JP5329264B2 - 研削ホイール - Google Patents
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Description
10 研削ユニット
20 ホイールマウント
22 研削ホイール
36 チャックテーブル
46 ホイールベース
48 円柱状連結部
49 環状共振部
51 環状研削砥石固定部
56 超音波振動子
60 研削砥石
68 円盤状マウント装着プレート
69 円柱状凸部
76 円筒状薄板
Claims (1)
- 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、
装着面の反対側に円柱状凸部を有し、該ホイールマウントに装着されるマウント装着プレートと、
中央部に形成され該マウント装着プレートに連結する第1の厚みを有する円柱状連結部と、該円柱状連結部を囲繞して形成され該第1の厚みよりも薄い第2の厚みを有するとともに該円柱状凸部の直径と同一の外形を有する環状共振部と、該環状共振部を囲繞して形成され該第2の厚みよりも薄い第3の厚みを有する環状研削砥石固定部とを有するホイールベースと、
該ホイールベースの該環状研削砥石固定部に固定された複数の研削砥石と、
該ホイールベースの前記環状共振部に配設された超音波振動子と、
該円柱状凸部の全周と該環状共振部の全周とを囲繞するように、該円柱状凸部の外周と該環状共振部の外周とに締結された円筒状薄板と、
を具備したことを特徴とする研削ホイール。
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