ味が悪
くなり切断抵抗値が上がるため、この内周刃ブレードを
目立てする必要がある。従来この目立ては、切断抵抗値
がある一定値まで上昇するか又は一定回数のスライスを
行った後に切断工程を一旦止め、１０ｍｍ角程度の酸化
アルミ等のドレッシングストーンを切断するテーブルド
レッシングにより行われていた。この通常切断における
ドレッシングによる切断抵抗の変化は図５に示すように
なる。
【０００３】ところが、この切断抵抗値の上昇またはス
ライス回数による目立てでは、切れ味の劣化にともなう
切断面の荒れが徐々に大きくなる上に、切断工程を一旦
止めることにより製造効率が低下するという不具合が生
じる。この不具合を解決するものとしては、特開昭５５
−６２７４３号公報にあるように、単結晶インゴットの
側面にドレス材及びその反対の側面にシリコン棒を配置
して切断するようにしたものがある。これにより、毎回
のスライスごとに目立てを行うことができる。
ライス回数による目立てでは、切れ味の劣化にともなう
切断面の荒れが徐々に大きくなる上に、切断工程を一旦
止めることにより製造効率が低下するという不具合が生
じる。この不具合を解決するものとしては、特開昭５５
−６２７４３号公報にあるように、単結晶インゴットの
側面にドレス材及びその反対の側面にシリコン棒を配置
して切断するようにしたものがある。これにより、毎回
のスライスごとに目立てを行うことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法で使用されるドレス材は、その番手が高過ぎると目
立てを十分に行えず、低過ぎると内周刃ブレードが荒く
なり切断面に乱れを生じることから、その番手は自ずと
限定される。この方法に一般的に目立ての効率が良いド
レス材、例えば＃３２０ストーンといったものを使用し
た場合は、図２の従来技術（１段枚葉ドレッシング）に
おける切断抵抗の変化に示すように、切断開始当初は効
率良く目立てされ切断抵抗の増加も緩やかであるが、ス
ライスの回数を重ねるごとに、徐々に切断抵抗の増加率
が大きくなり、目立ての効果が低下する。そのため、後
半で切断されるウェハほどその切断面の乱れが大きくな
るという問題点があった。本発明は、上記問題に鑑みて
なされたもので、内周刃ブレードの切れ味をさらに向上
させると共に、内周刃ブレードの切れ味を安定した状態
で保つことができる内周刃ブレードの目立て方法を提供
することを目的とするものである。
方法で使用されるドレス材は、その番手が高過ぎると目
立てを十分に行えず、低過ぎると内周刃ブレードが荒く
なり切断面に乱れを生じることから、その番手は自ずと
限定される。この方法に一般的に目立ての効率が良いド
レス材、例えば＃３２０ストーンといったものを使用し
た場合は、図２の従来技術（１段枚葉ドレッシング）に
おける切断抵抗の変化に示すように、切断開始当初は効
率良く目立てされ切断抵抗の増加も緩やかであるが、ス
ライスの回数を重ねるごとに、徐々に切断抵抗の増加率
が大きくなり、目立ての効果が低下する。そのため、後
半で切断されるウェハほどその切断面の乱れが大きくな
るという問題点があった。本発明は、上記問題に鑑みて
なされたもので、内周刃ブレードの切れ味をさらに向上
させると共に、内周刃ブレードの切れ味を安定した状態
で保つことができる内周刃ブレードの目立て方法を提供
することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明では、シ
リコンインゴットを切断する内周刃ブレードでドレス材
を切断することにより目立てする内周刃ブレードの目立
て方法において、粗ドレス材と仕上げドレス材の番手が
異なる２種類以上の前記ドレス材を、番手の低い順に切
断されるように配置したものである。また、シリコンイ
ンゴットの側面に保持材を固着させて内周刃ブレードで
切断する際に、前記保持材の側面にドレス材を設け、前
記シリコンインゴットの切断と同時にドレス材を切断す
る内周刃ブレードの目立て方法において、粗ドレス材と
仕上げドレス材の番手が異なる２種類以上の前記ドレス
材を、番手の低い順に切断されるように配置したもので
ある。
リコンインゴットを切断する内周刃ブレードでドレス材
を切断することにより目立てする内周刃ブレードの目立
て方法において、粗ドレス材と仕上げドレス材の番手が
異なる２種類以上の前記ドレス材を、番手の低い順に切
断されるように配置したものである。また、シリコンイ
ンゴットの側面に保持材を固着させて内周刃ブレードで
切断する際に、前記保持材の側面にドレス材を設け、前
記シリコンインゴットの切断と同時にドレス材を切断す
る内周刃ブレードの目立て方法において、粗ドレス材と
仕上げドレス材の番手が異なる２種類以上の前記ドレス
材を、番手の低い順に切断されるように配置したもので
ある。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は本発明に係る内周刃ブレードの
目立て方法を示す斜視図、図２は本発明と従来技術の内
周刃ブレードの目立て方法による切断抵抗の変化を示す
グラフ、図３は番手の異なるドレス材によるドレッシン
グテストの方法を示す斜視図、図４は番手の異なるドレ
ス材によるドレッシングテストにおける切断抵抗の変化
を示すグラフ、図５は通常切断におけるテーブルドレッ
シングによる切断抵抗の変化を示すグラフである。
づいて説明する。図１は本発明に係る内周刃ブレードの
目立て方法を示す斜視図、図２は本発明と従来技術の内
周刃ブレードの目立て方法による切断抵抗の変化を示す
グラフ、図３は番手の異なるドレス材によるドレッシン
グテストの方法を示す斜視図、図４は番手の異なるドレ
ス材によるドレッシングテストにおける切断抵抗の変化
を示すグラフ、図５は通常切断におけるテーブルドレッ
シングによる切断抵抗の変化を示すグラフである。
【０００７】便宜上、ここで番手の異なるドレス材を使
用したドレッシングテストの一例を示し、このドレッシ
ングテストにおける切断抵抗値の変化を示す。図３に示
すように、シリコンインゴット４を固着した保持材５の
側部に、最下部にドレス材を固着しない部分を残して、
３種類の番手のドレス材を番手が高い順に固着する。こ
のドレス材としては、下から＃６００ストーン１ｃ、＃
３２０ストーン１ｂ、＃２４０ストーン１ａの順番で縦
に固着されている。
用したドレッシングテストの一例を示し、このドレッシ
ングテストにおける切断抵抗値の変化を示す。図３に示
すように、シリコンインゴット４を固着した保持材５の
側部に、最下部にドレス材を固着しない部分を残して、
３種類の番手のドレス材を番手が高い順に固着する。こ
のドレス材としては、下から＃６００ストーン１ｃ、＃
３２０ストーン１ｂ、＃２４０ストーン１ａの順番で縦
に固着されている。
【０００８】図４に示すように、ドレス材を固着しない
ストーンなしの部分の切断抵抗は、徐々に増加し、＃６
００ストーン１ｃの切断では切断抵抗の増加傾向に大き
な変化は見られない。したがって、この＃６００程度の
ドレス材によるドレッシングでは目立てが十分に行われ
ていないのがわかる。ここで、１度テーブルドレッシン
グによる目立てを行う。
ストーンなしの部分の切断抵抗は、徐々に増加し、＃６
００ストーン１ｃの切断では切断抵抗の増加傾向に大き
な変化は見られない。したがって、この＃６００程度の
ドレス材によるドレッシングでは目立てが十分に行われ
ていないのがわかる。ここで、１度テーブルドレッシン
グによる目立てを行う。
【０００９】次いで、＃３２０ストーン１ｂによるドレ
ッシングでは、その切断抵抗の増加は＃６００ストーン
１ｃより緩やかであり、＃２４０ストーン１ａによるド
レッシングでは、逆に徐々に減少する傾向がある。した
がって、＃２４０程度のドレス材によるドレッシングで
は目立てが十分に行われることがわかる。ところが、こ
の＃２４０程度のドレス材により目立てされた内周刃ブ
レードで切断すると、その切断面の乱れが大きく、スラ
イスドウェハとしては望ましくない。
ッシングでは、その切断抵抗の増加は＃６００ストーン
１ｃより緩やかであり、＃２４０ストーン１ａによるド
レッシングでは、逆に徐々に減少する傾向がある。した
がって、＃２４０程度のドレス材によるドレッシングで
は目立てが十分に行われることがわかる。ところが、こ
の＃２４０程度のドレス材により目立てされた内周刃ブ
レードで切断すると、その切断面の乱れが大きく、スラ
イスドウェハとしては望ましくない。
【００１０】そこで本発明では、この切断抵抗の減少に
着目し、粗ドレス材で十分な目立てを行った後に、仕上
げドレス材でその刃先を整えて、切断面が均一に仕上が
るようにしたものである。
着目し、粗ドレス材で十分な目立てを行った後に、仕上
げドレス材でその刃先を整えて、切断面が均一に仕上が
るようにしたものである。
【００１１】すなわち、本発明の内周刃ブレードの目立
て方法では、図１に示すように、シリコンインゴット４
の側面にカーボン製等の保持材５を固着させ、この保持
材５を固着させた側の反対方向から内周刃ブレードによ
り切断する。この際、保持材５の側面に粗ドレス材１と
仕上げドレス材２を設けて、保持材５を切断すると同時
に粗ドレス材１の次に仕上げドレス材２を切断すること
により、内周刃ブレード３の刃先３１の目立てを行う。
この目立てにおいては、内周刃ブレード３で粗ドレス材
１を切断することにより、刃先３１が粗く目立てられて
切断抵抗を大きく下げるが、そのままで次の切断をする
とその切断面が荒くなることから、この粗ドレス材１の
切断に続いて仕上げドレス材２を切断することにより刃
先３１が整い、シリコンインゴットの切断面を荒れの少
ない状態にすることができる。
て方法では、図１に示すように、シリコンインゴット４
の側面にカーボン製等の保持材５を固着させ、この保持
材５を固着させた側の反対方向から内周刃ブレードによ
り切断する。この際、保持材５の側面に粗ドレス材１と
仕上げドレス材２を設けて、保持材５を切断すると同時
に粗ドレス材１の次に仕上げドレス材２を切断すること
により、内周刃ブレード３の刃先３１の目立てを行う。
この目立てにおいては、内周刃ブレード３で粗ドレス材
１を切断することにより、刃先３１が粗く目立てられて
切断抵抗を大きく下げるが、そのままで次の切断をする
とその切断面が荒くなることから、この粗ドレス材１の
切断に続いて仕上げドレス材２を切断することにより刃
先３１が整い、シリコンインゴットの切断面を荒れの少
ない状態にすることができる。
【００１２】粗ドレス材としては、＃２００ストーン〜
＃３００ストーンといったドレス材を使用するのが望ま
しく、切断面を整えるための仕上げドレス材としては、
＃２４０ストーン〜＃６００ストーンといったドレス材
を使用するのが望ましい。
＃３００ストーンといったドレス材を使用するのが望ま
しく、切断面を整えるための仕上げドレス材としては、
＃２４０ストーン〜＃６００ストーンといったドレス材
を使用するのが望ましい。
【００１３】このドレス材の番手の選択は、切断するイ
ンゴットの直径や製造する半導体ウェハの種類によって
決められるが、異なる番手のドレス材を使用し、番手の
低いドレス材を切断した後に、番手の高いドレス材が切
断されるようにする。
ンゴットの直径や製造する半導体ウェハの種類によって
決められるが、異なる番手のドレス材を使用し、番手の
低いドレス材を切断した後に、番手の高いドレス材が切
断されるようにする。
【００１４】また、この各ドレス材の断面積としては、
従来のテーブルドレッシングで使用されるドレス材の断
面積が１００ｍｍ２程度のものであり、これをスライス
するウェハの枚数とテーブルドレッシングの回数から、
ウェハのスライス一回当たりのドレス材の断面積は５ｍ
ｍ２〜４０ｍｍ２となる。
従来のテーブルドレッシングで使用されるドレス材の断
面積が１００ｍｍ２程度のものであり、これをスライス
するウェハの枚数とテーブルドレッシングの回数から、
ウェハのスライス一回当たりのドレス材の断面積は５ｍ
ｍ２〜４０ｍｍ２となる。
【００１５】
【実施例】本実施例の目立て方法においては、粗ドレス
材として＃２４０ストーンを使用し、仕上げドレス材と
して＃３２０ストーンを使用している。それぞれのドレ
ス材は、断面が３ｍｍ×３ｍｍのものを使用している。
図２に示すように、本実施例の目立て方法によると、そ
の切断抵抗は徐々に増加するが、スライス回数が２００
枚を越えた付近からその抵抗値の増加は緩やかになる。
やがて切断抵抗の増加が無くなり、１０〜１５ｋｇｆの
間で安定する。これにより切断面の変化が少ない安定し
た切断面を有するウェハを切断できる。
材として＃２４０ストーンを使用し、仕上げドレス材と
して＃３２０ストーンを使用している。それぞれのドレ
ス材は、断面が３ｍｍ×３ｍｍのものを使用している。
図２に示すように、本実施例の目立て方法によると、そ
の切断抵抗は徐々に増加するが、スライス回数が２００
枚を越えた付近からその抵抗値の増加は緩やかになる。
やがて切断抵抗の増加が無くなり、１０〜１５ｋｇｆの
間で安定する。これにより切断面の変化が少ない安定し
た切断面を有するウェハを切断できる。
【００１６】本実施例では、２種類の番手が異なるドレ
ス材を使用していたが、これに限られるものではなく、
３種類以上の複数のドレス材を使用するものでもよい。
これにより、さらに切断面の仕上げを向上することがで
きる。
ス材を使用していたが、これに限られるものではなく、
３種類以上の複数のドレス材を使用するものでもよい。
これにより、さらに切断面の仕上げを向上することがで
きる。
【００１６】さらに、本発明の目立て方法は、枚葉ドレ
ッシングに限られるものではなく、２種類の番手が異な
るドレス材を使用して、従来のテーブルドレッシングに
利用することにより、より効果的な目立てを行うことが
できる。
ッシングに限られるものではなく、２種類の番手が異な
るドレス材を使用して、従来のテーブルドレッシングに
利用することにより、より効果的な目立てを行うことが
できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明では以上のように構成したので、
番手の異なるドレス材を使用することにより、内周刃ブ
レードの切れ味をさらに向上させることができるできる
という優れた効果がある。また、インゴットの切断と同
時に本発明の目立てを行うことにより、切断工程を一時
停止することなく内周刃ブレードの切れ味を安定した状
態で保つできることから、均一で荒れの少ないウェハを
効率良く切断できるという優れた効果がある。
番手の異なるドレス材を使用することにより、内周刃ブ
レードの切れ味をさらに向上させることができるできる
という優れた効果がある。また、インゴットの切断と同
時に本発明の目立てを行うことにより、切断工程を一時
停止することなく内周刃ブレードの切れ味を安定した状
態で保つできることから、均一で荒れの少ないウェハを
効率良く切断できるという優れた効果がある。
【図１】本発明に係る内周刃ブレードの目立て方法を示
す斜視図ある。
す斜視図ある。
【図２】本発明と従来技術の内周刃ブレードの目立て方
法による切断抵抗の変化を示すグラフである。
法による切断抵抗の変化を示すグラフである。
【図３】番手の異なるドレス材によるドレッシングテス
トの方法を示す斜視図である。
トの方法を示す斜視図である。
【図４】番手の異なるドレス材によるドレッシングテス
トにおける切断抵抗の変化を示すグラフである。
トにおける切断抵抗の変化を示すグラフである。
【図５】通常切断におけるテーブルドレッシングによる
切断抵抗の変化を示すグラフである。
切断抵抗の変化を示すグラフである。
１ 粗ドレス材 ２ 仕上げドレス材 ３ 内周刃ブレード ３１ 刃先 ４ シリコンインゴット ５ 保持材 １ａ ＃２４０ストーン １ｂ ＃３２０ストーン １ｃ ＃６００ストーン
Claims (4)
- 【請求項１】 シリコンインゴットを切断する内周刃ブ
レードでドレス材を切断することにより目立てする内周
刃ブレードの目立て方法において、粗ドレス材と仕上げ
ドレス材の番手が異なる２種類以上の前記ドレス材を、
番手の低い順に切断されるように配置したことを特徴と
する内周刃ブレードの目立て方法。 - 【請求項２】 シリコンインゴットの側面に保持材を固
着させて内周刃ブレードで切断する際に、前記保持材の
側面にドレス材を設け、前記シリコンインゴットの切断
と同時にドレス材を切断する内周刃ブレードの目立て方
法において、粗ドレス材と仕上げドレス材の番手が異な
る２種類以上の前記ドレス材を、番手の低い順に切断さ
れるように配置したことを特徴とする内周刃ブレードの
目立て方法。 - 【請求項３】 粗ドレス材の番手が＃２００〜＃３００
であり、仕上げドレス材の番手が＃２４０〜＃６００で
あることを特徴とする請求項１または請求項２記載の内
周刃ブレードの目立て方法。 - 【請求項４】 それぞれのドレス材の切断面積が５ｍｍ
２〜４０ｍｍ２であることを特徴とする請求項２記載の
内周刃ブレードの目立て方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34464695A JP3641045B2 (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 内周刃ブレードの目立て方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34464695A JP3641045B2 (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 内周刃ブレードの目立て方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141647A true JPH09141647A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3641045B2 JP3641045B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=18370881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34464695A Expired - Lifetime JP3641045B2 (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 内周刃ブレードの目立て方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3641045B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006312217A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ブレードコンディショニング方法 |
-
1995
- 1995-11-25 JP JP34464695A patent/JP3641045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006312217A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ブレードコンディショニング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3641045B2 (ja) | 2005-04-20 |
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Legal Events
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