JP4975408B2 - 基板搬送機構 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る基板搬送機構を搭載する長尺テープ状ベア基板用テスタ(基板テスタと称する)を正面から見た外観構成を示している。
この搬送機構6は、搬送方向に直交する方向に並設されている2つのスライド搬送部6A,6Bと、テープ状基板5の搬送時の振れを両側からガイドする搬送ガイド部33とで構成される。搬送ガイド部33のそれぞれの内壁面には、テープ状基板5を両端から支持するレール部34が設けられている。スライド搬送部6Aとスライド搬送部6Bとは、同じ構成である。搬送ガイド部33の少なくとも一方は、テープ状基板5の幅に合わせて、その幅方向に移動可能に構成されている。好ましくは、両方の搬送ガイド部33が同じ割合で拡がり移動、狭まり移動することがよい。この搬送ガイド部33の移動に合わせて、スライド搬送部6A,6Bの幅方向に移動する構成を有してもよい。
図4(a)においては、搬送方向上流側でシリンダ部23に押し上げられたスライド部A24が上昇し、吸着パッド25が図示しないテープ状基板5の裏面に当接する。この当接と共に切換バルブ38の切換による吸引により吸着パッド25にテープ状基板5が吸着保持される。この時、スライド部B29は、搬送方向下流側でシリンダ部23に押し下げられて下降され、吸着パッド30がテープ状基板5の裏面から離れた状態となる。この時、切換バルブ38の切換により吸着パッド30は無吸引状態となっている。
この第2の変形例は、スライド搬送部6を2列に並設させるだけでなく、さらに多くのスライド搬送部6を列状に配置させるように構成する。
前述した第1の実施形態では、スライド搬送部6Aであれば、シリンダ部23により吸着パッド25がスライド部A24と一体的に昇降された構成であった。
前記吸着パッドを搭載し、前記テープ状ベア基板を吸着保持する状態の前記吸着パッドを搬送方向下流にスライド移動し、未吸着保持状態の前記吸着パッドを搬送方向上流に復帰させるスライド搬送部と、
前記スライド搬送部を載設し、前記吸着パッドが搬送方向下流にスライド移動する際に上昇し、記吸着パッドを搬送方向上流に復帰する際に下降する昇降機構と、
を具備することを特徴とする基板テスタの搬送機構。
前記テープ状ベア基板下方に前記吸着パッドが配置されるように、2つ以上の前記スライド機構が配置され、
前記複数のスライド機構が搬送方向上流から下流に移動する第1群と搬送方向下流から上流に復帰移動する第2群とに二分され、常にすれ違うように往来移動されることを特徴とする前記1項に記載の基板テスタの搬送機構。
前記スライド搬送部は、前記吸着パッドを載着するベース部と、
両端が回転可能に支持されるボールねじと、
前記ボールねじを回転させるモータと、
前記ボールねじに嵌合し、前記ベース部が固定されるナット部と、
を具備することを特徴とする前記1項に記載の基板テスタの搬送機構。
Claims (3)
- 真空吸着によりテープ状基板の面を吸着保持する吸着パッドと、
前記吸着パッドを搭載し、前記テープ状基板を吸着保持する状態の前記吸着パッドを搬送方向下流にスライド移動し、未吸着保持状態の前記吸着パッドを搬送方向上流に復帰させるスライド搬送部と、
前記スライド搬送部を載設し、前記吸着パッドが搬送方向下流にスライド移動する際に上昇し、前記吸着パッドを搬送方向上流に復帰する際に下降する昇降機構と、
を具備することを特徴とする基板搬送機構。 - 前記基板搬送機構において、
前記テープ状基板の面下方に前記吸着パッドが配置されるように、2つ以上の前記スライド機構が配置され、
前記複数のスライド機構が搬送方向上流から下流に移動する第1群と搬送方向下流から上流に復帰移動する第2群とに二分され、常にすれ違うように往来移動されることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送機構。 - 前記基板搬送機構において、
前記スライド搬送部は、前記吸着パッドを載着するベース部と、
両端が回転可能に支持されるボールねじと、
前記ボールねじを回転させるモータと、
前記ボールねじに嵌合し、前記ベース部が固定されるナット部と、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送機構。
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