JP2003117870A - 搬送装置、搬送方法及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被搬送物を目標位置において吸着パッド等と
いった吸着装置から確実に剥がすことができるようにす
る。 【解決手段】 板状の被搬送物１２を搬送する搬送装置
である。被搬送物１２を吸着ヘッド２によって吸着し、
その吸着ヘッドを回転アーム３によって第１位置Ｐ１か
ら第２位置Ｐ２へ搬送する。第２位置Ｐ２において吸着
面と被搬送物１２との間に気流を供給し、それと同時に
回転アーム３の小刻みな往復回転によって吸着面に振動
を付与することにより、被搬送物１２を吸着ヘッド１２
から確実に剥離する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等とい
った板状の被搬送物を搬送する搬送装置及び搬送方法に
関する。また、本発明は、液晶装置、ＥＬ装置等といっ
た電気光学装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電気光学物質として液晶を用いた液晶装
置や、電気光学物質としてＥＬ（Electro Luminescenc
e）を用いたＥＬ装置等といった電気光学装置では、板
状のパネル構造体である液晶パネルやＥＬパネルを主体
として構成される。この電気光学装置を製造するにあた
っては、上記のパネル構造体を主として構成する板状の
物体である基板に対して種々の処理が行われる関係上、
その基板を種々の処理ステージ間で搬送する必要があ
る。

【０００３】また、板状の物体である液晶パネル等とい
った電気光学パネルが製造された後は、その電気光学パ
ネルに対してＩＣチップ等といった部品を実装したり、
バックライト等といった照明装置を付設したり、偏光板
等といった光学部品を装着したり、その他種々の処理を
行う必要があり、それらの処理を行う関係上、電気光学
パネルを種々の処理ステージ間で搬送する必要がある。

【０００４】上記のような板状の物体を搬送する装置と
して、従来、ゴム製の吸着パッドによって物体を吸着し
ながら、その吸着パッドを異なる位置間で動かして物体
を搬送するようにした装置が知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の搬送装置で
は、物体を目標位置まで搬送した後、その目標位置にお
いて吸着パッドから開放するために、その目標位置にお
いて物体にエアーを吹付け、その吹付け力によって物体
を吸着パッドから強制的に剥がすという処理が行われて
いた。しかしながら、この従来装置においては、エアー
の吹付け力によって物体を剥がすようにしたものの、物
体を常に確実に吸着パッドから剥がすことができないと
いう問題があった。

【０００６】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであって、被搬送物を目標位置において吸着パッド
等といった吸着装置から確実に剥がすことができるよう
にすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】（１）上記の目的を達成
するため、本発明に係る搬送装置は、板状の被搬送物を
搬送する搬送装置において、前記被搬送物を吸着する吸
着手段と、該吸着手段を搬送する搬送手段と、前記吸着
手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記被搬送物との
間に気流を供給する気流供給手段と、前記吸着手段の前
記吸着面に振動を付与する振動手段とを有することを特
徴とする。

【０００８】上記構成において、吸着手段は、空気の吸
引によって被搬送物を吸着する構造とすることもできる
し、空気の吸引を利用することなく単にゴム製の吸着パ
ッドによって被搬送物を吸着する構造とすることもでき
る。また、搬送手段は、ロボットハンドを回転移動、平
行移動させる構造、その他種々の構造を採用できる。ま
た、上記気流供給手段は、空気その他のガスを流体とし
て被搬送物に供給する。

【０００９】上記構成の搬送装置によれば、気流供給手
段によって被搬送物に気流を付与すると共に、振動手段
によって被搬送物に振動を付与するようにしたので、被
搬送物を吸着手段から確実に剥がすことができるように
なった。

【００１０】（２） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いて、前記吸着手段は気流の吸引によって前記被搬送物
を吸着することができる。こうすれば、単にゴム製の吸
着パッドだけで被搬送物を吸着する場合に比べて、被搬
送物を搬送中に落下する等といった搬送不良が発生する
危険性を大きく低減できる。

【００１１】（３） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いては、前記吸着手段による気流の吸引路と前記気流供
給手段による気流の供給路は共通にすることができ、そ
の場合、前記気流供給手段によって気流を供給するとき
は、前記吸着手段による気流の吸引を停止することによ
り、気流の供給を確保することができる。吸着手段によ
る気流の吸引路と前記気流供給手段による気流の供給路
とを共通にすれば、配管系を簡素化でき、それ故、被搬
送物の搬送経路を広く確保できる。

【００１２】（４） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いて、前記気流供給手段は間欠的に気流を供給すること
ができる。これにより、被搬送物の剥がしをより一層確
実に行うことができる。なお、間欠的な気流供給の回数
は、必要に応じて適宜の回数に設定されるが、本発明者
の実験によれば、０．５秒周期で３〜５回程度の回数が
好ましかった。

【００１３】（５） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いて、前記振動手段は、前記吸着面に吸着された被搬送
物に対して斜め方向の振動を付与することができる。こ
の構成によれば、被搬送物に対して直角方向に振動を加
える場合や、被搬送物と平行に振動を加える場合に比べ
て、被搬送物をより一層確実に剥がすことができる。
（６） 次に、本発明に係る搬送装置において、前記気
流供給手段による気流の供給と、前記振動手段による振
動の付与を一定期間内に同時に行う制御手段を有するこ
とができる。

【００１４】ここで、「一定期間内に同時に」というの
は、気流の供給と振動とを一定期間の間中、ずっと、全
く同じタイミングで同時に行うことや、気流の供給と振
動とを一定期間の間の適宜のタイミングだけ同時に行う
ことや、気流の供給と振動とを同じタイミングで重なる
ことはないが一定の期間の間、交互に行うこと等であ
る。

【００１５】本構成の搬送装置によれば、気流の供給と
振動の付与とを別々の期間に分けて行う場合に比べて、
被搬送物を吸着手段からより一層確実に剥がすことがで
きる。

【００１６】（７） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いては、前記吸着手段による前記被搬送物の吸着及び不
吸着を検知する吸着センサと、該吸着センサの出力信号
に基づいて前記搬送手段、前記気流供給手段及び前記振
動手段の動作を制御する制御手段とを設けることができ
る。

【００１７】一般に、被搬送物が目標位置に運ばれてそ
こで剥がされた後には、気流の供給や振動の付与等は行
う必要がない。吸着センサを用いた上記構成によれば、
吸着センサによって被搬送物の不吸着を検知した場合に
は、それ以降の不要な気流の供給や振動の付与を中止で
きるので、作業時間を節約できる。

【００１８】（８） 次に、本発明に係る搬送装置にお
いて、前記吸着手段は、気流の吸引によって前記被搬送
物を吸着するという構成を採用でき、その場合には、前
記吸着センサは気流の吸引路に圧力センサを設けること
によって構成できる。

【００１９】（９） 次に、本発明に係る搬送方法は、
板状の被搬送物を第１位置から第２位置へ搬送する搬送
方法において、前記被搬送物を前記第１位置において吸
着手段によって吸着し、前記吸着した被搬送物を前記第
１位置から前記第２位置へ搬送し、前記第２位置におい
て前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記被
搬送物との間に気流を供給し、さらに前記第２位置にお
いて前記吸着手段の前記吸着面に振動を付与することを
特徴とする。

【００２０】上記構成において、吸着手段は、空気の吸
引によって被搬送物を吸着する構造とすることもできる
し、空気の吸引を利用することなく単にゴム製の吸着パ
ッドによって被搬送物を吸着する構造とすることもでき
る。また、被搬送物を搬送する手段は、ロボットハンド
を回転移動、平行移動させる構造、その他種々の構造を
採用できる。また、気流を供給する手段は、空気その他
のガスを流体として被搬送物に供給する構造によって構
成できる。

【００２１】上記構成の搬送方法によれば、被搬送物に
気流を付与すると共に、その被搬送物に振動を付与する
ようにしたので、被搬送物を吸着手段から確実に剥がす
ことができるようになった。

【００２２】（１０） 次に、本発明に係る搬送方法に
おいて、前記吸着手段は気流の吸引によって前記被搬送
物を吸着することができる。こうすれば、単にゴム製の
吸着パッドだけで被搬送物を吸着する場合に比べて、被
搬送物を搬送中に落下する等といった搬送不良が発生す
る危険性を大きく低減できる。

【００２３】（１１） 次に、本発明に係る搬送方法に
おいて、前記吸着手段による気流の吸引路と、前記吸着
手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記被搬送物との
間に気流を供給するための供給路は共通とすることがで
き、その場合、前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着
された前記被搬送物との間に気流を供給するときは、前
記吸着手段による気流の吸引を停止することにより、気
流の供給を確保することができる。吸着手段による気流
の吸引路と前記気流供給手段による気流の供給路とを共
通にすれば、配管系を簡素化でき、それ故、被搬送物の
搬送経路を広く確保できる。

【００２４】（１２） 次に、本発明に係る搬送方法に
おいて、前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された
前記被搬送物との間には気流を間欠的に供給することが
できる。これにより、被搬送物の剥がしをより一層確実
に行うことができる。なお、間欠的な気流供給の回数
は、必要に応じて適宜の回数に設定されるが、本発明者
の実験によれば、０．５秒周期で３〜５回程度の回数が
好ましかった。

【００２５】（１３） 次に、本発明に係る搬送方法に
おいて、前記第２位置において前記吸着手段の前記吸着
面へ付与される振動は、前記吸着面に吸着された被搬送
物に対して斜め方向に付与することができる。この構成
によれば、被搬送物に対して直角方向に振動を加える場
合や、被搬送物と平行に振動を加える場合に比べて、被
搬送物をより一層確実に剥がすことができる。

【００２６】（１４） 次に、本発明に係る搬送方法に
おいて、前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された
前記被搬送物との間への気流の供給と、前記第２位置に
おける前記吸着面への振動の付与は、一定期間内に同時
に行うことができる。

【００２７】ここで、「一定期間内に同時に」というの
は、気流の供給と振動の付与とを一定期間の間中、ずっ
と、全く同じタイミングで同時に行うことや、気流の供
給と振動の付与とを一定期間の間の適宜のタイミングだ
け同時に行うことや、気流の供給と振動の付与とを同じ
タイミングで重なることはないが一定の期間の間、交互
に行うこと等である。

【００２８】本構成の搬送方法によれば、気流の供給と
振動の付与とを別々の期間に分けて行う場合に比べて、
被搬送物を吸着手段からより一層確実に剥がすことがで
きる。

【００２９】（１５） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法は、電気光学パネルを第１位置から第２位
置へ搬送する搬送工程を有する電気光学装置の製造方法
において、前記電気光学パネルを前記第１位置において
吸着手段によって吸着し、前記吸着した電気光学パネル
を前記第１位置から前記第２位置へ搬送し、前記第２位
置において前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着され
た前記被搬送物との間に気流を供給し、さらに前記第２
位置において前記吸着手段の前記吸着面に振動を付与す
ることを特徴とする。

【００３０】上記構成において、吸着手段は、空気の吸
引によって被搬送物を吸着する構造とすることもできる
し、空気の吸引を利用することなく単にゴム製の吸着パ
ッドによって被搬送物を吸着する構造とすることもでき
る。また、被搬送物を搬送する手段は、ロボットハンド
を回転移動、平行移動させる構造、その他種々の構造を
採用できる。また、気流を供給する手段は、空気その他
のガスを流体として被搬送物に供給する構造によって構
成できる。

【００３１】上記構成の電気光学装置の製造方法によれ
ば、電気光学パネルに気流を付与すると共に、その電気
光学パネルに振動を付与するようにしたので、被搬送物
を吸着手段から確実に剥がすことができるようになっ
た。

【００３２】（１６） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法において、前記吸着手段は気流の吸引によ
って前記被搬送物を吸着することができる。こうすれ
ば、単にゴム製の吸着パッドだけで被搬送物を吸着する
場合に比べて、被搬送物を搬送中に落下する等といった
搬送不良が発生する危険性を大きく低減できる。

【００３３】（１７） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法において、前記吸着手段による気流の吸引
路と、前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された前
記電気光学パネルとの間に気流を供給するための供給路
は共通とすることができ、その場合、前記吸着手段の吸
着面と該吸着面に吸着された前記電気光学パネルとの間
に気流を供給するときは、前記吸着手段による気流の吸
引を停止することができる。吸着手段による気流の吸引
路と前記気流供給手段による気流の供給路とを共通にす
れば、配管系を簡素化でき、それ故、電気光学パネルの
搬送経路を広く確保できる。

【００３４】（１８） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法において、前記吸着手段の吸着面と該吸着
面に吸着された前記電気光学パネルとの間には気流を間
欠的に供給することができる。これにより、電気光学パ
ネルの剥がしをより一層確実に行うことができる。な
お、間欠的な気流供給の回数は、必要に応じて適宜の回
数に設定されるが、本発明者の実験によれば、０．５秒
周期で３〜５回程度の回数が好ましかった。

【００３５】（１９） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法において、前記第２位置において前記吸着
手段の前記吸着面へ付与される振動は、前記吸着面に吸
着された電気光学パネルに対して斜め方向に付与するこ
とができる。この構成によれば、被搬送物に対して直角
方向に振動を加える場合や、被搬送物と平行に振動を加
える場合に比べて、被搬送物をより一層確実に剥がすこ
とができる。

【００３６】（２０） 次に、本発明に係る電気光学装
置の製造方法において、前記吸着手段の吸着面と該吸着
面に吸着された前記電気光学パネルとの間への気流の供
給と、前記第２位置における前記吸着面への振動の付与
は、一定期間内に同時に行うことができる。

【００３７】ここで、「一定期間内に同時に」というの
は、気流の供給と振動の付与とを一定期間の間中、ずっ
と、全く同じタイミングで同時に行うことや、気流の供
給と振動の付与とを一定期間の間の適宜のタイミングだ
け同時に行うことや、気流の供給と振動の付与とを同じ
タイミングで重なることはないが一定の期間の間、交互
に行うこと等である。

【００３８】本構成の製造方法によれば、気流の供給と
振動の付与とを別々の期間に分けて行う場合に比べて、
被搬送物を吸着手段からより一層確実に剥がすことがで
きる。

【００３９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る搬送装置を
被搬送物としての液晶パネル、すなわち電気光学パネル
を搬送するために用いる場合を例に挙げて説明する。図
１において、搬送装置１は、吸着ヘッド２と、該吸着ヘ
ッド２を支持する回転アーム３と、ローラ４に支持され
て矢印Ａ方向へ周回移動する搬送ベルト６と、気体であ
る空気を処理する空気処理系７と、回転アーム３の回転
軸８に機械的に接続された回転駆動装置９と、空気処理
系７及び回転駆動装置９の動作を制御する制御装置１１
とを有する。

【００４０】ここに示す搬送装置１は、被搬送物として
の板状の物体である液晶パネル１２を第１位置Ｐ１から
第２位置Ｐ２へ搬送する。また、第２位置Ｐ２へ搬送さ
れた液晶パネル１２は、さらに第３位置Ｐ３へ搬送され
る。例えば、第１位置Ｐ１は壁３６で仕切られたクリー
ンルームの内部にある位置であり、第３位置Ｐ２はクリ
ーンルームの外側の位置であり、第２位置Ｐ２はそれら
の中間の位置と考えられる。

【００４１】液晶パネル１２は、例えば図５に示すよう
に、ガラス、プラスチック等によって形成された第１基
板１３ａと、同じくガラス、プラスチック等によって形
成された第２基板１３ｂとを環状のシール材１４によっ
て貼り合わせ、それらの基板１３ａと基板１３ｂとの間
に形成される間隙、すなわちセルギャップに開口１６を
通して液晶を注入し、さらにその開口１６を樹脂によっ
て封止することによって形成されている。第１基板１３
ａ及び第２基板１３ｂの外側表面にはそれぞれ偏光板２
２ａ及び偏光板２２ｂが、例えば貼着によって装着され
ている。

【００４２】第１基板１３ａは第２基板１３ｂの外側へ
張り出す張出し部１７を有し、この張出し部１７には駆
動用ＩＣ１８がＡＣＦ（Anisotropic Conductive Fil
m：異方性導電膜）１９によって実装されている。ま
た、張出し部１７の端辺には端子２１がＩＴＯ（Indium
Tin Oxide）等によって形成されている。図示はしてい
ないが、液晶を封入した部分の基板１３ａ及び１３ｂの
それぞれの表面には液晶を挟むように透明電極が形成さ
れ、これらの透明電極に印加される電圧が駆動用ＩＣ１
８によって制御される。

【００４３】図１では、図５の液晶パネル１２の第１基
板１３ａ又は第２基板１３ｂが吸着ヘッド２に置かれ
る。吸着ヘッド２は、例えば図２に示すように、フレー
ム２３と、該フレーム２３に設けられた複数、本実施形
態では４個の吸着パッド２４と、各吸着パッド２４の中
心部に形成された開口２６と、空気管２７とを有する。
また、フレーム２３の内部には、空気管２７と開口２６
とを結ぶ空気配管系２８が設けられている。

【００４４】図１において、回転アーム３は、吸着パッ
ド２４を上に向ける第１Ｐ１と、該第１位置Ｐ１から１
８０°回転した位置であって吸着パッド２４を下に向け
る第２位置Ｐ２との間で吸着ヘッド２を搬送する。回転
駆動装置９は、回転アーム３を回転軸８を中心として、
上記第１位置Ｐ１から上記第２位置Ｐ２の間で往復回転
移動させる装置であり、具体的な構成は任意に選択でき
る。

【００４５】空気処理系７は、空気管２７上に設けられ
た吸着センサとしての圧力センサ２９と、空気吸引装置
３１と空気管２７とを結ぶ空気通流経路に設けられた電
磁バルブによって構成された吸着用バルブ３２と、空気
発生装置３３と空気管２７とを結ぶ空気通流経路に設け
られた電磁バルブによって構成された剥離用バルブ３４
とを有する。

【００４６】制御装置１１は、リレーを用いたシーケン
ス回路や、演算部としてのＣＰＵ（Central Processing
Unit）を内蔵したプログラマブル・コントローラ等を
用いて構成される。

【００４７】本実施形態では、被搬送物としての液晶パ
ネル１２を吸着するための吸着手段が、図１の空気吸引
装置３１、吸着用バルブ３２、空気管２７、そして吸着
ヘッド２によって構成される。また、液晶パネル１２を
搬送するための搬送手段が、回転アーム３によって構成
される。また、吸着ヘッド２の吸着面と液晶パネル１２
との間に気流を供給するための気流供給手段が、空気発
生装置３３、剥離用バルブ３４、空気管２７、そして吸
着ヘッド２によって構成される。

【００４８】以下、図３に示すフローチャート及び図４
に示すタイミングチャートを用いて上記搬送装置１の動
作を説明する。図３のステップＳ１において、制御装置
１１は、制御装置１１自身の状態及び搬送装置１を構成
する各機器の状態を初期化する。次に、ステップＳ２に
おいて、吸着ヘッド２が第１位置Ｐ１にない場合には、
その吸着ヘッド２を第１Ｐ１へ置くように回転アーム３
を動作させる。

【００４９】その後、図４のタイミングＴ１でスタート
が指示されると、図１の吸着用バルブ３２をＯＮにして
空気吸引装置３１による空気の吸引を開始する（図３の
ステップＳ３）。すると、図２の各吸着パッド２４の中
心部に設けた開口１６から吸気の吸引が開始される。

【００５０】その後、図４のタイミングＴ２で図１の吸
着ヘッド２に液晶パネル１２が載せられると、図２に示
すように、液晶パネル１２が吸着パッド２４の吸着面に
吸着され、これにより、液晶パネル１２が吸着ヘッド２
に吸着される。こうして液晶パネル１２が吸着される
と、図１において空気管２７に設けた圧力センサ２９が
図４に示すように高圧力を示す“Ｈ”となる。これによ
り、図３のステップＳ４においてパネルが装着されたも
のと判断される（ステップＳ４でＹＥＳ）。ここで、所
定時間が経っても液晶パネル１２が吸着ヘッド２に供給
されない場合は、ステップＳ５でＹＥＳと判断されて処
理を終了する。

【００５１】その後、所定時間が経過すると、図４のタ
イミングＴ３において図１の回転駆動装置９が作動し
て、回転アーム３が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２まで
１８０°の角度分だけ回転し、これにより、液晶パネル
１２が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２まで搬送される
（図３のステップＳ６、Ｓ７）。そして、液晶パネル１
２が目標位置である第２位置Ｐ２に到達すると（図３の
ステップ７でＹＥＳ）、図４のタイミングＴ４で図１の
吸引用バルブ３２がＯＮ／ＯＦＦの間欠開閉駆動状態と
なり、同時に剥離用バルブ３４がＯＮ／ＯＦＦの間欠開
閉駆動状態となる。但し、吸引用バルブ３２と剥離用バ
ルブ３４とは交互にＯＮ／ＯＦＦを繰り返すように制御
される。

【００５２】このように吸着用バルブ３２をＯＦＦにし
て剥離用バルブ３４をＯＮにすれば、図２の開口２６か
らの空気の吸引が解除され、同時にそれらの開口２６か
ら空気流が放出されて、液晶パネル１２を吸着パッド２
４から剥がすための力が液晶パネル１２に加えられる。
吸着用バルブ３２及び剥離用バルブ３４のＯＮ／ＯＦＦ
制御は繰り返して行われ、従って、液晶パネル１２には
繰り返して間欠的に剥がし力が加えられる（ステップＳ
８）。この間欠的な剥がし力の周期Ｓは場合に応じて適
宜に決められるが、実験的には０．５秒程度の周期で行
われることが望ましい。

【００５３】さらに、上記の間欠的な剥がし力の付与に
加えて、ステップＳ９で液晶パネル１２に振動を加え
る。具体的には、図１において、回転駆動装置９によっ
て回転アーム３を小刻みに往復回転移動させて吸着ヘッ
ド２に振動を発生させる。このように、間欠的な空気の
剥がし力と振動とを一定の期間内で同時に液晶パネル１
２に付加することにより、液晶パネル１２を第２位置Ｐ
２において確実に吸着パッド２４から剥がすことができ
る。

【００５４】この場合、空気による剥がし力はそれ単独
で行われるのではなくて振動と同時に行われるので、液
晶パネル１２は吸着パッド２４から確実に剥がされる。
また、空気による剥がし力は単調に付与されるのではな
くて間欠的に付与されるので、液晶パネル１２をより一
層確実に剥がすことができる。

【００５５】なお、液晶パネル１２に加える振動は、本
実施形態では、回転アーム３を小刻みに往復回転させる
ことによって実現している。この場合には、振動は液晶
パネル１２に対して斜め方向に加えられることになり、
この方法によれば、振動を液晶パネル１２に対して直角
方向又は平行方向に加える方法に比べて、液晶パネル１
２を剥がす効果を高めることができる。

【００５６】以上のように、液晶パネル１２に対して空
気を間欠的に吹き付けて間欠的な剥がし力を付与する
間、空気が吹き付けられない期間においては図４に示す
ように吸着用バルブ３２をＯＮ状態にして図２のフレー
ム２３に設けた開口２６から空気を吸引し、そのとき
に、液晶パネル１２が吸着パッド２４に着いているか、
着いていないかを図１の圧力センサ２９によって検査す
る（ステップＳ８）。

【００５７】この検査の結果、液晶パネル１２が吸着パ
ッド２４に着いていないと判断されると、換言すれば、
１回又は数回の剥がし力の付与によって液晶パネル１２
が吸着パッド２４から剥がれたと判断されると（ステッ
プＳ１０でＹＥＳ）、例えば図４のタイミングＴ５にお
いて、吸着用バルブ３２をＯＦＦにして空気の吸引を停
止し、振動を停止し、さらに剥離用バルブ３４をＯＦＦ
にして空気の吹き付けを停止する（ステップＳ１２）。

【００５８】図４の実施形態では、剥離用バルブ３４の
５回のＯＮ、すなわち空気の５回の吹付けの後に液晶パ
ネル１２が剥がれる状態を示している。その後、図１の
制御装置１１に処理終了の指示が成されるまでは、以上
のステップが繰り返して行われる（図３のステップＳ１
３でＮＯ）。

【００５９】以上の説明のように、液晶パネル１２の吸
着パッド２４からの剥離が完了したときに、その後の不
要な空気の吹き付けや振動の付与を止めるように制御す
れば、全体的な搬送時間を短縮することができる。もち
ろん、液晶パネル１２を剥離するための空気の吹付け及
び振動の付与の時間を予め一定時間に決めておいて、液
晶パネル１２の剥離が完了した後も、所定の時間が経過
するまでは空気の吹付け及び振動の付与を継続するとい
う制御を行うこともできる。

【００６０】空気の吹付け及び振動の付与を行っても液
晶パネル１２が吸着パッド２４から剥がれない場合（ス
テップＳ１０でＮＯ）には、ステップＳ１１でＹＥＳと
判断されて、搬送処理を終了して、剥がれないで残って
いる液晶パネル１２を吸着パッド２４から取り除く等と
いった修正を加える。

【００６１】以上により、液晶パネル１２の吸着パッド
２４からの剥がし処理が終了すると、図４のタイミング
Ｔ６において回転駆動装置９を反転させて、図１におい
て吸着ヘッド２を初期の第１位置Ｐ１へ復動させる。ま
た、第２位置Ｐ２において吸着ヘッド２から剥がれ落ち
た液晶パネル１２は搬送ベルト６で受け取られ、その搬
送ベルト６の周回移動に従って第２位置Ｐ２まで搬送さ
れる。

【００６２】（その他の実施形態）以上、好ましい実施
形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形
態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明
の範囲内で種々に改変できる。

【００６３】例えば、図１の実施形態では、被搬送物と
して液晶パネル１２を考えたが、その他の電気光学パネ
ル、例えばＥＬパネルを被搬送物と考えることもでき
る。また、電気光学パネル以外の他の板状の物体を被搬
送物とすることもできる。

【００６４】図１の実施形態では、気流として空気の流
れを用い、これが最も実用的な形態と考えられるが、気
流としてはその他のガスの流れを利用することもでき
る。また、液晶パネル１２を搬送するための搬送手段
は、図１の回転アーム３及び搬送ベルト６から成る搬送
構造に限られない。

【００６５】また、被搬送物としての液晶パネル１２を
吸着するための吸着手段は、図１の空気吸引装置３１、
吸着用バルブ３２、空気管２７、そして吸着ヘッド２に
よって構成される構成に限られず、その他任意の構成と
することができる。また、気流の吸引を利用せずに吸着
パッド２４だけで吸着を行う構成も採用できる。

【００６６】

【発明の効果】本発明によれば、例えば吸着ヘッドから
空気流を吹き付ける構造等によって構成される気流供給
手段によって液晶パネル等といった被搬送物に気流を付
与すると共に、振動手段によって被搬送物に振動を付与
するようにしたので、被搬送物を吸着手段から確実に剥
がすことができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送装置の一実施形態を示す図で
ある。

【図２】図１の主要部である吸着ヘッドの斜視図であ
る。

【図３】図１の装置によって実行される制御の流れを示
すフローチャートである。

【図４】図３のフローチャートに対応したタイミングチ
ャートを示す図である。

【図５】被搬送物の一例である電気光学パネルとしての
液晶パネルの一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 搬送装置 ２ 吸着ヘッド ３ 回転アーム ６ 搬送ベルト ７ 空気処理系 １２ 液晶パネル ２３ フレーム ２４ 吸着パッド ２６ 開口 ２７ 空気管 ２８ 空気配管系 ２９ 圧力センサ ３２ 吸着用バルブ ３４ 剥離用バルブ Ｐ１ 第１位置 Ｐ２ 第２位置（目標位置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA27 FA30 HA01 MA20 2H090 JA01 JC18 JC19 JD13 3C007 AS24 DS01 FS01 FU00 FU04 GU03 HS04 NS12 3F072 AA28 GA10 KA01 KD03 KD23 KD28 KE18

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の被搬送物を搬送する搬送装置にお
   いて、 前記被搬送物を吸着する吸着手段と、 該吸着手段を搬送する搬送手段と、 前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記被搬
   送物との間に気流を供給する気流供給手段と、 前記吸着手段の前記吸着面に振動を付与する振動手段と
   を有することを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記吸着手段は気流
   の吸引によって前記被搬送物を吸着することを特徴とす
   る搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２おいて、 前記吸着手段による気流の吸引路と前記気流供給手段に
   よる気流の供給路は共通であり、 前記気流供給手段によって気流を供給するときは、前記
   吸着手段による気流の吸引を停止することを特徴とする
   搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３の少なくともいず
   れか１つにおいて、前記気流供給手段は間欠的に気流を
   供給することを特徴とする搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４の少なくともいず
   れか１つにおいて、前記振動手段は、前記吸着面に吸着
   された被搬送物に対して斜め方向の振動を付与すること
   を特徴とする搬送装置。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５の少なくともいず
   れか１つにおいて、前記気流供給手段による気流の供給
   と、前記振動手段による振動の付与を一定期間内に同時
   に行う制御手段を有することを特徴とする搬送装置。
7. 【請求項７】 請求項１から請求項６の少なくともいず
   れか１つにおいて、 前記吸着手段による前記被搬送物の吸着及び不吸着を検
   知する吸着センサと、 該吸着センサの出力信号に基づいて前記搬送手段、前記
   気流供給手段及び前記振動手段の動作を制御する制御手
   段とを有することを特徴とする搬送装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、 前記吸着手段は、気流の吸引によって前記被搬送物を吸
   着し、 前記吸着センサは、気流の吸引路に設けられた圧力セン
   サであることを特徴とする搬送装置。
9. 【請求項９】 板状の被搬送物を第１位置から第２位置
   へ搬送する搬送方法において、 前記被搬送物を前記第１位置において吸着手段によって
   吸着し、 前記吸着した被搬送物を前記第１位置から前記第２位置
   へ搬送し、 前記第２位置において前記吸着手段の吸着面と該吸着面
   に吸着された前記被搬送物との間に気流を供給し、さら
   に前記第２位置において前記吸着手段の前記吸着面に振
   動を付与することを特徴とする搬送方法。
10. 【請求項１０】 請求項９において、前記吸着手段は気
    流の吸引によって前記被搬送物を吸着することを特徴と
    する搬送方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０おいて、 前記吸着手段による気流の吸引路と、前記吸着手段の吸
    着面と該吸着面に吸着された前記被搬送物との間に気流
    を供給するための供給路は共通であり、 前記吸着手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記被搬
    送物との間に気流を供給するときは、前記吸着手段によ
    る気流の吸引を停止することを特徴とする搬送方法。
12. 【請求項１２】 請求項９から請求項１１の少なくとも
    いずれか１つにおいて、前記吸着手段の吸着面と該吸着
    面に吸着された前記被搬送物との間には気流を間欠的に
    供給することを特徴とする搬送方法。
13. 【請求項１３】 請求項９から請求項１２の少なくとも
    いずれか１つにおいて、前記第２位置において前記吸着
    手段の前記吸着面へ付与される振動は、前記吸着面に吸
    着された被搬送物に対して斜め方向に付与されることを
    特徴とする搬送方法。
14. 【請求項１４】 請求項９から請求項１３の少なくとも
    いずれか１つにおいて、前記吸着手段の吸着面と該吸着
    面に吸着された前記被搬送物との間への気流の供給と、
    前記第２位置における前記吸着面への振動の付与は、一
    定期間内に同時に行われることを特徴とする搬送方法。
15. 【請求項１５】 電気光学パネルを第１位置から第２位
    置へ搬送する搬送工程を有する電気光学装置の製造方法
    において、 前記電気光学パネルを前記第１位置において吸着手段に
    よって吸着し、 前記吸着した電気光学パネルを前記第１位置から前記第
    ２位置へ搬送し、 前記第２位置において前記吸着手段の吸着面と該吸着面
    に吸着された前記被搬送物との間に気流を供給し、さら
    に前記第２位置において前記吸着手段の前記吸着面に振
    動を付与することを特徴とする電気光学装置の製造方
    法。
16. 【請求項１６】 請求項１５において、前記吸着手段は
    気流の吸引によって前記被搬送物を吸着することを特徴
    とする電気光学装置の製造方法。
17. 【請求項１７】 請求項１６おいて、 前記吸着手段による気流の吸引路と、前記吸着手段の吸
    着面と該吸着面に吸着された前記電気光学パネルとの間
    に気流を供給するための供給路は共通であり、前記吸着
    手段の吸着面と該吸着面に吸着された前記電気光学パネ
    ルとの間に気流を供給するときは、前記吸着手段による
    気流の吸引を停止することを特徴とする電気光学装置の
    製造方法。
18. 【請求項１８】 請求項１５から請求項１７の少なくと
    もいずれか１つにおいて、前記吸着手段の吸着面と該吸
    着面に吸着された前記電気光学パネルとの間には気流を
    間欠的に供給することを特徴とする電気光学装置の製造
    方法。
19. 【請求項１９】 請求項１５から請求項１８の少なくと
    もいずれか１つにおいて、前記第２位置において前記吸
    着手段の前記吸着面へ付与される振動は、前記吸着面に
    吸着された電気光学パネルに対して斜め方向に付与され
    ることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
20. 【請求項２０】 請求項１５から請求項１９の少なくと
    もいずれか１つにおいて、前記吸着手段の吸着面と該吸
    着面に吸着された前記電気光学パネルとの間への気流の
    供給と、前記第２位置における前記吸着面への振動の付
    与は、一定期間内に同時に行われることを特徴とする電
    気光学装置の製造方法。