JP5858837B2 - 吸引保持手段の被加工物離脱方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例の一部を示す図である。図2は、実施形態1に係る切削装置のチャックテーブル及び被加工物としてのパッケージ基板などを示す斜視図である。図3は、実施形態1に係る切削装置のチャックテーブルなどの要部の構成を示す図である。図4は、実施形態1に係る切削装置の切削加工中のチャックテーブルなどの要部の構成を示す図である。図5は、実施形態1に係る切削装置の個々に分割されたデバイスを搬送手段により搬送し始められるチャックテーブルなどの要部の構成を示す図である。図6は、実施形態1に係る切削装置の個々に分割されたデバイスが離脱したチャックテーブルなどの要部の構成を示す図である。図7は、実施形態1に係る切削装置の動作を示すフローチャートである。
次に、実施形態2に係る吸引保持手段の被加工物離脱方法を説明する。なお、実施形態1と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。図8は、実施形態2に係る切削装置の構成例の一部を示す図である。図9は、実施形態2に係る被加工物としてのウエーハなどを示す斜視図である。図10は、実施形態2に係る切削装置の搬送手段の吸引保持手段及び被加工物としてのウエーハなどを示す斜視図である。図11は、実施形態2に係る切削装置の搬送中の搬送手段の吸引保持手段などの構成を示す図である。図12は、実施形態2に係る切削装置の載置場所にウエーハなどを載置した搬送手段の吸引保持手段などの構成を示す図である。図13は、実施形態2に係る切削装置のウエーハの離脱中の搬送手段の吸引保持手段などの構成を示す図である。
10a 表面(保持部)
30 搬送手段(吸引保持手段)
30a 下面(保持部)
83 吸引保持手段
85 パッド(保持部)
P パッケージ基板(被加工物)
D1 デバイス(被加工物)
W 被加工物
S2 位置づけステップ
S3 離脱ステップ
Claims (1)
- 吸引保持手段の保持部に保持された被加工物を所定の処理終了後に該吸引保持手段から離脱させる吸引保持手段の被加工物離脱方法であって、
該所定の処理を実施後、該被加工物を吸引保持した該吸引保持手段を該被加工物を離脱する離脱位置に位置づける位置づけステップと、
該位置づけステップ終了後、該吸引保持手段の保持部に作用し、該被加工物を吸引保持する吸引力を停止し、その後該保持部に流体を間欠的に供給して保持部から噴出させて、該吸引保持手段から確実に該被加工物を離脱させる離脱ステップと、を備えることを特徴とする吸引保持手段の被加工物離脱方法。
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