KR20150021687A - 소자핸들러 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 캐리어테이프에 담는 소자핸들러에 관한 것이다.
본 발명은 소자가 안착되는 복수의 포켓들이 형성된 캐리어테이프를 공급하는 테이프공급부와, 소자가 안착된 캐리어테이프를 권취하는 테이프권취부와, 상기 테이프공급부와 상기 테이프권취부 사이의 상기 캐리어테이프의 이동경로상에 설치되어 상기 소자가 상기 포켓에 적재된 후 상기 캐리어테이프를 진동시키는 진동부를 포함하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러{DEVICE HANDLER}
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 캐리어테이프에 담는 소자핸들러에 관한 것이다.
소자(반도체칩)란 전기 전도도가 부도체보다는 높고 금속과 같은 전도체보다는 낮은 반도체로 구성된 집적회로로서, 원래 칩은 얇은 판 조각을 가리키는 말이나 현재는 반도체 회로를 나타내는 말로 사용된다.
소자는 현대의 컴퓨터를 만드는 기본 부품으로 산술연산, 정보기억, 다른 칩의 제어 등을 수행하는 핵심이며 전자산업을 뒷받침한다.
상기와 같은 소자는 CPU, SDRAM(메모리반도체), 플래시 램 등이 있으며, 최근에는 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film)와 같은 디스플레이 구동칩인 DDI(Display Drive IC) 등 그 종류가 다양해지고 있다.
반도체 등의 소자는 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하되며, 출하되는 소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치는 것이 일반적이다.
소자는 제품에 대한 신뢰성 향상을 위하여 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 파손여부, 크랙(crack) 유무, 스크래치(scratch) 유무 등 소자의 외관상태 및 표면상태의 양호여부를 검사하는 비전검사과정을 거치게 된다.
그런데 상기와 같은 소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부 등의 표면상태 검사가 추가되면서 그 검사시간에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간에 영향을 미치게 된다.
특히 소자의 외관상태 및 표면상태의 비전검사과정이 비효율적으로 이루어지는 경우 전체적으로 작업효율을 저하시켜 소자의 생산성이 떨어지게 되는 문제점이 있다.
한편 소자는 검사 및 분류 후에 트레이에 담겨 후속공정을 거치거나 출하된다. 또한 소자는 트레이 이외에 소자가 담기는 포켓이 형성된 캐리어테이프에 담겨 시장에 출하될 수 있다.
여기서 소자의 검사 및 분류 후 캐리어테이프에 담기는 경우 캐리어테이프로의 적재공정 또한 전체적 작업효율 및 소자의 생산성에 큰 영향을 미친다.
본 발명의 목적은 소자가 캐리어테이프의 포켓의 정위치게 담키도록 할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 소자가 안착되는 복수의 포켓들이 형성된 캐리어테이프를 공급하는 테이프공급부와, 소자가 안착된 캐리어테이프를 권취하는 테이프권취부와, 상기 테이프공급부와 상기 테이프권취부 사이의 상기 캐리어테이프의 이동경로상에 설치되어 상기 소자가 상기 포켓에 적재된 후 상기 캐리어테이프를 진동시키는 진동부를 포함할 수 있다.
상기 진동부는 상기 캐리어테이프를 향하여 기체를 분사하는 기체분사장치를 포함할 수 있다.
상기 기체분사장치는, 상기 캐리어테이프가 이동되는 방향을 따라 길게 연장되고, 복수의 기체분사홀들이 그 길이방향을 따라 형성되는 기체분사노즐을 포함할 수 있다.
상기 캐리어테이프의 포켓의 바닥에는 관통홀이 형성되고, 상기 기체분사장치는 상기 관통홀을 향하여 기체를 분사할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 상기 테이프공급부와 상기 테이프권취부 사이에서 상기 캐리어테이프의 이동경로상에 설치되어 상기 소자가 안착된 캐리어테이프의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 커버테이프공급부를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 복수의 소자들이 이송되는 로딩부와, 상기 복수의 소자들을 상기 캐리어테이프로 이송하는 언로딩부를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 상기 로딩부로부터 소자를 이송하여 상기 소자에 대한 검사를 수행하는 검사부를 더 포함하고, 상기 언로딩부는 상기 검사부에서 검사된 검사결과에 따라 상기 소자를 분류하여 상기 캐리어테이프로 이송할 수 있다.
여기에서, 상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 트레이에 적재된 상태로 이송될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 소자가 이송된 캐리어테이프를 진동시키는 진동부를 포함함으로써, 캐리어테이프를 진동시켜 소자가 캐리어테이프의 포켓 내의 정위치에 담기도록 할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 소자가 적재된 트레이의 이송경로를 최적화하여 비전검사 후 검사결과에 따른 분류작업을 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 비전검사 후 검사결과에 따라 소자를 트레이 및 캐리어테이프 중 선택적으로 적재하여 배출함으로써 사용자의 선택에 따라서 다양한 형태로 소자를 출하할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 소자의 검사결과에 따라서 분류된 소자를 캐리어테이프에 적재함에 있어서 캐리어테이프를 권취테이프에 자동으로 고정하도록 하는 테이프고정부를 추가로 구비함으로써 소자에 대한 검사 및 분류작업을 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 캐리어테이프의 포켓에 소자가 안착될 때 캐리어테이프의 상부에 소자의 낙하를 안내하는 테이프적재안내부를 추가로 포함함으로써 캐리어테이프의 포켓 및 소자 사이의 크기오차가 작아 소자의 안착불량을 최소화하여 캐리어테이프에 대한 소자의 적재를 보다 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 소자핸들러의 테이프적재부를 보여주는 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 테이프적재부에서 도 1의 소자핸들러에 사용되는 테이프고정장치를 보여주는 측면도들이다.
도 5는 도 2의 테이프적재부에서 테이프적재안내부의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 6는 도 5에서 Ⅴ-Ⅴ방향의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러에서 캐리어테이프를 가진시키는 기체분사장치가 도시된 사시도이다.
도 8 및 도 9는 도 7의 기체분사장치에 의해 소자가 캐리어테이프의 포켓의 정위치에 담기는 동작이 개략적으로 도시된 단면도이다.
이하 본 발명에 따른 소자핸들러 및 그에 사용되는 테이프고정창지에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자핸들러는 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 소자(10)들이 적재된 트레이(20)를 이송하는 로딩부(100)와; 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자에 대한 제1비전검사를 수행하는 제1비전검사부(210)와; 로딩부(100)에서 이송되는 트레이(20)에 적재된 하나 이상의 소자(10)들을 픽업하여 제1비전검사부(210)로 이송하고 제1비전검사의 수행 후 트레이(20)로 재적재시키는 제1이송툴(510)과; 로딩부(100)와 평행하게 배치되고 제1비전검사부(210)에 검사된 검사결과에 따라서 소팅툴(530)에 의하여 분류되는 언로딩부(300)를 포함한다.
본 발명의 검사 및 분류의 대상인 소자(10)는 CPU, SDRAM(메모리반도체), 플래시 램 등이 있으며, 최근에는 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film)와 같은 디스플레이 구동칩인 DDI(Display Drive IC) 등 비전소자이면 어떠한 종류`도 가능하다.
여기서 상기 트레이(20)는 소자(10)가 안착되어 이송하는 구성으로서, 소자(10)가 안착되는 안착홈(21)이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 로딩부(100)는 후술하는 제1이송툴(510)이 소자(10)를 순차적으로 픽업할 수 있도록 트레이(20)를 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 로딩부(100)는 다수개의 소자(10)들이 적재되는 트레이(20)의 이동을 안내하는 가이드부(110)와, 트레이(20)가 가이드부(110)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 가이드부(110)는 트레이(20)의 이송을 가이드할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 트레이(20)의 지지 및 그 이동을 안내하는 가이드레일로 구성될 수 있다.
상기 구동부는 트레이(20)를 가이드부(110)를 따라서 이동시키기 위한 구성으로서, 트레이(20)를 픽업하는 트레이픽업부(미도시))와 트레이픽업부를 가이드부(100)를 따라서 이동시키는 구동장치를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 구동부는 제1이송툴(510)이 로딩부(100) 상에서 이송되는 트레이(20)로부터 소자(10)를 픽업, 검사 후 재적재가 가능하도록 트레이(20)를 적절하게 이동시키도록 제어된다.
한편 상기 로딩부(100)로의 트레이(20) 공급은 다양한 방식에 의하여 공급될 수 있다.
예로서, 트레이(20)는 로딩부(100)의 일단에서 상측으로 적층되고, 하나씩 순차적으로 하강하여 로딩부(20)의 가이드부(110)를 따라서 이송될 수 있다.
또한 트레이(20)는 로딩부(100), 언로딩부(300) 등의 하측에 설치되어, 트레이공급장치(미도시)에 의하여 로딩부(100)에 트레이(20)을 연속하여 공급할 수 있다.
또한 상기 로딩부(100)에 대한 트레이(20)의 공급방법으로서, 상기 소자핸들러는 로딩부(100)의 일측, 특히 후술하는 제1비전검사부(210)와 같은 쪽에는 로딩부(100)에 트레이(20)를 연속하여 공급하는 트레이공급부(910)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 트레이공급부(910)는 로딩부(100)의 일측, 특히 후술하는 제1비전검사부(210)와 같은 쪽에 설치되어 복수의 트레이(20)들이 적층된 상태로 하나씩 순차적으로 하강하여 로딩부(20)의 가이드부(110)를 따라서 이송될 수 있다.
이때 상기 트레이공급부(910)는 작업자에 의한 수동공급, 리프트 등에 의한 상방에서의 공급 등 다양한 방법에 의하여 공급될 수 있다.
아울러, 상기 트레이공급부(910)에 복수의 트레이(20)들이 공급될 때, 최 상측에 위치된 트레이(20)를 복개하기 위한 커버트레이(미도시) 등이 더 포함되어 10개 등 묶음 형태로 공급될 수 있다.
여기서 상기 커버트레이(미도시)는 공급된 트레이들의 상태(검사정보 등), 위치 등을 원격에서 인식시킬 수 있는 RF칩 등이 탑재될 수 있다.
상기 제1비전검사부(210)는 제1이송툴(510)에 의하여 픽업된 소자(10)를 검사하기 위한 구성으로서, 2D검사, 3D검사에 따라서 적합한 스캐너, 카메라 등을 구비할 수 있다.
한편 소자에 대한 비전검사의 속도에 따라서 소자에 따른 검사속도, 즉 처리속도에 주된 변수인바 이를 보다 신속하게 수행할 필요가 있다.
따라서 본 발명에 따른 소자핸들러는 제1비전검사부(210) 및 제2비전검사부(220)가 로딩부(100)의 일측에 순차적으로 설치되고, 제1비전검사부(210)는 2D검사 및 3D검사 중 어느 하나를 수행하고, 제2비전검사부(220)는 나머지 하나를 수행하도록 구성될 수 있다.
상기 제2비전검사부(220)는 후술하는 제2이송툴(520)에 의하여 픽업된 소자(10)를 검사하기 위한 구성으로서, 2D검사, 3D검사에 따라서 적합한 스캐너, 카메라 등을 구비할 수 있다.
상기 언로딩부(300)는 로딩부(100)와 유사한 구성을 가지며, 소자(10)의 검사결과의 수에 따라서 부여되도록 복수개로도 구성이 가능하다.
즉, 상기 언로딩부(300)는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 소자를 트레이(20)에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 소자(10)를 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 굿트레이부 및 소팅트레이부는 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(310)와, 트레이(2)가 가이드부(310)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 가이드부(310) 및 구동부는 앞서 설명한 로딩부의 구성과 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
한편 상기 로딩부(100)로부터 후술하는 커버트레이적재부(230), 언로딩부(300)로의 트레이(20) 전달은 로딩부(100)의 타단 쪽에 설치된 후반트레이이송부(미도시)에 의하여 수행될 수 있다.
또한 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(300) 사이에는 앞서 설명한 커버트레이(20)의 임시 저장 또는 추가공급을 위한 커버트레이적재부(230)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 커버트레이적재부(230)는 커버트레이(20)의 이송방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(300)는 서로 평행하게 배치되고, 로딩부(100) 및 언로딩부(300)의 일단을 따라서 트레이(20)을 이송하는 전방트레이이송부(미도시)를 구비한 경우, 커버트레이적재부(230)는 단순히 커버트레이(20)가 적재될 수 있는 형태로 구성될 수 있다.
또한 상기 커버트레이적재부(230)는 언로딩부(300)와 유사한 형태로 구성이 가능하며, 커버트레이(20)의 경우 일단에서 공급된 커버트레이(20)는 비전검사를 거치지 않고 로딩부(100)의 타단으로 이동된 후 커버트레이적재부(230)의 타단에서 일단으로 이송되도록 구성될 수 있다.
또한 상기 커버트레이적재부(230)는 앞서 설명한 트레이공급부(910)로부터 전달받은 커버트레이(20) 이외에 추가로 필요할 수 있는바 커버트레이(20)가 추가로 적재되어 있을 수 있다.
한편 상기 로딩부(100)의 일측에 설치된 제1비전검사부(210) 및 제2비전검사부(220)를 거치면서 비전검사를 마친 소자(10)들은 후방트레이이송부에 의하여 언로딩부(300)로 전달되고 언로딩부(300)에서 이송되면서 소팅툴(530)에 의하여 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급으로 트레이(20)에 적재된다.
여기서 소자(10)의 분류방법은 하나의 트레이(20)에 적재된 소자(10)들 중 미리 정한 등급 이외의 소자(10)를 소팅툴(530)에 의하여 픽업되어 다른 등급이 부여된 트레이(20)로 전달되어 분류되는 등 다양한 방식에 의하여 분류될 수 있다.
한편 상기 언로딩부(300)의 상부에는 소자(10)의 표면에 마킹이 제대로 이루어져 있는지 여부를 검사하는 카메라, 적재상태를 검사하는 카메라 등 다양한 장치들이 설치될 수 있다.
상기 제1이송툴(510), 제2이송툴(520), 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550)는 소자(10)를 픽업하여 이송하기 위한 구성으로서, 진공압에 의하여 픽업하는 등 다양한 방식에 의하여 소자(10)를 픽업하도록 구성될 수 있다.
여기서 상기 제1이송툴(510), 제2이송툴(520), 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550)는 하나 또는 복수개의 소자들을 픽업할 수 있으며, 테이프적재이송툴(550)을 제외한 제1이송툴(510), 제2이송툴(520) 및 소팅툴(530)은 복수개의 소자(10)들을 픽업하도록 구성됨이 바람직하다.
한편 상기 제1비전검사부(210), 제2비전검사부(220), 로딩부(100), 언로딩부(300), 후술하는 테이프적재부(800)의 배치와 관련하여 제1이송툴(510), 제2이송툴(520), 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550)의 배치를 최적화하여야 각 툴들에 의한 소자(10)의 이송을 원활하게 수행할 수 있다.
이에 상기 소자핸들러는 도 1에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 언로딩부(300)를 사이에 두고 제1비전검사부(210) 및 제2비전검사부(220)와 캐리어테이프적재부(800)가 서로 대향되어 배치됨이 바람직하다.
아울러, 상기 제1이송툴(510), 제2이송툴(520), 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550)는 로딩부(100) 및 언로딩부(300)에서 트레이(20)의 선형이동방향(Y축)과 수직인 방향(X축)으로 이동하도록 설치됨이 바람직하다.
특히 상기 소자핸들러는 로딩부(100) 및 언로딩부(300)에서 트레이(20)의 선형이동방향(Y축)과 수직인 방향(X축)으로 가이드부재(590)를 설치하고, 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)은 가이드부재(590)를 사이에 두고 가이드부재(590)를 따라서 선형이동되도록 설치될 수 있다.
상기 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550) 또한 가이드부재(590)를 사이에 두고 가이드부재(590)를 따라서 선형이동되도록 설치될 수 있다.
여기서 상기 소팅툴(530) 및 테이프적재이송툴(550)의 선형이동을 위한 가이드부재(590)를 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)의 선형이동을 위한 가이드부재(590)를 서로 공유할 수 있으며 그만큼 장치의 크기를 감소시킬 수 있다.
한편 상기 언로딩부(300)에 의하여 소자(10)를 분류등급에 맞추어 트레이(20)에 적재를 마치면, 소자(10)가 적재된 트레이(20)를 배출할 필요가 있는바, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 소자핸들러는 언로딩부(300)로부터 트레이(20)를 전달받아 외부로 배출하는 트레이배출부(920)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 트레이배출부(920)는 트레이공급부(910)와 유사하게 구성될 수 있는바 자세한 설명은 생략한다.
또한 상기 소자핸들러는 도 1에 도시된 바와 같이, 전방트레이이송경로 또는 후방트레이이송경로상에 빈트레이가 적재되는 빈트레이적재부가 추가로 설치될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 테이프적재부(800)를 추가로 구비하여 양품으로 검사된 검대대상(10)들 중 적어도 일부를 트레이(20)에 적재되는 대신 캐리어테이프(30)에 적재하도록 구성될 수 있다.
상기 테이프적재부(800)는 소자(10)가 담기는 포켓이 형성된 캐리어테이프(30)을 공급하는 테이프공급부(810)와, 소자(10)가 담겨진 캐리어테이프(30)를 권취하는 테이프권취부(820)와, 소자(10)가 담겨진 캐리어테이프(30)의 상면에 부착되는 커버테이프(40)를 공급하는 커버테이프공급부(830)와, 상기 테이프공급부(810)와 상기 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프(40)를 캐리어테이프(30)의 상면에 부착시키는 실링부(840)와, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(30)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(841~844)들을 포함하여 구성된다.
여기서 소자(10)가 담기는 포켓(31)이 형성된 캐리어테이프(30)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 소자(10)의 담기는 포켓이 형성된 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 통상 플라스틱 재질에 의하여 형성될 수 있다.
상기 테이프공급부(810)는 소자(10)가 담겨질 포켓이 형성된 캐리어테이프(30)가 감겨진 공급롤(811)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
이때 상기 테이프공급부(810)는 후술하는 테이프권취부(820)와 연동하여 캐리어테이프(30)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
상기 테이프권취부(820)는 소자(10)가 캐리어테이프(30)의 포켓에 담겨지고, 실링부(840)를 거쳐 커버테이프(40)가 캐리어테이프(30)에 부착된 후 캐리어테이프(30)를 권취하는 구성으로서, 캐리어테이프(30)가 권취되는 권취롤(821)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
이때 상기 테이프권취부(820)는 테이프공급부(810)와 연동하여 캐리어테이프(30)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
상기 커버테이프공급부(830)는 소자(10)가 담겨진 캐리어테이프(30)의 상면에 부착되는 커버테이프(40)를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 커버테이프(40)가 감겨진 롤(831)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
여기서 상기 커버테이프공급부(830)는 테이프권취부(820)와 연동하여 캐리어테이프(30)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
그리고 상기 커버테이프(40)는 캐리어테이프(30)과의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 적외선히터에 의하여 캐리어테이프(30)와 접착되도록 구성될 수 있다.
상기 실링부(830)는 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프(40)를 캐리어테이프(30)의 상면에 부착시키는 구성으로서 커버테이프(40) 및 캐리어테이프(30)와의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 실링부(830)는 틸팅에 의한 가압구조를 구비하여 커버테이프(40) 및 캐리어테이프(30)의 견고한 접착을 유도할 수 있다.
상기 이송롤러(841~843)들은 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(30)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안내하는 구성으로서, 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.
한편 상기 테이프적재부(800)는 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 캐리어테이프(30)를 절단할 필요가 있는바 캐리어테이프(30)의 절단을 위한 커터(미도시)가 테이프공급부(810) 및 테이프권취부(820) 사이의 적절한 위치에 설치될 수 있다.
여기서 성가 테이프공급부(810)에서의 캐리어테이프(30)가 한번에 테이프권취부(820)에 권취되도록 구성되면 커터가 반드시 설치될 필요가 없음은 물론이다.
또한 상기 테이프적재부(800)는 캐리어테이프(30)의 포켓 내에 소자(10)가 제대로 담겨져 있는지 여부, 캐리어테이프(30)에 커버테이프(40)가 제대로 부착되었는지 등을 검사하기 위한 비전검사장치가 추가로 설치될 수 있다.
한편 상기 테이프권취부(820)는 캐리어테이프(30)가 처음으로 감겨질 때 권취롤(821)에 고정된 상태로 감겨져야 캐리어테이프(30)의 권취 및 캐리어테이프(30)의 이동을 보다 정밀하고 안정적으로 제어할 수 있다.
또한 상기 테이프적재부(800)에서 캐리어테이프(30)의 포켓(31)에 소자(10)가 적재되는 위치는 앞서 설명한 테이프적재이송툴(550)의 선형이동에 의하여 적재될 수 있도록 이송툴(550)의 선형이동이 가능한 위치에 위치된다.
한편 상기 테이프적재이송툴(550)에 의하여 이송되는 소자(10)가 캐리어테이프(30)의 포켓(31)에 적재될 때 캐리어테이프(30)의 포켓(31) 및 소자(10)의 크기의 상대오차가 작아 소자(10)의 적재시 잘못 안착되는 문제가 발생될 수 있다.
이에, 상기 테이프적재부(800)는, 캐리어테이프(30)의 이동경로 중 실링부(840)의 전방에서 캐리어테이프(30)의 상부에 설치되어 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(10)를 캐리어테이프(30)의 포켓(31)으로 안내하는 테이프적재안내부(600)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 테이프적재안내부(600)는, 캐리어테이프(30)의 이동경로 중 실링부(840)의 전방에서 캐리어테이프(30)의 상부에 설치되어 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(10)를 캐리어테이프(30)의 포켓(31)으로 안내하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 테이프적재안내부(600)는, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 테이프(20)의 이동경로상에서 테이프(20)의 포켓(31)에 대응되는 위치의 상부에 소자(10)가 통과하는 안내개구부(620)가 형성된 개구플레이트(630)를 포함할 수 있다.
상기 개구플레이트(630)는 한 쌍의 지지브라켓(610)에 의하여 지지되어 설치되는 등 다양하게 설치될 수 있다. 여기서 상기 지지브라켓(610) 및 개구플레이트(630)는 일체로 형성될 수 있다.
그리고 상기 안내개구부(620)는 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(10)가 낙하될 때 그 낙하를 안내할 수 있도록 상단부분은 소자(10)의 평면크기보다 크게 형성되고 하단부분은 소자(10)의 평면크기보다 약간 크게 형성되어 그 내주면(621)이 경사면을 이루도록 형성됨이 바람직하다.
한편 상기 테이프적재이송툴(550)에 의하여 이송되는 소자(10)가 복수 개인 경우, 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620) 또한 테이프적재이송툴(550)의 숫자에 대응하여 복수개로 형성될 수 있다.
또한 상기 테이프적재안내부(600)는, 캐리어테이프(30)의 이동 및 지지를 위하여 하나 이상의 롤러(640)들이 설치될 수 있으며, 캐리어테이프(30)의 포켓(31)이 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620)에 정렬될 수 있도록 정렬부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 캐리어테이프(30)를 지지하는 롤러(640)는, 포켓(31)의 측면에 밀착되도록 설치되어 캐리어테이프(30)의 포켓(31)이 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620)에 정렬시키는 정렬부로 활용될 수 있다.
한편 상기 테이프적재부(800)는 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 처음으로 감겨질 때 고정테이프(50)에 의하여 캐리어테이프(30)를 권취롤(821)에 고정시키는 테이프고정부(700)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 테이프고정부(700)는 고정테이프(50)의 부착면이 캐리어테이프(30)의 선단이 권취롤(821)로 진입 전에 권취롤(821)에 일부가 부착되고 연속하여 캐리어테이프(30)의 선단의 상면에 부착됨으로써 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정된 상태로 감겨지게 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 테이프고정부(700)는 도 2, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 고정테이프(50)를 이형지(51)에 부착하여 공급하는 고정테이프공급부(710)와, 고정테이프(50)가 박리된 이형지(51)를 회수하는 이형지회수부(720)와, 권취롤(821)의 부근에 설치되어 권취롤(821)에 부착되도록 이형지(51)로부터 박리하는 고정테이프박리부(730)와, 고정테이프박리부(730)에 의하여 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821)에 가압하는 가압부(740)와, 고정테이프공급부(710)로부터 이형지회수부(720)에까지 이형지(51)가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지(51)의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(751~759)들을 포함할 수 있다.
여기서 고정테이프(50)는 캐리어테이프(30) 및 권취부(821)에 자동으로 부착될 수 있도록 설치됨을 특징으로 하며, 접착물질이 일면 또는 양면에 도포되며 이형지(51)에 부착된 상태로 사용됨을 특징으로 한다.
특히 상기 고정테이프(50)는 저면에 접착물질이 도포되며 이형지(51)에 부착된 상태에서 롤 형태로 고정테이프공급부(710)에 설치되어 공급됨을 특징으로 한다.
그리고 상기 고정테이프(50)는 권취롤(821)에 부착된 후 박리가 용이하도록 양단 중 일단의 일부는 접착물질이 도포되지 않을 수 있다.
또한 상기 고정테이프(50)는 캐리어테이프(30)를 권취롤(821)에 부착되어 고정시킴을 고려하여 적당한 탄성을 가지도록 합성수지와 같은 재질이 선택되어 사용될 수 있다.
상기 고정테이프공급부(710)는 고정테이프공급롤(711)가 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
이때 상기 고정테이프공급부(710)는 후술하는 이형지회수부(720)와 연동하여 고정테이프(50)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
상기 이형지회수부(720)는 고정테이프박리부(730)에 의하여 고정테이프(50)가 박리된 이형지(51)를 권취하는 구성으로서, 이형지(51)가 권취되는 회수롤(721)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
이때 상기 이형지회수부(720)는 고정테이프공급부(710)와 연동하여 이형지(51)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
상기 이송롤러(751~753)들은 고정테이프공급부(710)로부터 이형지회수부(720) 이형지(51)가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지(51)의 이동을 안내하는 구성으로서, 이형지(51)의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.
상기 고정테이프박리부(730)는 이형지(51)로부터 고정테이프(51)를 박리시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 고정테이프박리부(730)는 고정테이프(50)가 부착된 이형지(51)의 이면에 면접촉되어 가이드하는 가이드면(732)의 일부에 곡률을 주어 이형지(51)로부터 고정테이프(51)를 박리시키는 박리부재(731)를 포함할 수 있다.
상기 박리부재(731)는 가이드면(732) 중 일부 곡률을 특히 이형지(51)의 이면에 면접촉되고 이형지(51)가 순차적으로 통과하는 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)을 가지며, 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)이 서로 예각을 이루도록 형성되어 구성될 수 있다. 여기서 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)의 연결부분은 이형지(51)의 원활한 이동을 위하여 곡면처리되는 것이 바람직하다.
상기 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)이 서로 예각을 이루게 되면, 이형지(51)가 제1가이드면(732a)로부터 제2가이드면(732b)로 넘어가면서 부착된 고정테이프(50)가 박리된다.
여기서 상기 고정테이프(50)는 일정한 길이로 분리된 상태로 이형지(51)에 부착되어야 하며, 각 고정테이프(50)는 분리된 부분부터 제1가이드면(732a)로부터 제2가이드면(732b)로 넘어가면서 부착된 고정테이프(50)가 박리된다.
상기 가압부(740)는 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821) 쪽으로 가압하여 부착시키기 위한 구성으로서, 고정테이프(50)의 상면을 가압할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 가압부(740)는 고정테이프박리부(730) 부근에 설치되어 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821) 쪽으로 가압하도록 설치된 가압부재(741)를 포함한다.
상기 가압부재(741)는 권취롤(821)의 회전과 함께 고정테이프(50)가 고정됨을 고려하여 권취롤(821)의 회전축과 평행한 회전축을 중심으로 회전되도록 설치되는 롤러형태로 설치됨이 바람직하다.
아울러, 상기 가압부(740)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 가압부재(741)가 권취롤(821)에 과도한 하중이 가해지는 것을 방지하기 위하여, 권취롤(821)과 반대쪽으로, 특히 상방으로 이동가능하게 설치되고, 가압부재(741)를 권취롤(821) 쪽으로, 특히 하방으로 탄성력을 가하는 탄성부재(742)를 더 포함할 수 있다.
상기 가압부(740)는 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 감기기 전에 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821), 즉 캐리어테이프(30)가 감기는 허브부분으로 가압하여 부착시키고, 고정테이프(50)가 권취롤(821)에 일부가 부착된 후 권취롤(821)의 추가회전 및 캐리어테이프(30)의 도입으로 캐리어테이프(30)의 상면이 고정테이프(50)의 나머지 부분이 부착되도록 고정테이프(50)를 가압한다.
이때 상기 가압부(740)는 캐리어테이프(30)의 도입으로 인하여 두께 변화가 발생되는바 가압부재(741)이 상측으로 이동됨과 아울러 탄성부재(742)에 의하여 캐리어테이프(30) 쪽으로 가압된 생태를 유지한다.
한편 상기 테이프고정부(700)는 캐리어테이프(30)의 선단을 권취롤(821)에 고정하는 것에 관하여 설명하였으나, 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 커터(미도시)에 의하여 커팅된 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정되는데 사용될 수 있다.
그리고 상기 테이프고정부(700)는 커팅된 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정되는 방식은 캐리어테이프(30)의 선단이 권취롤(821)에 부착되는 것과 거의 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
상기 테이프고정부(700)는 캐리어테이프(30)의 선단 및 후단을 권취롤(821)에 고정함을 특징으로 하는바, 권취롤(821)에 감겨진 캐리어테이프(30)의 턴수에 따라서 허브로부터의 거리가 변경되는바 이에 대응하기 위하여 로딩부(100) 등이 설치된 본체(1)에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.
여기서 물론 상기 권취롤(821)이 설치되는 테이프권취부(820)가 로딩부(100) 등이 설치된 본체(1)에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.
한편 상기 테이프적재부(800) 및 테이프고정부(700)의 구성은 소자의 크기에 따라서 그 두께 및 폭에 대응될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.
한편 상기 테이프적재부(800) 및 테이프고정부(700)의 구성은 상술한 소자핸들러에 설치된 실시예를 들어 설명하였으나, 소자 등이 캐리어테이프의 포켓에 적재하는 구성이 필요한 장치이면 어떠한 장치에도 적용가능함은 물론이다.
이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 소자핸들러에 대하여 설명한다. 전술한 실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 소자핸들러는, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이의 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 소자(10)가 포켓(31)에 적재된 후 캐리어테이프(30)의 포켓(31)의 정위치에 담길 수 있도록 캐리어테이프(30)에 진동을 가하는 진동부를 포함한다.
진동부는 테이프적재이송툴(550)에 의하여 캐리어테이프(30)의 포켓(31)에 소자(10)가 담긴 이후의 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 캐리어테이프(30)에 진동을 가한다.
진동부로는 진동을 발생시킬 수 있는 다양한 구성이 채용될 수 있다. 예를 들어, 진동부는, 캐리어테이프와 물리적으로 연결되어 캐리어테이프에 진동을 발생시키는 기계적 가진장치, 초음파 가진장치 등 다양한 구성이 이용될 수 있다.
도 7 내지 도 9에서는 진동부의 예로서 캐리어테이프(30)를 향하여 기체를 분사하는 기체분사장치(890)를 도시한다.
이러한 기체분사장치(890)는 캐리어테이프(30)를 향하여 기체를 분사하여 캐리어테이프(30)가 진동되도록 한다. 따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 소자(10)가 포켓(31)의 정위치에 위치되지 않은 상태에서도, 기체분사장치(890)로부터 분사된 기체에 의하여 캐리어테이프(30)가 진동하면서, 도 9에 도시된 바와 같이, 소자(10)가 캐리어테이프(30)의 포켓(31) 내의 정위치에 위치될 수 있다.
기체분사장치(890)는 기체가 분사되는 단일의 노즐로 구성될 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 기체분사장치(890)는, 캐리어테이프(30)의 이동방향을 따라 길게 연장되고, 복수의 기체분사홀(892)이 그 길이방향을 따라 형성되는 기체분사노즐(891)을 포함할 수 있다.
이와 같이, 기체분사장치(890)가 복수의 기체분사홀(892)을 가지는 기체분사노즐(891)을 포함하므로, 캐리어테이프(30)의 길이방향을 따라 기체를 분사하여 복수의 소자(10)를 동시에 캐리어테이프(30)의 포켓(31)의 정위치에 위치시킬 수 있다.
한편, 캐리어테이프(30)의 포켓(31)에서 소자(10)를 보다 원활하게 이동시킬 수 있도록 캐리어테이프(30)의 포켓(31)의 바닥에는 관통홀(33)이 형성되고, 기체분사장치(890)는 관통홀(33)을 통과하도록 기체를 분사하는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 구성에 따르면, 캐리어테이프(30)를 이송하는 도중에 캐리어테이프(30)에 기체를 분사하여 캐리어테이프(30)가 진동되도록 함으로써, 캐리어테이프(30)의 포켓(31)에 정상적으로 안착되지 못한 소자(10)를 캐리어테이프(30)의 포켓(31)의 정위치에 위치시킬 수 있는 효과가 있다.
한편 도 7 내지 도 9에 도시된 진동부의 구성은, 소자를 캐리어테이프에 적재하는 테이프앤릴의 구성을 포함하는 소자핸들러는 어떠한 구성도 가능하다.
도 7 내지 도 9에 도시된 진동부가 적용될 수 있는 소자핸들러는 일 예로서, 도 1에 도시된 구성 이외에, 검사공정 없이 단순히 캐리어테이프에 적재하도록 구성될 수 있다.
또한 도 7 내지 도 9에 도시된 진동부가 적용될 수 있는 소자핸들러는 다른 예로서, 도 1에 도시된 구성 이외에, 소자가 부착되는 웨이퍼링으로부터 소자를 인출하여 최종적으로 캐리어테이프에 소자를 적재하도록 구성될 수 있다.
이때 웨이퍼링은 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프 및 테이프를 고정하는 프레임부재를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 테이프는 엘이디소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.
상기 프레임부재는 엘이디소자(1)들이 부착된 테이프를 고정하기 위한 구성으로서 원형링, 사각링 등 다양한 구성이 가능하다.
이때 웨이퍼링으로부터 소자를 인출하는 소자핸들러는, 소자에 대한 비전검사 등을 수행한 후 분류작업을 수행하거나, 검사공정 없이 단순 분류작업을 하는 등 다양한 구성이 가능하다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
100: 로딩부 300: 언로딩부
600: 테이프적재안내부 800: 테이프적재부
890: 기체분사장치 891: 기체분사노즐

Claims (9)

  1. 소자가 안착되는 복수의 포켓들이 형성된 캐리어테이프를 공급하는 테이프공급부;
    소자가 안착된 캐리어테이프를 권취하는 테이프권취부; 및
    상기 테이프공급부와 상기 테이프권취부 사이의 상기 테이프의 이동경로상에 설치되어 상기 소자가 상기 포켓에 적재된 후 상기 캐리어테이프를 진동시키는 진동부를 포함하는 소자핸들러.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 진동부는 상기 캐리어테이프를 향하여 기체를 분사하는 기체분사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기체분사장치는, 상기 캐리어테이프가 이동되는 방향을 따라 길게 연장되고, 복수의 기체분사홀들이 그 길이방향을 따라 형성되는 기체분사노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 캐리어테이프의 포켓의 바닥에는 관통홀이 형성되고,
    상기 기체분사장치는 상기 관통홀을 향하여 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테이프공급부와 상기 테이프권취부 사이에서 상기 캐리어테이프의 이동경로상에 설치되어 상기 소자가 안착된 캐리어테이프의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 커버테이프공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 소자들이 이송되는 로딩부;
    상기 복수의 소자들을 상기 캐리어테이프로 이송하는 언로딩부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 로딩부로부터 소자를 이송하여 상기 소자에 대한 검사를 수행하는 검사부를 더 포함하고,
    상기 언로딩부는 상기 검사부에서 검사된 검사결과에 따라 상기 소자를 분류하여 상기 캐리어테이프로 이송하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 트레이에 적재된 상태로 이송되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 웨이퍼링에 적재된 상태로 이송되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
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