CN213816091U - 一种晶圆贴合防摔治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆贴合技术领域，具体涉及一种晶圆贴合防摔治具，包括晶圆固定件和旋转固定架，所述晶圆固定件固定在所述旋转固定架上，所述晶圆固定件包括固定件本体、防摔落挡杆及箍环，所述固定件本体的中部开设有容置槽，所述容置槽的槽壁处设有卡缘，所述箍环卡接在所述卡缘上，所述防摔落挡杆转动连接在所述固定件本体上并在所述容置槽的槽口位置上活动。以此箍环将蓝膜固定住，晶圆贴合在蓝膜上，移动防摔落挡杆使其阻挡晶圆在蓝膜上脱落，再通过旋转固定架调节驱赶晶圆与蓝膜之间气泡的位置方向，确保驱赶气泡时晶圆的位置高度及角度不发生改变，可以有效防止晶圆摔落，确保晶圆贴合蓝膜过程顺利进行。

Description

一种晶圆贴合防摔治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴合技术领域，具体涉及一种晶圆贴合防摔治具。

背景技术

在一些半导体中，比如磷化铟（InP），具有电子迁移率高、耐辐射性能好、禁带宽度大等优点，在两大应用领域拥有关键优势，使用磷化铟制造的晶圆在近些年红外探测器技术的发展中有较广泛的应用。

但是随之而来的是，大尺寸磷化铟单晶衬底的加工难度也随之增加。磷化铟材料莫氏硬度只有5左右，材料非常脆，易损坏。而且在设计晶圆且切粒时需要将晶圆贴合在低粘膜上。目前，常见的方式是人工将晶圆贴合在低粘膜上，然后手持晶圆，用棉签将晶圆与膜之间的气泡去除，但手持不易控制高度及角度，晶圆有滑落的风险。

因此，行业内亟需一种能解决上述问题的方案。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种晶圆贴合防摔治具。本实用新型的目的可以通过如下所述技术方案来实现。

一种晶圆贴合防摔治具，包括晶圆固定件和旋转固定架，所述晶圆固定件固定在所述旋转固定架上，所述晶圆固定件包括固定件本体、防摔落挡杆及箍环，所述固定件本体的中部开设有容置槽，所述容置槽的槽壁处设有卡缘，所述箍环卡接在所述卡缘上，所述防摔落挡杆转动连接在所述固定件本体上并在所述容置槽的槽口位置上活动。

作为优选地，所述晶圆固定件上设有若干个定位块，所述定位块设置在所述容置槽的槽口处并压合所述箍环。

作为优选地，所述容置槽的槽壁处凹设有若干个取件位。

作为优选地，所述晶圆固定件上设有防滑落围栏，所述防滑落围栏沿着所述容置槽的槽口边缘设置。

作为优选地，所述防摔落挡杆转动连接在所述防滑落围栏上。

作为优选地，所述防滑落围栏靠近所述容置槽的侧面上设有防静电海绵。

作为优选地，所述防摔落挡杆包括挡杆杆体和防摔落支撑块，所述防摔落支撑块固定在所述挡杆杆体的端部上，所述防摔落支撑块设有防静电海绵。

作为优选地，所述箍环包括内箍环和外箍环，所述外箍环卡扣在所述内箍环上。

作为优选地，所述旋转固定架包括固定架主体、第一连动杆、第二连杆及旋转部件，所述第一连动杆活动套接在所述固定架主体上，所述第二连杆与所述第一连动杆转动连接，所述旋转部件与所述第二连杆转动连接。

作为优选地，所述旋转部件包括旋转座和旋转块，所述旋转块转动连接在所述旋转座上，所述晶圆固定件固定在所述旋转块上。

与现有技术比，本实用新型的有益效果：

本实用新型研发了一种晶圆贴合防摔治具，箍环将蓝膜固定住，晶圆贴合在蓝膜上，移动防摔落挡杆使其阻挡晶圆在蓝膜上脱落，再通过旋转固定架调节驱赶晶圆与蓝膜之间气泡的位置方向，确保驱赶气泡时晶圆的位置高度及角度不发生改变，可以有效防止晶圆摔落，确保晶圆贴合蓝膜过程顺利进行。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1为本实用新型实施例中治具的结构示意图。

图2为本实用新型实施例中晶圆固定件的结构示意图。

图3为本实用新型实施例中晶圆固定件另一角度的结构示意图。

图4为本实用新型实施例中固定件本体的结构示意图。

图5为本实用新型实施例中旋转固定架的结构示意图。

图6为本实用新型实施例中箍环的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合具体实施例，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。

一种晶圆贴合防摔治具，如图1所示，包括晶圆固定件2和旋转固定架1，晶圆固定件2将晶圆及贴合晶圆的蓝膜夹持住，旋转固定架1带动晶圆固定件2调整晶圆的位置高度及角度。所述晶圆固定件2固定在所述旋转固定架1上以调整位置。如图2所示，所述晶圆固定件2包括固定件本体21、防摔落挡杆23及箍环22，所述固定件本体21的中部开设有容置槽24，用于容纳晶圆及其贴合的蓝膜。如图4所示，所述容置槽24的槽壁处设有卡缘25，所述箍环22卡接在所述卡缘25上，箍环22将贴合的蓝膜固定住，然后再将晶圆贴合在蓝膜上，使晶圆位于容置槽24内。所述防摔落挡杆23转动连接在所述固定件本体21上并在所述容置槽24的槽口位置上活动，防摔落挡杆23对晶圆起到阻挡的作用，确保晶圆不会在蓝膜上脱落。

具体地，进行晶圆贴合时，先使蓝膜固定在箍环22内，将箍环22装配在容置槽24的槽壁卡缘25上，再将晶圆贴附在蓝膜上，移动防摔落挡杆23，使防摔落挡杆23位于晶圆上，确保晶圆不会在蓝膜上脱落，再通过调整旋转固定架1带动晶圆固定件2来调整晶圆的位置高度及角度，优选旋转45~60度并固定，再通过旋转固定架1调节驱赶晶圆与蓝膜之间气泡的位置方向，再用棉签进行驱赶气泡的操作，确保驱赶气泡时晶圆的位置高度及角度不发生改变，可以有效防止晶圆摔落，确保晶圆贴合蓝膜过程顺利进行。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图2所示，所述晶圆固定件2上设有若干个定位块26，所述定位块26设置在所述容置槽24的槽口处并压合所述箍环22，定位块26将装有蓝膜的箍环22压住，避免箍环22位置发生变动，为后续操作提供保障。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图2所示，所述容置槽24的槽壁处凹设有若干个取件位27，取件位27为操作者取出或装配箍环22提供让位空间，便于操作者快速将箍环22取出或装在容置槽24上。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图2所示，所述晶圆固定件2上设有防滑落围栏28，所述防滑落围栏28沿着所述容置槽24的槽口边缘设置，当晶圆未贴合好而脱落时，在防滑落围栏28的限制作用下，晶圆也只能滑落到防滑落围栏28处，避免晶圆直接摔在地面上而导致晶圆破碎，可对晶圆起到保护作用。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图2所示，所述防摔落挡杆23转动连接在所述防滑落围栏28上，由于防滑落围栏28具有一定高度，防摔落挡杆23设置在防滑落围栏28上可以避免其他部件对防摔落挡杆23的移动造成阻挡干涉。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图2所示，所述防滑落围栏28靠近所述容置槽24的侧面上设有防静电海绵，避免晶圆不慎滑落时与晶圆刚性接触而撞裂晶圆，对晶圆起到保护作用。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图3所示，所述防摔落挡杆23包括挡杆杆体231和防摔落支撑块232，所述防摔落支撑块232固定在所述挡杆杆体231的端部上，所述防摔落支撑块232设有防静电海绵，可以避免直接与晶圆刚性接触，确保防摔落挡杆23对晶圆造成损坏。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图6所示，所述箍环22包括内箍环222和外箍环221，所述外箍环221卡扣在所述内箍环222上。进行附膜时，先取一块稍大于箍环22的蓝膜放在内箍环222上，再将外箍环221卡扣压合在内箍环222上，然后再将多余的蓝膜切除掉，以此使得内箍环222和外箍环221的中心在同一直线上，避免出现压合不端正等问题。

本实施例中提供的一种晶圆贴合防摔治具，如图5所示，所述旋转固定架1包括固定架主体11、第一连动杆12、第二连杆13及旋转部件14，所述第一连动杆12活动套接在所述固定架主体11上，可通过调节第一连动杆12在固定架主体11上的位置来调节高度。所述第二连杆13与所述第一连动杆12转动连接，可通过使第二连动杆在第一连动杆12上相对转动来调节方位。所述旋转部件14与所述第二连杆13转动连接，所述旋转部件14包括旋转座141和旋转块142，所述旋转块142转动连接在所述旋转座141上，所述晶圆固定件2固定在所述旋转块142上，可通过旋转块142来带动晶圆固定件2调节角度。

以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述，但是应该理解的是，这里具体的描述，不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定，本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，包括晶圆固定件和旋转固定架，所述晶圆固定件固定在所述旋转固定架上，所述晶圆固定件包括固定件本体、防摔落挡杆及箍环，所述固定件本体的中部开设有容置槽，所述容置槽的槽壁处设有卡缘，所述箍环卡接在所述卡缘上，所述防摔落挡杆转动连接在所述固定件本体上并在所述容置槽的槽口位置上活动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述晶圆固定件上设有若干个定位块，所述定位块设置在所述容置槽的槽口处并压合所述箍环。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述容置槽的槽壁处凹设有若干个取件位。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述晶圆固定件上设有防滑落围栏，所述防滑落围栏沿着所述容置槽的槽口边缘设置。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防摔落挡杆转动连接在所述防滑落围栏上。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防滑落围栏靠近所述容置槽的侧面上设有防静电海绵。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防摔落挡杆包括挡杆杆体和防摔落支撑块，所述防摔落支撑块固定在所述挡杆杆体的端部上，所述防摔落支撑块设有防静电海绵。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述箍环包括内箍环和外箍环，所述外箍环卡扣在所述内箍环上。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述旋转固定架包括固定架主体、第一连动杆、第二连杆及旋转部件，所述第一连动杆活动套接在所述固定架主体上，所述第二连杆与所述第一连动杆转动连接，所述旋转部件与所述第二连杆转动连接。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述旋转部件包括旋转座和旋转块，所述旋转块转动连接在所述旋转座上，所述晶圆固定件固定在所述旋转块上。

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