JP5068147B2 - 研削ホイール - Google Patents
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Description
また、本発明にかかる研削ホイールは、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントに取り付けられるホイール基台と、該ホイール基台に装着された円環状の研削砥石とからなり研削時に超音波振動を生成する研削ホイールであって、前記ホイール基台は、前記ホイールマウントと連結する円環状の連結部と、前記ホイールマウント側を上面として該連結部の下端部に連結された円環状の砥石装着部とからなり、前記砥石装着部は、下面側に装着された前記研削砥石と、超音波振動を生成する超音波振動子とを有し、前記超音波振動子による超音波振動の振動方向に直交する方向に当該砥石装着部を貫通し超音波振動の振動方向に細長く形成された複数の孔状逃げ部を円周方向に離散的に有し、前記連結部は、前記超音波振動子による前記砥石装着部の振動を妨げず、円環状の当該連結部の半径方向に貫通する複数の貫通孔が円周方向に細長く形成されて厚み方向に弾性的連結構造を有することを特徴とする。
図1は、本実施の形態1の研削ホイールを含む研削装置全体の構成例を示す斜視図であり、図2は、電装制御系を併せて示す研削装置に含まれるスピンドルユニットの縦断側面図である。本実施の形態1の研削装置は、装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体状の主部21と、この主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ実質上鉛直に延びる一対の直立壁22とを有する。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221が設けられている。この一対の案内レール221に研削手段3が上下方向に移動可能に装着されている。
図5は、本実施の形態1の変形例を示す研削ホイール5の斜視図である。本変形例は、円環状に形成された超音波振動子6に代えて、円弧状に形成された複数個の超音波振動子6Aを砥石装着部512の上下両面に円環状をなすように装着し、その超音波振動の振動方向が砥石装着部512の半径方向となるように設定したものである。また、本変形例は、外周側において切欠き形状としたスリット孔による孔状逃げ部513に代えて、砥石装着部512の内外周の幅内で厚み方向に貫通させた複数のスリット孔による孔状逃げ部514を形成したものである。
図6は、本実施の形態2の研削ホイールを示す分解斜視図である。本実施の形態2の研削ホイール5Aのホイール基台51Aは、ホイールマウント43に対応する大きさに形成されてホイールマウント43と連結するための円環状の連結部521と、ホイールマウント43側を上面として連結部521の下端部に連結された円環状の砥石装着部522とからなる。
5,5A 研削ホイール
6,6A,6B 超音波振動子
12 チャックテーブル
42 回転スピンドル
43 ホイールマウント
51,51A ホイール基台
52 研削砥石
511,521 連結部
511b 円環状溝
521b 貫通孔
512,522 砥石装着部
513,514,523 孔状逃げ部
W 被加工物
Claims (6)
- チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントに取り付けられるホイール基台と、該ホイール基台に装着された円環状の研削砥石とからなり研削時に超音波振動を生成する研削ホイールであって、
前記ホイール基台は、前記ホイールマウントと連結する円環状の連結部と、前記ホイールマウント側を上面として該連結部の下端部に連結された円環状の砥石装着部とからなり、
前記砥石装着部は、下面側に装着された前記研削砥石と、超音波振動を生成する超音波振動子とを有し、前記超音波振動子による超音波振動の振動方向に直交する方向に当該砥石装着部を貫通し超音波振動の振動方向に細長く形成された複数の孔状逃げ部を円周方向に離散的に有し、
前記連結部は、前記超音波振動子による前記砥石装着部の振動を妨げず、円環状の当該連結部の外周面または内周面に少なくとも一つの円環状溝が形成されて半径方向および厚み方向に弾性的連結構造を有することを特徴とする研削ホイール。 - チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントに取り付けられるホイール基台と、該ホイール基台に装着された円環状の研削砥石とからなり研削時に超音波振動を生成する研削ホイールであって、
前記ホイール基台は、前記ホイールマウントと連結する円環状の連結部と、前記ホイールマウント側を上面として該連結部の下端部に連結された円環状の砥石装着部とからなり、
前記砥石装着部は、下面側に装着された前記研削砥石と、超音波振動を生成する超音波振動子とを有し、前記超音波振動子による超音波振動の振動方向に直交する方向に当該砥石装着部を貫通し超音波振動の振動方向に細長く形成された複数の孔状逃げ部を円周方向に離散的に有し、
前記連結部は、前記超音波振動子による前記砥石装着部の振動を妨げず、円環状の当該連結部の半径方向に貫通する複数の貫通孔が円周方向に細長く形成されて厚み方向に弾性的な弾性的連結構造を有することを特徴とする研削ホイール。 - 前記超音波振動子は、前記砥石装着部に対して半径方向に超音波振動を生成するよう装着され、
前記孔状逃げ部は、前記砥石装着部の厚み方向に貫通し半径方向に細長く形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の研削ホイール。 - 前記超音波振動子は、前記砥石装着部に対して厚み方向に超音波振動を生成するよう装着され、
前記孔状逃げ部は、前記砥石装着部の半径方向に貫通し厚み方向に細長く形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の研削ホイール。 - 前記孔状逃げ部は、振動方向に連続した細長いスリット孔からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の研削ホイール。
- 前記孔状逃げ部は、前記砥石装着部の円周方向において均等に離散させて形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の研削ホイール。
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