JP6896347B2 - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Description
1a 表面
1b 裏面
3 封止材
5 被加工物
7 バンプ
7a デバイス
9 切削溝
2 切削装置
4 切削ユニット
6 スピンドル
8 切削工具
10 バイト切削装置
12 チャックテーブル
12a 保持面
14 バイト切削ユニット
16 バイト切削ホイール
18 スピンドル
20 バイト工具
20a 切刃
22 切削水供給ノズル
24 切削水
Claims (2)
- 表面に格子状に複数の分割予定ラインが設定され該複数の分割予定ラインにより区画された各領域にデバイスが形成されたウェーハと、該デバイスの上方に形成されたバンプと、該バンプを埋設するとともに該ウェーハの表面を覆う封止材と、を含む被加工物の加工方法であって、
切削工具を備える切削装置において、該切削工具の下端が該バンプの上端の高さ位置よりも高くなるように該切削工具を該被加工物の表面に向けて下降させ、該封止材に該バンプの上端の高さ位置に至らない深さの複数の切削溝を、それぞれ、該被加工物の該表面の中心部から外周に至る線状に形成する切削溝形成工程と、
該切削溝形成工程の後、ダイヤモンドからなる切刃を有するバイト工具を備えるバイト切削装置において、該切刃の下端が該バンプの上端の高さ位置よりも低くなるように該バイト工具を下降させ、該バイト工具の切刃に切削水を供給しながら該表面側が露出した該被加工物の該封止材の上部及び該バンプの上部をバイト切削することにより、該バンプを該封止材から露出させるバイト切削工程と、を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。 - 前記複数の切削溝は、それぞれ、直線状であることを特徴とする請求項1記載の被加工物の加工方法。
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