JP4493650B2 - Tcpハンドリング装置 - Google Patents
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Description
TCP用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、TCPハンドリング装置(以下「TCPハンドラ」という場合がある。)とから構成される。このTCPハンドラは、テープ(フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。)上にTCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、TCPの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のTCPを順次試験に付す機能を備えている。
このようなTCPハンドラは、一般的に、キャリアテープをプローブに押し付けるプッシャ本体と、プッシャ本体の両脇でキャリアテープを支持し当該キャリアテープを搬送するプッシャスプロケットとを備えている。TCPの試験時に、これらプッシャ本体およびプッシャスプロケットはキャリアテープを支持しつつ下方に移動し、キャリアテープ上のTCPをプローブカードのプローブに押し付ける。
上記スプロケットの前段側および後段側には、テンションガイドが設けられており、テンションガイドの変位によってキャリアテープの張力を調整している。従来のTCPハンドラでは、このテンションガイドはハンドラ本体に設置されているが、上記プッシャスプロケットの上下動に合わせて、テンションガイドの変位量を大きく取らざるを得ず、そのためにキャリアテープに過剰な張力が掛かり、テンションガイドからのテープ脱落による搬送ミスが発生したり、場合によってはキャリアテープ上のTCPが破損することがあった。
上記目的を達成するために、本発明は、テープ上にTCPが複数形成されたキャリアテープを、プッシャユニットによって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、TCPの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドリング装置であって、前記プッシャユニットは、プッシャ本体と、前記プッシャ本体の前段側および/または後段側にてキャリアテープを支持・搬送するプッシャスプロケットと、前記プッシャスプロケットの前段側および/または後段側にてキャリアテープをガイドするガイド部材とを備えるとともに、前記コンタクト部側に移動することにより前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する構成を有し、前記ガイド部材は、前記プッシャスプロケットを支持するフレームに、キャリアテープに掛かる張力を軽減する方向に変位できるように取り付けられていることを特徴とするTCPハンドリング装置を提供する(1)。
上記発明(1)に係るTCPハンドリング装置では、ガイド部材はプッシャスプロケットとともにコンタクト部側に移動するとともに、キャリアテープに掛かる張力を軽減する方向に変位し得るため、ガイド部材をTCPハンドリング装置の本体に設けた場合よりもガイド部材の変位量を小さくすることができ、これにより、キャリアテープに掛かる張力を効果的に軽減することができる。
上記発明(1)において、前記ガイド部材は、前記フレームの移動方向に沿って変位できるように前記フレームに取り付けられていることが好ましい(2)。
上記発明(2)によれば、プッシャスプロケットの移動に伴ってキャリアテープに掛かる張力を、プッシャスプロケットに対して反対方向に変位するガイド部材によって効果的に軽減させることができる。
上記発明(1,2)において、前記ガイド部材は、弾性体を介して前記フレームに取り付けられていることが好ましい(3)。
上記発明(3)によれば、弾性体によって、ガイド部材を、キャリアテープに掛かる張力を軽減する方向に効果的に変位させることができる。また、ガイド部材が変位するときに発生する振動や衝撃を緩和し、それら振動や衝撃がキャリアテープに伝達されることを抑制することができる。
上記発明(1〜3)において、前記ガイド部材は、スプロケットを備えて構成されていることが好ましい(4)。
上記発明(4)によれば、スプロケットの回転によってキャリアテープに摩擦を与えることなく、キャリアテープに掛かる張力の調整を行うことができる。
図2は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプッシャユニットの正面図である。
図3は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるテンションガイドの正面図である。
図4は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるテンションガイドの側面図である。
図5は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるテンションガイドの動作を示す説明図である。
図6は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるテンションガイドの動作を示す説明図である。
本発明の一実施形態に係るTCPハンドラを用いたTCP試験装置を図1に示す。
TCP試験装置1は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド10と、テストヘッド10の上側に設けられたTCPハンドラ2とから構成される。
TCPハンドラ2は、キャリアテープ5上に複数形成された各TCPを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにTCPを1個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ5上において直列方向および/または並列方向に並んだ複数のTCPを同時に試験に付すようにしてもよい。
TCPハンドラ2は、巻出リール21と巻取リール22とを備えており、巻出リール21には試験前のキャリアテープ5が巻き取られている。キャリアテープ5は、巻出リール21から巻き出され、試験に付された後に巻取リール22に巻き取られる。
巻出リール21と巻取リール22との間には、キャリアテープ5から剥離した保護テープ51を巻出リール21から巻取リール22に架け渡す3個のスペーサロール23a,23b,23cが設けられている。各スペーサロール23a,23b,23cは、保護テープ51の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。
巻出リール21の下側には、テープガイド24a、巻出リミットローラ25a、イン側サブスプロケット25bおよびイン側ガイドローラ25cが設けられており、巻出リール21から巻き出されたキャリアテープ5は、テープガイド24aによってガイドされつつ、巻出リミットローラ25a、イン側サブスプロケット25bおよびイン側ガイドローラ25cを経てプッシャユニット3に搬送される。
また、巻取リール22の下側には、テープガイド24b、巻取リミットローラ25f、アウト側サブスプロケット25eおよびアウト側ガイドローラ25dが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ5は、アウト側ガイドローラ25d、アウト側サブスプロケット25eおよび巻取リミットローラ25fを経て、テープガイド24bによってガイドされつつ、巻取リール22に巻き取られる。
イン側ガイドローラ25cと、アウト側ガイドローラ25dとの間には、プッシャユニット3が設けられており、プッシャユニット3の前段側(図1中左側)には第1カメラ6aが、プッシャユニット3の下側(後述するプローブカードステージ7の内側)には第2カメラ6bが、プッシャユニット3の後段側(図1中右側)には第3カメラ6cが設けられている。また、プッシャユニット3と第3カメラ6cとの間には、マークパンチ26aおよびリジェクトパンチ26bが設けられている。
マークパンチ26aは、試験の結果に基づいて、該当するTCPにつき所定の位置に1個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ26bは、試験の結果不良品であると判断されたTCPを打ち抜くものである。
各カメラ6a,6b,6cは、図示しない画像処理装置に接続されており、第1カメラ6aおよび第3カメラ6cは、キャリアテープ5上におけるTCPの有無やマークパンチ26aによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第2カメラ6bは、キャリアテープ5上のTCPとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施形態における第2カメラ6bは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになっている。
第2カメラ6bは、カメラステージ61上に搭載されており、カメラステージ61が有するアクチュエータによって平面視縦横方向(X軸−Y軸方向)および上下方向(Z軸方向)に移動可能となっている。
図1および図2に示すように、TCPハンドラ2の本体部には、ボールねじ32を回転させることのできるサーボモータ31がブラケット361を介して取り付けられているとともに、ボールねじ32が螺合しているプッシャ本体部33が2本のZ軸方向のリニアモーションガイド37を介して取り付けられている。このプッシャ本体部33は、サーボモータ31を駆動させることにより、リニアモーションガイド37にガイドされながら上下方向(Z軸方向)に移動可能となっている。また、プッシャ本体部33とプッシャユニット3のフレーム(プッシャフレーム)36とは、図示しない連動機構によって接続されており、上記のようにプッシャ本体部33が上下動すると、それに伴ってプッシャフレーム36も上下動するようになっている。
上記プッシャ本体部33の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ5を吸着保持することのできる吸着プレート34が設けられている。
プッシャフレーム36におけるプッシャ本体部33の前段側(図1中左側)には、テンションスプロケット35aが設けられており、プッシャ本体部33の後段側(図1中右側)には、メインスプロケット35bが設けられている。以下、テンションスプロケット35aおよびメインスプロケット35bを纏めてプッシャスプロケット35a,35bという場合がある。
メインスプロケット35bは、ステッピングモータ等によって駆動されてキャリアテープ5を搬送し、テンションスプロケット35aは、キャリアテープ5の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテープ5に所定のテンションをかけ、キャリアテープ5の位置精度を向上させる。
プッシャユニット3は、図示しないプッシャステージに接続されている。プッシャステージは、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており(図示省略)、サーボモータの駆動により、プッシャユニット3を水平方向(XY平面方向)に移動させることができるとともに、プッシャユニット3を垂直軸回り(Z軸回り)に回転させることができる。
プッシャユニット3の下側であって、テストヘッド10の上部には、プローブカード8を搭載したプローブカードステージ7が設置されている。プローブカードステージ7は、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており(図示省略)、サーボモータの駆動により、プローブカード8を水平方向(XY平面方向)に移動させることができるとともに、プローブカード8を垂直軸回り(Z軸回り)に回転させることができる。
複数のプローブ81を備えたプローブカード8は、ピンによってプローブカードステージ7のカードリングに着脱自在に取り付けられている(図示省略)。なお、プローブカード8の各プローブ81は、テストヘッド10を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード8の下側であって、プローブカードステージ7の内側には第2カメラ6bが位置している。
このTCP試験装置1では、キャリアテープ5はプッシャユニット3の下側を通過するように搬送され、このキャリアテープ5をプッシャユニット3が吸着・支持しながらテストヘッド10上のプローブカード8に押圧する。すると、キャリアテープ5上のTCPがプローブカード8のプローブ81にコンタクトしてテスト信号がTCPに印加され、TCPから読み出された応答信号は、テストヘッド10を通じてテスタ本体に送られる。これによりTCPの性能や機能等が試験される。
かかる試験は、キャリアテープ5が搬送されることにより、キャリアテープ5上の全てのTCPについて順次行われる。そして、試験結果に基づいてマークパンチ26aまたはリジェクトパンチ26bが駆動される。
[テンションガイド]
図2は、図1に示したTCPハンドラのプッシャユニットおよびテンションガイドの正面図である。図3および図4は、図2に示したテンションガイドの正面図(図3)および側面図(図4)である。図5および図6は、図2に示したテンションガイドの動作を示す説明図である。図6において、(a)は、プッシャユニット3が下方に移動する前の状態を示しており、(b)は、プッシャユニット3が下方に移動してキャリアテープ5がプローブカード8に押し付けられている状態を示している。
このTCPハンドラ2では、プッシャ本体33に連動してプッシャフレーム36が上下方向(Z軸方向)に移動可能に設置されており、これにより、プッシャフレーム36に取り付けられたプッシャスプロケット35a,35bが上下方向に移動できる(図示省略)。
また、このTCPハンドラ2では、プッシャユニット3のプッシャフレーム36に一対のテンションガイド4a,4bが設置されている。これらのテンションガイド4a,4bは、キャリアテープ5の搬送方向に対して、一方のテンションガイド4aがプッシャスプロケット35aの前段側に設置され、他方のテンションガイド4bがプッシャスプロケット35bの後段側に設置されている(図1および図2参照)。すなわち、テンションガイド4a,4bは、キャリアテープ5に対するプッシャユニット3の出入口(正面視にてプッシャフレーム36の左右)にそれぞれ位置している。テンションガイド4a,4bは、プッシャユニット3の出入口にてキャリアテープ5をガイドすることにより、プッシャユニット3の移動に伴ってキャリアテープ5に掛かる張力を調整する機能を有する。
テンションガイド4は、ガイドスプロケット41と、軸受42と、第一ベース43と、第二ベース44と、弾性体45とを含んで構成される(図3および図4参照)。ガイドスプロケット41は、キャリアテープ5を搬送し得る歯車からなり、軸受42によって回転可能に支持されている。軸受42は、第一ベース43上に固定設置されており、第一ベース43は、第二ベース44に対して上下方向(Z軸方向)に滑らかにスライド可能に設置されている。第二ベース44は、プッシャフレーム36に対して固定設置されている。かかる構成により、テンションガイド4は、プッシャフレーム36に対して上下方向に滑らかにスライドできる。
また、本実施形態における弾性体45は、コイルバネであり、その上端が取付金具451によりプッシャフレーム36の壁部に固定されており、また、その下端が第一ベース43に固定されている。かかる構成により、テンションガイド4は、弾性体45を介してプッシャフレーム36の壁面から吊り下げられて設置されている。
なお、第一ベース43および第二ベース44間のスライド機構は、例えば、第一ベース43が有する係合片431と、第二ベース44が有する上下方向の係合溝441とからなり、第一ベース43の係合片431が第二ベース44の係合溝441に係合することにより構成される(図4参照)。そして、係合片431が係合溝441内をスライドすることにより、第一ベース43が第二ベース44に対して上下方向にスライドする。なお、第一ベース43および第二ベース44間のスライド機構は、かかる構成に限られず、当業者自明の範囲内にて公知のスライド機構から任意に選択可能である。
また、このTCPハンドラ2では、TCPハンドラ2の本体に、一対の高さ規制ガイド27a,27bが設置されている。これらの高さ規制ガイド27a,27bは、キャリアテープ5の搬送方向に対して、一方の高さ規制ガイド27aがテンションガイド4aの前段側に設置され、他方の高さ規制ガイド27bがテンションガイド4bの後段側に設置されている(図1および図2参照)。これらの高さ規制ガイド27a,27bは、プッシャユニット3の前段側および後段側にて、キャリアテープ5を所定の高さを規制する機能を有する。
[作用]
このTCPハンドラ2では、キャリアテープ5がプッシャスプロケット35a,35bおよびテンションガイド4a,4bのガイドスプロケット41に掛け渡される。このとき、テンションガイド4a,4bのガイドスプロケット41は、キャリアテープ5を下面側(搬送状態にてプローブ81側に位置する面側であり、TCPの外部端子が形成されている面側)から支持する。
試験時には、プッシャスプロケット35a,35bがキャリアテープ5を上面側から支持するとともにプッシャ本体33がキャリアテープ5を吸着する。この状態にて、プッシャフレーム36(プッシャユニット3)が下方向(Z軸方向)に移動することにより、キャリアテープ5上のTCPがプローブカード8に対して押し付けられ、TCPの外部端子とプローブ81とがコンタクトする。そして、TCPにテスト信号が印加され、TCPの性能や機能等が試験される(図5参照)。
ここで、プッシャフレーム36が下方に移動すると、プッシャフレーム36とともに下方に移動するプッシャスプロケット35a,35bとTCPハンドラ2の本体に固定された高さ規制ガイド27a,27bとによって支持されたキャリアテープ5には張力が掛かる。テンションガイド4a,4b(ガイドスプロケット41)は、プッシャフレーム36とともに下方に移動するが、弾性体45を介してプッシャフレーム36に吊り下げられたガイドスプロケット41は、プッシャフレーム36に対して上方向にスライドし、これにより、キャリアテープ5に掛かる張力を軽減する。このとき、ガイドスプロケット41は回転しながらスライドするため、キャリアテープ5に摩擦を与えるおそれはない。
かかるガイドスプロケット41の元の位置に対する変位量は、ガイドスプロケット41をTCPハンドラ2の本体に取り付けた場合の変位量と比較して小さいため、キャリアテープ5に掛かる張力を効果的に軽減することができる。これにより、キャリアテープ5に掛かる過剰な張力に起因する、テンションガイド4a,4bからのテープ脱落による搬送ミスや、キャリアテープ5上のTCPの破損を防止することができる。
なお、テンションガイド4a,4bの弾性体45は、テンションガイド4a,4bがプッシャフレーム36に対して変位するときに発生する振動や衝撃を緩和し、それら振動や衝撃がキャリアテープ5に伝達されることを抑制する。
[変形例]
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、上記TCPハンドラ2では、テンションガイド4(ガイドスプロケット41)がプッシャフレーム36に対してスライド機構441,431を介して設置されている(図3および図4参照)。かかる構成は、プッシャフレーム36に対するテンションガイド4の変位を円滑化できる点で好ましい。しかし、これに限らず、他の変位可能な構成により、テンションガイド4がプッシャフレーム36に対して設置されても良い。また、テンションガイド4は、プッシャフレーム36上にて一方向(スライド方向)のみならず、任意の平面方向に変位可能に設置されても良い。これらの変位可能な構成は、当業者自明の範囲内にて任意に選択できる。
また、上記TCPハンドラ2では、テンションガイド4(ガイドスプロケット41)がプッシャフレーム36に対して弾性体45を介して設置されている(図3および図4参照)。具体的には、弾性体45がプッシャフレーム36と第一ベース43との間に介在することにより、テンションガイド4がプッシャフレーム36上に保持されている。しかし、これに限らず、例えば、弾性体45が第2ベース44の係合溝441内に配置されることにより、テンションガイド4のスライド機構441,431と一体化されて構成されても良い。これにより、テンションガイド4をコンパクト化できる利点がある。また、弾性体45は、コイルバネに限らず、ゴム製部材その他の弾性部材、エアシリンダ等の空気圧機器・油圧機器などにより構成されても良い。
Claims (4)
- テープ上にTCPが複数形成されたキャリアテープを、プッシャユニットによって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、TCPの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドリング装置であって、
前記プッシャユニットは、プッシャ本体と、前記プッシャ本体の前段側および/または後段側にてキャリアテープを支持・搬送するプッシャスプロケットと、前記プッシャスプロケットの前段側および/または後段側にてキャリアテープをガイドするガイド部材とを備えるとともに、前記コンタクト部側に移動することにより前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する構成を有し、
前記ガイド部材は、前記プッシャスプロケットを支持するフレームに、キャリアテープに掛かる張力を軽減する方向に変位できるように取り付けられていることを特徴とするTCPハンドリング装置。 - 前記ガイド部材は、前記フレームの移動方向に沿って変位できるように前記フレームに取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記ガイド部材は、弾性体を介して前記フレームに取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記ガイド部材は、スプロケットを備えて構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のTCPハンドリング装置。
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