JP2012091245A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、該研削ホイールが連結されるスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着された振動測定手段と、該スピンドルハウジングを支持し該チャックテーブルに対して該スピンドルハウジングを接近及び離反させる方向に移動する研削送り手段と、該振動測定手段から出力される振動情報を受信する受信部と、異常な振動情報が予め記録されている異常記録部と、該受信部が受信した振動情報と該異常記録部に登録された該異常な振動情報とに基づいて該受信部が受信した振動情報の異常を検出し、該研削送り手段を制御する制御部とを有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
10 研削ユニット
11 光デバイスウエーハ
12 スピンドルハウジング
13 サファイア基板
14 ホルダー
15 エピタキシャル層
19 光デバイス
26 研削ホイール
30 研削砥石
40 チャックテーブル
48 振動測定器
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置であって、
該研削手段は、該研削ホイールが連結されるスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングに装着された振動測定手段と、
該スピンドルハウジングを支持し該チャックテーブルに対して該スピンドルハウジングを接近及び離反させる方向に移動する研削送り手段と、
該振動測定手段から出力される振動情報を受信する受信部と、異常な振動情報が予め記録されている異常記録部と、該受信部が受信した振動情報と該異常記録部に登録された該異常な振動情報とに基づいて該受信部が受信した振動情報の異常を検出し、該研削送り手段を制御する制御部とを有する制御手段と、
を具備したことを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010238465A JP2012091245A (ja) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010238465A JP2012091245A (ja) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012091245A true JP2012091245A (ja) | 2012-05-17 |
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ID=46385194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010238465A Pending JP2012091245A (ja) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2012091245A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014123601A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置及び研削方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002307304A (ja) * | 2001-04-13 | 2002-10-23 | Nagase Integrex Co Ltd | 砥石のドレッシング方法並びにそれに用いる研削盤 |
JP2008155299A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Sharp Corp | 液晶パネル基板の研削装置 |
-
2010
- 2010-10-25 JP JP2010238465A patent/JP2012091245A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014123601A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置及び研削方法 |
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