JP2010207972A - スピンドル装置 - Google Patents

スピンドル装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010207972A
JP2010207972A JP2009057311A JP2009057311A JP2010207972A JP 2010207972 A JP2010207972 A JP 2010207972A JP 2009057311 A JP2009057311 A JP 2009057311A JP 2009057311 A JP2009057311 A JP 2009057311A JP 2010207972 A JP2010207972 A JP 2010207972A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
rotation
rotating spindle
main shaft
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009057311A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiko Jin
雅彦 神
Mitsuru Kodama
満 小玉
Hideo Kanai
秀生 金井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IND KK
Industria Co Ltd
Original Assignee
IND KK
Industria Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IND KK, Industria Co Ltd filed Critical IND KK
Priority to JP2009057311A priority Critical patent/JP2010207972A/ja
Publication of JP2010207972A publication Critical patent/JP2010207972A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Milling Processes (AREA)
  • Turning (AREA)

Abstract

【課題】回転バランスがよく、高速化、高精度化しやすい、超音波スピンドル装置を提供する。
【解決手段】回転主軸2および回転主軸に取付けられた工具6が超音波振動しながら回転して切削加工するスピンドル装置Aであって、回転主軸は、圧電セラミックスと電極板を有し回転主軸を超音波振動させる加振部22、加振部を駆動させるための電力を受電する電力受電部23、回転主軸を回転させる回転駆動部24、回転主軸を支持するスラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受25、26および工具チャック3を取り付けるための主軸端を有しており、工具チャックには、焼きばめチャック30を用い、回転主軸のハウジング1には、回転主軸側の電力受電部と対をなし電力を供給する電力給電部10、回転駆動部に動力を与える回転駆動機構11、回転主軸側の空気静圧軸受と対をなすスラストおよびラジアル方向の軸受12、13を有する。
【選択図】図1

Description

この発明は、工具を有する回転主軸が超音波振動しながら回転して切削加工するスピンドル装置に関する。
金型加工などの分野において、高速ミリング加工法が用いられており、例えば1本の工具を用いて粗加工から仕上げ加工まで行なうことができる。
この高速ミリング加工を行う装置として、例えば、特許文献1として、回転主軸を静圧空気軸受により非接触で支持すると共に、回転主軸に超音波振動子を設けて非接触で加振し、また回転主軸の回転は、回転主軸にモータロータを設け、またはタービンポケットを設けることで、モータあるいはタービン式の無接触の回転駆動装置で与える装置が提案されている。
また、特許文献2として、超音波振動子を内蔵した回転主軸筒、モータおよび流体静圧軸受により構成された流体静圧軸受超音波振動主軸が提案されている。超音波振動子は、電歪素子とフランジ、これらをボルトにより締結した軸からなっており、超音波振動子で発生する振動を、振動ホーン、チャックを介して工具に伝える超音波振動系を構成している。超音波振動系は、振動の節の位置となるフランジ部で回転主軸筒に固定され、回転主軸筒は、流体静圧軸受により保持され、回転可能である。モータおよび電歪素子には、外部より高周波電力を非接触供給される。
また、特許文献3として、空気軸受により、回転主軸のラジアル方向とスラスト方向を非接触により支持し、回転主軸を外部のモータ駆動ユニットを利用した回転主軸により回転駆動するとともに、回転主軸に超音波振動子により軸方向に振動を加え、回転主軸の軸端に装着する研削工具を軸方向に振動させながら回転する装置が提案されている。
特開平11−10420号公報 特開2006−247808号公報 特開2002−36106号公報
この特許文献1乃至3では、いずれも回転主軸をハウジングに非接触で支持することにより、振動しながら回転することが開示されているが、特許文献1では、回転主軸の中央部に超音波振動子と回転駆動装置とが設けられており、回転主軸の構造が複雑であり、かつ回転主軸に超音波振動子と回転駆動装置を共に組み付ける作業に手数を要する。
また、特許文献2では、超音波振動子を内蔵した主軸筒であり、この回転主軸筒の頭部にモータを組み付けて回転駆動しており、回転主軸が筒状であるために加工や超音波振動子の組み付けの作業に手数を要すると共に、回転主軸筒の回転がぶれないように超音波振動子やモータの組み付け位置を簡単に調整することが困難である。
また、特許文献3では、回転主軸の中央部に超音波振動子が組み付けられ、この回転主軸の頭部に外部のモータ駆動ユニットの回転軸を連結しており、回転主軸の構造が複雑であり、回転主軸の中央部に超音波振動子を組み付け、また頭部に回転主軸を連結する作業に手数を要すると共に、回転主軸の回転がぶれないように超音波振動子や回転軸の組み付け位置を簡単に調整することが困難である。
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、超音波振動しながら回転する回転主軸の製作工程を削減し、低コストで、簡単にかつ高精度に組み付けることが可能で、回転バランスがよく、高速化、高精度化を得ることができる超音波スピンドル装置を提供することを目的としている。
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
請求項1に記載の発明は、回転主軸および回転主軸に取付けられた工具が超音波振動しながら回転して切削加工するスピンドル装置であって、
前記回転主軸は、圧電セラミックスと電極板を有し前記回転主軸を超音波振動させる加振部、前記加振部を駆動させるための電力を受電する電力受電部、前記回転主軸を回転させる回転駆動部、前記回転主軸を支持するスラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受、および工具チャックを取り付けるための主軸端を有しており、
前記工具チャックには、焼きばめチャックを用い、
前記回転主軸のハウジングには、回転主軸側の前記電力受電部と対をなし電力を供給する電力給電部、前記回転駆動部に動力を与える回転駆動機構、回転主軸側の前記空気静圧軸受と対をなすスラストおよびラジアル方向の軸受を有することを特徴とするスピンドル装置である。
請求項2に記載の発明は、前記回転駆動部は、エアタービンであり、
前記回転駆動機構は、前記エアタービンに圧縮空気を供給するエアノズルであり、
前記エアノズルから供給される圧縮空気によって前記エアタービンが回転することを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置である。
請求項3に記載の発明は、前記回転駆動部は、電磁モータの永久磁石を装着した回転子であり、
前記回転駆動機構は、電磁モータの電磁固定子であり、
前記電磁固定子に供給される交流位相電流によって前記回転子が回転することを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置である。
請求項4に記載の発明は、前記電力給電部は、小型ブラシであることを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置である。
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
請求項1に記載の発明では、超音波振動する回転主軸は、加振部、電力受電部、回転駆動部、スラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受、および工具チャックを取り付けるための主軸端を有し、ハウジングは、電力給電部、回転駆動機構、スラストおよびラジアル方向の軸受を有し、回転主軸をハウジングに簡単な構造で、かつ高精度に組み付けることができ、また回転主軸を超音波振動しながらバランスがよく回転することができる。
請求項2に記載の発明では、エアノズルから供給される圧縮空気によってエアタービンが回転し、超音波振動する回転主軸を回転することができる。
請求項3に記載の発明では、電磁モータの電磁固定子に供給される交流位相電流によって回転子が回転し、超音波振動する回転主軸を回転することができる。
請求項4に記載の発明では、電力給電部は、小型ブラシであり、より大きな駆動電力を供給できる。
スピンドル装置の断面図である。 焼きばめチャックの固定を説明する図である。 他の実施の形態のスピンドル装置の断面図である。
以下、この発明のスピンドル装置の実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。
[第1の実施の形態]
スピンドル装置Aは、図1及び図2に示すように、ハウジング1と、超音波振動する回転主軸2とを備え、回転主軸2および回転主軸2に取付けられた工具6が超音波振動しながら回転して切削加工する。ハウジング1は、例えば金属などで成形され、加工装置などに取り付けられる。
回転主軸2は、回転主軸2を超音波振動させる加振部22、加振部22を駆動させるための電力を受電する電力受電部23、回転主軸2を回転させる回転駆動部24、回転主軸2を支持するスラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受25,26、および工具チャック3を取り付けるための主軸端27を有する。工具チャック3には、焼きばめチャック30を用いる。
ハウジング1は、回転主軸側の電力受電部23と対をなし電力を供給する電力給電部10、回転駆動部24に動力を与える回転駆動機構11、回転主軸側の空気静圧軸受25,26と対をなすスラストおよびラジアル方向の軸受12,13を有する。
回転主軸2は、単一の部材で成形され、材質が例えば軸受鋼、ステンレス鋼やチタン合金である。この回転主軸2は、円柱状であり、外周は研磨加工され、スラスト方向の空気静圧軸受25が小径に、これよりラジアル方向の空気静圧軸受26が空気静圧軸受25より大径に形成され、空気静圧軸受25が先端部側に位置し、空気静圧軸受26が頭部側に位置している。回転主軸2の主軸端27に焼きばめチャック30を固定するための固定穴2aが形成されている。
ハウジング1のスラスト方向の軸受12は、スラスト方向の空気静圧軸受25と平行し、かつ空気静圧軸受25に沿ってハウジング1に設けられたスリーブ12aの内径面を軸受面とするものであり、ハウジング1に形成した圧縮空気の給気路12bに連通した複数の微細な絞り孔12cを軸受面に開口させてある。
また、ハウジング1のラジアル方向の軸受13は、ラジアル方向の空気静圧軸受26と直交し、かつ空気静圧軸受26に沿ってハウジング1に設けられたスリーブ13aの内径面を軸受面とするものであり、ハウジング1に形成した圧縮空気の給気路13bに連通した複数の微細な絞り孔13cを軸受面に開口させてある。
給気路12b,13bには、ハウジング1の軸受吸気口部1aから主給気路1bを介して圧縮空気が供給され、スリーブ12aの絞り孔12cと、スリーブ13aの絞り孔13cとから供給される。このスラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受25,26と、空気静圧軸受25,26と対をなすスラストおよびラジアル方向の軸受12,13とによって、回転主軸2はハウジング1に対して回転主軸2の半径方向および軸方向にそれぞれ高速回転して軸方向に振動可能に支持される。
工具6及び焼きばめチャック30の取付は、図2に示すように、焼きばめチャック30を回転主軸2の先端部27の固定穴2aに圧入により固定するが、ねじ込み、焼きばめなど固定方法は特に限定されない。工具6は、焼きばめチャック30の固定穴30aに焼きばめにより固定する。このように、工具6を焼きばめチャック30に焼きばめにより固定して取付したから、工具支持剛性が高く、高精度に固定することができバランス性もよいので、超音波振動を効率よく加工物100に伝えることができるとともに高速ミリング加工時の高速回転及び振動や負荷に耐えることができる。
工具6はエンドミルなどが用いられるが、材質としては、超硬、コーティング超硬、焼結および単結晶ダイヤモンド、cBN(立方晶窒化ホウ素)、研削砥石などが好適である。
回転主軸2の頭部側には、加振部22、回転駆動部24、電力受電部23が順に配置されている。加振部22は、回転主軸2を超音波振動させ、この加振部22は、ラジアル方向の空気静圧軸受26の位置より頭部側に配置されている。加振部22は、一対の圧電セラミックス22aと電極板22bを有し、圧電セラミックス22aと電極板22bとを交互にサンドイッチ構造とした複数枚ものからなり、電極板22bに給電を行うことで圧電セラミックス22aが駆動して回転主軸2を超音波振動させる。
この実施の形態の回転駆動部24には、エアタービン24aが用いられ、このエアタービン24aは、回転主軸2の頭部に加振部22と共に一体回転可能にボルトなどの締付手段により固定され、またエアタービン24aに電力受電部23がボルトなどの締付手段により一体回転可能に固定されている。
ハウジング1の電力給電部10は、回転主軸側の電力受電部23と対をなし電力を供給する。電力受電部23は、エアタービン24aに配線された給電線23aを介して加振部22に電力が供給される。この実施の形態の電力給電部10は、小型ブラシ10aであり、より大きな駆動電力を供給できる。電力給電部10には、超音波を発振するための超音波発振器53の給電線54が接続されている。電力給電部10と電力受電部23は、電磁誘導などの手段で、外部の超音波発振器53より高周波電力を非接触で供給できるようになっている。
ハウジング1の回転駆動機構11は、エアタービン24aに圧縮空気を供給するエアノズル11aであり、エアノズル11aは、タービン吸気口部11bに連通しており、タービン吸気口部11bから圧縮空気がエアノズル11aに供給される。エアノズル11aから供給される圧縮空気によってエアタービン24aが回転し、このエアタービン24aの回転によって回転主軸2を高速回転させ、圧縮空気はハウジング1に形成された排出通路11cから排出される。
このスピンドル装置Aは、被削材としての工作物100の加工を行い、この工作物100の材質は任意であり、炭素鋼、プレハードン鋼、ステンレス鋼、金型用焼入れ鋼などのほか、アルミニウムなどの非鉄金属、さらにガラスやセラミックス、宝石類の非金属、ゴム、プラスチック、木材なども含まれる。
ハウジング1の回転駆動機構11は、回転駆動部24のエアタービン24aに動力を与え、このエアタービン24aの回転によって回転主軸2を高速で回転する。併行して超音波発振装置53から電力給電部23を介して回転主軸側の電力受電部23に電力を供給する。この電力受電部23から加振部22に電力を供給し、これによって電極板22bを介して圧電セラミックス22aが軸方向、ねじれ方向もしくは曲げ方向に振動させられ、工具6により工作物100がミーリング加工される。この超音波振動により工具6の材質がダイヤモンド、工作物の材質が鉄系材料である場合にも化学反応による化学的摩耗が回避される。
回転主軸2は、スラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受25,26と、この空気静圧軸受25,26と対をなすハウジング1のスラストおよびラジアル方向の軸受12,13により、回転が許容されつつ軸方向および半径方向には動かされないようにしっかりと支持されているため、高速回転と振動とが作用しても、回転主軸2は高速回転と横方向の負荷に耐えることができ、円滑に安定して長距離の高速ミーリング加工を行なうことができる。
また、回転主軸2は、単一の部材で成形し、スラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受25,26によりハウジング1のハウジング1のスラストおよびラジアル方向の軸受12,13に支持し、回転主軸2の頭部側に、加振部22とエアタービン24aとを順に配置し、さらに電力受電部23をエアタービン24aに設けている。このように、回転主軸2の頭部側に、加振部22、エアタービン24a、電力受電部23を集中して主軸軸線上に配置する簡単な構造であり、回転主軸2の頭部側から加振部22、エアタービン24a、電力受電部23を、回転主軸2に簡単にかつ高精度に組み付けることができる。また、回転主軸2を複数の軸部材を組み付けて軸加工する必要がなく、製作工程を削減し、低コストで、簡単にかつ高精度に加振部22、エアタービン24a、電力受電部23を集中して主軸軸線上に組み付けることが可能で、回転バランスがよく、高速化、高精度化を得ることができる。
また、スラスト方向の空気静圧軸受25を、回転主軸2の先端部側に配置し、ラジアル方向の空気静圧軸受26を、回転主軸2の頭部側に配置して回転主軸2をハウジング1のスラスト軸受12と、ラジアル軸受13に対して支持するから、回転主軸2を小型化でき、高速回転が可能になる。また、ハウジング1に設けた電力給電部10から非接触で電力受電部23を介して加振部22に給電を行い、加振部22を駆動させるから、回転主軸22の高速回転が可能であり、かつ回転バランスがよく、高精度の回転を得ることができ、しかも回転主軸2に給電系の経路や導線などを設ける必要がなく、給電系の簡素化が可能である。
[第2の実施の形態]
この第2の実施の形態のスピンドル装置Aを、図3に示し、図1及び図2の第1の実施の形態と同じ構成は、同じ符号を付して説明を省略する。この第2の実施の形態では、回転駆動部24は、電磁モータ24bの永久磁石24b1を装着した回転子24b2であり、回転駆動機構11は、電磁モータ24bの電磁固定子24b3である。この電磁固定子24b3には電源装置11bが接続され、この電源装置11dから電磁固定子24b3に交流位相電流が供給され、この交流位相電流によって電磁固定子24b3が永久磁石24b1を装着した回転子24b2を回転する。この電磁モータ24bの回転子24b2が回転することによって、回転主軸22の高速回転が可能であり、かつ回転バランスがよく、高精度の回転を得ることができ、しかも回転主軸2に給電系の経路や導線などを設ける必要がなく、給電系の簡素化が可能である。
この発明は、工具を有する回転主軸が超音波振動しながら回転するスピンドル装置に適用可能であり、超音波振動しながら回転する回転主軸の製作工程を削減し、低コストで、簡単にかつ高精度に組み付けることが可能で、回転バランスがよく、高速化、高精度化を得ることができる。
A スピンドル装置
1 ハウジング
2 回転主軸
3 工具チャック
6 工具
10電力給電部
11回転駆動機構
12,13スラストおよびラジアル方向の軸受
22 加振部
23 電力受電部
24 回転駆動部
24a エアタービン
24b 電磁モータ
25,26 スラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受
27 主軸端
30 焼きばめチャック


Claims (4)

  1. 回転主軸および回転主軸に取付けられた工具が超音波振動しながら回転して切削加工するスピンドル装置であって、
    前記回転主軸は、圧電セラミックスと電極板を有し前記回転主軸を超音波振動させる加振部、前記加振部を駆動させるための電力を受電する電力受電部、前記回転主軸を回転させる回転駆動部、前記回転主軸を支持するスラストおよびラジアル方向の空気静圧軸受、および工具チャックを取り付けるための主軸端を有しており、
    前記工具チャックには、焼きばめチャックを用い、
    前記回転主軸のハウジングには、回転主軸側の前記電力受電部と対をなし電力を供給する電力給電部、前記回転駆動部に動力を与える回転駆動機構、回転主軸側の前記空気静圧軸受と対をなすスラストおよびラジアル方向の軸受を有することを特徴とするスピンドル装置。
  2. 前記回転駆動部は、エアタービンであり、
    前記回転駆動機構は、前記エアタービンに圧縮空気を供給するエアノズルであり、
    前記エアノズルから供給される圧縮空気によって前記エアタービンが回転することを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置。
  3. 前記回転駆動部は、電磁モータの永久磁石を装着した回転子であり、
    前記回転駆動機構は、電磁モータの電磁固定子であり、
    前記電磁固定子に供給される交流位相電流によって前記回転子が回転することを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置。
  4. 前記電力給電部は、小型ブラシであることを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置。











JP2009057311A 2009-03-11 2009-03-11 スピンドル装置 Pending JP2010207972A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009057311A JP2010207972A (ja) 2009-03-11 2009-03-11 スピンドル装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009057311A JP2010207972A (ja) 2009-03-11 2009-03-11 スピンドル装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010207972A true JP2010207972A (ja) 2010-09-24

Family

ID=42968721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009057311A Pending JP2010207972A (ja) 2009-03-11 2009-03-11 スピンドル装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010207972A (ja)

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120110818A1 (en) * 2010-11-05 2012-05-10 Leonid Kashchenevsky Machine for rotating a part and method for doing the same
JP2013035087A (ja) * 2011-08-05 2013-02-21 Ko Yamagishi 振動切削装置
JP2013104449A (ja) * 2011-11-10 2013-05-30 Toshiba Mach Co Ltd 静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械
US8820955B2 (en) 2009-02-25 2014-09-02 Black & Decker Inc. Power tool with light emitting assembly
US8827483B2 (en) 2009-02-25 2014-09-09 Black & Decker Inc. Light for a power tool and method of illuminating a workpiece
TWI455898B (zh) * 2011-12-16 2014-10-11 Ind Tech Res Inst 硬脆材料劃線裝置
KR101477394B1 (ko) 2013-05-28 2015-01-02 (주)우진하이텍 에어로 작동하는 절삭가공물 디버링장치
US9028088B2 (en) 2010-09-30 2015-05-12 Black & Decker Inc. Lighted power tool
CN104785842A (zh) * 2014-01-21 2015-07-22 常州法尔林精机有限公司 经编机的槽针床专用铣头
TWI511796B (zh) * 2012-10-16 2015-12-11 Infina Technology Co Ltd 簾幕式超音波噴塗系統及基板材料噴塗之方法
JP2015223656A (ja) * 2014-05-27 2015-12-14 ファナック株式会社 工具把持機構
US9242355B2 (en) 2012-04-17 2016-01-26 Black & Decker Inc. Illuminated power tool
KR101604989B1 (ko) 2014-10-31 2016-03-21 주식회사 알피에스 초음파 에어베어링 스핀들
JP2016508890A (ja) * 2013-03-06 2016-03-24 ジェイ サンダース,ジェラルド 切削工具のためのタービン駆動動力装置
US9328915B2 (en) 2010-09-30 2016-05-03 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US9352458B2 (en) 2009-02-25 2016-05-31 Black & Decker Inc. Power tool with light for illuminating workpiece
CN106141211A (zh) * 2015-03-26 2016-11-23 焦作天元精密光学实验室(普通合伙) 一种脆硬材料超精密加工用气浮超声旋转钻铣轴
RU2621524C2 (ru) * 2015-11-26 2017-06-06 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радиосвязь" (АО "НПП "Радиосвязь") Шпиндельный узел
CN107322013A (zh) * 2017-08-29 2017-11-07 孙嘉骏 采用气动马达驱动的非接触支承旋转主轴装置
CN108015597A (zh) * 2017-12-19 2018-05-11 长春理工大学 一种小型自取能超声振动电主轴
WO2019026601A1 (ja) * 2017-08-03 2019-02-07 株式会社キラ・コーポレーション 超音波振動加工装置
CN110394464A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 一种超声波主轴及包括其的超声波机床
CN110394463A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 一种超声波主轴及包括其的超声波机床
CN110394469A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 超声波刀柄、超声波加工组件及超声波主轴
CN111468746A (zh) * 2020-05-06 2020-07-31 大连民族大学 一种非接触式气动混合电主轴支撑系统
CN112658294A (zh) * 2020-12-10 2021-04-16 珠海格力电器股份有限公司 电主轴结构及电主轴
US12059780B2 (en) 2010-09-30 2024-08-13 Black & Decker Inc. Lighted power tool
WO2024167251A1 (ko) * 2023-02-06 2024-08-15 주식회사 알피에스 초음파 에어베어링 스핀들 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007015095A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Disco Abrasive Syst Ltd 超音波振動切削装置および超音波振動切削装置に用いられる取付補助治具
JP2007098477A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Toshiba Mach Co Ltd 加工装置および加工方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007015095A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Disco Abrasive Syst Ltd 超音波振動切削装置および超音波振動切削装置に用いられる取付補助治具
JP2007098477A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Toshiba Mach Co Ltd 加工装置および加工方法

Cited By (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8820955B2 (en) 2009-02-25 2014-09-02 Black & Decker Inc. Power tool with light emitting assembly
US9352458B2 (en) 2009-02-25 2016-05-31 Black & Decker Inc. Power tool with light for illuminating workpiece
US8827483B2 (en) 2009-02-25 2014-09-09 Black & Decker Inc. Light for a power tool and method of illuminating a workpiece
US11090786B2 (en) 2010-09-30 2021-08-17 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US12059780B2 (en) 2010-09-30 2024-08-13 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US9644837B2 (en) 2010-09-30 2017-05-09 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US10543588B2 (en) 2010-09-30 2020-01-28 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US9028088B2 (en) 2010-09-30 2015-05-12 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US9328915B2 (en) 2010-09-30 2016-05-03 Black & Decker Inc. Lighted power tool
US20120110818A1 (en) * 2010-11-05 2012-05-10 Leonid Kashchenevsky Machine for rotating a part and method for doing the same
JP2013035087A (ja) * 2011-08-05 2013-02-21 Ko Yamagishi 振動切削装置
JP2013104449A (ja) * 2011-11-10 2013-05-30 Toshiba Mach Co Ltd 静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械
TWI455898B (zh) * 2011-12-16 2014-10-11 Ind Tech Res Inst 硬脆材料劃線裝置
US9242355B2 (en) 2012-04-17 2016-01-26 Black & Decker Inc. Illuminated power tool
US10173307B2 (en) 2012-04-17 2019-01-08 Black & Decker Inc. Illuminated power tool
TWI511796B (zh) * 2012-10-16 2015-12-11 Infina Technology Co Ltd 簾幕式超音波噴塗系統及基板材料噴塗之方法
JP2016508890A (ja) * 2013-03-06 2016-03-24 ジェイ サンダース,ジェラルド 切削工具のためのタービン駆動動力装置
KR101477394B1 (ko) 2013-05-28 2015-01-02 (주)우진하이텍 에어로 작동하는 절삭가공물 디버링장치
CN104785842A (zh) * 2014-01-21 2015-07-22 常州法尔林精机有限公司 经编机的槽针床专用铣头
US9849551B2 (en) 2014-05-27 2017-12-26 Fanuc Corporation Tool gripping mechanism
JP2015223656A (ja) * 2014-05-27 2015-12-14 ファナック株式会社 工具把持機構
KR101604989B1 (ko) 2014-10-31 2016-03-21 주식회사 알피에스 초음파 에어베어링 스핀들
CN106141211A (zh) * 2015-03-26 2016-11-23 焦作天元精密光学实验室(普通合伙) 一种脆硬材料超精密加工用气浮超声旋转钻铣轴
RU2621524C2 (ru) * 2015-11-26 2017-06-06 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радиосвязь" (АО "НПП "Радиосвязь") Шпиндельный узел
JP2019025628A (ja) * 2017-08-03 2019-02-21 株式会社キラ・コーポレーション 超音波振動加工装置
WO2019026601A1 (ja) * 2017-08-03 2019-02-07 株式会社キラ・コーポレーション 超音波振動加工装置
JP6995306B2 (ja) 2017-08-03 2022-01-14 株式会社キラ・コーポレーション 超音波振動加工装置
US11413654B2 (en) 2017-08-03 2022-08-16 Kira Corporation Ultrasonic vibration processing device
CN107322013A (zh) * 2017-08-29 2017-11-07 孙嘉骏 采用气动马达驱动的非接触支承旋转主轴装置
CN108015597B (zh) * 2017-12-19 2019-05-31 长春理工大学 一种小型自取能超声振动电主轴
CN108015597A (zh) * 2017-12-19 2018-05-11 长春理工大学 一种小型自取能超声振动电主轴
CN110394464A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 一种超声波主轴及包括其的超声波机床
CN110394463A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 一种超声波主轴及包括其的超声波机床
CN110394469A (zh) * 2019-08-29 2019-11-01 汇专绿色工具有限公司 超声波刀柄、超声波加工组件及超声波主轴
CN110394463B (zh) * 2019-08-29 2024-05-17 汇专科技集团股份有限公司 一种超声波主轴及包括其的超声波机床
CN110394469B (zh) * 2019-08-29 2024-05-17 汇专科技集团股份有限公司 超声波刀柄、超声波加工组件及超声波主轴
CN111468746A (zh) * 2020-05-06 2020-07-31 大连民族大学 一种非接触式气动混合电主轴支撑系统
CN112658294B (zh) * 2020-12-10 2023-12-22 珠海格力电器股份有限公司 电主轴结构及电主轴
CN112658294A (zh) * 2020-12-10 2021-04-16 珠海格力电器股份有限公司 电主轴结构及电主轴
WO2024167251A1 (ko) * 2023-02-06 2024-08-15 주식회사 알피에스 초음파 에어베어링 스핀들 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010207972A (ja) スピンドル装置
JP3766291B2 (ja) 超音波ミリング装置
JP5197102B2 (ja) 超音波スピンドル装置、超音波スピンドル装置の工具連結方法、工具連結装置、工具連結方法及び工具交換システム
JPH07100753A (ja) 回転加工装置及びその回転工具及びその装置本体
KR20120117156A (ko) 초음파 스핀들 장치
WO2007004515A1 (ja) 超音波加工スピンドル装置
JP2010207971A (ja) 接触検知方法、スピンドル装置システム、スピンドル装置および工作機械システム
WO2009101987A1 (ja) 切削もしくは研削装置
JP2002219606A (ja) 超音波ミリング装置
JP2006247808A (ja) 流体静圧軸受超音波振動主軸
JP2009241225A (ja) 超音波スピンドル装置
JP2007125867A (ja) 円盤状ブレード及び切断装置
US20220266298A1 (en) Ultrasonic resonator support structure and ultrasonic vibration machining apparatus
JPH1110420A (ja) 静圧空気軸受スピンドル
CN100496907C (zh) 超声波振动切削装置
JP2006346848A (ja) 超音波ワイヤソー装置
JP2018192467A (ja) ランジュバン型超音波振動子とその支持方法とその超音波応用加工法
KR101604989B1 (ko) 초음파 에어베어링 스핀들
JP2002036106A (ja) 工具駆動装置
JP5688342B2 (ja) 振動切削装置
KR102482384B1 (ko) 모터 내장형 초음파 진동 스핀들 장치
JP2007223017A (ja) 超音波回転加工装置
JP2001121531A (ja) 切断機
JPH01240266A (ja) 研削盤
JP4754874B2 (ja) 超音波振動切削装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130614

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130717

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131202