JPH0866859A - ブレード装着部のフランジ修正手段 - Google Patents
ブレード装着部のフランジ修正手段Info
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- JPH0866859A JPH0866859A JP22746694A JP22746694A JPH0866859A JP H0866859 A JPH0866859 A JP H0866859A JP 22746694 A JP22746694 A JP 22746694A JP 22746694 A JP22746694 A JP 22746694A JP H0866859 A JPH0866859 A JP H0866859A
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- Pending
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ブレードを挟持するフランジの端面を、ダレ
が発生せず且つ面粗さも細かく研磨出来るようにした、
ブレード装着部のフランジ修正手段を提供する。 【構成】 精密切削装置のスピンドルの端部にブレード
を挟持するフランジが装着され、このフランジの端面を
高精度に研磨し修正するためのフランジ修正手段であっ
て、このフランジ修正手段はフランジの端面を研磨する
ための砥石ホイールと、この砥石ホイールを回転支持す
るスピンドルユニットと、このスピンドルユニットを前
記精密切削装置に固定するための固定部と、から構成さ
れる。固定部は精密切削装置のチャックテーブルに吸引
保持される板状を呈している。
が発生せず且つ面粗さも細かく研磨出来るようにした、
ブレード装着部のフランジ修正手段を提供する。 【構成】 精密切削装置のスピンドルの端部にブレード
を挟持するフランジが装着され、このフランジの端面を
高精度に研磨し修正するためのフランジ修正手段であっ
て、このフランジ修正手段はフランジの端面を研磨する
ための砥石ホイールと、この砥石ホイールを回転支持す
るスピンドルユニットと、このスピンドルユニットを前
記精密切削装置に固定するための固定部と、から構成さ
れる。固定部は精密切削装置のチャックテーブルに吸引
保持される板状を呈している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密切削装置における
ブレード装着部のフランジ修正手段に関するものであ
る。
ブレード装着部のフランジ修正手段に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ダイサー等の精密切削装置においては、
図４に示すようにカセット載置領域Ａに載置されたカセ
ットＣ内から搬出入手段Ｂによってウェーハを待機領域
Ｄに搬出し、旋回アームを有する搬送手段Ｅによってそ
のウェーハをチャックテーブルＴに搬送し、ウェーハを
吸着保持したチャックテーブルＴをアライメント手段Ｆ
に位置付けしてアライメントをした後、回転ブレードを
有する切削手段Ｇにてウェーハをダイシングするように
なっている。切削手段Ｇは、図５(イ) 、(ロ) に示すよ
うにスピンドル１の先端に設けられた第１のフランジ２
とスピンドル１に嵌める第２のフランジ３とでブレード
４を挟持すると共に、スピンドル１のねじ部１ａにナッ
ト５を螺合し締着することによりブレード４を装着して
いる。
図４に示すようにカセット載置領域Ａに載置されたカセ
ットＣ内から搬出入手段Ｂによってウェーハを待機領域
Ｄに搬出し、旋回アームを有する搬送手段Ｅによってそ
のウェーハをチャックテーブルＴに搬送し、ウェーハを
吸着保持したチャックテーブルＴをアライメント手段Ｆ
に位置付けしてアライメントをした後、回転ブレードを
有する切削手段Ｇにてウェーハをダイシングするように
なっている。切削手段Ｇは、図５(イ) 、(ロ) に示すよ
うにスピンドル１の先端に設けられた第１のフランジ２
とスピンドル１に嵌める第２のフランジ３とでブレード
４を挟持すると共に、スピンドル１のねじ部１ａにナッ
ト５を螺合し締着することによりブレード４を装着して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の切削手段Ｇ
において、図６(イ) に示すようにブレード４を挟持して
いる第１のフランジ２の端面２ａ、第２のフランジ３の
端面３ａが長時間の使用により或は生産時の誤差から平
坦性を失っているとブレード４に密着せず、加工時にブ
レード４がブレて精密切削が不可能になる。又、図６
(ロ) に示すようにスピンドル１に取り付けた第１のフラ
ンジ２の端面２ａとスピンドル１の軸線１ｂとのなす角
αが正確に９０°でないと、スピンドル１の回転により
フランジ２が数μｍの端面振れを生じ精密な切削が出来
なくなる。更に、フランジの端面に傷が付き、ブレード
４との密着性が悪くなって精密切削が不可能になること
もある。このような不都合を防止するために、従来砥石
チップでフランジの端面を研磨する修正手段がとられて
いるが、端面のダレが発生し面粗さも悪化するため満足
な修正が出来なかった。そこで、本発明はブレードを挟
持するフランジの端面を、ダレが発生せずに面粗さも細
かく研磨出来るようにした、ブレード装着部のフランジ
修正手段を提供することを課題とする。
において、図６(イ) に示すようにブレード４を挟持して
いる第１のフランジ２の端面２ａ、第２のフランジ３の
端面３ａが長時間の使用により或は生産時の誤差から平
坦性を失っているとブレード４に密着せず、加工時にブ
レード４がブレて精密切削が不可能になる。又、図６
(ロ) に示すようにスピンドル１に取り付けた第１のフラ
ンジ２の端面２ａとスピンドル１の軸線１ｂとのなす角
αが正確に９０°でないと、スピンドル１の回転により
フランジ２が数μｍの端面振れを生じ精密な切削が出来
なくなる。更に、フランジの端面に傷が付き、ブレード
４との密着性が悪くなって精密切削が不可能になること
もある。このような不都合を防止するために、従来砥石
チップでフランジの端面を研磨する修正手段がとられて
いるが、端面のダレが発生し面粗さも悪化するため満足
な修正が出来なかった。そこで、本発明はブレードを挟
持するフランジの端面を、ダレが発生せずに面粗さも細
かく研磨出来るようにした、ブレード装着部のフランジ
修正手段を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、精密切削装置のスピ
ンドルの端部にブレードを挟持するフランジが装着さ
れ、このフランジの端面を高精度に研磨し修正するため
のフランジ修正手段であって、このフランジ修正手段は
フランジの端面を研磨するための砥石ホイールと、この
砥石ホイールを回転支持するスピンドルユニットと、こ
のスピンドルユニットを前記精密切削装置に固定するた
めの固定部と、から構成されているブレード装着部のフ
ランジ修正手段を要旨とする。又、固定部は精密切削装
置のチャックテーブルに吸引保持される板状を呈してい
ることを要旨とするものである。
するための手段として、本発明は、精密切削装置のスピ
ンドルの端部にブレードを挟持するフランジが装着さ
れ、このフランジの端面を高精度に研磨し修正するため
のフランジ修正手段であって、このフランジ修正手段は
フランジの端面を研磨するための砥石ホイールと、この
砥石ホイールを回転支持するスピンドルユニットと、こ
のスピンドルユニットを前記精密切削装置に固定するた
めの固定部と、から構成されているブレード装着部のフ
ランジ修正手段を要旨とする。又、固定部は精密切削装
置のチャックテーブルに吸引保持される板状を呈してい
ることを要旨とするものである。
【０００５】
【作 用】フランジのリング状端面に砥石ホイールを当
てて回転研磨するため、フランジの端面にダレが生じる
ことなく平坦に研磨することが出来、且つ表面粗さも細
かく研磨することが出来る。
てて回転研磨するため、フランジの端面にダレが生じる
ことなく平坦に研磨することが出来、且つ表面粗さも細
かく研磨することが出来る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、６はフランジ修正手段であ
り、フランジの端面を研磨するための円筒状砥石ホイー
ル７と、この砥石ホイール７を回転支持するスピンドル
ユニット８と、このスピンドルユニット８を精密切削装
置に固定するための固定部９と、から構成されている。
詳説する。図１において、６はフランジ修正手段であ
り、フランジの端面を研磨するための円筒状砥石ホイー
ル７と、この砥石ホイール７を回転支持するスピンドル
ユニット８と、このスピンドルユニット８を精密切削装
置に固定するための固定部９と、から構成されている。
【０００７】前記砥石ホイール７はスピンドルユニット
８のスピンドル８ａの先端に設けられた円盤状取付部８
ｂに着脱可能に取り付けられ、スピンドル８ａはエアー
ベアリングで構成されるのが好ましいがメカベアリング
で構成されても良い。この場合、スピンドルユニット８
は動力源を持たずスピンドル８ａを自由回転とし、研磨
時にフランジの回転に追随（連れ回り）するようになっ
ているが、必要に応じて動力源を持たせることは自由で
ある。
８のスピンドル８ａの先端に設けられた円盤状取付部８
ｂに着脱可能に取り付けられ、スピンドル８ａはエアー
ベアリングで構成されるのが好ましいがメカベアリング
で構成されても良い。この場合、スピンドルユニット８
は動力源を持たずスピンドル８ａを自由回転とし、研磨
時にフランジの回転に追随（連れ回り）するようになっ
ているが、必要に応じて動力源を持たせることは自由で
ある。
【０００８】前記固定部９は、前記スピンドルユニット
８の下部に固定され所定の大きさの円板状を呈している
が、チャックテーブルＴに吸着固定される大きさであれ
ばその形状は円形に限定されるものではない。
８の下部に固定され所定の大きさの円板状を呈している
が、チャックテーブルＴに吸着固定される大きさであれ
ばその形状は円形に限定されるものではない。
【０００９】このように構成された本発明に係るフラン
ジ修正手段６は、図２に示すように精密切削装置（図
４）のチャックテーブルＴに固定部９を吸着固定させ、
前記切削手段Ｇのスピンドル１に装着した第１のフラン
ジ２の端面２ａを砥石ホイール７で研磨し修正すること
が出来る。
ジ修正手段６は、図２に示すように精密切削装置（図
４）のチャックテーブルＴに固定部９を吸着固定させ、
前記切削手段Ｇのスピンドル１に装着した第１のフラン
ジ２の端面２ａを砥石ホイール７で研磨し修正すること
が出来る。
【００１０】この時、スピンドル１の回転数は約６００
０ｒｐｍ、Ｙ軸方向への送り速度は１μｍ／分程度と
し、図示を省略した切削液供給手段から切削水を供給し
ながら前記砥石ホイール７で第１のフランジ２の端面２
ａを研磨する。研磨後、面粗さ計にて端面２ａの面精度
を内周部から外周部にかけて測定したところ、従来の砥
石チップによると図３(イ) のように中央部が約１μｍ高
くなって内周部Ｐ側及び外周部Ｑ側にダレが発生してい
るのに対して、本発明の砥石ホイールによると図３(ロ)
のようにフラットであってダレが発生せず、僅かに０．
２〜０．３μｍの高低差であった。又、ダイヤルゲージ
にてフランジ回転時の端面振れを測定したところ、従来
の砥石チップによると２〜３μｍであったが本発明の砥
石ホイールによると０〜１μｍであり、面振れ修正が略
完全に出来ることが判った。
０ｒｐｍ、Ｙ軸方向への送り速度は１μｍ／分程度と
し、図示を省略した切削液供給手段から切削水を供給し
ながら前記砥石ホイール７で第１のフランジ２の端面２
ａを研磨する。研磨後、面粗さ計にて端面２ａの面精度
を内周部から外周部にかけて測定したところ、従来の砥
石チップによると図３(イ) のように中央部が約１μｍ高
くなって内周部Ｐ側及び外周部Ｑ側にダレが発生してい
るのに対して、本発明の砥石ホイールによると図３(ロ)
のようにフラットであってダレが発生せず、僅かに０．
２〜０．３μｍの高低差であった。又、ダイヤルゲージ
にてフランジ回転時の端面振れを測定したところ、従来
の砥石チップによると２〜３μｍであったが本発明の砥
石ホイールによると０〜１μｍであり、面振れ修正が略
完全に出来ることが判った。
【００１１】この後、第２のフランジ３をスピンドル１
に装着し、この第２のフランジ３の端面３ａを前記と同
じ要領にて砥石ホイール７で研磨する。
に装着し、この第２のフランジ３の端面３ａを前記と同
じ要領にて砥石ホイール７で研磨する。
【００１２】このようにして砥石ホイール７で研磨し修
正された第１のフランジ２及び第２のフランジ３は、端
面２ａ、３ａが平坦でダレが生じておらずしかも表面粗
さが著しく細かいので、前記ブレード４に密着して確実
に挟持することが出来る。又、第１のフランジ２及び第
２のフランジ３の端面２ａ、３ａはスピンドル１に装着
した際にその軸線１ｂとのなす角がそれぞれ正確に９０
°になるため、スピンドル１の回転により面振れが生じ
ることはない。従って、ブレード４による精密切削を保
証することが出来る。又、図７に示すハブブレード４′
を装着した場合も面振れの心配がない。
正された第１のフランジ２及び第２のフランジ３は、端
面２ａ、３ａが平坦でダレが生じておらずしかも表面粗
さが著しく細かいので、前記ブレード４に密着して確実
に挟持することが出来る。又、第１のフランジ２及び第
２のフランジ３の端面２ａ、３ａはスピンドル１に装着
した際にその軸線１ｂとのなす角がそれぞれ正確に９０
°になるため、スピンドル１の回転により面振れが生じ
ることはない。従って、ブレード４による精密切削を保
証することが出来る。又、図７に示すハブブレード４′
を装着した場合も面振れの心配がない。
【００１３】フランジの修正が終了した後、切削手段Ｇ
を後退させてチャックテーブルＴの吸着を解除すれば、
フランジ修正手段６をチャックテーブルＴから容易に外
すことが出来る。前記円板状の固定部９はチャックテー
ブルＴに対する着脱に非常に役立つ。外されたフランジ
修正手段６は次のフランジ修正時まで保管されるが、小
型コンパクトであるため収納場所を多くとらず好都合で
ある。
を後退させてチャックテーブルＴの吸着を解除すれば、
フランジ修正手段６をチャックテーブルＴから容易に外
すことが出来る。前記円板状の固定部９はチャックテー
ブルＴに対する着脱に非常に役立つ。外されたフランジ
修正手段６は次のフランジ修正時まで保管されるが、小
型コンパクトであるため収納場所を多くとらず好都合で
ある。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ブレードを挟持するフランジの端面の修正に際して砥石
ホイールを当てて回転研磨するため、端面にダレが生じ
ることなく平坦に且つ表面粗さも細かく修正することが
出来、これによりフランジの端面がブレードに密着して
挟持することが出来、しかもフランジの端面とスピンド
ルの軸線とが正確に９０°になるため、リング状のブレ
ード、ハブブレードいずれの場合であっても面振れを未
然に防止して精密切削を保証する効果を奏する。
ブレードを挟持するフランジの端面の修正に際して砥石
ホイールを当てて回転研磨するため、端面にダレが生じ
ることなく平坦に且つ表面粗さも細かく修正することが
出来、これによりフランジの端面がブレードに密着して
挟持することが出来、しかもフランジの端面とスピンド
ルの軸線とが正確に９０°になるため、リング状のブレ
ード、ハブブレードいずれの場合であっても面振れを未
然に防止して精密切削を保証する効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示すフランジ修正手段の
斜視図である。
斜視図である。
【図２】 フランジ修正手段の使用状態を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】 修正によるフランジの端面精度を示すもの
で、(イ) は従来例、(ロ) は本発明のそれぞれ測定図であ
る。
で、(イ) は従来例、(ロ) は本発明のそれぞれ測定図であ
る。
【図４】 精密切削装置の一例を示す斜視図である。
【図５】 (イ) は切削手段のブレード装着部の分解斜視
図、(ロ) はブレードの取付状態を示す側面図である。
図、(ロ) はブレードの取付状態を示す側面図である。
【図６】 (イ) はフランジの端面がブレードに対して非
密着の状態を示す説明図、(ロ) はフランジの端面とスピ
ンドル軸との角度を示す説明図である。
密着の状態を示す説明図、(ロ) はフランジの端面とスピ
ンドル軸との角度を示す説明図である。
【図７】 ハブブレードの斜視図である。
１…スピンドル １ａ…ねじ部 ２…第１のフラン
ジ ２ａ…端面 ３…第２のフランジ ３ａ…端面 ４…ブレード
５…ナット ６…フランジ修正手段 ７…砥石ホ
イール ８…スピンドルユニット ８ａ…スピンド
ル ８ｂ…取付部 ９…固定部
ジ ２ａ…端面 ３…第２のフランジ ３ａ…端面 ４…ブレード
５…ナット ６…フランジ修正手段 ７…砥石ホ
イール ８…スピンドルユニット ８ａ…スピンド
ル ８ｂ…取付部 ９…固定部
Claims (2)
- 【請求項１】 精密切削装置のスピンドルの端部にブレ
ードを挟持するフランジが装着され、このフランジの端
面を高精度に研磨し修正するためのフランジ修正手段で
あって、このフランジ修正手段はフランジの端面を研磨
するための砥石ホイールと、この砥石ホイールを回転支
持するスピンドルユニットと、このスピンドルユニット
を前記精密切削装置に固定するための固定部と、から構
成されているブレード装着部のフランジ修正手段。 - 【請求項２】 固定部は精密切削装置のチャックテーブ
ルに吸引保持される板状を呈している、請求項１記載の
ブレード装着部のフランジ修正手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22746694A JPH0866859A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ブレード装着部のフランジ修正手段 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22746694A JPH0866859A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ブレード装着部のフランジ修正手段 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0866859A true JPH0866859A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16861323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22746694A Pending JPH0866859A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ブレード装着部のフランジ修正手段 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0866859A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010201586A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 工具取り付けマウントの修正冶具 |
| JP2011011299A (ja) * | 2009-07-02 | 2011-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP2011016182A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP2016198869A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 修正器具 |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP22746694A patent/JPH0866859A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010201586A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 工具取り付けマウントの修正冶具 |
| JP2011011299A (ja) * | 2009-07-02 | 2011-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP2011016182A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP2016198869A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 修正器具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040528 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040601 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040721 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |