JP6153323B2 - 研削装置及び研削方法 - Google Patents
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Description
10 研削ユニット
18 スピンドル
20 電動モーター
22 ホイールマウント
24 研削ホイール
32 パルスモーター
34 研削送り機構
38 チャックテーブル
46 超音波振動子
70 送電手段
86 コントローラ
88 電圧検出部
90 比較部
Claims (3)
- 被加工物を研削する研削装置であって、
被加工物を回転可能に保持するチャックテーブルと、
スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたホイールマウントと、該ホイールマウントに装着されて該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールと、を有する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに保持された被加工物に対して接近離反する方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、
該研削手段に作用する振動を検出して検出した振動に対応した振動信号を発生する振動信号発生手段と、
該振動信号発生手段で発生した該振動信号に基づいて該加工送り手段による加工送りを制御する制御手段と、を具備し、
該振動信号発生手段は、該研削手段に配設され該研削手段に作用する振動に対応した該振動信号である電圧を発生する超音波振動子と、該超音波振動子と接続され該電圧を該制御手段に送電する送電手段と、を含み、
該ホイールマウントは、ホイール基台装着部と、該ホイール基台装着部を囲繞する超音波振動子装着部と、を有し、
該超音波振動子装着部の上面に該超音波振動子が配設されたことを特徴とする研削装置。 - 前記制御手段は、検出した電圧を所定電圧と比較する比較部を備え、
該所定電圧は、第1の電圧値と、該第1の電圧値より低い第2の電圧値と、を含み、
該制御手段は、前記超音波振動子が発生する該電圧を該第1の電圧値以下、該第2の電圧値以上の範囲内となるように該研削ホイールの研削送り速度を制御することを特徴とする請求項1記載の研削装置。 - 請求項1又は2記載の研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、
被加工物を前記チャックテーブルで保持する保持ステップと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を回転させつつ回転する前記研削ホイールを被加工物に当接させて、前記加工送り手段で前記研削手段を加工送りして被加工物を研削する研削ステップと、
該研削ステップの実施中に、前記振動信号発生手段で発生した振動信号を検出する振動信号検出ステップと、を備え、
前記研削ステップでは、該振動信号検出ステップで検出された振動信号に基づいて該加工送り手段の加工送りを制御することを特徴とする研削方法。
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