WO2006137453A1

WO2006137453A1 - 超音波振動を利用する研磨装置

Info

Publication number: WO2006137453A1
Application number: PCT/JP2006/312440
Authority: WO
Inventors: Kazumasa Ohnishi
Original assignee: Kazumasa Ohnishi
Priority date: 2005-06-21
Filing date: 2006-06-21
Publication date: 2006-12-28
Also published as: CN101242930B; JPWO2006137453A1; CN101242930A; US20100197205A1

Abstract

　上面に研磨対象物（３１）が支持固定される支持テーブル（３２）、支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸（３４）、回転軸の昇降を駆動する駆動装置（３５）、回転軸の回転を駆動する駆動装置（３６）、回転軸の基部に固定された弾性体（３７）、弾性体の下部に備えられた環状の砥石（３８）、弾性体に付設された複数の超音波振動子（３９）、そして超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置（４１）からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板（４２）が配置され、この接続板と上記環状弾性体とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段（４５）により連結されていて、上記の複数の超音波振動子が弾性体の所定位置に配置されている研磨装置（３０）を用いることにより、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。

Description

明細書

超音波振動を利用する研磨装置

技術分野

[0001] 本発明は、ガラスやシリコンなどカゝら形成された研磨対象物の表面を平滑に研磨するために用いられる、超音波振動を利用する研磨装置に関する。

背景技術

[0002] 従来より、薄膜型電子デバイスを形成するために、ガラス基板、シリコン基板あるいはシリコンナイトライド基板などの各種の基板が用いられている。これらの基板の表面は、研磨装置を用いて平滑に研磨される。また、レンズやプリズムなどの光学部品にも、その表面を平滑に研磨することが必要とされる場合がある。このような各種の研磨対象物の表面を研磨したり、あるいは研磨対象物をその表面の研磨を繰り返しながら所定の厚みに加工したりするために、超音波振動を利用する研磨装置を用いることは既に知られている。

[0003] 図 1は、特許文献 1に記載されている従来の研磨装置の正面図であり、そして図 2 は、図 1に記入した切断線 I I線に沿って切断した研磨装置 10の断面図である。なお、図 2においては、図 1に示す研磨対象物 11、支持テーブル 12、および研磨液を供給するパイプ 21の記載は省略してある。

[0004] 図 1及び図 2に示す研磨装置 10は、研磨対象物 (研磨物） 11が支持固定される回転可能な円盤状の支持テーブル (ワーク固定台） 12、支持テーブル 12の上方に配置されている、昇降及び水平方向に往復運動が可能な研磨軸 14、研磨軸 14の基部に固定された弾性体 17、弾性体 17の下部に備えられた環状の砥石 18、そして弾性体 17の上面に付設された一対の積層型圧電ァクチユエータ 19など力も構成されている。また、特許文献 1には、他の態様の開示もある力いずれも前記積層型圧電ァクチユエータは、弾性体の上面に配置されている。

[0005] この研磨装置 10においては、先ず、研磨対象物 11を支持テーブル 12の上に固定し、そして支持テーブル 12を回転させながら、各々の積層型圧電ァクチユエータ 19 にて発生した超音波振動を弾性体 17を介して砲石 18に付与することにより、研磨対象物 11の研磨が行なわれる。

[0006] 同文献においては、上記の研磨装置 10は、砲石 18の研磨面（下面）に定在波の面内振動を発生させたり、あるいは研磨面に垂直な楕円振動を発生させたりする超音波振動発生手段として積層型圧電ァクチユエータ 19 (あるいはランジュバン振動子）を用いるため、砲石 18を大きな振幅にて振動させることができ、このため研磨対象物 11を高、精度で且つ短時間に研磨できると記載されて、る。

特許文献 1：特開平 5 - 200659号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] 特許文献 1の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高い精度で且つ短時間に研磨できる。しかしながら、本発明者の検討により、この研磨装置においては、積層型圧電ァクチユエータにて発生した超音波振動の一部分が弾性体を介して研磨軸に伝わり易ぐ砲石に十分に大きな超音波振動を付与することが難しいことが判明した。

[0008] そして、砥石に付与する超音波振動の大きさが不十分であると、砥石と研磨対象物との摩擦抵抗が大きくなり、両者が擦れ合う際に不要な機械振動を生じて研磨の精度が低下する (研磨後の研磨対象物の表面の粗さが大きくなる）ことも判明した。

[0009] 本発明の課題は、研磨対象物を高い精度で研磨することができる、超音波振動を利用する研磨装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0010] 本発明者は、更に検討を進めた結果、下部に砲石を備える環状の弾性体と、この砥石を回転させる回転軸の基部との間に接続板を配置して、この接続板と環状弾性体とを、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段を介して連結することにより、上記連結部と連結部との間の環状弾性体部分が、連結部に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易くなり、そして前者の環状弾性体部分に超音波振動子を固定して超音波振動を発生させると、この超音波振動が各連結部 (及び接続板)を介して回転軸には伝わり難ぐその大部分が環状弾性体を介して砲石に付与されるために研磨対象物を研磨する精度が向上することを見出した。

[0011] 本発明は、上面に研磨対象物が支持固定される支持テーブル、支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸、回転軸の昇降を駆動する駆動装置、回転軸の回転を駆動する駆動装置、回転軸の基部に固定された弾性体、弾性体の下部に備えられた環状の砥石、弾性体に付設された複数の超音波振動子、そして超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、

上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板の周縁部の下側表面と上記環状弾性体の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されて!、て、上記の複数の超音波振動子が連結手段のスペース部に面する上記環状弾性体の上側表面またはスペース部の下側の上記環状弾性体の外側側面もしくは内側側面に配置されている力、あるいは、

上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板の周縁部の外側側面と上記環状弾性体の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されて!、て、上記の複数の超音波振動子が連結手段のスペース部に面する上記環状弾性体の内側側面もしくは内側側面の反対側の外側側面またはスペース部に近接する上記環状弾性体の上側表面に配置されていることを特徴とする研磨装置にある。

[0012] 本発明の研磨装置の好ましい態様は、次の通りである。

(1)上記接続板と上記連結部が共に弾性体である。

(2)上記接続板と上記連結部が共に弾性体であり、そして接続板と連結部とが上記環状弾性体と一体に形成されてヽる。

(3)連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比が連結部の長さとスペース部の長さとの比として、 1： 1乃至 1： 20の範囲にある。

(4)超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置がロータリートランスである。 (5)連結手段の複数の連結部とスペース部のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されている。

(6)複数の超音波振動子のそれぞれが、互いに回転軸に対称に配置されている。

(7)支持テーブルが回転可能であって、かつ支持テーブルを回転駆動する駆動装置をさらに備える。

発明の効果

[0013] 本発明の研磨装置においては、下部に砲石を備える環状の弾性体と、この砲石を回転させる回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板と環状弾性体とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段を介して連結されている。そして、この環状弾性体の所定位置に固定された各々の超音波振動子にて発生させた超音波振動は、上記連結部と連結部との間の環状弾性体部分が、連結部に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易いため、各連結部 (及び接続板)を介して回転軸には伝わり難ぐその大部分が環状弾性体を介して砲石に付与される。このため、本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高、精度で研磨することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0014] 次に、本発明の研磨装置を添付の図面を用いて説明する。図 3は、本発明の研磨装置の構成例を示す正面図である。図 4は、図 3に示す研磨装置 30が備える、接続板 42、連結手段 45、環状弾性体 37、超音波振動子 39及び砥石 38から構成される研磨具 40の拡大図であり、そして図 5は、図 4に示す研磨具 40の分解斜視図である。また、図 6は、図 4の研磨具 40が備える環状弾性体 37、超音波振動子 39及び砲石 38の平面図であり、そして図 7は、図 6に記入した切断線 II II線に沿って切断した環状弾性体 37、超音波振動子 39及び砥石 38の断面図である。

[0015] 図 3から図 7に示すように、研磨装置 30は、上面に研磨対象物 31が支持固定される支持テーブル 32、支持テーブル 32の上方に配置された昇降可能な回転軸 34、回転軸 34の昇降を駆動する駆動装置 35、回転軸 34の回転を駆動する駆動装置 36、回転軸 34の基部に固定された弾性体 37、弾性体 37の下部に備えられた環状の砥石 38、弾性体 37に付設された複数の超音波振動子 39、そして超音波振動子 39に電気工ネルギーを伝達する伝達装置 41などから構成されている。

[0016] そして、本発明の研磨装置 30においては、上記の弾性体 37が環状の弾性体であり、この環状弾性体 37と回転軸 34の基部との間に接続板 42が配置され、接続板 42 の周縁部の下側表面と環状弾性体 37の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部 43とスペース部 44とからなる連結手段 45により連結されていて、上記の複数の超音波振動子 39が連結手段 45のスペース部 44に面する上記環状弾性体 37の上側表面に配置されている。

[0017] 研磨装置 30で研磨する研磨対象物 31の種類に特に制限は無いが、その代表例としては、ガラス基板、シリコン基板 (シリコンウェハ）、シリコンナイトライド基板及びリチゥムナイォベイト基板が挙げられる。

[0018] 研磨対象物 31は、例えば、ホットメルト型接着剤を用いて支持テーブル 32の表面に固定され支持される。研磨対象物は、例えば、別に用意した保持具に保持させて、この保持具を支持テーブルに固定することにより、支持テーブルの表面に間接的に支持固定されていてもよい。支持テーブルと保持具とは、例えば、ボルトにより固定してもよ、し、あるいは電磁力を利用して固定してもよ、。

[0019] 支持テーブル 32は、例えば、基台 51の上に設置され、支持テーブル 32の下面に接続された駆動装置 (例、電動機) 33によって回転駆動することが好ましい。支持テ一ブル 32の回転数は、通常、 50乃至 500回転 Z分の範囲内に設定される。支持テ一ブル 32と駆動装置 33とは、例えば、歯車やベルトなどの動力伝達用の部品を介して接続されていてもよい。なお、支持テーブル 32は、例えば、その表面に沿って直線的に移動（例えば、往復移動）させてもよい。

[0020] 支持テーブル 32の平面形状 (上面の形状）は、テーブル 32を安定に回転させるため、円形あるいは正多角形であることが好ましい。

[0021] 支持テーブル 32の上方に配置された回転軸 34は、駆動装置 35によって昇降駆動され、そして駆動装置 36によって回転駆動される。

[0022] 駆動装置 35は、基台 51の上に設置された回転駆動装置 52、回転駆動装置 52の回転軸 52aに接続された送りねじ 53、送りねじ 53のナット 53aに接続されている、基台 51の上に立設された支柱 54に沿って昇降可能なベアリング 55、送りねじ 53のナット 53aに接続されて、るアーム 56、そしてアーム 56の先端近傍に備えられて、る、回転軸 34を支持するベアリング 57から構成されて!、る。このベアリング 57としては、回転軸 34を、回転可能且つベアリング 57に対して相対的には昇降できない状態にて支持するものが用いられて、る。

[0023] 従って、駆動装置 35の回転駆動装置 52を駆動して、回転軸 52aを正転あるいは逆転させると、回転駆動装置 52及びベアリング 55に接続された送りねじ 53のナット 53a を支柱 54に沿って昇降させることができ、これによりナット 53aに接続されたアーム 56 に備えられたベアリング 57に支持されている回転軸 34を昇降させることができる。

[0024] 駆動装置 36は、上記の駆動装置 35の送りねじ 53のナット 53aに固定された回転駆動装置 58、回転駆動装置 58の回転軸 58aの先端に固定されたプーリ 59a、回転軸 34の周囲に固定されたプーリ 59b、そしてプーリ 59aとプーリ 59bとを連結しているべルト 60から構成されている。駆動装置 36は、回転駆動装置 58の駆動力をベルト 60 を介して回転軸 34に付与して、ベアリング 57に支持された回転軸 34を回転駆動する。回転軸 34の回転数は、通常、 1000乃至 10000回転 Z分の範囲内に設定される

[0025] この回転軸 34の基部には、上記のように接続板 42、そして連結手段 45を介して環状の弾性体 37が固定されており、そして環状弾性体 37の下部には、環状の砲石 38 が備えられている。

[0026] 環状の砥石 38としては、例えば、ダイヤモンド砲粒に代表される砲粒を、金属ボンドゃレジンボンドで結着して形成した砲石を用いることができる。通常、砲粒の平均粒径は 0. 1乃至 50 mの範囲内に設定される。

[0027] 研磨装置 30の環状の砥石 38は、例えば、その高さが 5〜： LOmm程度に、そして幅力^〜 10mm程度に設定される。

[0028] なお、本明細書にぉ、て、「環状の砲石」には、複数の砲石片が環状に配置されたものも含まれる。環状の砥石を複数の砥石片から構成すると、環状の砥石 (特にサイズの大きいもの）の作製が容易になり、また砲石への超音波振動の付与により、あるいは研磨対象物との摩擦が原因で生ずる砥石の熱膨張により砥石内部に生じる応力が低減されるため、砲石の破損の発生 (例、クラックの発生）を抑制することができる。

[0029] 砲石 38を支持する環状の弾性体 37は、公知の研磨装置が備える弾性体の材料と同様の材料、例えば、アルミニウム、青銅、ステンレススチール、あるいはジュラルミンに代表されるアルミニウム合金などの超音波振動の伝達性に優れた金属材料から形成される。

[0030] この環状弾性体 37と回転軸 34の基部との間に配置されている接続板 42の材料の例としては、上記の環状弾性体 37を形成する金属材料の他に、チタン及び鉄などの金属材料が挙げられる。

[0031] 環状弾性体 37と接続板 42とを互いに異なる材料カゝら形成する場合には、接続板 4 2は、その剛性 (機械的強度）を高くするために、チタン、鉄、あるいはステンレススチールなどの金属材料力形成することが好ましい。接続板 42の剛性が高いと、環状弾性体 37が回転軸 34に安定に支持される。

[0032] さらに、環状弾性体 37と接続板 42とは、互いに音響インピーダンスの値が大きく異なる材料力も形成することが好ましい。例えば、環状弾性体 37をアルミニウム (音響ィンピーダンス： 17. 3 X 10⁶Ns/m³)から形成し、そして接続板 42をステンレススチール（音響インピーダンス：45. 7 X 10⁶Ns/m³)から形成すると、両者の音響インピーダンスの値が大きく異なるため、超音波振動子 39にて発生した超音波振動が、環状弾性体 37、連結手段 45、そして接続板 42を介して回転軸 34に伝わり難くなる。

[0033] そして、上記の接続板 42の周縁部の下側表面と環状弾性体 37の上側表面とは、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部 43とスペース部 44とからなる連結手段 45 により連結されている。接続板 42、連結手段 45の連結部 43、および環状弾性体 37 とは、例えば、これらの各々に形成されたねじ穴 62aに、ボルト 63をねじ込むことにより連結される。連結部 43の材料の例は、上記の接続板 42の場合と同様である。

[0034] 連結手段 45の連結部 43 (あるいはスペース部 44)の数に特に制限はないが、各々 3乃至 30個の範囲にあることが好まし!/、。連結部 43 (あるいはスペース部 44)の数が 3個未満であると、環状弾性体 37が接続板 42に不安定に支持されるために研磨対象物を研磨する精度が低下する傾向にあり、一方、 30個を超えると研磨具 40の作製に手間が力かる力である。 [0035] そして、砲石 38に付与する超音波振動を発生させる複数の超音波振動子 39は、連結手段 45のスペース部 44に面する環状弾性体 37の上側表面 (すなわち、互いに隣接する連結部 43と連結部 43との間の環状弾性体部分の上側表面）に配置され固定されている。

[0036] 各々の超音波振動子 39としては、例えば、環状弾性体 37に沿って湾曲した形状の板状の圧電体と、この圧電体の上面及び下面の各々に付設された一対の電極層とから構成される圧電振動子が用いられてヽる。

[0037] 圧電体の材料の代表例としては、ジルコン酸チタン酸鉛系の圧電セラミック材料が挙げられる。圧電体は、例えば、その厚み方向に分極処理される。電極層の材料の例としては、銀やリン青銅などの金属材料が挙げられる。

[0038] 複数の超音波振動子 39は、互いに隣接する超音波振動子の圧電体の分極方向が互いに逆向き（一方の振動子の圧電体の分極方向が垂直且つ上向きに、そして他方の振動子の分極方向が垂直且つ下向き）になるようにして、環状弾性体 37の上側表面の上記所定位置に配置される。

[0039] 各々の超音波振動子 39は、例えば、エポキシ榭脂を用いて環状弾性体 37に固定される。このエポキシ榭脂により、各々の超音波振動子 39の下面の電極層と環状弹性体 37とが互いに電気的に絶縁される。また、各々の超音波振動子 39の表面に、例えば、絶縁性の塗料を塗布することにより、超音波振動子の一対の電極層が、研磨の際に用!ヽる冷却用の液体 (例、水）を介して互！、に電気的に短絡することを防止することができる。

[0040] これら複数の超音波振動子 39の上面の電極層は、電気配線 64aを用いて互いに電気的に接続され、そして下面の電極層は、電気配線 64bを用いて互いに電気的に接続されている。

[0041] 研磨装置 30においては、上記の複数の超音波振動子 39に電気エネルギーを伝達する伝達装置 41として、ロータリートランスが用いられて、る。

[0042] 図 8は、図 3に示すロータリートランス（伝達装置） 41の平面図であり、そして図 9は、図 8に記入した切断線 III— III線に沿って切断したロータリートランス 41の断面図である。以下、図 3から図 9を参照しながら、ロータリートランス 41の構成及び動作について説明する。

[0043] ロータリートランス 41は、研磨対象物 31を研磨する際に環状弾性体 37と共に回転する複数の超音波振動子 39に、電源 65の電気エネルギーを供給するために用いられている。

[0044] ロータリートランス 41は、電力供給ユニット 66aと電力受容ユニット 66bとが互いに僅かに間隔をあけて近接配置された構成を有して、る。電力供給ユニット 66a及び電力受容ユニット 66bは、それぞれ円環状の形状に設定されている。

[0045] 電力供給ユニット 66aは、円環状のステータコア 67a及びステータコイル 68aから構成され、そして電力受容ユニット 66bは、円環状のロータコア 67b及びロータコイル 6 8bから構成されている。そしてステータコア 67a及びロータコア 67bの各々は、例えば、フェライトなどの磁性材料から形成され、その周方向に沿って円環状の溝が形成されている。ステータコイル 68a及びロータコイル 68bの各々は、ステータコア 67a及びロータコア 67bの各々に形成された円環状の溝の長さ方向（周方向）に沿って導線がコイル状に巻かれた構成を有して、る。

[0046] この電力供給ユニット 66aのステータコイル 68aには、電源 65が電気的に接続され、そして電力受容ユニット 66bのロータコイル 68bには、電気配線 64cを介して各々の超音波振動子 39が電気的に接続される。なお、電気配線 64cは、その上端がロータコイル 68bに接続され、そして中空状に形成された回転軸 34の内部、次いで接続板 42の中央に形成された透孔を通って、下端が複数の超音波振動子 39に電気的に接続されている。

[0047] そして、ロータリートランス 41のステータコイル 68aに、電源 65にて発生した電気工ネルギーを供給することにより、ステータコイル 68aとロータコイル 68bとが互いに磁気的に結合される。このため、上記のステータコイル 68aに供給された電気工ネルギ一は、ロータコイル 68b (すなわち電力受容ユニット 66b)が回転軸 34と共に回転している場合であってもロータコイル 68bに伝達する。従って、電源 65にて発生した電気エネルギーを、研磨対象物 31を研磨する際に回転軸 34、そして環状弾性体 37と共に回転する各々の超音波振動子 39に付与することができる。

[0048] 超音波振動子 39の各々に (超音波振動子として用いる圧電振動子の各々の電極層に）、電源 65にて発生した電気エネルギー（例、交流電圧）を付与することにより発生した超音波振動は、環状弾性体 37を介して環状の砲石 38に付与される。

[0049] なお、超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置としては、上記のロータリートランスに代えて、例えば、スリップリングを用いることができる。上記のロータリ一トランスは、互いに非接触に配置されている電力供給ユニットと電力受容ユニットを介して電気エネルギーを伝達するため、回転軸の回転数が 10000回転/分程度までは、回転軸と共に回転する超音波振動子に安定に電力を供給できる利点がある。一方、スリップリングは、回転軸の回転数が 5000回転 Z分程度を超えると、回転する超音波振動子に安定に電力を供給することが難しくなる。

[0050] 次に、研磨装置 30により研磨対象物 31を研磨する手順について簡単に説明する

[0051] 先ず、研磨対象物 31を、例えば、ホットメルト型接着剤を用いて鋼製の保持具に仮固定する。そして、研磨装置 30の支持テーブル 32の上面に、前記の研磨対象物 31 が仮固定された保持具を、例えば、電磁力を利用して固定する。

[0052] 次に、駆動装置 36を作動させ、回転軸を、例えば、 5000回転 Z分の回転数にて回転駆動する。次に、電源 65にて発生した電気エネルギーをロータリートランス 41を介して研磨具 40の複数の超音波振動子 39に付与する。これにより、各々の超音波振動子 39にて発生した超音波振動は、環状弾性体 37を介して環状の砲石 38に付与される。

[0053] 一方、研磨の際に、砥石 38と研磨対象物 31との摩擦抵抗を低減して不要な機械振動の発生を抑制し、そして砲石との摩擦による研磨対象物の温度上昇を抑制して研磨の精度を高くするため、例えば、ノズル 6 laから冷却用の液体 (例、水）を噴射して、研磨の際に支持テーブル 32と共に回転してノズル 61aの下方に移動した研磨対象物 31の表面に冷却用の液体が噴射されるようにする。同様に、ノズル 61bから冷却用の液体を回転軸 34の内部に滴下して、この液体が回転軸 34の内部、そして接続板 42の中央に形成された透孔を通して、研磨の際に支持テーブル 32と共に回転して回転軸 34の下方に移動した研磨対象物 31の表面に落下して接触するようにする。 [0054] そして、駆動装置 33を作動させ、支持テーブル 32を、例えば、 300回転 Z分の回転数にて回転駆動して、駆動装置 35を作動させて回転軸 34を次第に下降させることにより、超音波振動が付与された砲石 38の側面の下端近傍が、研磨対象物 31の側面の上端近傍に接触し、次ヽで研磨対象物 31の表面 (上面)の全体が研磨 (研削 )される。そして、回転軸 34を更に下降させながら、所定の厚みになるまで研磨対象物 31の研磨を続ける。

[0055] 上記のように、本発明の研磨装置 30においては、下部に砲石 38を備える環状弹性体 37と、この砲石 38を回転させる回転軸 34の基部との間に接続板 42が配置され、この接続板 42と環状弾性体 37とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部 43 とスペース部 44とからなる連結手段 45を介して連結されている。そして、この環状弹性体 37の所定位置に固定された各々の超音波振動子 39にて発生させた超音波振動は、上記連結部 43と連結部 43との間の環状弾性体部分が、連結部 43に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易いため、各連結部 43 (及び接続板 42)を介して回転軸 34には伝わり難ぐその大部分が環状弾性体 37を介して砥石 38に付与される。このため、本発明の研磨装置 30を用いることにより、研磨対象物 31を高、精度で研磨することができる。

[0056] 本発明の研磨装置においては、上記の連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比力連結部の長さとスペース部の長さとの比として、 1 : 1乃至 1 : 20の範囲にあることが好ましい。上記の研磨装置 30の場合には、図 5に示すように、上記連結部 43の長さ（L )とスペース部 44の長さ（L )との比力概ね 1 :

1 2

8に設定されている。

[0057] 上記の連結部 43の長さ（L )とスペース部 44の長さ（L )との比、すなわち（L /L

1 2 2 1

)の値が 1未満であると、接続板 42と環状弾性体 37とが強固に結合され、両者が一体の構造物として超音波振動し易くなるため、各々の超音波振動子 39にて発生した超音波振動が連結手段 45の連結部 43、そして接続板 42を介して回転軸 34に伝わり易くなる。従って、砲石 38に十分に超音波振動が付与されなくなり、研磨対象物を研磨する精度が低下する。一方、上記の (L /L )の値が 20を超えると、各々の連

2 1

結部 43の剛性が小さくなり、回転軸 34に対して砲石 38が不安定な状態で支持されるため、研磨対象物を研磨する精度が低下する。

[0058] 更に、上記の連結手段 45の複数の連結部 43とスペース部 44のそれぞれは互いに回転軸（図 3 : 34)に対称に配置されていることが好ましい。このように複数の連結部 4 3を配置して、そして各々の超音波振動子 39にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状弾性体 37に、例えば、図 6に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動（面内曲げ振動と呼ばれる固有振動 )を生じ易くなる。この超音波振動は、図 6の二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線で示す変位に対して対称な形状の変位を示す。

[0059] また、複数の超音波振動子 39のそれぞれは、互いに回転軸（図 3： 34)に対称に配置されていることが好ましい。このような配置により、環状弾性体 37に回転軸（図 3 : 3 4)に対称に変位する超音波振動（例えば、上記の図 6に二点鎖線で示すように変位する超音波振動）を更に生じ易くなる力である。

[0060] 環状弾性体 37に図 6に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせると、各々の連結部 43に接続して、る環状弾性体部分に殆ど変位 (振動）を生じなくなるため、各々の超音波振動子 39にて発生した超音波振動は、各々の連結部 43を介して接続板には殆ど伝わることなぐその大部分が環状弾性体 37を介して砲石 38に付与される。従って、研磨対象物を更に高い精度で研磨することができるようになる。

[0061] なお、環状弾性体 37に発生させる超音波振動（例えば、上記の図 6に二点鎖線で示すように変位する固有振動)の周波数を調節するには、有限要素法により研磨具の固有振動数の計算を行なって、接続板 42、連結手段 45、環状弾性体 37、あるいは砥石 38の形状を調節すればょヽ。

[0062] また、上記の連結手段 45のスペース部 44には、環状弾性体 37にて発生した超音波振動を接続板 42に伝え難ヽ材料 (例えば、音響インピーダンスが環状弾性体を形成する金属材料と大きく異なるシリコーンゴムなど）が充填されていてもよい。

[0063] 図 10は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の別の構成例を示す正面図であり、そして図 11は、図 10に示す研磨具 100の分解斜視図である。図 10及び図 11に示す研磨具 100の構成は、環状弾性体 37に連結手段 45の各々の連結部 43が予め固定され、そして接続板 42と各連結部 43とが、各々に形成されたねじ孔 62aにボルトをねじ込むことにより互いに固定されていること以外は図 4の研磨具 40と同様である。

[0064] また、研磨具 100の各々の超音波振動子 39にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状弾性体 37に、例えば、図 10に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動（面垂直曲げ振動と呼ばれる、上記の図 6を用いて説明した固有振動とは異なる固有振動）を生じさせることもできる。この超音波振動は、図 10の二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線に対して対称な形状の変位を示す。

[0065] そして、環状弾性体 37に図 10に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせると、上記の各連結部 43に接続して、る環状弾性体部分に殆ど変位 (振動）を生じなくなるため、各々の超音波振動子 39にて発生した超音波振動は、各々の連結部 43を介して接続板 42には殆ど伝わることなぐその大部分が環状弾性体 37を介して砲石 38に付与される。従って、研磨対象物を更に高い精度で研磨することができるよつになる。

[0066] なお、研磨具 100の各々の超音波振動子 39にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状体 37に、図 6に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることもできる。

[0067] 図 12は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図 12の研磨具 120の構成は、接続板 42と連結部 43が共に弾性体であり（上記環状弾性体 37の材料と同じ金属材料から形成されており）、接続板 42と連結部 43とが環状弾性体 37と一体に形成されていること以外は図 4の研磨具 40と同様である。

[0068] このように、接続板 42と連結部 43とが環状弾性体 37と一体に形成されていると、例えば、円盤状の金属製部材をその軸方向に穴あけ加工し、次いで直径方向に連結手段 45のスペース部 44として用いる複数の透孔を切削加工し、そして超音波振動子 39や砲石 38を固定することにより、研磨具 120を簡単に作製することができる。なお、研磨具 120の環状の砲石 38としては、複数の砲石片 38aが環状に配置されたものが用いられている。

[0069] 研磨具 120は、円盤状の取り付け部材（図示は略する）を介して回転軸（図 3 : 34) の基部に固定される。この円盤状の取り付け部材と研磨具 120とを、例えば、ボルトにより固定するため、接続板 42にはねじ孔 62bが形成されている。

[0070] そして、研磨具 120の各々の超音波振動子 39にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、図 6あるいは図 10に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることができる。図 12には、研磨具 120の環状弾性体 37に、図 1 0の研磨具 100の場合と同様の超音波振動を生じさせた場合の振動の変位を一点鎖線と二点鎖線とを用いて示した。

[0071] 図 13は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図 13の研磨具 130の構成は、複数の超音波振動子 39が連結手段 45のスぺース部 44の下側の環状弾性体 37の外側側面に配置されていること以外は図 12に示す研磨具 120と同様である。

[0072] このように、複数の超音波振動子 39は、連結手段 45のスペース部 44の下側の環状弾性体 37の外側側面 (ある、は内側側面）に配置されて、てもよ、。

[0073] 複数の超音波振動子を環状弾性体の外側側面 (あるいは内側側面）に配置する場合には、各々の超音波振動子として、例えば、下記のような構成を持つ超音波振動子を用いることが好ましい。

[0074] 図 14及び図 15は、それぞれ図 13の研磨具 130が備える超音波振動子 39の構成を示す正面図及び平面図である。

[0075] 図 14及び図 15に示す超音波振動子 39は、環状弾性体 37の周縁に沿って湾曲した形状の圧電体 39e、この圧電体 39eの上側部分を厚み方向に挟むようにして配置された一対の電極層 39a、 39a、そして下側部分を挟むようにして配置された一対の電極層 39b、 39bから構成されている。一対の電極層 39a、 39aに挟まれた圧電体部分は、図 14の紙面の手前側から奥側に向力う方向に分極処理されており、そして一対の電極層 39b、 39bに挟まれた圧電体部分は、図 14の紙面の奥側力も手前側に向力う方向に分極処理されている。一対の電極層 39a、 39a、そして一対の電極層 3 9b、 39bの、ずれにも挟まれて、な、圧電体部分は分極処理されて!、な、（超音波振動子としては用いられてヽな、)。

[0076] このような超音波振動子 39の、図 14の紙面の手前側にある電極層 39aと電極層 3 9bとからなる（振動子の外側表面に備えられた)電極層の組、そして紙面の奥側にある電極層 39aと電極層 39bとからなる（振動子の内側表面に備えられた)電極層の組の！、ずれか一方の電極層の組を正極とし、他方の電極層の組を負極として超音波振動子 39に交流電圧を供給することにより、圧電振動子 39は、例えば、図 14に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じる。この超音波振動は、図 12に二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線に対して対称な形状の変位を示す。

[0077] そして、図 13の研磨具 130の複数の超音波振動子 39の各々に、互いに隣接する振動子に供給される交流電圧の位相が逆相となるように（例えば、一方の振動子の外側表面に備えられた電極層の組を正極とする場合、他方の振動子の外側表面に備えられた電極層の組を負極として)交流電圧を供給することにより、環状弾性体 37 に、上記のように図 13に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせることができる。

[0078] 図 16は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す正面図であり、図 17は、図 16の研磨具 160の平面図であり、そして図 18は、図 17に記入した切断線 IV— IV線に沿って切断した研磨具 160の断面図である。

[0079] 図 16の研磨具 160の構成は、接続板 42及び環状の弾性体 37の各々の外側周縁の形状が八角形に設定されていること以外は図 13の研磨具 130と同様である。

[0080] このように環状弾性体 37の外側周縁 (あるいは内側周縁)の形状を多角形 (特に、環状弾性体を安定に回転することができる正多角形）に設定すると、連結手段 45のスペース部 44の下側の環状弾性体 37の外側側面 (あるいは内側側面）が平面となり、この外側側面 (あるいは内側側面）に付設する超音波振動子として、製造が容易な平板状の振動子を用いることができるようになる。なお、接続板 42の外側周縁あるいは内側周縁の形状に特に制限はないが、環状弾性体 37と同一の形状に設定すると研磨具 160の作製が容易になる。

[0081] また、図 17に示すように、複数の超音波振動子 39に、互いに隣接する超音波振動子に供給される交流電圧の位相差が 90度となるように交流電圧を供給することにより、環状弾性体 37に、例えば、図 13に二点鎖線で示す変位と同様に変位し且つ環状弾性体 37の周方向に進行する超音波振動 (超音波振動の進行波）を生じさせることができる。この超音波振動の進行波が環状の砲石 38 (各々の砲石片 38a)に付与されると、各砲石片 38aが垂直方向に振動すると共に、水平方向（環状弾性体の周方向）にも振動するため、研磨対象物を研磨する速度を高くすることができる。

[0082] 複数の超音波振動子 39に、上記のように互いの位相差が 90度に設定された交流電圧を付与するには、例えば、図 3の研磨装置 30の回転軸 34に、ロータリートランス 41とは別のロータリートランスを付設して、その電力供給ユニットに電源 65とは別の電源を電気的に接続し、そして一方の電源及びロータリートランスにより正弦波（sin 波）交流電圧を、そして他方の電源及びロータリートランスにより余弦波（cos波）交流電圧を各々の超音波振動子 39に供給すればよい。

[0083] なお、例えば、図 17に矢印と共に記入した「sin」は、この矢印で示す超音波振動子に、その外側の電極層を正極、そして内側の電極層を負極として正弦波交流電圧を供給することを意味し、そして矢印と共に記入した「一 sin」は、この矢印で示す超音波振動子に、その外側の電極層を負極、そして内側の電極層を正極として正弦波交流電圧を供給することを意味する。

[0084] また、別の方法として、図 3に示すロータリートランス 41を 2チャンネル化（例、ロータリートランスの電力供給ユニット及び電力受容ユニットに互いに対向配置されたコィルの組を二組付設して、各組のコイルにて互いに独立に交流電圧を伝達できるようにすること）して、一方のチャンネルを介して正弦波交流電圧を、そして他方のチャンネルを介して余弦波交流電圧を各々の超音波振動子に供給してもよ、。

[0085] 図 19は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図であり、そして図 20は、図 19に記入した切断線 V—V線に沿って切断した研磨具 190の断面図である。

[0086] 図 19の研磨具 190の構成は、接続板 42の周縁部の外側側面と環状弾性体 37の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部 43とスペース部 44とからなる連結手段 45により連結されていて、上記の複数の超音波振動子 39が連結手段のスペース部 44に近接する上記環状弾性体 37の上側表面に配置されていること以外は図 4に示す研磨具 40と同様である。 [0087] 図 19の研磨具 190を備える本発明の研磨装置においても、環状弾性体 37の上側表面の所定位置に固定された各々の超音波振動子 39にて発生させた超音波振動は、上記連結部 43と連結部 43との間の環状弾性体部分が、連結部 43に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易、ために、各々の連結部 43 (及び接続板 42)を介して回転軸（図 3： 34)には伝わり難ぐその大部分が環状弾性体 3 7を介して砲石 38に付与される。このため、図 19の研磨具 190を備える本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。

[0088] そして、研磨具 190の各々の超音波振動子 39にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、図 6あるいは図 10に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることができる。図 19には、研磨具 190の環状弾性体 37に、図 1 0の研磨具 100の場合と同様の超音波振動を生じさせた場合の振動の変位を一点鎖線と二点鎖線とを用いて示した。

[0089] なお、図 19の研磨具 190は、図 12の研磨具 120の場合と同様に、接続板 42と連結部 43が共に弾性体であり、接続板 42と連結部 43とが環状弾性体 37と一体に形成されている。図 19の研磨具 190は、連結手段 45の複数のスペース部 44として用 V、る複数の透孔の形成が容易であると!/、う利点を有して、る。

[0090] 図 19の研磨具 190の各々の超音波振動子 39としては、例えば、下記のような構成を持つ超音波振動子が用いられて、る。

[0091] 図 21及び図 22は、それぞれ図 19の研磨具 190が備える複数の超音波振動子 39 の平面図及び正面図である。

[0092] 図 21及び図 22に示す複数の超音波振動子 39は、円環状の圧電体 39eと、圧電体 39eをその厚み方向に挟むようにして配置された合計で四対の電極層（電極層 39 a、 39aの対、電極層 39b、 39bの対、電極層 39c、 39cの対、そして電極層 39d、 39 dの対）とから構成されている。電極層 39a、 39aの対、そして電極層 39c、 39cの対に挟まれた各圧電体部分は、図 21の紙面の手前側から奥側に向力う方向に分極処理されており、そして電極層 39b、 39bの対、そして電極層 39d、 39dの対に挟まれた各圧電体部分は、図 14の紙面の奥側から手前側に向力う方向に分極処理されている。そして、これら四対の電極層のいずれにも挟まれていない圧電体部分は分極処理されてヽなヽ (超音波振動子としては用いられて、な!/、)。

[0093] そして、これらの超音波振動子 39に、例えば、図 21の紙面の手前側にある電極層 39a、 39b、 39c、 39dを正極として、そして紙面の奥側にある四つの電極層を負極として交流電圧を供給することにより、環状弾性体 37に、上記のように図 19に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせることができる。

[0094] 図 23は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図であり、そして図 24は、図 23に記入した切断線 VI— VI線に沿って切断した研磨具の断面図である。

[0095] 図 23及び図 24に示す研磨具 230の構成は、複数の超音波振動子 39が連結手段 45のスペース部 44に面する環状弾性体 37の内側側面と、更にこの内側側面の反対側の外側側面とに付設されていること以外は図 19の研磨具 190と同様である。このように複数の超音波振動子は環状弾性体の側面に付設されて、てもよ、。なお、各々の超音波振動子 39としては、図 14及び図 15に示す超音波振動子と同様の構成ものが用いられている。

[0096] 図 25は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。図 25の研磨具 250の構成は、環状弾性体 37の外側周縁 (および内側周縁)の形状が八角形とされていること、そして複数の超音波振動子 39が連結手段 45のスぺース部 44に面する上記環状弾性体 37の内側側面の反対側の外側側面に付設されて、ること以外は図 23の研磨具 230と同様である。

[0097] 図 26は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図 26の研磨具 260の構成は、連結手段 45の各スペース部 44に面する環状弾性体 37の内側側面の反対側の外側側面に三個ずつ超音波振動子 39が固定され、そして上記の環状弾性体の外側側面の各々の振動子 39の上側部分に、連結手段 45 のスペース部 44にまで到達する透孔 44aが形成されていること以外は図 23の研磨具 230と同様である。

[0098] このような透孔 44aが備えられていると、透孔 44aが上記の連結手段 45のスペース部 44と同様に機能し、透孔 44aと透孔 44aとの間にある接続部 43aが連結手段 45の連結部 43と同様に機能する。このため、各々の超音波振動子 39にて発生させた超音波振動は、環状弾性体 37の上記透孔 44aよりも上側の部分にも伝わり難くなる。このため、図 26の研磨具 260を備えた本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を更に高、精度で研磨することができる。

[0099] なお、本明細書にぉ、て、「複数の超音波振動子が配置される環状弾性体の上面、内側側面あるいは外側側面」には、これらの面に透孔 (例えば、図 26に示す環状弾性体 37の透孔 44a)や溝が形成されて!、る場合には、この透孔ゃ溝の内側表面をも含む。すなわち、例えば、図 26の研磨具 260においては、各々の超音波振動子 3 9が連結手段 45の各スペース部 44に面する環状弾性体 37の内側側面の反対側の外側側面に配置されているが、ここで云う「外側側面」には、この外側側面に形成された透孔 44aの内側表面も含まれる。すなわち、図 26に示す各々の超音波振動子 3 9は、透孔 44aの内側表面に配置することもできる。

図面の簡単な説明

[0100] [図 1]従来の研磨装置の構成例を示す正面図である。

[図 2]図 1に記入した切断線 I I線に沿って切断した研磨装置 10の断面図である。伹し、図 1に示す研磨対象物 11、支持テーブル 12及び研磨液を供給するパイプ 21の記載は省略してある。

[図 3]本発明の研磨装置の構成例を示す正面図である。

[図 4]図 3に示す研磨装置 30が備える、接続板 42、連結手段 45、環状弾性体 37、超音波振動子 39及び砲石 38から構成される研磨具 40の拡大図である。

[図 5]図 4に示す研磨具 40の分解斜視図である。

[図 6]図 4の研磨具 40が備える環状弾性体 37、超音波振動子 39及び砲石 38の平面図である。

[図 7]図 6に記入した切断線 II II線に沿って切断した環状弾性体 37、超音波振動子

39及び砥石 28の断面図である。

[図 8]図 3に示すロータリートランスの平面図である。

[図 9]図 8に記入した切断線 III III線に沿って切断したロータリートランスの断面図である。

[図 10]本発明の研磨装置に用いる研磨具の別の構成例を示す正面図である。 [図 11]図 10に示す研磨具 100の分解斜視図である。

[図 12]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。

[図 13]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。

[図 14]図 13の研磨具 130が備える超音波振動子 39の構成を示す正面図である。

[図 15]図 13の研磨具 130が備える超音波振動子 39の構成を示す平面図である。

[図 16]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す正面図である。

[図 17]図 16の研磨具の平面図である。

[図 18]図 17に記入した切断線 IV— IV線に沿って切断した研磨具の断面図である。

[図 19]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。

[図 20]図 19に記入した切断線 V—V線に沿って切断した研磨具 190の断面図である

[図 21]図 19の研磨具 190が備える超音波振動子 39の構成を示す平面図である。

[図 22]図 19の研磨具 190が備える超音波振動子 39の構成を示す正面図である。

[図 23]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。

[図 24]図 23に記入した切断線 VI— VI線に沿って切断した研磨具の断面図である。

[図 25]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。

[図 26]本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。符号の説明

10 研磨装置

11 研磨対象物

12 支持テーブル

14 研磨軸

17 弾性体

18 砥石

19 積層型圧電ァクチユエータ

21 パイプ

30 研磨装置

31 研磨対象物支持テーブル

駆動装置

回転軸

駆動装置

環状弾性体

砥石

a 砥石片

超音波振動子

a, 39b、 39c、 39d 電極層e 圧電体

研磨具

伝達装置（ロータリートランス) 接続板

連結部

a 接続部

スペース |5

a 透孑し

連結手段

基台

回転駆動装置

a 回転軸

送りねじ

a ナツ卜

支柱

ベアリング

アーム

ベアリング回転駆動装置

a 回転軸

a, 59b プーリ

ベノレト

a, 61b ノス、ノレ

a, 62b ねじ穴

ボノレト

a, 64b, 64c 電気配線

電源

a 電力供給ユニット

b 電力受容ユニット

a ステータコア

b ロータコア

a ステータコイル

b ロータコイル

0、 120、 130、 160、 190、 230、 250、 260 研磨具

Claims

請求の範囲

[1] 上面に研磨対象物が支持固定される支持テーブル、該支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸、該回転軸の昇降を駆動する駆動装置、該回転軸の回転を駆動する駆動装置、該回転軸の基部に固定された弾性体、該弾性体の下部に備えられた環状の砥石、該弾性体に付設された複数の超音波振動子、そして該超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、

該弾性体が環状弾性体であり、該環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、該接続板の周縁部の下側表面と該環状弾性体の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、複数の超音波振動子が該連結手段の該スペース部に面する該環状弾性体の上側表面または該スペース部の下側の該環状弾性体の外側側面もしくは内側側面に配置されている力、あるいは、

該弾性体が環状弾性体であり、該環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、該接続板の周縁部の外側側面と該環状弾性体の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、複数の超音波振動子が該連結手段の該スペース部に面する該環状弾性体の内側側面もしくは該内側側面の反対側の外側側面またはスペース部に近接する該環状弾性体の上側表面に配置されていることを特徴とする研磨装置。

[2] 上記接続板と上記連結部が共に弾性体である請求項 1に記載の研磨装置。

[3] 上記接続板と上記連結部が共に弾性体であり、そして該接続板と該連結部とが上記環状弾性体と一体に形成されて!ヽる請求項 1に記載の研磨装置。

[4] 連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比が連結部の長さとスペース部の長さとの比として、 1 : 1乃至 1 : 20の範囲にある請求項 1に記載の研磨装置。

[5] 超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置がロータリートランスである請求項 1に記載の研磨装置。

[6] 連結手段の複数の連結部とスペース部のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されてレ、る請求項 1に記載の研磨装置。

[7] 複数の超音波振動子のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されている請求項 1に記載の研磨装置。

[8] 支持テーブルが回転可能であって、かつ該支持テーブルを回転駆動する駆動装置をさらに備える請求項 1に記載の研磨装置。