KR100815493B1 - Ｔｃｐ 핸들링 장치 - Google Patents

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Abstract

테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프(5)를, 푸셔 유니트(3)에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드(8)로 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브(81)에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들러(2)에 있어서, 푸셔 유니트(3)는, 푸셔 본체(33)와, 푸셔 본체(33)의 전단측 및 후단측에서 캐리어 테이프(5)를 지지·반송하는 푸셔 스프로켓(35a),(35b)과, 푸셔 스프로켓(35a),(35b)의 전단측 및 후단측에서 캐리어 테이프(5)를 가이드하는 텐션 가이드(4a),(4b)를 구비하는 동시에, 프로브 카드(8)측으로 이동함으로써 캐리어 테이프(5)를 프로브 카드(8)로 압압하는 구성을 갖고, 텐션 가이드(4a),(4b)는 푸셔 스프로켓(35a),(35b)을 지지하는 푸셔 프레임(36)에, 상하 방향으로 슬라이드될 수 있도록 탄성체(45)를 개재하여 설치된다.
Figure R1020067022149
TCP 핸들링 장치

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLING DEVICE}
본 발명은, IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 기타 TAB(Tape Automated Bonding) 실장 기술에 의해 제조된 디바이스를 종합하여 TCP」라 함.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.
IC 디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용 시험 장치가 사용된다.
TCP용 시험 장치는, 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있음.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는, 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 함. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브에 콘택트시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.
이와 같은 TCP 핸들러는, 일반적으로 캐리어 테이프를 프로브에 밀어 붙이는 푸셔 본체와, 푸셔 본체의 양쪽에서 캐리어 테이프를 지지하여 상기 캐리어 테이프 를 반송하는 푸셔 스프로켓을 구비하고 있다. TCP의 시험 시에, 이들 푸셔 본체 및 푸셔 스프로켓은 캐리어 테이프를 지지하면서 아래 방향으로 이동하여, 캐리어 테이프 상의 TCP를 프로브 카드의 프로브에 밀어 붙인다.
상기 스프로켓의 전단측 및 후단측에는, 텐션 가이드가 설치되어 있고, 텐션 가이드의 변위에 의해 캐리어 테이프의 장력을 조정하고 있다. 종래의 TCP 핸들러에서는, 이 텐션 가이드는 핸들러 본체에 설치되어 있지만, 상기 푸셔 스프로켓의 상하 움직임에 맞추어, 텐션 가이드의 변위량을 크게 취할 수 밖에 없고, 그 때문에 캐리어 테이프에 지나친 장력이 걸려, 텐션 가이드로부터의 테이프 탈락에 의한 반송 불량이 발생되거나, 경우에 따라서는 캐리어 테이프 상의 TCP가 파손되는 것이 있었다.
본 발명은, 이와 같은 실상에 비추어서 이루어진 것으로, 푸셔 스프로켓의 이동에 따라 캐리어 테이프에 걸린 장력을 효과적으로 경감시킬 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔 유니트에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 푸셔 유니트는, 푸셔 본체와, 상기 푸셔 본체의 전단측 및/또는 후단측에서 캐리어 테이프를 지지·반송하는 푸셔 스프로켓과, 상기 푸셔 스프로켓의 전단측 및/또는 후단측에서 캐리어 테이프를 가이드하는 가이드 부재를 구비하는 동시에, 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고, 상기 가이드 부재는, 상기 푸셔 스프로켓을 지지하는 프레임에, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 경감하는 방향으로 변위될 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(1).
상기 발명(1)에 따른 TCP 핸들링 장치에서는, 가이드 부재는 푸셔 스프로켓과 함께 콘택트부측으로 이동하는 동시에, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 경감하는 방향으로 변위될 수 있기 때문에, 가이드 부재를 TCP 핸들링 장치의 본체에 설치된 경우보다도 가이드 부재의 변위량을 작게 할 수 있고, 이것에 의해 캐리어 테이프에 걸린 장력을 효과적으로 경감할 수 있다.
상기 발명(1)에 있어서, 상기 가이드 부재는, 상기 프레임의 이동 방향을 따라 변위될 수 있도록 상기 프레임에 설치되어 있는 것이 바람직하다(2).
상기 발명(2)에 의하면, 푸셔 스프로켓의 이동에 따라 캐리어 테이프에 걸린 장력을, 푸셔 스프로켓에 대하여 반대 방향으로 변위되는 가이드 부재에 의해 효과적으로 경감시킬 수 있다.
상기 발명(1,2)에 있어서, 상기 가이드 부재는, 탄성체를 개재하여 상기 프레임에 설치되어 있는 것이 바람직하다(3).
상기 발명(3)에 의하면, 탄성체에 의해, 가이드 부재를, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 경감하는 방향으로 효과적으로 변위시킬 수 있다. 또한, 가이드 부재가 변위될 때에 발생하는 진동이나 충격을 완화하여, 그들 진동이나 충격이 캐리어 테이프로 전달되는 것을 억제할 수 있다.
상기 발명(1~3)에 있어서, 상기 가이드 부재는, 스프로켓을 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다(4).
상기 발명(4)에 의하면, 스프로켓의 회전에 의해 캐리어 테이프에 마찰을 주지 않고, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 조정할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도.
도 2는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 정면도.
도 3은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 텐션 가이드의 정면도.
도 4는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 텐션 가이드의 측면도.
도 5는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 텐션 가이드의 동작을 도시한 설명도.
도 6은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 텐션 가이드의 동작을 도시한 설명도.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도 1에 도시한다.
TCP 시험 장치(1)는, 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으 로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다.
TCP 핸들러(2)는, 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것으로, 본 실시 형태에서는 설명의 간략화를 위하여 TCP를 한개씩 시험에 제공하는 것이다. 단, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 캐리어 테이프(5) 상에 있어서 직렬 방향 및/또는 병렬 방향으로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하는 것이 좋다.
TCP 핸들러(2)는, 권출 릴(21)과 권취 릴(22)을 구비하고 있고, 권출 릴(21)에는 시험 전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는, 권출 릴(21)로부터 풀어지고, 시험에 제공된 후에 권취 릴(22)에 감겨진다.
권출 릴(21)과 권취 릴(22)의 사이에는, 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(51)를 권출 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은, 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록, 각각 상하 움직일 수 있게 되어 있다.
권출 릴(21)의 하측에는, 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출 릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는, 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 통과하여 푸셔 유니트(3)로 반송된다.
또한, 권취 릴(22)의 하측에는, 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤 러(25f), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는, 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 통과하여, 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서, 권취 릴(21)에 감겨진다.
내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는, 푸셔 유니트(3)가 설치되어 있고, 푸셔 유니트(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유니트(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유니트(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유니트(3)와 제 3카메라(6c)의 사이에는, 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다.
마크 펀치(26a)는 시험 결과에 기초하여, 해당하는 TCP에 대하여 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품이면 판단된 TCP를 구멍을 뚫는 것이다.
각 카메라(6a),(6b),(6c)는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 접속되어 있고, 제 1카메라(6a) 및 제 3카메라(6c)는, 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍 위치나 수를 판단하기 위한 것으로, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP와 프로브의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이다. 본 실시 형태에 있어서 제 2카메라(6b)는, 시야 내의 복수의 대상에 대하여 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.
제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이 지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, TCP 핸들러(2)의 본체부에는, 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사 결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가 2개 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(37)를 개재하여 설치되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써, 리니어 모션 가이드(37)에 가이드되면서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 푸셔 본체부(33)와 푸셔 유니트(3)의 프레임(푸셔 프레임)(36)은, 도시하지 않은 연동 기구에 의해 접속되어 있고, 상기와 같이 푸셔 본체부(33)가 상하로 움직이면, 그것에 따라 푸셔 프레임(36)도 상하로 움직이도록 되어 있다.
상기 푸셔 본체부(33)의 하단부에는, 에어를 흡인함으로써 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.
푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 전단측(도 1 중 좌측)에는, 텐션 스프로켓(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도 1 중 우측)에는, 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다. 이하, 텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b)을 종합하여 푸셔 스프로켓(35a),(35b)이라 하는 경우가 있다.
메인 스프로켓(35b)은, 스텝핑 모터 등에 의해 구동되어 캐리어 테이프(5)를 반송하고, 텐션 스프로켓(35a)은, 캐리어 테이프(5)의 주행 방향과 역방향으로 회전함으로써 캐리어 테이프(5)에 소정의 텐션을 걸어, 캐리어 테이프(5)의 위치 정 도를 향상시킨다.
푸셔 유니트(3)는, 도시하지 않은 푸셔 스테이지에 접속되어 있다. 푸셔 스테이지는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해, 푸셔 유니트(3)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 푸셔 유니트(3)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.
푸셔 유니트(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는, 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 프로브 카드 스테이지(7)는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해 프로브 카드(8)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 프로브 카드(8)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.
복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는, 핀에 의해 프로브 카드 스테이지(7)의 카드 링에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다(도시 생략). 한편, 프로브 카드(8)의 각 프로브(81)는, 테스트 헤드(10)를 통해 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하측으로서, 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치하고 있다.
이 TCP 시험 장치(1)에서는, 캐리어 테이프(5)는 푸셔 유니트(3)의 하측을 통과하도록 반송되어, 이 캐리어 테이프(5)를 푸셔 유니트(3)가 흡착·지지하면서 테스트 헤드(10) 상의 프로브 카드(8)에 누른다. 그러면, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 콘택트되어 테스트 신호가 TCP로 인가되고, TCP로부터 판독된 응답 신호는, 테스트 헤드(10)를 통해 테스터 본체로 보내진다. 이것에 의해 TCP의 성능이나 기능 등이 시험된다.
이러한 시험은, 캐리어 테이프(5)가 반송됨으로써, 캐리어 테이프(5) 상의 모든 TCP에 대하여 순차적으로 수행된다. 그리고, 시험 결과에 기초하여 마크 펀치(26a) 또는 리젝트 펀치(26b)가 구동된다.
[텐션 가이드]
도 2는 도 1에 도시한 TCP 핸들러의 푸셔 유니트 및 텐션 가이드의 정면도이다. 도 3 및 도 4는 도 2에 도시한 텐션 가이드의 정면도(도 3) 및 측면도(도 4)이다. 도 5 및 도 6은 도 2에 도시한 텐션 가이드의 동작을 도시한 설명도이다. 도 6에 있어서, (a)는 푸셔 유니트(3)가 아래 방향으로 이동하기 전의 상태를 도시하고 있고, (b)는 푸셔 유니트(3)가 아래 방향으로 이동하여 캐리어 테이프(5)가 푸셔 가이드(8)에 밀어 붙여져 있는 상태를 도시하고 있다.
이 TCP 핸들러(2)에서는, 푸셔 본체(33)에 연동하여 푸셔 프레임(36)이 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있고, 이것에 의해, 푸셔 프레임(36)에 설치된 푸셔 스프로켓(35a),(35b)이 상하 방향으로 이동할 수 있다(도시 생략).
또한, 이 TCP 핸들러(2)에서는, 푸셔 유니트(3)의 푸셔 프레임(36)에 한쌍의 텐션 가이드(4a)(4b)가 설치되어 있다. 이들 텐션 가이드(4a),(4b)는, 캐리어 테이프(5)의 반송 방향에 대하여, 한쪽의 텐션 가이드(4a)가 푸셔 스프로켓(35a)의 전단측에 설치되고, 다른쪽의 텐션 가이드(4b)가 푸셔 스프로켓(35a)의 후단측에 설치되어 있다(도 1 및 도 2 참조). 즉, 텐션 가이드(4a),(4b)는, 캐리어 테이프(5)에 대한 푸셔 유니트의 출입구(정면에서 볼 때 푸셔 프레임(36)의 좌우)에 각각 위 치하고 있다. 텐션 가이드(4a),(4b)는, 푸셔 유니트(3)의 출입구에서 캐리어 테이프(5)를 가이드함으로써, 푸셔 유니트(3)의 이동에 따라 캐리어 테이프(5)에 걸린 장력을 조정하는 기능을 갖는다.
텐션 가이드는, 가이드 스프로켓(41)과, 축받이(42)와, 제 1베이스(43)와, 제 2베이스(44)와, 탄성체(45)를 포함하여 구성된다(도 3 및 도 4 참조). 가이드 스프로켓(41)은, 캐리어 테이프(5)를 반송할 수 있는 기어로 이루어지고, 축받이(42)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 축받이(42)는, 제 1베이스(43) 상에 고정 설치되어 있고, 제 1베이스(43)는 제 2베이스(44)에 대하여 상하 방향(Z축 방향)으로 부드럽게 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 제 2베이스(44)는 푸셔 프레임(36)에 대하여 고정 설치되어 있다. 이러한 구성에 의해, 푸셔 가이드(4)는, 푸셔 프레임(36)에 대하여 상하 방향으로 부드럽게 슬라이드될 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서의 탄성체(45)는, 코일 스프링이고, 그 상단이 설치 금구(金具)(451)에 의해 푸셔 프레임(36)의 벽부에 고정되어 있고, 또한 그 하단이 제 1베이스(43)에 고정되어 있다. 이러한 구성에 의해, 텐션 가이드(4)는, 탄성체(45)를 개재하여 푸셔 프레임(36)의 벽면으로부터 걸어 매달려 설치되어 있다.
한편, 제 1베이스(43) 및 제 2베이스(44) 사이의 슬라이드 기구는,예컨대 제 1베이스(43)가 갖는 계합편(431)과, 제 2베이스(44)가 갖는 상하 방향의 계합홈(441)으로 이루어지고, 제 1베이스(43)의 계합편(431)이 제 2베이스(44)의 계합홈(441)에 계합함으로써 구성된다(도 4 참조). 그리고, 계합편(431)이 계합홈(441) 내를 슬라이드함으로써, 제 1베이스(43)가 제 2베이스(44)에 대하여 상하 방향으로 슬라이드된다. 한편, 제 1베이스(43) 및 제 2베이스(44) 사이의 슬라이드 기구는, 이러한 구성에 한정되지 않고, 당업자 자명의 범위 내에서 공지의 슬라이드 기구로 임의로 선택 가능하다.
또한, 이 TCP 핸들러(2)에서는, TCP 핸들러(2)의 본체에, 한쌍의 높이 규제 가이드(27a),(27b)가 설치되어 있다. 이들 높이 규제 가이드(27a),(27b)는, 캐리어 테이프(5)의 반송 방향에 대하여, 한쪽의 높이 규제 가이드(27a)가 텐션 가이드(4a)의 전단측에 설치되고, 다른쪽의 높이 규제 가이드(27b)가 텐션 가이드(4b)의 후단측에 설치되어 있다(도 1 및 도 2 참조). 이들 높이 규제 가이드(27a),(27b)는, 퓨셔 유니트(3)의 전단측 및 후단측에서, 캐리어 테이프(5)를 소정의 높이를 규제하는 기능을 갖는다.
[작용]
이 TCP 핸들러(2)에서는, 캐리어 테이프(5)가 푸셔 스프로켓(35a),(35b) 및 텐션 가이드(4a),(4b)의 가이드 스프로켓(41)으로 건네 놓여진다. 이 때, 텐션 가이드(4a),(4b)의 가이드 스프로켓(41)은, 캐리어 테이프(5)를 하면측(반송 상태에서 프로브(81)측에 위치하는 면측이고, TCP의 외부 단자가 형성되어 있는 면측)으로부터 지지한다.
시험 시에는, 푸셔 스프로켓(35a),(35b)이 캐리어 테이프(5)를 상면측으로부터 지지하는 동시에 푸셔 본체(33)가 캐리어 테이프(5)를 흡착한다. 이 상태에서, 푸셔 프레임(36)(푸셔 유니트(3))이 아래 방향(Z축 방향)으로 이동함으로써, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 프로브 카드(8)에 대하여 밀착되어, TCP의 외부 단자와 프로브(81)가 콘택트된다. 그리고, TCP에 테스트 신호가 인가되어, TCP의 성능이나 기능 등이 시험된다(도 5 참조).
여기서, 푸셔 프레임(36)이 아래 방향으로 이동하면, 푸셔 프레임(36)과 함께 아래 방향으로 이동하는 푸셔 스프로켓(35a),(35b)과, TCP 핸들러(2)의 본체에 고정된 높이 규제 가이드(27a),(27b)에 의해 지지된 캐리어 테이프(5)에는 장력이 걸린다. 텐션 가이드(4a),(4b)(가이드 스프로켓(41))는, 푸셔 프레임(36)과 함께 아래 방향으로 이동하지만, 탄성체(45)를 개재하여 푸셔 프레임(36)에 걸려 매달려있는 가이드 스프로켓(41)은, 푸셔 프레임(36)에 대하여 위 방향으로 슬라이드되고, 이것에 의해 캐리어 테이프(5)에 걸린 장력을 경감한다. 이 때, 가이드 스프로켓(41)은 회전되면서 슬라이드되기 때문에, 캐리어 테이프(5)에 마찰을 줄 우려는 없다.
이러한 가이드 스프로켓(41)의 본래 위치에 대한 변위량은, 가이드 스프로켓(41)을 TCP 핸들러(2)의 본체에 설치된 경우의 변위량과 비교하여 작기 때문에, 캐리어 테이프(5)에 걸린 장력을 효과적으로 경감할 수 있다. 이것에 의해, 캐리어 테이프(5)에 걸린 지나친 장력에 기인하는, 텐션 가이드(4a),(4b)로부터의 테이프 탈락에 의한 반송 불량이나, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP의 파손을 방지할 수 있다.
한편, 텐션 가이드(4a),(4b)의 탄성체(45)는, 텐션 가이드(4a),(4b)가 푸셔 프레임(36)에 대하여 변위될 때에 발생하는 진동이나 충격을 완화하여, 그들 진동이나 충격이 캐리어 테이프(5)에 전달되는 것을 억제한다.
[변형예]
이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.
예컨대, 상기 TCP 핸들러(2)에서는, 텐션 가이드(4)(가이드 스프로켓(41))가 푸셔 프레임(36)에 대하여 슬라이드 기구(441),(431)를 개재하여 설치되어 있다(도 3 및 도 4 참조). 이러한 구성은, 푸셔 프레임(36)에 대한 텐션 가이드(4)의 변위를 원활하게 할 수 있는 점에서 바람직하다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 다른 변위 가능한 구성에 의해, 텐션 가이드(4)가 푸셔 프레임(36)에 대하여 설치되어도 좋다. 또한, 텐션 가이드(4)는, 푸셔 프레임(36) 상에서 한쪽 방향(슬라이드 방향)뿐 만 아니라, 임의의 평면 방향으로 변위 가능하게 설치되어도 좋다. 이들 변위 가능한 구성은, 당업자 자명의 범위 내에서 임의로 선택할 수 있다.
또한, 상기 TCP 핸들러(2)에서는, 텐션 가이드(4)(가이드 스프로켓(41))가 푸셔 프레임(36)에 대하여 탄성체(45)를 개재하여 설치되어 있다(도 3 및 도 4 참조). 구체적으로는, 탄성체(45)가 푸셔 프레임(36)과 제 1베이스(43)의 사이에 개재됨으로써, 텐션 가이드(4)가 푸셔 프레임(36) 상에 홀드되어 있다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 예컨대 탄성체(45)가 제 2베이스(44)의 계합홈(441) 내에 배치됨으로써, 텐션 가이드(4)의 슬라이드 기구(441),(431)와 일체화되어 구성되어도 좋다. 이것에 의해, 텐션 가이드(4)를 콤팩트화 할 수 있는 잇점이 있다. 또한, 탄성체(45)는 코일 스프링에 한정되지 않고, 고무제 부재 기타 탄성 부재, 에어 실린 더 등의 공기압 기기·유압 기기 등에 의해 구성되어도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치에 의하면, 푸셔 스프로켓의 이동에 따라 캐리어 테이프에 걸린 장력을 효과적으로 경감시킬 수 있기 때문에, 캐리어 테이프 상의 TCP를 파손하지 않고 시험에 제공할 수 있다.

Claims (5)

  1. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔 유니트에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    상기 푸셔 유니트는, 푸셔 본체와, 상기 푸셔 본체의 전단측 및 후단측에서 캐리어 테이프를 지지·반송하는 푸셔 스프로켓과, 상기 푸셔 스프로켓의 전단측 및 후단측에서 캐리어 테이프를 가이드하는 가이드 부재를 구비하는 동시에, 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고,
    상기 가이드 부재는, 상기 푸셔 스프로켓을 지지하는 프레임에, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 경감하는 방향으로 변위될 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  2. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔 유니트에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    상기 푸셔 유니트는, 푸셔 본체와, 상기 푸셔 본체의 전단측 또는 후단측에서 캐리어 테이프를 지지·반송하는 푸셔 스프로켓과, 상기 푸셔 스프로켓의 전단측 또는 후단측에서 캐리어 테이프를 가이드하는 가이드 부재를 구비하는 동시에, 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고,
    상기 가이드 부재는, 상기 푸셔 스프로켓을 지지하는 프레임에, 캐리어 테이프에 걸린 장력을 경감하는 방향으로 변위될 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 부재는, 상기 프레임의 이동 방향을 따라 변위될 수 있도록 상기 프레임에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 부재는, 탄성체를 개재하여 상기 프레임에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 부재는, 스프로켓을 구비하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745667A (ja) * 1993-07-28 1995-02-14 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂの位置決め穴を保護するｔａｂと電極の位置決め方法
JPH08166424A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Ando Electric Co Ltd パンチユニットつきｔａｂ用オートハンドラ
JP2003222652A (ja) 2002-01-31 2003-08-08 Ando Electric Co Ltd Ｔｃｐ用ハンドラ及びテンション制御方法
JP2003270293A (ja) 2002-03-19 2003-09-25 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂハンドラのテープのしわ伸ばし機構

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745667A (ja) * 1993-07-28 1995-02-14 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂの位置決め穴を保護するｔａｂと電極の位置決め方法
JPH08166424A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Ando Electric Co Ltd パンチユニットつきｔａｂ用オートハンドラ
JP2003222652A (ja) 2002-01-31 2003-08-08 Ando Electric Co Ltd Ｔｃｐ用ハンドラ及びテンション制御方法
JP2003270293A (ja) 2002-03-19 2003-09-25 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂハンドラのテープのしわ伸ばし機構

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