JP4740697B2 - 超音波振動切削装置 - Google Patents
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Description
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる超音波振動切削装置の一例として構成されたダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
次に,図8を参照して,本発明の第2の実施形態にかかる切削ブレード22とスピンドル25との間の通電構造の具体例について説明する。なお,図8は,第2の実施形態にかかる切削ブレード装着機構を示す分解断面図(a)と,組立断面図(b)である。
12 被加工物
20 切削ユニット
21 基台部
21a 第1接合部
21b 第2接合部
21c 基台部貫通孔
22 切削ブレード
23 切削砥石部
24 先端部
25 スピンドル
26 スピンドルハウジング
29 ボルト
29a ボルト頭部
29b ボルト胴部
33 PZT振動子
40 調整部材
50 密着リング
51 第1の密着リング
51a 貫通孔
52 第2の密着リング
52a 貫通孔
53,54 切欠部
80 コイルスプリング
Claims (4)
- スピンドルと;切削砥石部と,当該切削砥石部を支持する基台部と,当該基台部の中心に形成された基台部貫通孔とを有し,前記基台部貫通孔に挿入されるボルトにより前記スピンドルの先端部に固定される切削ブレードと;前記スピンドルに設けられて超音波振動を発する振動子と;を備え,前記振動子から前記スピンドルの軸方向に伝達される超音波振動の振動方向を前記切削ブレードの径方向に変換し,当該径方向に超音波振動する前記切削ブレードによって被加工物を切削する超音波振動切削装置において:
前記切削ブレードの基台部の,前記スピンドルの先端部に接合される第2接合面とは反対側の第1接合面に接合される調整部材と;
前記ボルト頭部が,前記調整部材と係合し,前記ボルト胴部が,当該ボルト胴部より大径の前記基台部貫通孔を非接触状態で貫通して,前記スピンドルの先端部に形成された雌ねじ孔に螺合することにより,前記調整部材と前記切削ブレードの基台部と前記スピンドルの先端部とを相互に接合する前記ボルトと;
前記切削ブレードの基台部の前記第1接合面と前記調整部材の接合面との間に挟み込まれ,前記第1接合面と略同一の形状を有する絶縁性材料で形成された第1の密着部材と;
前記切削ブレードの基台部の前記第2接合面と前記スピンドルの先端部の接合面との間に挟み込まれ,前記第2接合面と略同一の形状を有する絶縁性材料で形成された第2の密着部材と;
を備え,
前記第1の密着部材または前記第2の密着部材のいずれか一方或いは双方には,切欠部が形成されており,
前記第1の密着部材に形成された前記切欠部を通過し,両端がそれぞれ前記調整部材と前記切削ブレードの基台部とに接触するように配設される導電性の第1の通電部材を介して,前記切削ブレードの基台部と前記調整部材とが通電可能である,或いは,
前記第2の密着部材に形成された前記切欠部を通過し,両端がそれぞれ前記切削ブレードの基台部と前記スピンドルの先端部とに接触するように配設される導電性の第2の通電部材を介して,前記切削ブレードの基台部と前記スピンドルの先端部とが通電可能であることを特徴とする,超音波振動切削装置。 - 前記第1の密着部材及び前記第2の密着部材には,前記ボルト胴部が挿入される貫通孔が形成されており,
前記切欠部は,前記第1の密着部材又は前記第2の密着部材の前記貫通孔の径を,前記切削ブレードの前記基台部貫通孔の径よりも大きくなるように拡径させて形成された環状の切欠であることを特徴とする,請求項1に記載の超音波振動切削装置。 - 前記第1又は第2の通電部材は,弾性部材であることを特徴とする,請求項1又は2に記載の超音波振動切削装置。
- スピンドルと;切削砥石部と,当該切削砥石部を支持する基台部と,当該基台部の中心に形成された基台部貫通孔とを有し,前記基台部貫通孔に挿入されるボルトにより前記スピンドルの先端部に固定される切削ブレードと;前記スピンドルに設けられて超音波振動を発する振動子と;を備え,前記振動子から前記スピンドルの軸方向に伝達される超音波振動の振動方向を前記切削ブレードの径方向に変換し,当該径方向に超音波振動する前記切削ブレードによって被加工物を切削する超音波振動切削装置において:
前記切削ブレードの基台部の,前記スピンドルの先端部に接合される第2接合面とは反対側の第1接合面に接合される調整部材と;
前記ボルト頭部が,前記調整部材と係合し,前記ボルト胴部が,当該ボルト胴部より大径の前記基台部貫通孔を非接触状態で貫通して,前記スピンドルの先端部に形成された雌ねじ孔に螺合することにより,前記調整部材と前記切削ブレードの基台部と前記スピンドルの先端部とを相互に接合する前記ボルトと;
前記切削ブレードの基台部の前記第1接合面と前記調整部材の接合面との間に挟み込まれ,前記第1接合面と略同一の形状を有する絶縁性材料で形成された第1の密着部材と;
前記切削ブレードの基台部の前記第2接合面と前記スピンドルの先端部の接合面との間に挟み込まれ,前記第2接合面と略同一の形状を有する絶縁性材料で形成された第2の密着部材と;
を備え,
前記第1の密着部材には,前記ボルト頭部以上の大きさの貫通孔が形成されており,
前記ボルト頭部が,前記第1の密着部材に形成された前記貫通孔を通過して前記切削ブレードの基台部に接触することにより,前記ボルトを介して,前記切削ブレードの基台部と前記スピンドルの先端部とが通電可能であることを特徴とする,超音波振動切削装置。
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