KR101741319B1 - 개편화 물품의 이송 방법, 제조 방법 및 제조 장치 - Google Patents

개편화 물품의 이송 방법, 제조 방법 및 제조 장치 Download PDF

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Abstract

개편화 물품을 용기에 이송하는 공정에 있어서, 이미 용기에 수용된 개편화 물품이 진공 파괴용의 고압 가스에 의해 날리는 것을 억제한다.
개폐 밸브(35)를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 각 가압계 배관(33)을 개방함으로써, 가압원(19)과, 가압계 배관(33)과, 작동 전환 밸브(30op)와, 작동 개별 배관(26op)과, 작동 패드(28op)가 갖는 개구(27)를 순차 경유하여 전자 부품(개편화 물품)(24)에 고압 가스를 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여, 트레이(용기)(15)를 향하여 전자 부품(24)을 날려 버린다. 읽어낸 작동 패드 정보에 기초하여 산출한 작동 패드(28op)의 수에 따라 분사 시간을 결정한다. 작동 패드(28op)의 수가 많은 경우에는 분사 시간을 길게 하고, 작동 패드(28op)의 수가 적은 경우에는 분사 시간을 짧게 한다. 이들에 의해, 이미 용기에 수용된 개편화 물품이 고압 가스에 의해 날리는 것을 억제할 수 있다.

Description

개편화 물품의 이송 방법, 제조 방법 및 제조 장치{TRANSFER METHOD, MANUFACTURE METHOD AND MANUFACTURE APPARATUS FOR SINGULATION ARTICLE}
본 발명은, 복수의 영역을 갖는 대상물을 개편화(singulation)함으로써 각 영역에 각각 대응하는 복수의 개편화 물품을 제조할 때에 사용되는, 개편화 물품의 이송 방법, 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.
회전날(블레이드)을 사용하여 밀봉 완료 기판을 개편화함으로써 복수의 전자 부품을 제조하는 것이, 널리 실시되고 있다(예컨대, 특허문헌 1의 단락 [0018] 참조). 복수의 전자 부품의 각각이 개편화 물품에 상당한다.
도 1을 참조하여, 개편화 물품의 제조 장치의 예를 설명한다. 도 1은 개편화 물품의 제조 장치의 예를 나타내는 평면도이다. 또한, 본 출원 서류에 있어서의 어느 도면에 대해서도, 알기 쉽게 하기 위해, 적절하게 생략 또는 과장하여 모식적으로 개략이 그려져 있다.
도 1에 있어서, 개편화 물품의 제조 장치(M1)는 절단 모듈(A)과 인출 모듈(B)을 갖는다. 절단 모듈(A)은, 수납부(C)와 절단부(D)와 세정부(E)를 갖는다. 절단 모듈(A)과 인출 모듈(B)은 그리고 수납부(C)와 절단부(D)와 세정부(E)는, X 방향을 따라 배열되어 장착되어 있다. 수납부(C)는 프레스티지(1)를 갖는다. 프레스티지(1)는, 개편화 물품의 제조 장치(M1)의 외부로부터 대상물인 밀봉 완료 기판(2)을 수취한다.
절단부(D)는, 절단용 이송 기구(3)와, 절단용 이송 기구(3) 위에 마련된 절단용 스테이지(4)를 갖는다. 절단용 스테이지(4)에는, 프레스티지(1)로부터 수취한 밀봉 완료 기판(2)이 갖는 한쪽의 면이, 흡착, 점착 등의 주지의 기술에 따라 고정된다. 밀봉 완료 기판(2)이 갖는 한쪽의 면은, 예컨대, 밀봉 수지가 형성된 면이다(도 2 참조). 한편, 밀봉 완료 기판(2)이 갖는 다른 쪽의 면은, 예컨대 밀봉 수지가 형성되어 있지 않은 면이다(도 2 참조). 다른 쪽의 면에는, 전자 부품이 전자 기기의 프린트 기판 등에 실장되기 위한 외부 단자, 땜납 볼, 범프 등(도시 없음)이 형성되어 있다.
절단용 이송 기구(3)는, 밀봉 완료 기판(2)을 반송하여 스핀들(5)의 하방에 있어서 정지한다. 스핀들(5)이 갖는 회전축(도시 없음)에는 회전날(6)이 고정된다. 회전날(6)은 고속으로(예컨대, 15,000 rpm∼30,000 rpm) 회전할 수 있다. 예컨대, 절단용 이송 기구(3) 및 절단용 스테이지(4)는 Y, θ 방향으로 적절하게 이동하고, 회전날(6)은 X, Z 방향으로 적절하게 이동한다. 이들에 의해, 회전날(6)과 밀봉 완료 기판(2)이 위치 맞춤된다. 절단용 이송 기구(3)와 스핀들(5)이 Y 방향으로 상대적으로 이동함으로써, 고속으로 회전하는 회전날(6)이 밀봉 완료 기판(2)을 Y 방향을 따라 절단한다. 밀봉 완료 기판(2)은 다른 쪽의 면으로부터 한쪽의 면을 향하여 절단된다(풀 컷트된다). 회전날(6)과 밀봉 완료 기판(2)이 접촉하는 부분에는, 절삭수(도시 없음)가 공급된다.
세정부(E)는 세정 기구(7)와 제1 반송 기구(8)를 갖는다. 제1 반송 기구(8)는, 밀봉 완료 기판(2)이 절단됨으로써 형성된 복수의 전자 부품을 포함하는 집합체(9)를, 반송한다. 세정 기구(7)는, 수조(도시 없음)와, 수조 내에 수용되어 회전하는 세정 브러시(10)를 갖는다. 세정 브러시(10)는, 그 하방이 수조 내의 물에 잠김으로써 물을 포함한 상태로 회전한다. 제1 반송 기구(8)는, 집합체(9)의 한쪽의 면을 하향으로 하여 다른 쪽의 면을 흡착하고, 이 상태를 유지하여 +X 방향으로 이동한다. 이에 의해, 회전하는 세정 브러시(10)가 집합체(9)의 한쪽의 면을 세정한다. 세정부(E)에, 세정된 집합체(9)를 건조하기 위해 건조 공기 분사 기구를 마련하여도 좋다.
인출 모듈(B)은, 개편화 물품의 제조 장치(M1)의 외부에 복수의 전자 부품을 인출하는 모듈이다. 인출 모듈(B)은, 제2 반송 기구(11)와, 하향의 검사용 카메라(12)와, 인덱스 테이블(13)과, 이송 기구(pick and place 기구)(14)를 갖는다. 인출 모듈(B)은, 복수의 트레이(15)와, X 방향의 반송 레일(16)과, Y 방향의 반송 레일(17)을 갖는다. 제2 반송 기구(11)는, 제1 반송 기구(8)로부터 집합체(9)를 수취하여, 집합체(9)를 흡착하여 고정한다. 검사용 카메라(12)는, 집합체(9)가 갖는 다른 쪽의 면을 촬영한다. 촬영된 화상에 기초하여, 다른 쪽의 면의 외관 검사가 행해진다. 덧붙여, 상향의 별도의 검사용 카메라를 마련하여, 그 검사용 카메라가, 제1 반송 기구(8)에 흡착된 집합체(9)가 갖는 한쪽의 면을 촬영하여도 좋다.
검사된 집합체(9)는 인덱스 테이블(13)에 이송된다. 집합체(9)에 포함되는 복수의 전자 부품은 각각 이송 기구(14)에 의해 흡착된다. 복수의 전자 부품 중 검사의 결과 양품이라고 판정된 전자 부품은, 이송 기구(14)에 의해 흡착되어, X 방향의 반송 레일(16)과 Y 방향의 반송 레일(17)을 따라 이송된다. 최종적으로, 양품의 전자 부품은 복수의 트레이(15) 중 양품용의 트레이(15)에 수용된다. 복수의 전자 부품 중 검사의 결과 불량품이라고 판정된 전자 부품은, 복수의 트레이(15) 중 불량품용의 트레이(15)에 수용된다. 복수의 전자 부품 중 검사의 결과 수정품이라고 판정된 전자 부품은, 복수의 트레이(15) 중 수정품용의 트레이(15)에 수용된다.
인출 모듈(B)의 하부에는, 흡인 펌프(진공 펌프), 진공 이젝터 등을 갖는 흡인원(18)이 마련된다. 흡인원(18)은, 밀봉 완료 기판(2)을 절단용 스테이지(4)에 흡착하는 것, 집합체(9)를 제1 반송 기구(8) 및 제2 반송 기구(11)에 흡착하는 것, 각 전자 부품을 이송 기구(14)에 흡착하는 것 등을 목적으로 하여 마련된다. 흡인원(18)은, 배관 및 밸브(모두 도시 없음)를 통해 절단용 스테이지(4), 제1 반송 기구(8), 제2 반송 기구(11), 이송 기구(14) 등에 접속된다. 인출 모듈(B)의 하부에는, 고압 가스가 저장된 고압 가스 탱크로 이루어지는 가압원(19)이 마련된다. 개편화 물품의 제조 장치(M1)에는, 지금까지 설명한 각 구성 요소 및 각 동작을 제어하는 제어부(CTL)가 마련되어 있다.
도 2를 참조하여, 밀봉 완료 기판 및 복수의 전자 부품을 포함하는 집합체 및 이송 기구가 전자 부품을 이송하는 공정을 설명한다. 도 2의 (1)은 밀봉 완료 기판의 사시도이며, 도 2의 (2)는 복수의 전자 부품을 포함하는 집합체의 사시도이고, 도 2의 (3)은 이송 기구가 전자 부품을 이송하는 공정을 도시하는 개략 단면도이다.
도 2의 (1)에 나타내는 바와 같이, 밀봉 완료 기판(2)은, 전체 기판(20)과 전체 밀봉 수지(21)를 갖는다. 전체 기판(20)은, 가상적으로 마련된 격자형의 경계선(22)에 의해 복수의 영역(23)으로 구분된다. 복수의 영역(23)의 각각이, 도 2의 (2)에 나타낸 복수의 전자 부품(24)의 각각에 대응한다. 도 2의 (1) 및 (2)는 간략화된 도면이다. 도 2의 (1) 및 (2)는, 각각에 있어서의 가장 하방에 나타낸 각의 부분으로부터 왼쪽 위의 방향을 향하여 영역(23)이 4열 배열되고, 오른쪽 위의 방향을 향하여 영역(23)이 5열 배열되는 경우(4×5=20개 취득의 배열을 갖는 경우)를 나타낸다. 실제의 밀봉 완료 기판(2)은 훨씬 다수의 영역(23)이 양 방향을 따라 배열되는 배치를 갖는 경우가 많다.
도 2의 (3)에 나타낸 이송 기구(14)는, 인덱스 테이블(13)에 있어서 1열로 배열되는 전자 부품(24) 중 적어도 일부가 픽업되고 이송되어 수용되는, 미리 정해진 개수(예컨대 N개)의 오목부(25)를 갖는다. 이송 기구(14)는 오목부(25)의 각각에 있어서 전자 부품(24)을 흡착한다. N개의 오목부(25)의 각각에 대응하여 N개의 개별 배관(26)이 마련된다. N개의 개별 배관(26)은 각각 개구(27)를 갖는다. 오목부(25)와 개구(27)를 포함하는 흡착 패드(28)가, 흡착하는 부분(흡착부)으로서 기능한다. 이송 기구(14)는 트레이(15)의 상방까지 이동한다. 트레이(15)에는, 격자형으로 형성된 오목부로 이루어지는 수용부(29)가 마련된다. 도 2의 (3)에 나타내는 바와 같이, 이송 기구(14)의 오목부(25)와 트레이(15)의 수용부(29)는 동일한 중심간 거리를 갖는다.
N개의 전자 부품(24)에 대한 흡착은, 개별 배관(26)과 개구(27)와 오목부(25)를 사용하여 독립적으로 행해진다. 이송 기구(14)는, N개의 전자 부품(24)을 트레이(15)의 상방까지 반송하여 정지하고, N개의 전자 부품(24)에 대한 흡착을 정지한다. 이에 의해, 통상이라면, N개의 전자 부품(24)은 트레이(15)가 갖는 수용부(29)에 낙하하여 이송된다.
N개의 전자 부품(24)을 이송하는 공정에 있어서, 세정용의 물 등에 의해 전자 부품(24)이 젖어 있는 경우가 있다. 이 경우에는, 전자 부품(24)과 이송 기구(14)의 오목부(25)가 밀착하는 것에 기인하여, 전자 부품(24)이 낙하하지 않기 때문에 수용부(29)에 이송되지 않는다고 하는 사태가 발생할 우려가 있다. 이송 기구(14)가 갖는 N개의 흡착 패드(28)가 불소 고무, 실리콘 고무 등의 고무계 재료에 의해 구성되어 있는 경우에 있어서도, 동일한 사태가 발생할 우려가 있다. 이 사태의 발생을 막기 위해, N개의 전자 부품(24)에 대한 흡착을 정지한 직후에 개별 배관(26)으로부터 각 전자 부품(24)을 향하여 고압 가스를 분사한다. 이에 의해, N개의 전자 부품(24)의 전부를 확실하게 트레이(15)의 각 수용부(29)에 이송한다. 물품에 대한 흡착을 정지한 후에 그 물품에 고압 가스를 분사함으로써, 바꾸어 말하면 정압을 인가함으로써 그 물품을 확실하게 이탈시키는 것은, 종종 진공 파괴(vacuum brake)라고 불린다.
그런데, 이송 기구(14)가 1회의 동작에 의해 이송할 수 있는 상한의 개수 N개와, 트레이(15)가 갖는 수용부(29)의 1열에 상당하는 개수(예컨대, M개)는, 통상은 N<M이라고 하는 관계에 있다. 덧붙여, M이 N의 배수가 되는 경우는 적다. 따라서, 1회의 동작에 의해 N개를 이송할 수 있는 이송 기구(14)를 1회 또는 복수 회 사용하여, 수용부(29)의 1열에 상당하는 개수 M개의 전자 부품(24)을 이송하는 경우에 있어서(M이 N의 배수에는 상당하지 않는 것으로 함), 이송 기구(14)가 이송하는 전자 부품(24)의 수가 N개에 차지 않는 경우가 생긴다. 이 경우에는, 전자 부품(24)이 존재하지 않는 오목부(25)[도 2의 (3)에서는 이송 기구(14)의 좌단에 위치함]가 생긴다.
전자 부품(24)이 존재하지 않는 오목부(25)가 생기면, 그 오목부(25)가 갖는 개별 배관(26)에 연결되는 개구(27)로부터 트레이(15)를 향하여, 진공 파괴용의 고압 가스가 분사된다. 분사된 고압 가스는, 도 2의 (3)에 있어서 굵은 파선의 화살표로 나타낸다. 분사된 고압 가스에 의해, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 날릴 우려가 있다. 전자 부품(24)이 날림으로써, 첫번째로, 전자 부품(24)에 타흔(打痕) 등의 상처가 나는 경우가 있다. 두번째로, 전자 부품(24)이 제조 장치의 하부에까지 날려 전자 부품(24)이 손실되는 경우가 있다. 모두 전자 부품(24)의 수율(양품률)을 저하시키는 원인이 된다. 또한, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)은 도 2의 (3)에 있어서 앞쪽측 및 안쪽측에도 존재할 수 있다.
이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 고압 가스에 의해 날린다고 하는 트러블은, 이송 기구(14)가 이송할 수 있는 상한의 개수의 N개에 비해서 실제로 이송하는 개수가 적은 경우일수록 발생하기 쉽다고 하는 경향을 갖는다. 이 경향은, 모든(N개의) 전자 부품(24)을 확실하게 이탈시키는 것을 목적으로 하여 설정된 유량과 분사 시간을 갖는 고압 가스가 소수의 전자 부품(24)에 대하여 집중하여 분사되는 것에 기인한다. 구체적으로는, 이송 기구(14)에 유지된 소수의 전자 부품(24)이 이탈한 후에, 나머지 분사 시간 동안에 있어서 잉여의 고압 가스가 주위에 확산됨으로써, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 고압 가스에 의해 날린다. 가장 극단적인 예로서 실제로 이송하는 개수가 1개인 경우를 상정하면 이 경향을 이해하기 쉽다. 덧붙여, 전술한 트러블은, 전자 부품(24)이 소형화 또한 경량화된다고 하는 최근의 기술 동향에 기인하여 한층 더 발생하기 쉬워지고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2003-168659호 공보(제2-4 페이지, 제1-4 도)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 개편화 물품을 제조할 때에 개편화 물품을 용기에 이송하는 공정에 있어서, 이미 용기에 수용된 개편화 물품이 진공 파괴용으로 분사된 고압 가스에 의해 날리는 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 개편화 물품의 이송 방법은, 대상물을 절단함으로써 개편화된 개편화 물품을, 복수의 흡착 패드를 갖는 이송 기구에 의해 용기에 이송하는 개편화 물품의 이송 방법으로서,
개폐 밸브를 사용하여, 상기 복수의 흡착 패드가 각각 갖는 개구에 각각 연결되는 복수의 개별 배관이 접속될 수 있고 가압원에 연결되는 가압계 배관을 폐쇄하는 공정과,
흡인원에 접속된 흡인계 배관과 상기 가압계 배관을 전환하는 복수의 전환 밸브를 사용하여 상기 복수의 개별 배관과 가압계 배관을 접속하는 공정과,
상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어내는 공정과,
상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드에 연결되는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 연결되는 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착하는 공정과,
상기 이송 기구를 사용하여 상기 개편화 물품을 상기 용기의 상방까지 반송하는 공정과,
상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
상기 개폐 밸브를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여, 상기 개편화 물품에 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버리는 공정
을 포함하며,
상기 작동 패드 정보를 읽어내는 공정 후에,
상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출하는 공정과,
상기 작동 패드의 수에 따라 상기 분사 시간을 결정하는 공정
을 더 포함하고,
상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 작동 패드의 수가 많은 경우에는 상기 분사 시간을 길게 하며, 상기 작동 패드의 수가 적은 경우에는 상기 분사 시간을 짧게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 이송 방법에는,
상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수(少數) 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제1 분사 시간을 기억하는 공정과,
상기 복수의 흡착 패드 중 전수(全數) 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제2 분사 시간을 기억하는 공정
을 포함하고,
상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 작동 패드의 수에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제3 분사 시간을 산출하여 결정하는 양태가 있다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 이송 방법에는,
상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 양태가 있다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 방법은, 대상물을 절단하는 공정을 갖는 개편화 물품의 제조 방법으로서,
개폐 밸브를 사용하여, 복수의 흡착 패드가 각각 갖는 개구에 각각 연결되는 복수의 개별 배관이 접속될 수 있고 가압원에 연결되는 가압계 배관을 폐쇄하는 공정과,
흡인원에 접속된 흡인계 배관과 상기 가압계 배관을 전환하는 복수의 전환 밸브를 사용하여 상기 복수의 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어내는 공정과,
상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드에 연결되는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 연결되는 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착하는 공정과,
이송 기구를 사용하여 상기 개편화 물품을 용기의 상방까지 반송하는 공정과,
상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
상기 개폐 밸브를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여, 상기 개편화 물품에 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버리는 공정
을 포함하며,
상기 작동 패드 정보를 읽어내는 공정 후에,
상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출하는 공정과,
상기 작동 패드의 수에 따라 상기 분사 시간을 결정하는 공정
을 더 포함하고,
상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 작동 패드의 수가 많은 경우에는 상기분사 시간을 길게 하며, 상기 작동 패드의 수가 적은 경우에는 상기 분사 시간을 짧게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 방법에는,
상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제1 분사 시간을 기억하는 공정과,
상기 복수의 흡착 패드 중 전수 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제2 분사 시간을 기억하는 공정
을 포함하고,
상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 작동 패드의 수에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제3 분사 시간을 산출하여 결정하는 양태가 있다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 방법에는,
상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 양태가 있다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 장치는,
절단 수단과, 상기 절단 수단을 사용하여 대상물을 절단함으로써 개편화된 개편화 물품을 용기에 이송하는 이송 기구를 구비한 개편화 물품의 제조 장치로서,
상기 개편화 물품을 흡착하기 위한 흡인원과,
상기 흡인원에 접속된 흡인계 배관과,
상기 이송 기구에 마련되고, 복수의 상기 개편화 물품을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 패드와,
상기 복수의 흡착 패드에 각각 형성된 복수의 개구와,
상기 이송 기구에 마련되고, 상기 복수의 개구에 각각 접속된 복수의 개별 배관과,
상기 복수의 개별 배관에 고압 가스를 공급하여 상기 개편화 물품을 가압함으로써 상기 개편화 물품을 상기 복수의 흡착 패드로부터 날려 버리기 위한 가압원과,
상기 가압원에 접속된 가압계 배관과,
상기 가압계 배관에 마련되어 상기 가압계 배관을 개폐하는 개폐 밸브와,
상기 복수의 개별 배관에 각각 마련되고, 상기 복수의 개별 배관의 각각과 상기 흡인계 배관을 접속하거나, 또는 상기 복수의 개별 배관의 각각과 상기 가압계 배관을 접속하는 복수의 전환 밸브와,
적어도 상기 개폐 밸브와 상기 복수의 전환 밸브를 제어하는 제어부
를 구비하고,
상기 제어부는, 적어도 상기 개폐 밸브와 상기 복수의 전환 밸브를 이하와 같이 하여 제어한다.
[1] 상기 개편화 물품을 흡착하는 경우
(a) 상기개폐 밸브를 사용하여 상기 가압계 배관을 폐쇄한다.
(b) 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어낸다.
(c) 상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구에 연통하는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 마련된 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한다.
[2] 개편화 물품을 용기에 이송 배치하는 경우
(a) 상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출한다.
(b) 상기 작동 패드의 수에 따라, 상기 작동 패드의 수가 많은 경우에는 상기 개편화 물품에 상기 고압 가스가 분사되는 분사 시간을 길게 하고, 상기 작동 패드의 수가 적은 경우에는 상기 분사 시간을 짧게 하여, 미리 정해진 분사 시간을 결정한다.
(c) 상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속한다.
(d) 상기 개폐 밸브를 사용하여 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여 상기 개편화 물품에 상기 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버린다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 장치에는,
상기 제어부는 미리 정해진 분사 시간을 이하와 같이 하여 결정하는 양태가 있다.
(a) 상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제1 분사 시간을 기억한다.
(b) 상기 복수의 흡착 패드 중 전수 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제2 분사 시간을 기억한다.
(c) 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 복수의 흡착 패드 중 작동 패드의 수에 있어서 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 제3 분사 시간을 산출하여 결정한다.
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 장치에는,
상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 적정한 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 양태가 있다.
본 발명에 따르면, 미리 정해진 분사 시간만 가압계 배관을 개방함으로써, 가압원과, 가압계 배관과, 작동 개별 배관과, 작동 패드가 갖는 개구를 순차 경유하여 개편화 물품에 고압 가스를 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여, 용기를 향하여 개편화 물품을 날려 버린다. 작동 패드 정보에 기초하여 기억한 작동 패드의 수에 따라 미리 정해진 분사 시간을 결정한다. 작동 패드의 수가 많은 경우에는 미리 정해진 분사 시간을 길게 하고, 작동 패드의 수가 적은 경우에는 미리 정해진 분사 시간을 짧게 한다. 이에 의해, 이미 용기에 수용된 개편화 물품이 진공 파괴용으로 분사된 고압 가스에 의해 날리는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 개편화 물품의 제조 장치의 예를 나타내는 개략 평면도.
도 2의 (1)은 밀봉 완료 기판의 사시도이고, (2)는 복수의 전자 부품을 포함하는 집합체의 사시도이며, (3)은 이송 기구가 트레이에 전자 부품을 이송하는 공정을 나타내는 개략 단면도.
도 3은 개편화 물품의 제조 장치의 배관계와 이송 기구와 복수의 개편화 물품을 흡착한 상태를 나타내는 개략도.
도 4는 개편화 물품의 제조 장치에 있어서 복수의 개편화 물품을 이송하는 공정을 나타내는 개략도.
개폐 밸브(35)를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 각 가압계 배관(33)을 개방함으로써, 가압원(19)과 가압계 배관(33)과 작동 전환 밸브(30op)와 작동 개별 배관(26op)과 작동 패드(28op)가 갖는 개구(27)를 순차 경유하여 전자 부품(24)에 고압 가스를 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여, 트레이(15)를 향하여 전자 부품(24)을 날려 버린다. 작동 패드 정보에 기초하여 기억한 작동 패드(28op)의 수에 따라 미리 정해진 분사 시간을 결정한다. 구체적으로는, 작동 패드(28op)의 수가 많은 경우에는 미리 정해진 분사 시간을 길게하여, 작동 패드(28op)의 수가 적은 경우에는 미리 정해진 분사 시간을 짧게 한다.
(실시예 1)
도 1과 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 장치가 갖는 배관계와 이송 기구를 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 개편화 물품의 제조 장치(1A)에 마련된 이송 기구(14)(도 1 참조)는, 제어부(CTL)에 의해 제어되는 모터(M)(도 3 참조)에 의해 이동한다. 이송 기구(14)는 N개의 개별 배관(26)을 갖는다. N개의 개별 배관(26)의 각각에는 전환 밸브(30)가 마련된다. N개의 전환 밸브(30)의 한쪽은 흡인계 배관(31)에 접속된다. 흡인계 배관(31)은 흡인계 공통 배관(32)을 통해 흡인원(18)에 접속된다. 전환 밸브(30)의 한쪽은, 가압계 배관(33)과 가압계 공통 배관(34)과 개폐 밸브(35)를 순차적으로 통해 가압원(19)에 접속된다.
도 3에 있어서, 흡착 또는 고압 가스의 분사에 관여하여 작동하는 구성 요소가 다음과 같이 나타난다. N개의 개별 배관(26) 중 작동하는 것이 작동 개별 배관(26op)으로서 나타난다. N개의 흡착 패드(28) 중 작동하는 것이 작동 패드(28op)로서 나타난다. N개의 전환 밸브(30) 중 흡착 또는 분사에 관여하여 작동하는 것이 작동 전환 밸브(30op)로서 나타난다.
제어부(CTL)는, 다음과 같이 하여 N개의 전환 밸브(30)와 1개의 개폐 밸브(35)를 제어한다. 첫번째로, 개폐 밸브(35)에 신호를 공급하여, 개폐 밸브(35)를 개폐시킨다. 이에 의해, 가압계 배관(33)의 전부가 일괄하여, 가압원(19)에 접속되거나, 또는, 가압원(19)으로부터 차단된다.
두번째로, N개의 전환 밸브(30)의 각각에 신호를 공급하여, 개별 배관(26)과 흡인계 배관(31)을 접속하거나, 또는 개별 배관(26)과 가압계 배관(33)을 접속한다. 이들의 접속은, 제어부(CTL)가 기억하는 특정 정보에 기초하여 개별 배관(26)마다 독립적으로 행해진다. 그 정보는, 전자 부품(24)이 흡착되는 흡착 패드(28)는 어떤 흡착 패드(28)인지에 관한 정보이다. 바꾸어 말하면, 그 정보는, N개의 흡착 패드(28) 중 어떤 흡착 패드(28)를 작동시켜야 하는지에 관한 정보(이하 「작동 패드 정보」라고 함)이다.
작동 패드 정보는, 대응하는 전자 부품(24)이 없는 흡착 패드(28)가 존재하는지의 여부 및 존재한다고 한다면 어떤 흡착 패드(28)인지를 나타내는 정보이다. 작동 패드 정보는, 도 1에 나타낸 인덱스 테이블(13)에 있어서의 전자 부품(24)의 배치와, 이송 기구(14)가 1회의 동작에 의해 이송할 수 있는 상한의 개수인 N개와, 트레이(15)가 갖는 수용부(29)의 1열에 상당하는 개수인 M개에 기초하여, 제어부(CTL)에 의해 산출되어 기억 수단(도시 없음)에 기억된다.
도 3과 도 4를 참조하여, 이송 기구(14)의 동작을 설명한다. 이송 기구(14)의 동작에 있어서의 제1 공정으로서, 도 1에 나타낸 인덱스 테이블(13)로부터, 이송 기구(14)가 전자 부품(24)을 흡착하는 공정을 설명한다.
도 3은 이송 기구(14)가 1회의 동작에 의해 이송할 수 있는 상한의 개수인 N개에 차지 않는 개수의 전자 부품(24)을 이송 기구(14)가 흡착하여 이송하는 경우를 나타낸다. 도 3은 이송 기구(14)의 우단의 2개의 흡착 패드(28)에 있어서 대응하는 전자 부품(24)이 없는 경우를 나타낸다.
제어부(CTL)는 다음과 같이 하여 이송 기구(14)를 동작시킨다. 우선, 개폐 밸브(35)에 신호를 공급하여 개폐 밸브(35)를 폐쇄한다. N개의 전환 밸브(30)의 각각에 신호를 공급하여, 개별 배관(26)과 가압계 배관(33)을 접속한다. 이들에 의해, 각 흡착 패드(28)에 있어서는 흡착도 고압 가스의 분사도 행해지지 않는 상태가 된다.
다음에, 제어부(CTL)는, 모터(M)에 신호를 공급하여, 모터(M)를 사용하여 이송 기구(14)를 인덱스 테이블(13)(도 1을 참조)의 상방에 있어서의 미리 정해진 장소까지 이동시킨다. 별도의 모터(도시 없음)에 신호를 공급하여, 그 모터에 의해 이송 기구(14)를 하강시킨다. 이들에 의해, 각 흡착 패드(28)에 대응하는 전자 부품(24)의 바로 위로서 바로 근처에 각 흡착 패드(28)가 위치하도록, 이송 기구(14)가 이동한다.
다음에, 제어부(CTL)는, 도 3에 나타낸 이송 기구(14)에 있어서의 우단의 2개의 흡착 패드(28)에 있어서 대응하는 전자 부품(24)이 없는 것을 나타내는 작동 패드 정보를, 기억 수단으로부터 읽어낸다(취득한다). 이 작동 패드 정보는, 이송 기구(14)가 인덱스 테이블(13)의 상방에 있어서의 미리 정해진 장소까지 이동한 후에 광학 센서 등에 의해 얻어진 전자 부품(24)의 유무에 관한 정보여도 좋다.
다음에, 제어부(CTL)는, 작동 패드 정보에 기초하여, 도 2에 나타낸 흡착 패드(28) 중에, 도 3에 있어서 대응하는 전자 부품(24)이 없는 우단의 2개의 흡착 패드(28) 이외의 것을, 작동시켜야 하는 작동 패드(28op)로 결정한다. 이에 따라, 도 2에 나타낸 N개의 개별 배관(26) 중 우단의 2개의 개별 배관(26) 이외의 것이 작동 개별 배관(26op)으로 결정되고, N개의 전환 밸브(30) 중 작동 개별 배관(26op)에 연결되는 것이 작동 전환 밸브(30op)로 결정된다.
다음에, 제어부(CTL)는, 작동 전환 밸브(30op)에 신호를 공급하여, 작동 개별 배관(26op)과 흡인계 배관(31)을 접속한다. 이에 의해, 우단의 2개의 흡착 패드(28) 이외의 (N-2)개의 작동 패드(28op)에 있어서, 대응하는 전자 부품(24)을 흡착한다. 도 3에 있어서는, 흡착에 기여하는 흡기가 굵은 파선의 화살표에 의해 가상적으로 나타난다.
지금까지의 공정에 따르면, 전자 부품(24)을 흡착하는 경우에 있어서, 대응하는 전자 부품(24)이 없는 우단의 2개의 흡착 패드(28)에 있어서는 흡인이 행해지지 않는다. 이에 의해, 이들 흡착 패드(28)에 있어서의 불필요한 흡인이 행해지지 않게 된다. 따라서, 각 작동 패드(28op)에 있어서의 흡착력의 저하가 방지된다.
이송 기구(14)의 동작에 있어서의 제2 공정으로서, 도 3과 도 4를 참조하여, 도 1에 나타낸 이송 기구(14)가 흡착한 전자 부품(24)을 트레이(15)에 옮겨 담는 공정을 설명한다.
우선, 이송 기구(14)가 (N-2)개의 전자 부품(24)을 흡착한 후에, 제어부(CTL)는 모터(도시 없음)에 신호를 공급하여, 그 모터에 의해 이송 기구(14)를 상승시킨다. 그 후에, 모터(M)에 신호를 공급하여, 모터(M)를 사용하여 이송 기구(14)를 트레이(15)(도 1 참조)의 상방에 있어서의 미리 정해진 장소까지 이동시킨다. 이 장소에 있어서, 이제부터 전자 부품(24)이 수용되는 트레이(15)가 갖는 수용부(29)와 이송 기구(14)가 갖는 흡착 패드(28)가 서로 마주본다. 도 3은 이 시점에 있어서의 이송 기구(14)의 상태를 나타낸다.
다음에, 도 3에 나타낸 상태로부터, 제어부(CTL)는, 모터(도시 없음)에 신호를 공급하여, 그 모터에 의해 이송 기구(14)를 하강시킨다. 이에 의해, 트레이(15)가 갖는 수용부(29) 중 이제부터 전자 부품(24)을 수용하고자 하는 수용부(29)의 바로 위로서 이들 수용부(29)의 바로 근처까지, 이송 기구(14)가 하강한다. 도 4는 이 시점에 있어서의 이송 기구(14)의 위치를 나타낸다.
다음에, 도 3에 나타낸 상태로부터, 제어부(CTL)는, 작동 전환 밸브(30op)에 신호를 공급하여, 작동 개별 배관(26op)과 가압계 배관(33)을 접속한다. 이에 의해, 모든 작동 패드(28op)에 있어서 흡인원(18)에 의한 흡인을 정지한다. 실제로 전자 부품(24)을 흡착하는 것은 우단의 2개 이외의 작동 패드(28op)이기 때문에, 이들 (N-2)개의 작동 패드(28op)에 있어서 전자 부품(24)에 대한 흡착을 정지한다. 흡착이 정지된 전자 부품(24)은, 통상이라면 낙하하여 바로 아래에 위치하는 수용부(29)에 수용된다.
또한, 도 3에 나타낸 시점에 있어서, 개폐 밸브(35)에 의해 가압계 배관(33)의 전부가 일괄하여 가압원(19)으로부터 차단된 상태에 있다. 따라서, 도 3에 나타낸 상태의 후로서 흡인이 정지된 시점, 바꾸어 말하면 작동 개별 배관(26op)과 가압계 배관(33)이 접속된 시점에 있어서는, 각 흡착 패드(28)에 있어서는 흡착도 고압 가스의 분사도 행해지지 않는다.
이 시점에 있어서, 도 4에 나타낸 오른쪽에서 3번째의 전자 부품(24)과 같이 전자 부품(24)이 낙하하지 않는 경우가 있다. 이것은, 전자 부품(24)이 젖어 있는 것, 흡착 패드(28)가 고무계 재료에 의해 구성되어 있는 것 등에 기인하여, 전자 부품(24)과 흡착 패드(28)의 오목부(25)가 밀착함으로써 생긴다.
도 3에 나타낸 흡착 패드(28) 중 어떤 흡착 패드(28)에 있어서 전자 부품(24)이 밀착하여 남아 있는지를 알기 위해서는, 모든 흡착 패드(28)를 대상으로 하여 센서를 마련할 필요가 있다. 이들 센서를 마련하는 것은 비용을 요한다. 비용을 삭감하기 위해 센서를 마련하지 않는 경우에는, 어떤 흡착 패드(28)에 있어서 전자 부품(24)과 오목부(25)가 밀착하여 남아 있는지를 알 수는 없다. 따라서, 모든 전자 부품(24)을 확실하게 낙하시키기 위해서는, 도 3에 나타낸 흡착 패드(28)의 전부를 작동 패드(28op)로 하여, 모든 개구(27)로부터 고압 가스를 분사할 필요가 있다.
제어부(CTL)는, 모든 개구(27)로부터 고압 가스를 분사하기 위해, 개폐 밸브(35)에 신호를 공급하여 개폐 밸브(35)를 개방한다. 이에 의해, 모든 흡착 패드(28)에 있어서의 개구(27)로부터 고압 가스를 분사한다. 따라서, 모든 전자 부품(24)을 확실하게 낙하시켜 각 수용부(29)에 수용시킬 수 있다. 후술하는 바와 같이, 고압 가스를 분사하는 시간(고압 가스의 분사 시간)은, 제어부(CTL)에 의해 미리 결정된다.
도 4는 흡착이 정지된 시점에 있어서 좌측의 3개의 전자 부품(24)이 낙하하고, 오른쪽에서 3번째의 전자 부품(24)이 낙하하지 않은 경우로서, 또한, 오른쪽에서 3번째의 전자 부품(24)이 오목부(25)에 밀착한 상태로부터 날리기 시작한 직후의 상태를 나타낸다.
이 경우에 있어서, 전자 부품(24)이 존재하지 않는 오목부(25)(도 4에서는 우단의 2개)에 있어서의 개구(27)로부터도 트레이(15)를 향하여 고압 가스가 분사된다. 분사된 고압 가스는, 도 4에 있어서 굵은 파선의 화살표로 나타난다. 분사된 고압 가스에 의해, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)[전자 부품(24r)은, 도 4에 있어서 앞쪽측 또는 안쪽측에도 존재할 수 있음]이 날릴 우려가 있다.
제어부(CTL)는, 취득한 작동 패드 정보에 기초하여, 고압 가스의 분사 시간을 다음과 같이 하여 결정한다. 우선, 작동 패드 정보에 기초하여 작동 패드(28op)의 수를 산출한다. 다음에, 작동 패드(28op)의 수에 따라 분사 시간을 산출하여 결정한다. 구체적으로는, 작동 패드(28op)의 수가 많은 경우에는 분사 시간을 길게 설정하고, 작동 패드(28op)의 수가 적은 경우에는 분사 시간을 짧게 설정하여, 분사 시간을 결정한다.
본 실시예에 따르면, 작동 패드(28op)의 수가 적은 경우(가장 극단적인 예는, 실제로 이송하는 개수가 1개인 경우)에는 분사 시간을 짧게 설정한다. 이에 의해, 모든(N개의) 전자 부품(24)을 확실하게 이탈시키는 것을 목적으로 하여 설정된 유량을 갖는 고압 가스가, 소수의 전자 부품(24)에 대하여 집중하여 분사되는 시간이 단시간이 된다. 따라서, 소수의(예컨대 1개의) 전자 부품(24)이 이탈한 후에 잉여의 고압 가스가 주위로 확산되는 시간이 짧아진다. 따라서, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 고압 가스에 의해 날리는 것을 억제할 수 있다.
덧붙여, 본 실시예에 따르면, 작동 패드(28op)의 수가 많은 경우에는 분사 시간을 길게 설정한다. 가장 극단적인 예로서 실제로 이송하는 개수가 N개인 경우에는, N개의 전자 부품(24)을 확실하게 이탈시키는 것을 목적으로 하여 설정된 유량과 분사 시간을 갖는 고압 가스를 N개의 전자 부품(24)에 대하여 분사한다. 따라서, 모든(N개의) 전자 부품(24)을 확실하게 이탈시킬 수 있다.
덧붙여, 본 실시예에 따르면, 모든 흡착 패드(28)에 있어서 센서를 마련하지 않는다. 따라서, 비용을 요하는 일없이, 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 고압 가스에 의해 날리는 것을 억제할 수 있다.
또한, 이송 기구(14)가 실제로 이송하는 전자 부품(24)의 수가 이송할 수 있는 상한의 개수인 N개에 차지 않는 경우가 생기는 별도의 요인이 있다. 그 요인은, 검사[예컨대, 도 1에 나타낸 카메라(12)를 사용한 외관 검사]의 결과 양품이라고 판정된 전자 부품(24)만을 이송 기구(14)가 이송하는 것이다. 양품의 전자 부품(24)을 선택하는 양태로서는, 첫번째로, 불량품에 첨부된 마크에 기초하여 양품의 전자 부품(24)을 선택하는 경우가 있다. 두번째로, 양품과 불량품을 나타내는 맵핑 정보에 기초하여 양품의 전자 부품(24)을 선택하는 경우가 있다. 이들 경우에 있어서는, 마크를 화상 인식하여 얻어진 불량품을 특정하는 정보 및 맵핑 정보가, 작동 패드 정보에 상당한다.
(실시예 2)
본 발명에 따른 개편화 물품의 제조 방법에 있어서의 고압 가스의 분사 시간과 고압 가스의 유량을 결정하는 방법을 설명한다. 이 방법은, 개편화 물품인 전자 부품(24)에 대해서, 크기, 형상, 중량, 재료, 표면의 평활성 등이 여러가지인 것을 고려하여, 전자 부품(24)의 종류마다, 시리즈마다 실시하는 것이 바람직하다. 예컨대, 전자 부품(24)이 갖는 밀봉 수지가 부드러운 실리콘 수지인 경우에는, 전자 부품(24)과 오목부(25)가 밀착하는 빈도가 높아진다.
우선, 실제로 이송하는 전자 부품(24)의 개수가 최다인 경우, 즉 N개인 경우에 있어서, 최적의 분사 조건을 실험에 의해 결정한다. 이 경우에 있어서의 분사 조건은, N개의 전자 부품(24)을 확실하게 이탈시킬 수 있는, 분사 시간(Tn)과 전자 부품 1개당의 유량(Fn)의 조합이다. N이 매우 많은 경우에 있어서는, N개에 차지 않는 다수 개(X)[예컨대, X=(N-1), (N-2), ···개]의 전자 부품(24)을 사용하여 결정하여도 좋다. 여기서, 다수 개(X)로서는, 최적의 분사 조건이라고 하는 관점에서 N개와 실질적으로 동일시할 수 있는 정도의 개수를 말할 수 있다. 이 개수로서는, 0.9×N(개)를 예시할 수 있다.
다음에, 실제로 이송하는 전자 부품의 개수가 최소인 경우, 즉 1개인 경우에 있어서, 최적의 분사 조건을 실험에 의해 결정한다. 이 경우에 있어서의 분사 조건은, 그 1개의 전자 부품을 확실하게 이탈시킬 수 있고, 또한 그 1개의 근방에 있어서 이미 트레이(15)에 수용된 전자 부품(24r)이 날리지 않는 정도의, 분사 시간(T1)과 전자 부품 1개당의 유량(F1)의 조합이다. N이 매우 많은 경우에 있어서는, 1개를 넘는 소수 개(Y)(예컨대, 1, 2, ···개)의 전자 부품을 사용하여 결정하여도 좋다. 여기서, 소수 개(Y)로서는, 최적의 분사 조건이라는 관점에서 1개와 실질적으로 동일시할 수 있는 정도의 개수를 말한다. 이 개수로서는, 0.1×N(개)를 예시할 수 있다.
다음에, 전술한 2개의 최적의 분사 조건에 기초하여, 두 가지의 그래프를 작성한다. 제1 그래프는, 횡축에 전자 부품의 개수를, 종축에 고압 가스의 분사 시간을 각각 취하고, 전자 부품의 개수인 1 및 N과, 각각 대응하는 고압 가스의 분사 시간(T1 및 Tn)을 플롯한 그래프이다. 제2 그래프는, 횡축에 전자 부품의 개수를, 종축에 고압 가스의 분사 시간을 각각 취하고, 전자 부품의 개수인 1 및 N과, 각각 대응하는 전자 부품 1개당의 고압 가스의 유량(F1 및 Fn)을 플롯한 그래프이다. 이들 2종류의 그래프를 사용하여, 실제로 이송하는 전자 부품의 개수가 2개 이상이며 (N-1)개 이하인 경우에 대해서, 최적의 분사 시간과 최적의 유량을 보간하여 산출한다. 이들 최적의 분사 시간과 최적의 유량의 복수 개의 조합을, 룩업 테이블(lookup table)로서 제어부(CTL)에 기억시키는 것이 바람직하다.
본 실시예에 따르면, 미리 적어도 2개의 경우에 있어서의 최적의 분사 조건을 실험에 의해 결정한다. 그 실험에 의해 얻어진 실측값에 기초하여 다른 경우에 있어서의 최적의 분사 조건을 산출하여, 이들의 분사 조건을 제어부(CTL)에 기억시킨다. 따라서, 제어부(CTL)가, 작동 패드 정보에 기초하여 룩업 테이블로부터 대응하는 최적의 분사 조건을 찾아내어, 그 최적의 분사 조건에 따라 개폐 밸브(35)를 제어할 수 있다. 이송하는 전자 부품의 수가 1개부터 N개까지의 모든 경우에 있어서 최적의 분사 시간과 최적의 유량의 조합을 찾아내어, 이들 N개의 편성을 제어부(CTL)에 기억시켜도 좋다.
또한, 전술한 각 실시예에 있어서, 대상물로서의 밀봉 완료 기판(2)은, 그 밀봉 완료 기판(2)을 절단하여 LED 패키지, CCD 등의 광 소자(광학계 전자 부품)를 제조하는 경우에 있어서의, 투광성 수지를 포함하는 밀봉 완료 기판이어도 좋다. 대상물은, 밀봉 완료 기판 이외에, 실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼류, 유리 기판, 세라믹스 기판 등의 기판류여도 좋다. 대상물은, 실리콘 웨이퍼 등으로서 복수의 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)가 삽입된 기판류여도 좋다.
대상물은, 밀봉 완료 기판 이외에, 투광성 수지를 포함하는 수지 성형체를 절단하여 광학 렌즈, 광 통신 부품, 도광판 등의 광학계의 물품을 제조하는 경우에 있어서의 수지 성형체여도 좋다. 특히, 광 소자나 광학계의 물품을 제조하는 경우에 있어서 타흔 등의 상처가 발생하는 것은, 수율 저하의 원인이 된다. 본 발명에 따르면, 광소자나 광학계의 물품에 상처가 발생하는 것을 방지함으로써, 광 소자나 광학계의 물품을 제조할 때의 수율을 향상시킬 수 있다. 대상물은, 광학계의 물품 이외의 일반적인 수지 성형품이어도 좋다. 바꾸어 말하면, 대상물을 절단하여 개편화할 때에 상처의 발생을 피하고자 하는 경우에 있어서 본 발명을 적용할 수 있다.
절단 수단으로서는, 회전날(17) 외에, 레이저 광, 워터 제트, 와이어 소우, 밴드 소우, 블라스트, 또는 전체 기판(20)에 있어서의 경계선(22)에 마련된 홈을 이용하는 분할 중 적어도 어느 하나를 사용할 수 있다.
가압원에 저장되는 고압 가스로서는 압축 공기를 사용할 수 있다. 압축 공기 외에, 공장에 있어서 입수할 수 있는 기체, 예컨대 질소 가스 등을 압축한 고압 가스를 사용할 수 있다.
지금까지, 이송 기구(14)에 복수의 흡착 패드(28)가 일체화되어 마련된 예를 설명하였다. 이 예에 한정되지 않고, 복수의 흡착 패드(28)가 독립적으로, 바꾸어 말하면 개개의 부재로서 마련되어도 좋다.
여기까지, 절단 수단을 갖는 제조 장치에 삽입된 이송 기구에 관해서 설명하였다. 이 예에 한정되지 않고, 절단 수단을 갖지 않는 제조 장치에 삽입된 이송 기구에 대해서도, 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 본 발명은, 전술한 각 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라, 임의로 또한 적절하게 조합, 변경하거나, 또는 선택하여 채용할 수 있는 것이다.
1 : 프레스티지 2 : 밀봉 완료 기판(대상물)
3 : 절단용 이송 기구 4 : 절단용 스테이지
5 : 스핀들 6 : 회전날(절단 수단)
7 : 세정 기구 8 : 제1 반송 기구
9 : 집합체 10 : 세정 브러시
11 : 제2 반송 기구 12 : 검사용 카메라
13 : 인덱스 테이블 14 : 이송 기구
15 : 트레이(용기) 16, 17 : 반송 레일
18 : 흡인원 19 : 가압원
20 : 전체 기판 21 : 전체 밀봉 수지
22 : 경계선 23 : 영역
24 : 전자 부품(개편화 물품) 25 : 오목부
26 : 개별 배관 26op : 작동 개별 배관
27 : 개구 28 : 흡착 패드
28op : 작동 패드 29 : 수용부
30 : 전환 밸브 30op : 작동 전환 밸브
31 : 흡인계 배관 32 : 흡인계 공통 배관
33 : 가압계 배관 34 : 가압계 공통 배관
35 : 개폐 밸브 A : 절단 모듈
B : 인출 모듈 C : 수납부
CTL : 제어부 D : 절단부
E : 세정부 M : 모터
M1 개편화 물품의 제조 장치

Claims (9)

  1. 대상물을 절단함으로써 개편화된 개편화 물품을, 복수의 흡착 패드를 갖는 이송 기구에 의해 용기에 이송하는 개편화 물품의 이송 방법으로서,
    개폐 밸브를 사용하여, 상기 복수의 흡착 패드가 각각 갖는 개구에 각각 연결되는 복수의 개별 배관이 접속될 수 있고 가압원에 연결되는 가압계 배관을 폐쇄하는 공정과,
    흡인원에 접속된 흡인계 배관과 상기 가압계 배관을 전환하는 복수의 전환 밸브를 사용하여 상기 복수의 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
    상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어내는 공정과,
    상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드에 연결되는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 연결되는 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착하는 공정과,
    상기 이송 기구를 사용하여 상기 개편화 물품을 상기 용기의 상방까지 반송하는 공정과,
    상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
    상기 개폐 밸브를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여, 상기 개편화 물품에 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버리는 공정
    을 포함하며,
    상기 작동 패드 정보를 읽어내는 공정 후에,
    상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출하는 공정과,
    상기 작동 패드의 수에 따라 상기 분사 시간을 결정하는 공정
    을 더 포함하고,
    상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 작동 패드의 수가 많아지는 경우에는 상기 분사 시간을 길어지게 하며, 상기 작동 패드의 수가 적어지는 경우에는 상기 분사 시간을 짧아지게 하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 이송 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수(少數) 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제1 분사 시간을 기억하는 공정과,
    상기 복수의 흡착 패드 중 전수(全數) 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제2 분사 시간을 기억하는 공정
    을 포함하고,
    상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 작동 패드의 수에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제3 분사 시간을 산출하여 결정하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 이송 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
    상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 이송 방법.
  4. 대상물을 절단하는 공정을 갖는 개편화 물품의 제조 방법으로서,
    개폐 밸브를 사용하여, 복수의 흡착 패드가 각각 갖는 개구에 각각 연결되는 복수의 개별 배관이 접속될 수 있고 가압원에 연결되는 가압계 배관을 폐쇄하는 공정과,
    흡인원에 접속된 흡인계 배관과 상기 가압계 배관을 전환하는 복수의 전환 밸브를 사용하여 상기 복수의 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
    상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어내는 공정과,
    상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드에 연결되는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 연결되는 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착하는 공정과,
    이송 기구를 사용하여 상기 개편화 물품을 용기의 상방까지 반송하는 공정과,
    상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속하는 공정과,
    상기 개폐 밸브를 사용하여 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여, 상기 개편화 물품에 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버리는 공정
    을 포함하며,
    상기 작동 패드 정보를 읽어내는 공정 후에,
    상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출하는 공정과,
    상기 작동 패드의 수에 따라 상기 분사 시간을 결정하는 공정
    을 더 포함하고,
    상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 작동 패드의 수가 많아지는 경우에는 상기 분사 시간을 길어지게 하며, 상기 작동 패드의 수가 적어지는 경우에는 상기 분사 시간을 짧아지게 하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제1 분사 시간을 기억하는 공정과,
    상기 복수의 흡착 패드 중 전수 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제2 분사 시간을 기억하는 공정
    을 포함하고,
    상기 분사 시간을 결정하는 공정에 있어서는, 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 작동 패드의 수에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제3 분사 시간을 산출하여 결정하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
    상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 방법.
  7. 절단 수단과, 상기 절단 수단을 사용하여 대상물을 절단함으로써 개편화된 개편화 물품을 용기에 이송하는 이송 기구를 구비한 개편화 물품의 제조 장치로서,
    상기 개편화 물품을 흡착하기 위한 흡인원과,
    상기 흡인원에 접속된 흡인계 배관과,
    상기 이송 기구에 마련되고, 복수의 상기 개편화 물품을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 패드와,
    상기 복수의 흡착 패드에 각각 형성된 복수의 개구와,
    상기 이송 기구에 마련되고, 상기 복수의 개구에 각각 접속된 복수의 개별 배관과,
    상기 복수의 개별 배관에 고압 가스를 공급하여 상기 개편화 물품을 가압함으로써 상기 개편화 물품을 상기 복수의 흡착 패드로부터 날려 버리기 위한 가압원과,
    상기 가압원에 접속된 가압계 배관과,
    상기 가압계 배관에 마련되어 상기 가압계 배관을 개폐하는 개폐 밸브와,
    상기 복수의 개별 배관에 각각 마련되고, 상기 복수의 개별 배관의 각각과 상기 흡인계 배관을 접속하거나, 또는 상기 복수의 개별 배관의 각각과 상기 가압계 배관을 접속하는 복수의 전환 밸브와,
    적어도 상기 개폐 밸브와 상기 복수의 전환 밸브를 제어하는 제어부
    를 구비하고,
    상기 제어부는, 적어도 상기 개폐 밸브와 상기 복수의 전환 밸브를 이하와 같이 하여 제어하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 장치.
    [1] 상기 개편화 물품을 흡착하는 경우
    (a) 상기 개폐 밸브를 사용하여 상기 가압계 배관을 폐쇄한다.
    (b) 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 개편화 물품을 흡착하는 작동 패드를 특정하는 작동 패드 정보를 읽어낸다.
    (c) 상기 복수의 전환 밸브 중 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구에 연통하는 상기 개별 배관으로 이루어지는 작동 개별 배관에 마련된 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 접속함으로써, 상기 작동 패드에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한다.
    [2] 상기 개편화 물품을 용기에 이송 배치하는 경우
    (a) 상기 작동 패드 정보에 기초하여 상기 작동 패드의 수를 산출한다.
    (b) 상기 작동 패드의 수에 따라, 상기 작동 패드의 수가 많아지는 경우에는 상기 개편화 물품에 상기 고압 가스가 분사되는 분사 시간을 길어지게 하고, 상기 작동 패드의 수가 적어지는 경우에는 상기 분사 시간을 짧아지게 하여, 미리 정해진 분사 시간을 결정한다.
    (c) 상기 작동 전환 밸브를 사용하여 상기 작동 개별 배관과 상기 흡인계 배관을 차단하고, 상기 작동 개별 배관과 상기 가압계 배관을 접속한다.
    (d) 상기 개폐 밸브를 사용하여 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 상기 가압계 배관을 개방함으로써, 상기 가압원과, 상기 가압계 배관과, 상기 작동 개별 배관과, 상기 작동 패드가 갖는 상기 개구를 순차 경유하여 상기 개편화 물품에 상기 고압 가스를 상기 미리 정해진 분사 시간만큼 분사하여 상기 용기를 향하여 상기 개편화 물품을 날려 버린다.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 미리 정해진 분사 시간을 이하와 같이 하여 결정하는 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 장치.
    (a) 상기 복수의 흡착 패드 중 1개를 포함하는 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제1 분사 시간을 기억한다.
    (b) 상기 복수의 흡착 패드 중 전수 개를 포함하는 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제2 분사 시간을 기억한다.
    (c) 상기 미리 정해진 분사 시간으로서, 상기 제1 분사 시간과 상기 제2 분사 시간에 기초하여, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 작동 패드의 수에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 제3 분사 시간을 산출하여 결정한다.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 분사 시간은, 상기 소수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간이고,
    상기 제2 분사 시간은, 상기 다수 개에 있어서 상기 개편화 물품을 흡착한 경우에 있어서의 분사 시간으로서 실측값에 기초하여 미리 얻어진 시간인 것을 특징으로 하는 개편화 물품의 제조 장치.
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