JP2016100557A - 研削方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電鋳砥石を研削砥石として使用可能な研削方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が固定された研削ホイールを回転可能に支持し該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、被加工物を該チャックテーブルで保持する保持ステップと、該超音波生成手段で該研削砥石に超音波振動を付与しながら、該研削手段を研削送りして該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する超音波研削ステップと、を備え、該研削砥石は、砥粒がニッケルメッキで固定された電鋳砥石から構成されることを特徴とする。
【選択図】図5
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が固定された研削ホイールを回転可能に支持し該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、被加工物を該チャックテーブルで保持する保持ステップと、該超音波生成手段で該研削砥石に超音波振動を付与しながら、該研削手段を研削送りして該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する超音波研削ステップと、を備え、該研削砥石は、砥粒がニッケルメッキで固定された電鋳砥石から構成されることを特徴とする。
【選択図】図5
Description
本発明は、シリコンウェーハ等の板状の被加工物の研削方法に関する。
IC、LSI等の数多くのデバイスが表面に形成され、且つ個々のデバイスが格子状に形成された複数の分割予定ライン(ストリート)によって区画された半導体ウェーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置(ダイシング装置)によって分割予定ラインを切削して個々のデバイスチップに分割され、分割されたデバイスチップは携帯電話、パソコン等の各種電子機器に広く利用されている。
半導体ウェーハ(以下、単にウェーハと略称することがある)の裏面を研削する研削装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する複数の研削砥石が固定された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段とを備えていて、ウェーハを高精度に所望の厚みに研削できる。
代表的な半導体ウェーハはシリコンウェーハから構成されており、シリコンウェーハは脆性材料であり研削抵抗が小さいため、一般的な研削ホイールでは研削による自生発刃が発生し易いレジンボンドからなる研削砥石が用いられている。
一方、サファイア、シリコンナイトライド、リチウムタンタレイト、アルチック等の脆性硬質材料を研削装置で研削すると長時間を要し、生産性が悪いという問題があることから、超音波振動子を研削ホイールに配設して研削砥石に超音波を付与しながら被加工物を研削する方法が本出願人により開発された(例えば、特開2011−148028号公報参照)。
しかし、レジンボンド砥石は自生発刃により消耗が早く、一本の研削ホイールで研削可能なウェーハ枚数が少ないという課題があった。また、反対に消耗が少ない電鋳砥石を研削砥石として用いると、自生発刃が発生しにくく、目つぶれ状態となって研削不良が発生してしまうため、従来技術では電鋳砥石を研削砥石として用いることは不可能であった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電鋳砥石を研削砥石として使用可能な研削方法を提供することである。
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が固定された研削ホイールを回転可能に支持し該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、被加工物を該チャックテーブルで保持する保持ステップと、該超音波生成手段で該研削砥石に超音波振動を付与しながら、該研削手段を研削送りして該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する超音波研削ステップと、を備え、該研削砥石は、砥粒がニッケルメッキで固定された電鋳砥石から構成されることを特徴とする研削方法が提供される。
好ましくは、被加工物はシリコンウェーハから構成される。
本発明の研削方法によると、研削砥石として電鋳砥石を使用し、研削砥石に超音波振動を付与しながら被加工物の研削を実施するため、超音波振動により電鋳砥石の自生発刃が促進される。
その結果、通常ほとんど消耗がなかった電鋳ボンド砥石による被加工物の研削でも適度な消耗が発生するため、安定した研削と、消耗の抑制を両立させることができる。また、電鋳ボンド砥石はボンドが固いため、研削力も強いので、研削速度を上げて研削加工が可能であり、研削時間の短縮化を実現できる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明の研削方法を実施するのに適した研削装置2の斜視図が示されている。4は研削装置2のベースであり、ベース4の後方にはコラム6が立設されている。コラム6には、上下方向に伸びる一対のガイドレール8が固定されている。
この一対のガイドレール8に沿って研削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されている。研削ユニット10は、スピンドルハウジング12を支持する支持部14を有しており、支持部14が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台16に取り付けられている。
研削ユニット10は、スピンドルハウジング12中に回転可能に収容されたスピンドル18と、スピンドル18の先端に固定されたホイールマウント20と、ホイールマウント20にねじ締結され環状に配設された複数の研削砥石を有する研削ホイール22と、スピンドル18を回転駆動する電動モータを含んでいる。
研削装置2は、研削ユニット10を一対の案内レール8に沿って上下方向に移動するボールねじ28とパルスモータ30とから構成される研削ユニット送り機構32を備えている。パルスモータ30を駆動すると、ボールねじ28が回転し、研削ユニット10が上下方向に移動される。
ベース4の上面には凹部4aが形成されており、この凹部4aにチャックテーブル機構34が配設されている。チャックテーブル機構34はチャックテーブル36を有し、図示しない移動機構によりウェーハ着脱位置Aと、研削ユニット10に対向する研削位置Bとの間でY軸方向に移動される。38,40はチャックテーブル移動機構を覆う蛇腹である。ベース4の前方側には、研削装置2のオペレータが研削条件等を入力する操作パネル42が配設されている。
図2及び図3に示すように、スピンドル18の先端は小径先端部18aに形成されており、この小径先端部18aにホイールマウント20が固定されている。図3に示すように、ホイールマウント20が4個の丸穴47を有しており、これらの丸穴47にボルト48を挿入して研削ホイール22のねじ穴71にボルト48を螺合することにより、研削ホイール22がホイールマウント20に取り付けられる。
スピンドル18には、スピンドル18を上下方向に貫通する貫通穴21が形成されており、この貫通穴21の先端部は図3に示すように径が拡大されたコネクタ挿入穴19に形成されている。コネクタ挿入穴19中に凹型コネクタ50が挿入されており、この凹型コネクタ50に後で説明する超音波振動子に接続された凸型コネクタ72が嵌合される。
図3及び図4に示す研削ホイール22は、基台56と、基台56の下面に固着された複数の研削砥石64とを含んでいる。基台56は、底壁58と、環状側壁60と、ホイールマウント20に装着される上壁62とを含んでおり、内部に空間63が画成されている。図5(A)に示すように、底壁58には複数のスリット59が形成されており、上壁62にはねじ48が螺合される4個のねじ穴71が形成されている。
基台56の底壁58の外周に環状に固着された複数の研削砥石64はダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳ボンド砥石から構成される。本実施形態では、メッシュサイズ#600のダイヤモンド砥粒を使用した。
図5(A)に示すように、直方体形状の各研削砥石64は斜めに配設されているのが好ましい。研削ホイール22の接線に対する研削砥石64の傾斜角は、20°〜45°程度が好ましい。このように各研削砥石64を斜めに配設した実施形態では、研削ホイール22の回転方法は矢印R1方向が好ましい。
このように直方体形状の研削砥石64を斜めに配設することで、研削時に研削砥石64がウェーハ11と接触する面積を小さくすることができ、電鋳砥石64の消耗を促すことができる。
図5(B)を参照すると、第2実施形態の研削砥石64Aが基台56の底壁58に環状に固着された第2実施形態の研削ホイール22Aの底面図が示されている。本実施形態では、パイプ状の研削砥石64Aを採用した。
パイプ状の研削砥石64Aも図5(A)に示した直方体形状の研削砥石64と同様に、メッシュサイズ#600のダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳ボンド砥石から構成される。このようにパイプ状の研削砥石64Aを採用することにより、研削時に研削砥石64Aがウェーハ11と接触する面積を小さくして研削砥石64Aの消耗を促すことができる。
図3及び図4に最も良く示されるように、基台56の底壁58上に超音波生成ユニット(超音波生成手段)66が適宜の接着剤により固定されている。図4に示すように、超音波生成ユニット66は、超音波振動子68と、超音波振動子68の両側分極面にそれぞれ装着された一対の電極板70a,70bとから構成される。
超音波振動子68は、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、リチウムタンタレイト等の圧電セラミックスによって環状に形成されている。電極板70aは導電線73aの一端に接続され、電極板70bは導電線73bの一端に接続されている。導電線73a,73bの他端は、図3に示すように、凸型コネクタ72に接続されている。
以上のように構成された研削ホイール22は、図3に示すように、ホイールマウント20に設けられた丸穴47にボルト48を挿入し、ボルト48を研削ホイール22の上壁62に形成されたねじ穴71に螺合して締め付けることにより、ホイールマウント20に着脱可能に装着される。
図2を再び参照すると、研削ユニット10はスピンドル18を回転駆動する電動モーター74を備えている。電動モーター74は例えば永久磁石式モーターから構成される。電動モーター74は、スピンドル18の中間部に形成されたモーター装着部76に装着された永久磁石からなるローター78と、ローター78の外周側においてスピンドルハウジング12に配設されたステータコイル80とから構成される。
このように構成された電動モーター74は、ステータコイル80に後述する電力供給手段によって交流電力を印加することによりローター78が回転し、ローター78が装着されたスピンドル18が回転される。
研削ユニット10は更に、超音波振動子60に交流電力を印加するとともに電動モーター74に交流電力を印加する電力供給手段82を具備している。電力供給手段82は、スピンドル18の上端に配設されたロータリートランス84を含んでいる。
ロータリートランス84は、スピンドル18の上端に配設された受電手段86と、受電手段86と対向して配設された給電手段88を具備している。受電手段86は、スピンドル18に装着されたローターコア90と、ローターコア90に巻回された受電コイル92とから構成される。
このように構成された受電手段86の受電コイル92には導電線52が接続されている。この導電線52は、スピンドル18の中心に軸方向に形成された貫通穴21内に配設され、その先端が図3に示す凹型コネクタ50に接続されている。
給電手段88は、受電手段86の外周側に配設されたステータコア94と、ステータコア94に配設された給電コイル96とから構成される。このように構成された給電手段88の給電コイル96には、電気配線98を介して交流電力が供給される。
電力供給手段82は、交流電源100と、交流電源100とロータリートランス84の給電コイル96との間に挿入された電圧調整手段102と、給電手段88に供給する交流電力の周波数を調整する周波数調整手段104と、電圧調整手段102及び周波数調整手段104を制御する制御手段106と、制御手段106に研削砥石に付与する超音波振動の振幅等を入力する入力手段108を具備している。
交流電源100は、制御回路112及び電気配線110を介して電動モーター74のステータコイル80に交流電力を供給する。周波数調整手段104としては、株式会社エヌエフ回路設計ブロックが提供するデジタルファンクションジェネレータ、商品名「DF−1905」を使用することができる。DF−1905によると、周波数を10Hz〜500kHzの範囲内で適宜調整することができる。
このように構成された研削装置2の研削作業について以下に説明する。図1に示すウェーハ着脱位置Aに位置づけられたチャックテーブル36上に、図6に示すように表面に保護テープTが貼付されたウェーハWを保護テープTを下にして吸引保持する。次いで、チャックテーブル36をY軸方向に移動して研削位置Bに位置づける。
このように位置づけられたウェーハWに対して、図6に示すようにチャックテーブル36を矢印A方向に例えば300rpmで回転しつつ、研削ホイール22をチャックテーブル36と同一方向に、即ち矢印B方向に例えば6000rpmで回転駆動させるとともに、研削ユニット送り機構32を作動して研削砥石64をウェーハWの裏面に接触させる。
この研削加工時には、電力供給手段82によってロータリートランス84を構成する給電手段88の給電コイル96に所定周波数の交流電力を供給する。その結果、回転する受電手段86の受電コイル92、導電線52、凹型コネクタ50、凸型コネクタ72、導電線73a,73bを介して超音波振動子68に所定周波数の交流電力が印加され、超音波振動子68は主にラジアル方向(径方向)に超音波振動する。この超音波振動は、基台56の底壁58を介して複数の研削砥石64に伝達され、研削砥石64がラジアル方向に超音波振動する。
本実施形態の研削方法では、研削砥石64を電鋳ボンド砥石から構成し、電鋳ボンドの研削砥石64に超音波振動を印加しながらウェーハ11を研削するため、超音波振動により電鋳ボンド砥石64の自生発刃が促進され、通常はほとんど消耗がなかった電鋳ボンド砥石によるシリコンウェーハ11の研削でも電鋳ボンド砥石64に適度な消耗が発生する。
従って、電鋳ボンド砥石64による安定した研削と消耗の抑制を両立させることができる。また、電鋳ボンド砥石64は硬いため研削力も強いので、研削速度を上げても研削加工が可能であり、研削時間の短縮化につながる。
2 研削装置
10 研削ユニット
20 ホイールマウント
22 研削ホイール
36 チャックテーブル
56 基台
64,64A 研削砥石
66 超音波生成ユニット
68 超音波振動子
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Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が固定された研削ホイールを回転可能に支持し該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、
被加工物を該チャックテーブルで保持する保持ステップと、
該超音波生成手段で該研削砥石に超音波振動を付与しながら、該研削手段を研削送りして該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する超音波研削ステップと、を備え、
該研削砥石は、砥粒がニッケルメッキで固定された電鋳砥石から構成されることを特徴とする研削方法。 - 被加工物はシリコンウェーハであることを特徴とする請求項1記載の研削方法。
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