JP5208630B2 - 研削ホイール - Google Patents
研削ホイールInfo
- Publication number
- JP5208630B2 JP5208630B2 JP2008229282A JP2008229282A JP5208630B2 JP 5208630 B2 JP5208630 B2 JP 5208630B2 JP 2008229282 A JP2008229282 A JP 2008229282A JP 2008229282 A JP2008229282 A JP 2008229282A JP 5208630 B2 JP5208630 B2 JP 5208630B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wheel
- grinding
- grinding wheel
- mount
- mounting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
超音波振動子56をチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zi,Ti)O3)から形成した本発明実施形態の研削ホイール22をホイールマウント20に装着し、超音波振動子56に40kHzの周波数で160Vの電圧を印加した。
10 研削ユニット
20 ホイールマウント
22 研削ホイール
36 チャックテーブル
46 ホイールベース
48 連結軸
56 超音波振動子
60 研削砥石
68 円盤状マウント装着プレート
76 円筒状薄板
Claims (2)
- 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、
該ホイールマウントに装着されるマウント装着プレートと、
第1面、該第1面と反対側の第2面及び該第1面に一体的に形成された連結軸を有し、
該連結軸が該マウント装着プレートに連結されるとともに複数の研削砥石が該第2面の外周部に固定されたホイールベースと、
該研削砥石の半径方向内側で該ホイールベースの前記第1面に配設された超音波振動子と、
該マウント装着プレートの全周と該ホイールベースの全周とを囲繞するように該マウント装着プレートの外周と該ホイールベースの外周とに締結された円筒状薄板と、
を具備したことを特徴とする研削ホイール。 - 前記ホイールベースは前記第1面に環状溝を有しており、前記超音波振動子は該環状溝中に挿入固定されていることを特徴とする請求項1記載の研削ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008229282A JP5208630B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 研削ホイール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008229282A JP5208630B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 研削ホイール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010058252A JP2010058252A (ja) | 2010-03-18 |
JP5208630B2 true JP5208630B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=42185638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008229282A Active JP5208630B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 研削ホイール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5208630B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5329264B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2013-10-30 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール |
JP2012125850A (ja) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Disco Corp | 研削ホイール |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006137453A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2006-12-28 | Kazumasa Ohnishi | 超音波振動を利用する研磨装置 |
JP4977416B2 (ja) * | 2006-07-25 | 2012-07-18 | 株式会社ディスコ | 研削装置および研削ホイール |
JPWO2008108463A1 (ja) * | 2007-03-07 | 2010-06-17 | 大西 一正 | 研磨具及び研磨装置 |
JP5049095B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2012-10-17 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール |
JP2009285798A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | サファイア基板の研削方法 |
JP5259307B2 (ja) * | 2008-09-03 | 2013-08-07 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール |
-
2008
- 2008-09-08 JP JP2008229282A patent/JP5208630B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010058252A (ja) | 2010-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5259307B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP4977416B2 (ja) | 研削装置および研削ホイール | |
US7347766B2 (en) | Cutting method and cutting apparatus | |
JP5049095B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5280247B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2011148028A (ja) | 研削ホイール | |
JP5329264B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5362492B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP6153323B2 (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP5301321B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5208630B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5902945B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP2009285798A (ja) | サファイア基板の研削方法 | |
JP5766566B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2012125850A (ja) | 研削ホイール | |
JP5068147B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5706146B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2010194651A (ja) | 研削ホイール | |
JP5798014B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2007283418A (ja) | 切削工具 | |
JP5690643B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5357571B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP2011152605A (ja) | 研削装置 | |
JP2010214496A (ja) | 研磨装置 | |
JP2016100557A (ja) | 研削方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130220 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160301 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5208630 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160301 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |