JP3472390B2 - フランジ端面修正治具 - Google Patents
フランジ端面修正治具Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密切削装置における
切削手段のフランジ端面修正治具に関する。 【０００２】 【従来の技術】精密切削装置例えばダイサーは、図３に
示すようにカセット載置領域Ａに置かれたカセットＣ内
から搬出入手段Ｂによって半導体ウェーハ（図示は省略
したが、粘着テープを介してフレームに固定されてい
る）を待機領域Ｄに搬出し、旋回アームを有する搬送手
段ＥにてウェーハをチャックテーブルＴに搬送し保持さ
せ、このチャックテーブルＴを移動してアライメント手
段Ｆでアライメントした後、回転ブレードを有する切削
手段Ｇにてダイシングする。前記切削手段Ｇは、図４
(イ) 及び図５に示すようにスピンドル１の先端部に嵌合
する２つのフランジ２、３でワッシャブレード４を挟持
し、先端ねじ部１ａに螺合したナット５を締め付けるこ
とでワッシャブレード４を装着する。但し、図４(ロ) に
示すハブブレード４′の場合はフランジ３は使用しな
い。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】前記従来の切削手段に
よると、図６(イ) のように２つのフランジ２、３の端面
２ａ、３ａがワッシャブレード４に密着しないと、ダイ
シング時にワッシャブレード４がぶれて精密切削が出来
なくなる。又、図６(ロ) のようにスピンドル１の中心線
とフランジ２の端面２ａとのなす角αが正確に９０度で
ないと、スピンドル１の回転によりフランジ２が数μｍ
の端面振れを生じ精密な切削が出来なくなる。これはハ
ブブレード４′の場合にでも例外ではない。更に、フラ
ンジ２、３の端面２ａ、３ａに傷が付くと密着性が悪く
なり、この場合も精密切削が出来なくなる。 【０００４】このため、図７に示すようにフランジ２又
は３の端面２ａ又は３ａを研磨チップ１１で平坦に研磨
するフランジ端面修正治具Ｋが従来存在し、これはチャ
ックテーブルＴの上に固定して研磨するようになってい
るが、ワッシャブレード４用のフランジとハブブレード
４′用のフランジとは端面の径が異なるため、２種類の
フランジ端面修正治具Ｋを用意しなければならず、管理
やコスト面で問題があった。本発明は、このような従来
の問題を解決するためになされ、１つのフランジ端面修
正治具でワッシャブレード４用、ハブブレード４′用ど
ちらのフランジにも使用出来るようにした、フランジ端
面修正治具を提供することを課題とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ブレードを保持する
フランジの端面を修正するフランジ端面修正治具におい
て、このフランジ端面修正治具は、チャックテーブルに
保持される板状基台と、この板状基台に固定され研削チ
ップを挟持する第１、第２のブロックとを含み、前記第
１、第２のブロックの高さは２種類のフランジ径に対応
した高さとなっていて、前記第１のブロックを下にして
前記板状基台に取り付けた場合は前記研削チップの高さ
は低くなり、前記第２のブロックを下にして前記板状基
台に取り付けた場合は前記研削チップの高さは高くなる
フランジ端面修正治具を要旨とする。 【０００６】 【作 用】第１、第２のブロックの高さ（研削チップの
挟持位置）が、２種類のフランジ即ちワッシャブレード
用と、ハブブレード用のフランジ径に対応した高さに設
定されているため、第１、第２のブロックを反転して取
り付けることにより１つのフランジ修正治具で径の異な
るフランジを研磨することが出来る。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
（従来と同一部材は同一符号で）詳説する。図１におい
て、６は円形の板状基台であり、上面の外周部に固定用
ナット７が取り付けられ、この固定用ナット７はねじ穴
７ａを挟んで平行の切り欠き端面７ｂが形成されてい
る。 【０００８】８は研削ブロック体であり、第１のブロッ
ク９と、第２のブロック１０と、これらのブロック８、
９により挟持される研磨チップ１１とから構成され、止
めボルト１２を介して前記板状基台６の上に固定され
る。 【０００９】前記第１のブロック９は、上面の前方部に
前記研磨チップ１１を載せる段部９ａが形成され、後方
端部には平たい凸部９ｂが形成され、中間部の後方寄り
には前記止めボルト１２を挿通するための通孔９ｃが穿
設され、その通孔の下端部には前記固定用ナット７に嵌
合する係合孔（図略）が下面側に開口して形成されてい
る。 【００１０】前記第２のブロック１０は、下面の前方部
に前記段部９ａに係合する凸部１０ａが形成され、中間
部の後方寄りには前記通孔９ｃに対応する通孔１０ｂが
穿設されると共に、前記係合孔と同形の係合孔１０ｃが
上面側に開口して形成されている。 【００１１】前記研磨チップ１１は、ダイヤモンド等の
砥粒をレジンボンドで等で固めて台形を呈する薄い板状
に形成され、広幅側の端部を奥にして第１のブロック９
の段部９ａに載置すると共に、第２のブロック１０の凸
部１０ａで上から押さえるようにして挟持される。 【００１２】研磨チップ１１を挟持した状態の研削ブロ
ック体８は、第１のブロック９又は第２のブロック１０
を下にして係合孔を前記基台６の固定用ナット７に嵌合
し、止めボルト１２を通孔９ｃ、１０ｂに挿通して固定
用ナット７に螺着することにより基台６に取り付けら
れ。 【００１３】図２(イ) は第１のブロック９を下にして取
り付け、図２(ロ) は第２のブロック１０を下にして取り
付けた状態をそれぞれ示すもので、これにより研磨チッ
プ１１の高さ位置を２通りに設定出来るようにしてあ
る。即ち、(イ) のように第１のブロック９を下にした場
合は研磨チップ１１の高さｈは低くなり、(ロ) のように
第２のブロック１０を下にして取り付けた場合は研磨チ
ップ１１の高さＨは高くなる。 【００１４】このように研磨チップ１１の高さを変える
理由は、ワッシャブレード用フランジ２と、ハブブレー
ド用フランジ２′とは端面の大きさが異なり、高さｈは
大径のワッシャブレード用フランジ２を研磨する時、高
さＨは小径のハブブレード用フランジ２′を研磨する時
に適するようにするためである。従って、従来のように
ワッシャブレード用とハブブレード用の２種類のフラン
ジ端面修正治具を用意する必要が無く、管理やコスト面
で好都合である。 【００１５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
１つのフランジ端面修正治具でワッシャブレード用、ハ
ブブレード用どちらのフランジにも使用出来るようにし
たので、管理がし易いと共にコストダウンが可能となる
等の優れた効果を奏する。
切削手段のフランジ端面修正治具に関する。 【０００２】 【従来の技術】精密切削装置例えばダイサーは、図３に
示すようにカセット載置領域Ａに置かれたカセットＣ内
から搬出入手段Ｂによって半導体ウェーハ（図示は省略
したが、粘着テープを介してフレームに固定されてい
る）を待機領域Ｄに搬出し、旋回アームを有する搬送手
段ＥにてウェーハをチャックテーブルＴに搬送し保持さ
せ、このチャックテーブルＴを移動してアライメント手
段Ｆでアライメントした後、回転ブレードを有する切削
手段Ｇにてダイシングする。前記切削手段Ｇは、図４
(イ) 及び図５に示すようにスピンドル１の先端部に嵌合
する２つのフランジ２、３でワッシャブレード４を挟持
し、先端ねじ部１ａに螺合したナット５を締め付けるこ
とでワッシャブレード４を装着する。但し、図４(ロ) に
示すハブブレード４′の場合はフランジ３は使用しな
い。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】前記従来の切削手段に
よると、図６(イ) のように２つのフランジ２、３の端面
２ａ、３ａがワッシャブレード４に密着しないと、ダイ
シング時にワッシャブレード４がぶれて精密切削が出来
なくなる。又、図６(ロ) のようにスピンドル１の中心線
とフランジ２の端面２ａとのなす角αが正確に９０度で
ないと、スピンドル１の回転によりフランジ２が数μｍ
の端面振れを生じ精密な切削が出来なくなる。これはハ
ブブレード４′の場合にでも例外ではない。更に、フラ
ンジ２、３の端面２ａ、３ａに傷が付くと密着性が悪く
なり、この場合も精密切削が出来なくなる。 【０００４】このため、図７に示すようにフランジ２又
は３の端面２ａ又は３ａを研磨チップ１１で平坦に研磨
するフランジ端面修正治具Ｋが従来存在し、これはチャ
ックテーブルＴの上に固定して研磨するようになってい
るが、ワッシャブレード４用のフランジとハブブレード
４′用のフランジとは端面の径が異なるため、２種類の
フランジ端面修正治具Ｋを用意しなければならず、管理
やコスト面で問題があった。本発明は、このような従来
の問題を解決するためになされ、１つのフランジ端面修
正治具でワッシャブレード４用、ハブブレード４′用ど
ちらのフランジにも使用出来るようにした、フランジ端
面修正治具を提供することを課題とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ブレードを保持する
フランジの端面を修正するフランジ端面修正治具におい
て、このフランジ端面修正治具は、チャックテーブルに
保持される板状基台と、この板状基台に固定され研削チ
ップを挟持する第１、第２のブロックとを含み、前記第
１、第２のブロックの高さは２種類のフランジ径に対応
した高さとなっていて、前記第１のブロックを下にして
前記板状基台に取り付けた場合は前記研削チップの高さ
は低くなり、前記第２のブロックを下にして前記板状基
台に取り付けた場合は前記研削チップの高さは高くなる
フランジ端面修正治具を要旨とする。 【０００６】 【作 用】第１、第２のブロックの高さ（研削チップの
挟持位置）が、２種類のフランジ即ちワッシャブレード
用と、ハブブレード用のフランジ径に対応した高さに設
定されているため、第１、第２のブロックを反転して取
り付けることにより１つのフランジ修正治具で径の異な
るフランジを研磨することが出来る。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
（従来と同一部材は同一符号で）詳説する。図１におい
て、６は円形の板状基台であり、上面の外周部に固定用
ナット７が取り付けられ、この固定用ナット７はねじ穴
７ａを挟んで平行の切り欠き端面７ｂが形成されてい
る。 【０００８】８は研削ブロック体であり、第１のブロッ
ク９と、第２のブロック１０と、これらのブロック８、
９により挟持される研磨チップ１１とから構成され、止
めボルト１２を介して前記板状基台６の上に固定され
る。 【０００９】前記第１のブロック９は、上面の前方部に
前記研磨チップ１１を載せる段部９ａが形成され、後方
端部には平たい凸部９ｂが形成され、中間部の後方寄り
には前記止めボルト１２を挿通するための通孔９ｃが穿
設され、その通孔の下端部には前記固定用ナット７に嵌
合する係合孔（図略）が下面側に開口して形成されてい
る。 【００１０】前記第２のブロック１０は、下面の前方部
に前記段部９ａに係合する凸部１０ａが形成され、中間
部の後方寄りには前記通孔９ｃに対応する通孔１０ｂが
穿設されると共に、前記係合孔と同形の係合孔１０ｃが
上面側に開口して形成されている。 【００１１】前記研磨チップ１１は、ダイヤモンド等の
砥粒をレジンボンドで等で固めて台形を呈する薄い板状
に形成され、広幅側の端部を奥にして第１のブロック９
の段部９ａに載置すると共に、第２のブロック１０の凸
部１０ａで上から押さえるようにして挟持される。 【００１２】研磨チップ１１を挟持した状態の研削ブロ
ック体８は、第１のブロック９又は第２のブロック１０
を下にして係合孔を前記基台６の固定用ナット７に嵌合
し、止めボルト１２を通孔９ｃ、１０ｂに挿通して固定
用ナット７に螺着することにより基台６に取り付けら
れ。 【００１３】図２(イ) は第１のブロック９を下にして取
り付け、図２(ロ) は第２のブロック１０を下にして取り
付けた状態をそれぞれ示すもので、これにより研磨チッ
プ１１の高さ位置を２通りに設定出来るようにしてあ
る。即ち、(イ) のように第１のブロック９を下にした場
合は研磨チップ１１の高さｈは低くなり、(ロ) のように
第２のブロック１０を下にして取り付けた場合は研磨チ
ップ１１の高さＨは高くなる。 【００１４】このように研磨チップ１１の高さを変える
理由は、ワッシャブレード用フランジ２と、ハブブレー
ド用フランジ２′とは端面の大きさが異なり、高さｈは
大径のワッシャブレード用フランジ２を研磨する時、高
さＨは小径のハブブレード用フランジ２′を研磨する時
に適するようにするためである。従って、従来のように
ワッシャブレード用とハブブレード用の２種類のフラン
ジ端面修正治具を用意する必要が無く、管理やコスト面
で好都合である。 【００１５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
１つのフランジ端面修正治具でワッシャブレード用、ハ
ブブレード用どちらのフランジにも使用出来るようにし
たので、管理がし易いと共にコストダウンが可能となる
等の優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るフランジ端面修正治具の研削ブ
ロックを示す分解斜視図である。 【図２】 (イ) 、(ロ) は本発明のフランジ端面修正治具
の使用状態をそれぞれ示す説明図である。 【図３】 ダイサーの一例を示す斜視図である。 【図４】 (イ) は切削手段の要部の分解斜視図、(ロ) は
ハブブレードの斜視図である。 【図５】 同、切削手段の要部の側面図である。 【図６】 (イ) 、(ロ) はフランジの不良状態をそれぞれ
示す説明図である。 【図７】 フランジ端面修正治具の使用状態を示す説明
図である。 【符号の説明】 １…スピンドル １ａ…ねじ部 ２、３…フランジ
２ａ、３ａ…端面 ４…ワッシャブレード ４′…ハブブレード ５…
ナット ６…基台 ７…固定用ナット ７ａ…ねじ孔 ７ｂ…切り欠き
端面 ８…研削ブロック体 ９…第１のブロック
９ａ…段部 ９ｂ…凸部 ９ｃ…通孔 １０…第２のブロック １０ａ…凸部 １０ｂ…
通孔 １０ｃ…係合孔 １１…研磨チップ １２
…止めボルト
ロックを示す分解斜視図である。 【図２】 (イ) 、(ロ) は本発明のフランジ端面修正治具
の使用状態をそれぞれ示す説明図である。 【図３】 ダイサーの一例を示す斜視図である。 【図４】 (イ) は切削手段の要部の分解斜視図、(ロ) は
ハブブレードの斜視図である。 【図５】 同、切削手段の要部の側面図である。 【図６】 (イ) 、(ロ) はフランジの不良状態をそれぞれ
示す説明図である。 【図７】 フランジ端面修正治具の使用状態を示す説明
図である。 【符号の説明】 １…スピンドル １ａ…ねじ部 ２、３…フランジ
２ａ、３ａ…端面 ４…ワッシャブレード ４′…ハブブレード ５…
ナット ６…基台 ７…固定用ナット ７ａ…ねじ孔 ７ｂ…切り欠き
端面 ８…研削ブロック体 ９…第１のブロック
９ａ…段部 ９ｂ…凸部 ９ｃ…通孔 １０…第２のブロック １０ａ…凸部 １０ｂ…
通孔 １０ｃ…係合孔 １１…研磨チップ １２
…止めボルト
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/301
B24B 45/00
B24B 7/16
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】ブレードを保持するフランジの端面を修正
するフランジ端面修正治具において、このフランジ端面
修正治具は、チャックテーブルに保持される板状基台
と、この板状基台に固定され研削チップを挟持する第
１、第２のブロックとを含み、前記第１、第２のブロッ
クの高さは２種類のフランジ径に対応した高さとなって
いて、前記第１のブロックを下にして前記板状基台に取
り付けた場合は前記研削チップの高さは低くなり、前記
第２のブロックを下にして前記板状基台に取り付けた場
合は前記研削チップの高さは高くなるフランジ端面修正
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16704895A JP3472390B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | フランジ端面修正治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16704895A JP3472390B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | フランジ端面修正治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08339977A JPH08339977A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3472390B2 true JP3472390B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=15842433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16704895A Expired - Lifetime JP3472390B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | フランジ端面修正治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472390B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016198869A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 修正器具 |
| CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5226394B2 (ja) * | 2008-06-16 | 2013-07-03 | 株式会社ディスコ | フランジの端面修正方法 |
| JP5340832B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2013-11-13 | 株式会社ディスコ | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP5340835B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2013-11-13 | 株式会社ディスコ | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP5875452B2 (ja) * | 2012-04-19 | 2016-03-02 | 株式会社ディスコ | フランジの端面修正用治具 |
| JP5976387B2 (ja) * | 2012-05-09 | 2016-08-23 | 株式会社ディスコ | フランジの装着方法 |
| JP6013934B2 (ja) * | 2013-02-14 | 2016-10-25 | 株式会社ディスコ | マーキング治具およびマーキング方法 |
| JP6855123B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-04-07 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP7060943B2 (ja) | 2017-11-16 | 2022-04-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP7138452B2 (ja) | 2018-03-01 | 2022-09-16 | 株式会社ディスコ | フランジ機構 |
| JP7169948B2 (ja) * | 2019-09-03 | 2022-11-11 | Ｔｏｗａ株式会社 | フランジ端面修正装置、切断装置、フランジ端面修正方法及び切断品の製造方法 |
| JP2022107952A (ja) | 2021-01-12 | 2022-07-25 | 株式会社ディスコ | 補助装置 |
-
1995
- 1995-06-09 JP JP16704895A patent/JP3472390B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016198869A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 修正器具 |
| CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
| KR20170002292A (ko) | 2015-06-29 | 2017-01-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 단부면 접촉 확인 기구 |
| KR102387756B1 (ko) | 2015-06-29 | 2022-04-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 단부면 접촉 확인 기구 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08339977A (ja) | 1996-12-24 |
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Legal Events
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