JP5357571B2 - 研削ホイール - Google Patents
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Description
10 研削ユニット
20 ホイールマウント
22 研削ホイール
24 主ホイールベース
26 従ホイールベース
27 環状連結部
36 チャックテーブル
58 研削砥石
60,61 押圧電極
68 超音波振動子
69,70 環状電極
71 装着部
73 貫通スリット
75 貫通孔
Claims (2)
- 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに着脱可能に装着される研削ホイールであって、
該ホイールマウントに締結ボルトによって装着される複数の雌ねじが周方向に離間して形成された装着部を有する主ホイールベースと、
第1面及び該第1面と反対側の第2面を有し、複数の研削砥石が該第2面の外周部に環状に固定された従ホイールベースと、
該主ホイールベースの前記装着部の反対側と該従ホイールベースの該第1面とを連結する環状連結部とを具備し、
該環状連結部は、該主ホイールベースに形成された前記複数の雌ねじの位置より内側であるとともに該従ホイールベースに環状に配設された複数の研削砥石の位置より半径方向内側に形成されており、
前記主ホイールベースは、該環状連結部より外側で周方向に離間して形成された前記複数の雌ねじより内側の位置に、周方向に離間して環状に形成された複数の貫通スリットを有しており、
該従ホイールベースの前記第1面上には該環状連結部より半径方向内側に超音波振動子が配設されていることを特徴とする研削ホイール。 - 前記従ホイールベースは、該環状連結部より外側で環状に配設された前記複数の研削砥石の内側の位置に、周方向に離間して形成された複数の貫通孔を有している請求項1記載の研削ホイール。
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JP2009226575A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Uwave:Kk | 研磨具および研磨装置 |
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