CN101163392A - 基板搬运机构 - Google Patents

Abstract

在现有的搬运带载体的搬运机构中，无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构，都会对带表面产生损伤。本发明提供一种基板检测器的搬运机构，滑动搬运部6A、6B中的吸附垫25、30交互地吸附保持在带状基板5的里面，并从搬运方向的上游向下游移动；通过进行该连续的交互往复移动，使带状基板5在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。

Description

基板搬运机构

技术领域

本发明涉及一种基板搬运机构，用来搬运对于在由树脂材料构成的带状基板上所形成的配线进行电气检查的基板检测器等。

背景技术

一般地，在半导体极板上形成的多个集成电路，每一个芯片(チツプ)都分开组装。所组装的元件，安装于印刷配线基板而被插入到产品上。作为这种印刷配线基板，众所周知，是种具有可挠性的树脂制基板(柔性基板)。例如：TAB(Tape Automated Bonding)、TBGA(Tape Ball Grid Array)、CSP(Chip Scale Package)、COF(Chip On Film)等各种安装技术，就可以采用由聚酰亚胺等树脂材料所形成的较长的带状裸基板。

作为带状裸基板，若为公知的TAB，则称作带载体。一般的带载体的宽度有35mm、48mm、70mm等。形成由基座、黏合剂以及导体构成的三层结构。但是，也有不使用黏合剂的2层结构或具有更多层结构的带状裸基板。带载体(TAB带)因为较长，一般采用卷绕在卷轴上的形式，进行向检查装置和安装装置的安装以及工序间的交接。

此外，同样的，用于公知的COF上的较长带状裸基板，例如，由聚酰亚胺和铜的两层薄膜构成，用于装配一个元件芯片的安装区域(开衩状的结合空间部分)所形成的部分沿着较长方向移动，成列状配置为多列。该安装区域中，多个内部引线(连接用电极)配置为向结合空间部分突出，安装时，在该电极部分连接芯片的突出部。在该安装区域周围，设有用于与外部的电路元件之间进行信号交换的信号配线、和PCB连接部(输入侧外部引线)/LCD连接部(输出侧外部引线)的电极(或垫座)，用于进行带电检查(断路或短路等)。

这种带状裸基板的搬运，以卷绕在专用卷轴上的形式，安装在检查装置和安装装置上，运到处理部(检查部或结合部)。作为该种搬运方式，例如，如专利文件1的记载，有一种利用设置在带载体宽度方向上的两外侧上的穿孔(或传送孔)的产品，该带载体的穿孔嵌合于装置侧链轮的突起部(齿部)，随着链轮的旋转而送出，从而应用于搬运。另外，作为将芯片进行结合组装时的准确地定位的方法，在带载体上做记号的同时，也利用穿孔。

另外，在专利文件2中，公开了手柄式滚轮搬运机构。该机构使用下方定位块引导带载体宽度方向的两端，采用设在两侧的两对弹性滚轮夹住带载体并使其旋转，例如，手柄式滚轮搬运机构搭载在图6所示的基板检测器上。该基板检测器中，在装置本体70两侧设置的支持支架上，安装有自由旋转的带送出卷轴71及带卷入卷轴72。卷绕在带送出卷轴71上的带载体74向搬送路径送出，使用电流检查部75进行检查，其结果显示在监视器上。在搬运路径上配置多个用于进行带载体74的搬运以及导向的滚轮。在这些滚轮内设有多个夹持带载体74的滚轮对73，其中至少有一对具有驱动系统。在图6中，设在搬运路径上游侧的滚轮对71、82具备驱动机构。如图7所示，该结构对在搬运导向部85上搬运引起的摆动进行导向，使带载体74在导向轨道86上移动。

将带载体74从内外侧用驱动滚轮81和按压滚轮82夹住，通过利用电动机84使驱动滚轮81旋转来搬运带载体74。该手柄式滚轮搬运机构结构简单且便宜，可以较容易地实现运转速度的变化和高速化。另外，在带载体宽度方向的两侧具有用于夹住带内外侧的夹板机构。该夹板机构分别通过滑动机构沿着带载体的搬运方向滑动。夹住带的内外侧且在搬运方向上滑动，断续地搬运带载体。该夹板搬运机构的带载体不会滑脱，通过夹板实现精确的搬运。

专利文件1：实开平5-33530号公报。

专利文件2：特开2006-190881号公报。

发明内容

上述的各搬运机构，为通过链轮使穿孔移动的机构，其中，穿孔在有张力存在的工作中，因为嵌合或脱离链轮而受到较大的损伤。

特别的，安装装置在安装芯片时作为定位的重要部位处理的情况下，使用安装工序前的基板用检测器对配线进行电气检查，通过穿孔进行搬运。如果损伤到穿孔的话，安装时会产生位置偏离，而产生安装误差。

另外，上述的手柄式滚轮搬运夹住较长的带状裸基板如带载体74的内外侧，通过旋转进行搬运。因此，结构简单且可便于控制搬运速度的高低。但是，因为搬运时在带载体74的宽度方向上两端的内外侧施加了使两个滚轮不滑动程度的压力而夹持，造成了带载体74表面的摩擦，使其表面出现损伤，有损伤穿孔的危险。

同样地，即使通过夹板机构进行带载体的搬运，因为是接触到带载体宽度方向两端的内外侧而夹持，会使表面产生损伤，有损伤穿孔的危险。

因此，本发明以提供一种基板用检测器的搬运机构为目的。该结构不接触到较长的带状裸基板的表面及两端的穿孔，并吸附在带状裸基板的内侧使其移动，可防止对基板表面及两端的损伤，而且没有搬运误差，能够正确的进行搬运。

为了实现上述目的，本发明提供一种搬运装置，其具备以下结构：吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；升降机构，搭载上述滑动搬运部、在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。

根据本发明，可以提供一种基板搬运机构：不接触到较长的带状基板的表面及两端，而吸附在带状基板的内侧并使其移动，防止基板表面及两端的损伤，另外，通过吸附保持而消除因滑动而产生的搬运偏差，从而能够正确的进行搬运。

附图说明

图1是表示从正面观看搭载第一实施方式所述的搬运机构的较长带状裸基板用检测器(基板检测器)的外观构成示意图。

图2(a)、(b)是表示第一实施方式所述的搬运机构的概况结构示意图。

图3(a)是表示从搬运途径下侧观看的概况结构示意图，图3(b)是搬运机构内部结构示意图。

图4(a)～(d)是用于说明第一实施方式所述的搬运机构的搬运动作的示意图。

图5(a)～(d)是第二实施方式所述的搬运机构的概况结构示意图。

图6是从正面观看搭载现有的手柄式滚轮的搬运机构较长带状基板用检测器的外观结构示意图。

图7是现有的手柄式滚轮搬运机构的详细结构示意图。

符号说明

1基板检测器

2装置本体

3带送出卷轴

4带卷绕卷轴

5带状基板(较长的带状裸基板)

6搬运机构

6A、6B滑动搬运部

7电流检查部

8操作面板

9监视器

10NG标示单元

11信号塔

12脚部

13、14、15、16支持滚轮

17、18、19、20、21、22、27、28导向部

23气缸部

24滑动部A

25、30吸附垫

25a、30a底座部

26、31孔

27、28、29滑动部B

33搬运导向部

34轨道部

35、37吸气管

36吸引泵

38切换阀

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的具体实施方式进行详细说明。

图1表示从正面看较长带状裸基板用检测器(称为基板检测器)的外观结构。其，该较长带状裸基板用检测器搭载有第一实施方式所述的基板搬运机构。

该基板检测器1在装置本体2的两侧安装有自由旋转的带送出卷轴3以及带卷入卷轴4。从带送出卷轴3送出的较长带状裸基板(以下称作带状基板)5通过后述的搬运机构6沿着指定的搬运途径搬运进而被带卷入卷轴4卷绕。另外，在带送出卷轴3以及带卷入卷轴4上设置有没有图示的以电动机为驱动源的驱动机构。运送时在带状基板上施加张力以免发生下垂，也可以用于搬运机构6的搬运辅助。

在装置本体2的正面设置维护时可以开关的门，正上方设置包含显示画面的操作面板8。该操作面板8上配置有多个对于操作和设定必要的开关组，作为显示画面采用了液晶显示面板等。作为开关，也可以使用设置在液晶显示面板上的触摸面板。

在装置本体2内设置有用于控制装置各构成部分的、未图示的控制部(例如，定序器和微型计算机)，另外，在装置本体2的四个角落上设置由用于相对于设置板固定、调整高度的调整器和用于移动的脚轮构成的脚部12。

另外，本实施方式的搬运路径是一种仅接触带状基板5内侧而进行搬运的机构。从带送出卷轴3送出的带状基板5由多个支持滚轮13、14、15、16支持，进而由带卷入卷轴4卷入。此外，通过设置在带状基板5的两侧未图示的导向机构，防止运送时带状基板5宽度方向的摆动。在该带状基板5水平搬运的运送路径上，从上游到下游设置有电流检查部7、NG标示单元10和搬运机构6。电流检查部7进行对在带状基板上形成的电路配线和电路元件的带电检查。NG标示单元10在使用电流检查部7判定安装区(某段)存在不合格品时，对该段(ピ-ス)进行NG标记(开孔处理)。当然，作记号不仅限于开孔，也可以印制象征性标示或凸凹记号。

另外，在装置本体的上面，搬运系统的后方设置显示装置现状、检查结果或用于设定的画面等的监视部9以及用于告知警告的信号塔11。警告不只是通过灯光的亮或灭来告知，也可以伴随着警告声(可以包含声音)。另外，使用绿色、黄色、红色等不同的颜色光可以有不同的警告意思。

本实施方式中的基板检测器的特征是在搬运路径上，滚轮等搬运机构的构成部位不接触带状基板5表面的安装面而进行搬运。为了使搬运机构的构成部位接触到带状基板5的内侧(非安装面)，构成部位大致呈水平配置。在此例中，带送出卷轴3以及带卷入卷轴4，配置到水平位置下方，施加使带卷入卷轴4在卷入方向上自由旋转的张力，防止搬运途径上的带状基板5的上浮，也可以设置防止带状基板5上浮用的导向物。当然，图1所示的结构只是一例，搬运机构的构成部位不接触到带状基板5的表面而能进行搬运的不只限于图1所示的结构。

图2(a)、(b)及图3(a)、(b)为涉及第一实施方式的搬运机构6的概略结构示意图。图2(a)为搬运机构6的外观示意图。图2(b)为搭载基板检测器的状态示意图。图3(a)为从搬运途径下游侧看的概略结构示意图。图3(b)为搬运机构6的内部结构示意图。

该搬运机构6由设置在与搬运方向垂直方向上的两个个滑动搬运部6A、6B和两侧对带状基板5搬运时的摆动进行导向的搬运导向部33构成。在搬运导向部33的各内壁面上设有从两端支持带状基板5的轨道部34。滑动搬运部6A和滑动搬运部6B为相同的结构。滑动导向部33的至少一侧组合于带状基板5的宽度方向上，形成可沿其宽度方向移动的结构。较佳为两侧的搬运导向部33可以以相同的比例进行扩张移动和收缩移动，与该搬运导向部33的移动一致，可以采用在滑动导向部6A、6B的宽度方向上移动的结构。

滑动搬运部6A由滑动部A24、可支持滑动部A24的两端升降的导向部21、22和与滑动部A24的两端下侧连接的两个汽缸部23构成。汽缸部23应采用反应快的结构部位。例如，可以使用气缸或油压缸，此外，也可以利用由弹簧等弹性材料或磁铁所产生的吸引/排斥。

滑动部A24的搬运方向形成较长的长方体形，上部形成切槽，设置有在该切槽往复移动的吸附垫25。该吸附垫25由例如聚缩醛等树脂材料形成，安装在基座部25a上。该基座部25a连接在图3(b)所示的往复移动部40上。往复移动部40由例如滚珠螺杆41和电动机42构成。基座部25a通过切槽44连接到嵌合在滚珠螺杆41上且可前进后进的螺母部43上。通过此结构，根据电动机42的旋转方向，通过螺母部43的前进后进，使吸附垫25在切槽44上往复移动。

另外，吸附垫25上开有多个圆形孔26，这些孔26通过具有乙烯塑料管等的可挠性的吸气管35以及切换阀38连接在吸附泵36上。通过该吸附泵36的驱动，外部空气便由吸附垫25的各孔26所吸引。通过该吸引，在吸附垫25的各孔26上，若接近或抵接到带状基板5的内侧，便吸附在其内侧，从而可以保持真空吸附。在该吸附垫25以保持吸附的状态下使滚珠螺杆41旋转，带状基板5通过吸附垫25的移动，而移动到搬运方向上。

另外，滑动搬运部6B与滑动搬运部6A是相同的结构，由滑动部B29、导向部27、28以及两个汽缸部23构成。另外，开有多个孔31的吸附垫30以及基座部30a通过具有可挠性的吸气管37以及切换阀38连接到吸附泵36上。在此结构中，通过把切换阀38和吸气管35、吸气管37互相切换，使其中的一方处于吸引状态。另外在本实施方式中，如图3(a)所示，滑动搬运部6B、6A通过汽缸部23的运动呈交替升降状态。

参照图4(a)至(d)，关于本实施方式的搬运机构6进行的带状基板5的搬运进行说明。

在图4(a)中，在搬运方向上游侧被汽缸部23按压的滑动部A24上升，吸附垫25抵接在没有图示的带状基板5的内侧。抵接的同时，通过由切换阀38的切换引起的吸附，带状基板5吸附保持在吸附垫25上。此时，滑动部B29在搬运方向下游侧被汽缸部23按压而下降，吸附垫30呈现与带状基板5的内侧相离的状态。此时，通过切换阀38的切换，吸附垫30呈未吸附状态。

图4(b)中，滑动部A24呈上升的状态，吸附垫25吸附保持在带状基板5的内侧，通过往复移动部从搬运方向的上游搬运移动到下游。同时，滑动部B29下降，通过切换阀38的切换而呈无吸附状态的吸附垫30从搬运方向的下游侧移动到上游侧。

本实施方式中带状基板5的搬运距离为因滚珠螺杆的旋转、螺母部所移动的距离，即吸附垫25移动的距离。但是，在实际的搬运中，在每一段(ピ-ス)对带状基板5进行带电检查的情况下，运送一个段的距离。另外，搬运距离不仅限于一个段，而是进行一次带电检查的段的距离。如果是一次进行两段带电检查的基板检测器的话，搬运距离便为两段的距离。当然，不仅仅是阶段性的移动，也可以连续搬运。

在图4(c)中，在滑动搬运部6A和滑动搬运部6B上的滑动部A24的上升状态和滑动部B29的下降状态交替出现。也就是说，在搬运方向的下游侧，通过切换阀38的切换，吸附垫25呈未吸附状态后，被汽缸部23推下的滑动部A24下降，吸附垫25脱离带状基板5的内侧。另一方面，滑动部B29在搬运方向的上游侧被汽缸部23推起而上升，吸附垫30抵接在带状基板的内侧。抵接的同时，带状基板5通过切换阀38的切换而吸附在呈吸引状态的吸附垫30上。

图4(d)中，滑动部B29呈上升状态下，吸附垫30吸附保持在带状基板5的内侧，通过往复移动部从搬运方向上游侧搬运移动到下游。通过该移动，带状基板5只被搬运吸附垫30移动的距离。

同时，滑动部A24下降，通过切换阀38的切换而呈无吸附状态的吸附垫25从搬运方向的下游侧移动到上游侧。

如上所述，在滑动搬运部6A、6B上的吸附垫25、30交替地吸附在带状基板5的内侧，从搬运方向的上游搬运移动到下游。通过连续的这种交替的往复移动，可以使带状基板5由搬运方向的上游侧移动到下游侧。

该带状基板5搬运的时候，吸附垫25、30抵接在带状基板5的内侧，以保持吸附状态使其移动。通过该种搬运，含有搬运机构的结构部位完全不接触到带状基板5的安装面，可以不发生损伤。由于具有使滑动搬运部6A、6B在宽度方向上移动的移动机构，因而可以使吸附垫25、30抵接在带状基板5内侧的指定位置。因此，就可以与带状基板5的规格与形状相配合而设定吸引装置。

另外，因为在搬运时保持吸附，所以与手柄式滚轮搬运相比，能够消除搬运偏差而正确的搬运。并且，不损伤带状基板的内外侧。可以避免对基板表面和穿孔的损伤。同样地，因为不是夹板搬运机构那样夹持带状基板5的内外侧，因此可以避免对基板表面和穿孔的损伤。

另外，在第一实施方式中叙述的开在吸附垫上的开孔呈圆形且配置多个，也可以是长孔、椭圆或者是矩形。另外，孔的数量最好根据设计选择适宜的。此外，吸附垫的外形形状是以矩形为例的，但抵接在带状基板5内侧的面可以是正圆形椭圆形等圆柱形。

另外，使设置在滑动搬运部上的吸附垫往复移动的往复移动部是对于由滚珠螺杆(包括螺母部)和电动机结构的这一例子来说明的。电动机可以采用直流(或交流)电动机或者是步进电动机。在使用普通电动机的情况下，设置传感器可以获取吸附垫的位置情报。如果是步进电动机，就可以根据施加的电源信号的步进数来获取吸附垫的位置情报。当然，也可以把步进电动机和传感器组合使用。另外，替换滚珠螺杆(包括螺母部)和电动机的组合，也可以使用直线电动机。

接着，关于第一实施方式的第一变形例子进行说明。

在第一变形例子中，将滑动搬运部6的滑动部A24、B29在搬运方向上进一步延伸，也就是说，通过使吸附垫25，30的移动距离变长，在吸附垫25、30的一次移动中，也就可以使带状基板的搬运距离变长。另外，相反的，也可以将吸附垫25，30的移动距离设定为一次带电检查的移动距离。

接着，关于第一实施方式的第二变形例子进行说明。

该第二变形例不采用把滑动搬运部设置成两列的形式，而是采用把更多的滑动搬运部6配置成列的形式。

作为第一种配置例子，是把多个滑动搬运部分为两组，分别为一方从搬运方向上游移动到下游的第一组和另一方从搬运方向下游返回到上游的第二组。第一组滑动搬运部的吸附垫在带状基板的宽度方向上排成一列配置。同样地，第二组滑动搬运部的吸附垫也是在带状基板的宽度方向上排成一列配置。当然，当第一组滑动搬运部的吸附垫在搬运方向的最上游时，第二组滑动搬运部的吸附垫便处于最下游位置，总是交错往来。在这种配置中，第一组滑动搬运部和第二组滑动搬运部在带状基板的宽度方向上交互配置。

另外，作为第二种配置例子，同样地，把多个滑动搬运部分为两组，分别为一方从搬运方向上游移动到下游的第一组和另一方从搬运方向下游返回到上游的第二组。在各自的组中，在搬运方向的移动长度中间大致等间隔地配置吸附垫，以免吸附垫在带状基板的宽度方向上重复排列。当然，即使在2个组之间，吸附垫在带状基板的宽度方向上重复排列也可以。在这种配置中，最好是将第一组的滑动搬运部和第二组的滑动搬运部在带状基板的宽度方向上交互配置。

通过这种配置，可以实现带状基板搬运速度的高速化，在相同时间内移动距离也变长，而且实现了流畅的移动。另外，通过增加吸附垫的数量，减少了每一个吸附垫的吸引力，通过在带状基板的多个位置上进行吸引，提高了带状基板吸附保持的可靠性，而且减少了每一个吸附垫对带状基板5的吸引力，从而可以减少对带状基板的损伤。

接着，关于第一实施方式的第三变形例子进行说明。

在该第三变形例子中，仅用一个滑动搬运部(例如6A)构成搬运机构。在此结构中，在电流检查部实施检查的过程中，滑动部A24下降，通过切换阀38的切换而呈无吸附状态的吸附垫25从搬运方向的下游侧返回到上游侧。因此，如果不追求比第一实施方式有更快的搬运速度的话，便可以通过一个滑动搬运部来实现搬运。

下面在图5(a)～(d)中，对涉及第二种实施方式的搬运机构的概念性结构进行示例说明。

在上述的第一种实施方式中，如果是滑动搬运部6A，则为一种吸附垫25通过汽缸部23而和滑动部A24一体升降的结构。

本实施方式是这样一种结构：在搬运带状基板5时，吸附部(吸附垫)自身上升，吸附保持带状基板5，吸附部以该保持状态搬运移动到搬运路径的下游侧。之后，吸引停止，吸附部从带状基板5上脱离开并下降，以未吸附状态回归移动到搬运途径上游侧。

本实施方式中的搬运机构51设置有可沿直线电动机52直线移动的滑动基座部53，在滑动基座部53上设置吸附基座部54，在吸附基座部54上形成在两侧面上沿上下方向延伸的导向槽。吸附部55插入导向支架56可在上下方向保持移动。

在吸附部55上面形成框架形状的吸附用边缘部57，内侧形成一段较低的吸附用区域。如图5(c)所示，在该吸附用区域内开有吸引口58，吸附用通路从吸引口58贯通到和吸附基座部54抵接的面。另外，吸附部55在上升的位置(带状基板5的保持位置)上设置在抵接面上的吸引用通路60的开口，以及在吸附基座部54的连通位置上设置吸引用61的开口，该吸引用通路61连接在吸附基座部54的背面(抵接面的相反侧)上的吸引导管59上，未图示的吸引泵使用具有可挠性的树脂导管连接在该吸引导管59上。

因此，图5(c)所示的吸附部55在上升位置上，吸引用通路60和吸引用通路61连通从吸引口58吸气。一方面，如图5(d)所示，以未吸附状态返回到搬运途径上游侧时，吸附部55下降，吸引用通路60和吸引用通路61呈上下分离的状态。另外，在吸附基座54和吸附部55之间，即使有用于移动的微小空隙(或者槽)，由于吸引用通路61的吸引，吸附部55被吸附而呈密实状态。另外，即使在吸附部55下降时，也使吸引用通路61呈吸引状态，也可以总是向着吸附基座54吸附。

此外，如图5(c)、(d)所示，在滑动基座部53上，在吸附部55的下方配置圆筒形状的驱动线圈62；串通该圆孔而移动的磁石柱63安装在吸附部55的下侧。在该驱动线圈62上产生与磁石柱63的磁场相反的磁场，把吸附部55向上方推出，维持带状基板5的保持位置。一方面，在返回到搬运路径的上游侧时，在该驱动线圈62上产生与磁石柱63相互吸引的磁场，使吸附部55下降呈吸附保持状态。

另外，在直线电动机52的两端设置固定用端部52a、52b，在固定用端上形成长孔，通过螺旋夹固定装置本体；只是固定用端部52a、52b被固定，因此通过使用长孔，便可以对应带状基板5的宽度而使其移动，较易实现规格变化。

如上所述，本实施方式的搬运机构提供了一种搬运机构，通过采用多个小型搬运单位可以在宽度方向或搬运方向上排列多个，以进行长距离搬运。

另外，在本实施方式中，不只局限于使用吸引泵来吸附保持带状基班5而搬运，例如，也可以把静电吸附结构设置在吸附部55来吸附带状基板5等的搬运物进行搬运。如果使用该结构，由于驱动机构以及吸附机构仅使用电源，因此即使在吸引泵的配管的折回困难的场所也可以轻易地进行配置。另外，静电吸附结构也可以轻易地适用于上述第一实施方式。

上述说明的实施方式包含有以下发明。

(1).基板检测器的搬运机构，该搬运机构具有以下特征：吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；升降机构，搭载上述滑动搬运部、在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。

(2).上述基板检测器的搬运机构，是具有以下特征的上述1记载的基板搬运机构：为使上述吸附垫配置在上述带状基板下方，而配置两个以上的滑动机构。上述多个滑动机构分为从搬运方向上游移动到下游的第一组和从搬运方向的下游返回到上游的第二组，总是交错往来运动。

(3).在上述基板检测器的搬运机构中，上述滑动搬运部具有以下结构：搭载上述吸附垫的基座部；两端可支持旋转的滚珠螺杆部；使上述滚珠螺杆旋转的电动机。嵌合于上述滚珠螺杆中、固定上述基座部的螺母部。上述1项记载的基板检测器的搬运机构便是以此为特征的。

Claims (3)

1.一种基板搬运机构，其特征在于，具有：

吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；

滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；

升降机构，搭载上述滑动搬运部，在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。

2.根据权利要求1所述的基板搬运机构，其特征在于，为使上述吸附垫配置在上述带状基板下方，而配置两个以上的上述滑动机构；

上述多个滑动机构分为从搬运方向上游移动到下游的第一组和从搬运方向的下游返回到上游的第二组，总是交错地往来运动。

3.根据权利要求1所述的基板搬运机构，其特征在于，上述滑动搬运部具有：

底座部，搭载上述吸附垫；

滚珠螺杆部，两端被支持，可旋转；

电动机，使上述滚珠螺杆旋转；

螺母部，嵌合于上述滚珠螺杆中，并固定上述底座部。

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