JP6200765B2 - パッケージ基板の加工方法 - Google Patents
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図3に示すように、保持手段20によってパッケージ基板1を保持するとともに、切削手段30により封止材層8に溝を形成する。図1に示した基板2の表面2aに形成されたバンプ5(図1参照)の保護のため、環状のフレーム11に貼着されたテープ10に基板2の表面2a側をあらかじめ貼着する。保持手段20は、パッケージ基板1を保持する保持テーブル21と、保持テーブル21の外周側に連設されフレーム11を載置するフレーム載置部22と、フレーム載置部22において配設された軸部23と、軸部23を支点として回転しフレーム載置部22に載置されたフレーム11をクランプするクランプ部24と、を少なくとも備えている。切削手段30は、回転可能なスピンドル31と、スピンドル31の先端に装着された切削ブレード32と、を少なくとも備えており、スピンドル31の回転によって切削ブレード32も回転するようになっている。
溝形成ステップを実施した後、図5に示す研削手段40によってパッケージ基板1を薄化する。研削手段40は、鉛直方向の軸心を有するスピンドル41と、スピンドル41の下端にマウント42を介して装着された研削ホイール43と、研削ホイール43の下部に環状に固着された研削砥石44とを少なくとも備えており、研削ホイール43を回転させつつ、昇降することができる。
薄化ステップを実施した後、図7に示すように、パッケージ基板1を個片化する。まず、図7(a)に示すように、パッケージ基板1を反転させ、環状のフレーム14に貼着されたテープ13に基板2の表面2aを上向きにしてデバイスチップ6側を貼着する。次いで、図7(b)に示すように、テープ13を介してフレーム14と一体となっているパッケージ基板1を保持手段20bの保持テーブル21の上面に載置するとともに、フレーム14をフレーム載置部22に載置し、クランプ部24が軸部23を支点に回転しフレーム14の上部を押さえて固定する。そして、例えば基板2の上方に配置された撮像手段50を用いて、基板2の表面2aに形成された図1に示すバンプ5の位置を検出し、バンプ5が形成されていない領域、すなわち分割予定ライン3を検出する。
4:チップ領域 5:バンプ 6:デバイスチップ 6a:表面 6b:裏面
7:デバイス 8:封止樹脂層
10:テープ 11:フレーム 12:溝 13:テープ 14:フレーム
15:溝
20,20a,20b:保持手段 21:保持テーブル 22:フレーム載置部
23:軸部 24:クランプ部
30,30a:切削手段 31:スピンドル 32:切削ブレード
40:研削手段 41:スピンドル 42:マウント 43:研削ホイール
44:研削砥石 50:撮像手段
Claims (2)
- 矩形基板上の交差する複数の分割予定ラインで区画されたチップ領域にそれぞれデバイスチップが配設されるとともに該デバイスチップが封止材層で封止され、該デバイスチップは、表面にデバイスを有するとともに該表面側が該基板に対面した状態で該基板上に配設されたパッケージ基板の加工方法であって、
パッケージ基板の該封止材層のうち該デバイスチップの中央部の上方に切削ブレードを切り込ませ、各該チップ領域にそれぞれ該デバイスチップに至らない該中央部の上方を通る溝を形成し、各該チップ領域における反りを解消する溝形成ステップと、
該溝形成ステップを実施した後、パッケージ基板の該封止材層を研削砥石で研削することにより所定の厚みへと薄化する薄化ステップと、を備えたパッケージ基板の加工方法。 - 前記薄化ステップでは、前記封止材層を前記研削砥石で研削するとともに前記デバイスチップの裏面も研削し、該デバイスチップの裏面を露出させる請求項1に記載のパッケージ基板の加工方法。
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