JP2010058212A - 研削ホイール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着されるマウント装着リングと、第1面及び該第1面と反対側の第2面を有し、複数の研削砥石が該第2面の外周部に固定されたホイールベースと、該研削砥石の半径方向内側で該ホイールベースの該第1面に配設された超音波振動子と、該マウント装着リングと該ホイールベースとの間に介装された振動吸収リングと、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
超音波振動子60をチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zi,Ti)O3)から形成した本発明実施形態の研削ホイール22をホイールマウント20に装着し、超音波振動子60に50kHzの周波数で150Vの電圧を印加した。
10 研削ユニット
20 ホイールマウント
22 研削ホイール
36 チャックテーブル
56 ホイールベース
58 研削砥石
60 超音波振動子
62 マウント装着リング
68 振動吸収リング
70 スリット
Claims (5)
- 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、
該ホイールマウントに装着されるマウント装着リングと、
第1面及び該第1面と反対側の第2面を有し、複数の研削砥石が該第2面の外周部に固定されたホイールベースと、
該研削砥石の半径方向内側で該ホイールベースの該第1面に配設された超音波振動子と、
該マウント装着リングと該ホイールベースとの間に介装された振動吸収リングと、
を具備したことを特徴とする研削ホイール。 - 前記ホイールベースは前記第1面に環状溝を有しており、前記超音波振動子は該環状溝中に挿入固定されていることを特徴とする請求項1記載の研削ホイール。
- 前記振動吸収リングは、該ホイールベースに連結される第1の連結部と、該マウント装着リングに連結される第2の連結部と、該第1の連結部と該第2の連結部との間に形成され、該ホイールベースに生成された超音波振動を吸収するスリット部とを有している請求項1又は2記載の研削ホイール。
- 前記振動吸収リングは硬質樹脂から形成される請求項1〜3の何れかに記載の研削ホイール。
- 該硬質樹脂は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)又はポリアセタール(POM)の何れかである請求項4記載の研削ホイール。
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