KR20090132617A

KR20090132617A - Ｔｃｐ 핸들링 장치

Info

Publication number: KR20090132617A
Application number: KR1020097022067A
Authority: KR
Inventors: 히사시 무라노; 카츠히로 이마이즈미
Original assignee: 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 2007-03-29
Filing date: 2008-02-28
Publication date: 2009-12-30
Also published as: TW200902997A; WO2008120519A1; JPWO2008120519A1

Abstract

TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프(5)를 반송하고, 테스트 헤드(10)에 전기적으로 접속되어 있는 프로브(81)를 갖는 프로브 카드(8)에 대하여 캐리어 테이프(5)를 누르고, TCP의 테스트 패드를 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 접속시킴으로써, TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들러(2)에 있어서, 클리닝 스테이지(91)에 의해 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입되어, 프로브 카드(8)의 프로브(81)를 클리닝할 수 있는 클리닝 부재(93)를 설치한다. 이러한 TCP 핸들러(2)에 따르면, TCP 핸들러(2)의 실가동중일지라도, 프로브(81)를 간편히 클리닝할 수 있다.

TCP, 핸들링, 프로브, 캐리어, 테이프

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{ＴＣＰ HANDLING APPARATUS}

본 발명은 IC디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 그 외 TAB(Tape Automated Bonding) 실장기술에 의해 제조된 디바이스를 총칭하여 「TCP」라고 한다.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.

IC디바이스 등의 전자부품의 제조과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자부품 시험장치가 필요하며, TCP의 경우에는 TCP용의 시험장치가 사용된다.

TCP용의 시험장치는 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있다.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는 테이프(필름의 개념도 포함한 것으로 한다. 이하 동일.)상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 푸셔에 의해 캐리어 테이프를 누르고, TCP의 테스트 패드를 프로브에 접촉시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.

그렇지만, 상기의 시험을 반복하여 수행하면, TCP의 테스트 패드의 금속이 프로브로 옮아 가서, 그 금속에 의한 산화 피막이 프로브에 형성되어, TCP의 테스 트 패드와 프로브의 접촉 불량을 일으키는 경우가 있다. 이 상태에서 TCP의 테스트 패드를 프로브에 접촉시키더라도 정확한 시험을 수행할 수 없다.

상기와 같은 TCP의 테스트 패드와 프로브의 접촉불량을 방지·해소하기 위해서는 프로브를 클리닝할 필요가 있다. 프로브를 클리닝하기 위해서, 종래는 프로브 카드를 떼어내어 작업대 위에서 프로브를 연마하거나, 푸셔에 연마재를 장착하고 그 연마재를 프로브에 접촉시키거나 했었다.

그렇지만, 종래의 클리닝 방법에서는 TCP 핸들러의 실가동중(로트 시험중)에는 실시할 수 없는 문제나, 프로브 카드 또는 연마재의 탈착에 시간 및 수고를 필요로 하는 문제가 있었다.

본 발명은 이와 같은 실상에 비추어 이루어 진 것으로, TCP 핸들링 장치의 실가동중일지라도 측정부의 접속단자를 간편히 클리닝할 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접속단자를 갖는 측정부에 대하여 캐리어 테이프를 누르고, TCP의 외부단자를 상기 측정부의 접속단자에 접속시킴으로써, TCP를 순차시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되어, 상기 측정부의 접속단자를 클리닝할 수 있는 클리닝 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명1).

상기 발명(발명1)에 따르면, 측정부를 떼어내거나 푸셔에 연마재를 장착하거나 할 필요가 없고, TCP 핸들링 장치의 실가동중(로트 시험중)이어도, 접속단자를 단시간에 간편히 클리닝할 수 있다. 또한 본 명세서에 있어서는 TCP 핸들링 장치를 가동하여 시험을 수행하고 있는 중에 있어서, 시험을 일시 중단한 상태도 「실가동중」에 포함되는 것으로 한다.

상기 발명(발명1)에서 상기 클리닝 부재는, 해당 클리닝 부재를 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 대하여 삽입 및 퇴출시키는 것, 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접 및 이격시키는 것 및 상기 측정부의 복수의 접속단자의 선단부가 형성하는 면 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 장치에 설치되어 있어도 좋다(발명2). 또한 상기 발명(발명1)에서 상기 TCP 핸들링 장치는 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되어, 상기 캐리어 테이프의 소정 부위 및 상기 측정부의 소정 부위를 촬영할 수 있는 촬상 장치를 구비하고 있고, 상기 촬상 장치는 해당 촬상 장치를 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 대해 삽입 및 퇴출시키는 것, 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접 및 이격시키는 것 및 상기 측정부의 복수의 접속단자의 선단부가 형성하는 면 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 장치에 설치되어 있고, 상기 클리닝 부재는 상기 촬상 장치의 어느 부위에 설치되어 있어도 좋다(발명3).

상기 발명(발명2,3)에 따르면, 이동 장치에 의하여 클리닝 부재를 자동적으로 이동시킴으로써, 접속단자를 간편히 클리닝 할 수 있다.

상기 발명(2,3)에서 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접·이격 가능한 푸셔 장치를 구비하고 있고, 상기 이동 장치는 상기 푸셔 장치의 상기 접속단자에 대한 이동량을 근거로 상기 클리닝 부재의 상기 접속단자에 대한 이동량을 결정하도록 하여도 좋다(발명4).

상기 발명(발명4)에 따르면, 클리닝 부재의 접속단자에 대한 접촉압을, 접속단자에 데미지를 주지 않는 호적한 크기로 설정할 수 있다.

상기 발명(1~4)에서 클리닝 부재는 연마재이어도 좋고(발명5), 브러시여도 좋다(발명6). 클리닝 부재가 브러시일 경우, 상기 TCP 핸들링 장치는 상기 브러시 또는 상기 접속단자에 대하여 세정액을 공급할 수 있는 세정액 공급장치를 구비하여도 좋다(발명7). 이러한 발명에 따르면, 접속단자의 더러움을 효과적으로 없애 접속단자를 깨끗하게 할 수 있다.

상기 발명(발명1~7)에서, 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 클리닝 부재 또는 상기 측정부의 접속단자의 근방에 위치할 수 있는 에어 블로어 또는 베큐엄 장치를 구비하여도 좋다. 이러한 발명에 따르면, 클리닝 부재에 의해 접속단자로부터 취한 더러움이나 이물질을 클리닝 부재나 접속단자의 둘레에 남기는 일 없이 제거할 수 있다.

상기 발명(발명1~8)에서, 상기 TCP 핸들링 장치의 실가동중에서의 상기 클리닝 부재에 의한 상기 측정부의 접속단자의 클리닝은, 피시험 TCP와 상기 접속단자의 접촉불량 또는 접촉률의 저하를 지표로 하여 수행해도 좋고(발명9), 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행해도 좋다(발명10).

발명의 효과

본 발명의 TCP 핸들링 장치에 따르면, TCP 핸들링 장치의 실가동중일지라도 측정부의 접속단자를 간편히 클리닝할 수 있다.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험장치를 도시한 정면도.

도2는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛, 클리닝 유닛 및 프로브 카드의 측면도.

도3은 다른 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛, 카메라, 클리닝 부재 및 프로브 카드의 측면도.

부호의 설명

1…TCP 시험장치

2…TCP 핸들러(TCP 핸들링 장치)

33…푸셔 본체부(푸셔 장치)

5…캐리어 테이프

6b…제2카메라(촬상 장치)

62…카메라 스테이지(이동 장치)

8…프로브 카드(측정부)

81…프로브(접속단자)

9…클리닝 유닛

91…클리닝 스테이지(이동 장치)

93…클리닝 부재

10…테스트 헤드

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세히 설명한다.

도1은 본 발명의 일실시형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험장치를 도시한 정면도이며, 도2는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛, 클리닝 유닛 및 프로브 카드의 측면도이다.

TCP 시험장치(1)는 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스트 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다. TCP 핸들러(2)는 캐리어 테이프(5)상에 복수 형성된 각 TCP를 순차시험에 제공하는 것이다.

또한, 본 실시형태에 따른 TCP 핸들러(2)에서, X축은 테스트 헤드(10)상의 캐리어 테이프(5)의 반송 방향(도1의 좌우 방향)을 나타내고, Y축은 수평면에서 X축과 직교하는 방향(도1의 지면을 관통하는 방향)을 나타내고, Z축은 수직 방향(도1의 상하 방향)을 나타낸다.

TCP 핸들러(2)는 권출릴(21)과 권취릴(22)을 구비하고 있고, 권출릴(21)에는 시험전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는 권출릴(21)로부터 풀려지고, 시험에 제공된 후에 권취릴(22)에 감겨진다.

권출릴(21)과 권취릴(22)의 사이에는 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(51)를 권출릴(21)로부터 권취릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록 각각 상하 이동 가능하게 되어 있다.

권출릴(21)의 하측에는 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로킷(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로킷(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 거쳐 푸셔 유닛(3)으로 반송된다.

또한, 권취릴(22)의 하측에는 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로킷(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로킷(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 거쳐 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서 권취릴(22)에 감겨진다.

내측 가이드 롤러(25c)와 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는, 푸셔 유닛(3)이 설치되어 있고, 푸셔 유닛(3)의 전단측(도1의 좌측)에는 제1카메라(6a)가, 푸셔 유닛(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제2카메라(6b)가, 푸셔 유닛(3)의 후단측(도1의 우측)에는 제3카메라(6c)가 설치되어 있다.

푸셔 유닛(3)과 제3카메라(6c)의 사이에는 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다. 마크 펀치(26a)는 시험의 결과를 근거로 해당하는 TCP에 대해 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이며, 리젝트 펀치(26b)는 시험의 결과 불량품이라고 판단된 TCP를 펀칭하는 것이다.

각 카메라(6a),(6b),(6c)는 도시하지 않은 화상 처리장치에 접속되어 있고, 제1카메라(6a) 및 제3카메라(6c)는 캐리어 테이프(5)상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍의 위치나 수를 판단하기 위한 것이며, 제2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5)상의 TCP와 프로브의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이다.

도1에 도시한 바와 같이, 푸셔 유닛(3)의 프레임(푸셔 프레임)(36)에는 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사 결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가 2개의 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(이하 「LM가이드」라고 한다.)(37)를 개재하여 설치되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써, LM가이드(37)에 가이드되면서 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

이 푸셔 본체부(33)의 하단부에는 에어를 흡인함에 따라 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.

푸셔 본체부(33)의 전단측(도1의 좌측)에는, 텐션 스프로킷(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도1의 우측)에는 메인 스프로킷(35b)이 설치되어 있다.

도2에 도시한 바와 같이, 푸셔 프레임(36)의 배면측에는 푸셔 스테이지(4)가 설치되어 있다. 이 푸셔 스테이지(4)에 따르면, 푸셔 유닛(3)을 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 둘레로 이동시킬 수 있다. 따라서 푸셔 유닛(3)의 푸셔 본체부(33)가 흡착 플레이트(34)에 의해 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드하고 있는 상태에서 푸셔 유닛(3)을 상기와 같이 이동시킴으로써, 캐리어 테이프(5)를 X축 방향, Y축 방향 또 는 Z축 둘레로 이동시켜 캐리어 테이프(5)상의 TCP와 프로브(81)의 위치 맞춤을 수행할 수 있다.

한편, 도1에 도시한 바와 같이 푸셔 유닛(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다.이 프로브 카드 스테이지(7)에 따르면 프로브 카드(8)를 X축-Y축 방향으로 이동시키는 것 및 Z축 둘레로 회전 이동시킬 수 있다.

프로브 카드(8)는 복수의 프로브(81)를 구비하고 있고, 각 프로브(81)는 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있다.

도1 및 도2에 도시한 바와 같이, 푸셔 유닛(3)과 프로브 카드(8)의 사이에는 클리닝 유닛(9)이 설치되어 있다. 클리닝 유닛(9)은 클리닝 스테이지(91)와, 클리닝 스테이지(91)로부터 늘어져 있는 아암(92)의 선단부 하측에 설치된 클리닝 부재(93)를 구비하고 있다.

클리닝 스테이지(91)는 아암(92)을 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킬 수 있는 액츄에이터를 내장하고 있다. 따라서 클리닝 부재(93)는 클리닝 스테이지(91)의 구동에 의해 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동할 수 있다.

클리닝 부재(93)는 사포(예를 들어 샌드 페이퍼) 등의 연마재이어도 좋고, 브러시여도 좋고, 프로브(81)에 데미지를 주지 않고, 프로브(81)의 선단부의 더러움이나 이물질을 제거할 수 있으면 특별히 한정되지 않는다.

클리닝 부재(93)가 브러시일 경우, TCP 핸들러(2)는 브러시 또는 프로브(81)에 대하여 알코올 등의 세정액을 공급할 수 있는 세정액 공급장치를 구비하여도 좋 다. 이러한 세정액 공급장치로부터 브러시 또는 프로브(81)에 세정액을 공급함으로써, 프로브(81)의 더러움을 효과적으로 없애고, 프로브(81)를 깨끗히 할 수 있다. 세정액의 공급 방법으로는 브러시 또는 프로브(81)로의 분사 또는 적하, 또는 브러시로의 함침 등 어느쪽이어도 좋다.

또한, TCP 핸들러(2)는 클리닝 부재(93) 또는 프로브(81)의 근방에 위치할 수 있는 에어 블로어 또는 베큐엄 장치를 구비하고 있어도 좋다. 예를 들어 덕트를 클리닝 유닛(9)의 아암(92)의 하측으로 뻗게하여, 그 덕트의 개구부가 클리닝 부재(93)를 향하도록 하여 에어 블로어 또는 베큐엄 장치를 설치할 수 있다. 또한 에어 블로어 또는 베큐엄 장치는 프로브 카드(8)측에 설치하여도 좋다. 이러한 에어 블로어 또는 베큐엄 장치에 따르면, 클리닝 부재(93)에 의해서 프로브(81)로부터 취한 더러움이나 이물질을 클리닝 부재(93)나 프로브(81)의 둘레에 남기는 일 없이 제거할 수 있다.

여기에서 클리닝 유닛(9)의 동작에 대하여 설명한다. 통상시는 도2(a)에 도시한 바와 같이 클리닝 부재(93)는 클리닝 스테이지(91)의 근방에 위치하여, 푸셔 본체부(33)와 프로브 카드(8)의 사이로부터 퇴출되어 있다.

클리닝 할 때에는, 도2(a)~(b)에 도시한 바와 같이, 클리닝 스테이지(91)는 아암(92)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜 클리닝 부재(93)를 푸셔 본체부(33)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입하는 동시에, 프로브(81)의 선단부의 위쪽에 위치시킨다. 이어서 클리닝 스테이지(91)는 아암(92)을 Z축 마이너스 방향으로 이동시켜 클리닝 부재(93)를 프로브(81)의 선단부에 접촉시킨다. 그 상태에서 클리 닝 스테이지(91)는 아암(92)을 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 왕복 이동시켜 클리닝 부재(93)에 의해 프로브(81)의 선단부를 문질러서, 프로브(81)의 선단부의 더러움이나 이물질을 제거한다.

또한, 클리닝 스테이지(91)에 의한 클리닝 부재(93)의 Z축 방향의 이동량(하단 위치)은, 푸셔 본체부(33)의 프로브(81)에 대한 이동량(하단 위치)을 근거로 결정하는 것이 바람직하다. 이에 따라 클리닝 부재(93)의 프로브(81)에 대한 접촉압은 프로브(81)에 데미지를 주지 않는 호적한 크기로 할 수 있다.

상기 클리닝이 종료되면, 클리닝 스테이지(91)는 아암(92)을 Z축 플러스 방향, 그리고 X축 방향, Y축 방향으로 이동시켜 클리닝 부재(93)를 도2(a)에 도시한 통상시의 상태로 되돌린다.

여기에서 프로브(81)의 배치는 TCP의 품종마다 다르기 때문에, TCP 핸들러(2)는 TCP의 품종마다 클리닝 부재(93)의 표준 위치, 즉 클리닝 스테이지(91)에 의한 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 이동량을 기억해 놓고, 피시험 TCP의 종류에 따라서 그 정보를 판독하고, 해당 정보에 따라서 클리닝 부재(93)를 표준 위치로 이동시키는 것이 바람직하다.

상기와 같은 클리닝은 TCP 핸들러(2)의 실가동중에 접촉불량이 발생한 때 또는 접촉률이 저하한 때에 수행하도록 하여도 좋고, 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행하도록 하여도 좋다. 전자의 경우에는 가능한 한 시험을 중단하지 않고 끝내기 때문에, 시험 효율을 높이 유지할 수 있다. 한편, 후자의 경우에는 접촉불량이나 접촉률의 저하를 미리 방지할 수 있다.

본 실시형태에 따른 클리닝 유닛(9)에 따르면, 프로브 카드(8)를 떼어내거나 푸셔 유닛(3)에 연마재를 장착하거나 할 필요가 없고, TCP 핸들러(2)의 실가동중(로트 시험중)일지라도 프로브(81)를 단시간에 간편히 클리닝할 수 있다.

이상 설명한 실시형태에서는, 클리닝 부재(93)는 클리닝 유닛(9)에 설치했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 클리닝 부재(93)는 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이에 삽입되는 카메라에 설치되어도 좋다.

도3(a),(b)에 도시한 예에서는, 제2카메라(6b)는 푸셔 스테이지(4)와 프로브 카드(8)의 사이에 설치된 카메라 스테이지(62)로부터 늘어져 있는 아암(63)의 선단부에 설치되어 있다 그리고 제2카메라(6b)에는 브래킷(94)이 설치되어 있고, 그 브래킷(94)의 하면에 클리닝 부재(93)가 설치되어 있다.

카메라 스테이지(62)는 상기 클리닝 스테이지(91)와 동일한 구조를 갖고 있고, 내장되어 있는 액츄에이터에 의해서 아암(63)을 통하여 제2카메라(6b)를 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.

따라서 제2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이에 삽입되는 것 및 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이로부터 퇴출하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한 제2카메라(6b)가 X축 방향/Y축 방향으로 이동함으로써, 제2카메라(6b)가 TCP의 서로의 먼 위치에 있는 복수의 테스트 패드 및 프로브 카드(8)의 서로의 먼 위치에 있는 프로브(81)를 촬영할 수 있기 때문에, TCP와 프로브 카드(8)의 위치 어긋남량을 보다 양호한 정밀도로 구할 수 있다.

제2카메라(6b)는 제2카메라(6b)의 상측 및 하측을 각각 동시에 촬영할 수 있 는 것이다. 따라서 도3(b)에 도시한 바와 같이, 제2카메라(6b)가 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이에 삽입된 때에는 제2카메라(6b)에 의해서 TCP의 테스트 패드 또는 얼라이먼트 마크 및 프로브(81)의 선단부를 동시에 촬영할 수 있다. 이러한 제2카메라(6b)에 따르면 아래쪽에서는 촬영할 수 없는 프로브(81)의 선단부(테스트 패드와의 접촉면)를 직접 촬영할 수 있기 때문에, 프로브(81)의 선단부의 위치 정보를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 또한 가까운 위치로부터 TCP의 테스트 패드 또는 얼라이먼트 마크를 촬영할 수 있기 때문에, 그것들의 위치 정보(좌표데이터)를 높은 정밀도로 취득할 수 있다.

클리닝 할 때에는 도3(a)~(b)에 도시한 바와 같이, 카메라 스테이지(62)는 아암(63)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜, 클리닝 부재(93)를 푸셔 본체부(33)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입하는 동시에, 프로브(81)의 선단부의 위쪽에 위치시킨다. 이어서 카메라 스테이지(62)는 아암(63)을 Z축 마이너스 방향으로 이동시켜, 클리닝 부재(93)를 프로브(81)의 선단부에 접촉시킨다. 그 상태에서 카메라 스테이지(62)는 아암(63)을 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 왕복 이동시켜 클리닝 부재(93)에 의해서 프로브(81)의 선단부를 문질러서, 프로브(81)의 선단부의 더러움이나 이물질을 제거한다.

상기 클리닝이 종료되면 카메라 스테이지(62)는 아암(63)을 Z축 플러스 방향, 그리고 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜 제2카메라(6b) 및 클리닝 부재(93)를 도3(a)에 도시한 통상시의 상태로 되돌린다.

이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 기재된 것 으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.

예를 들어 클리닝 스테이지(91)에 바이브레이션기능을 부가하여, 클리닝 부재(93)가 프로브(81)의 선단부에 접촉한 후, 클리닝 부재(93)의 X축 방향 및/또는 Y축 방향의 왕복 운동을 생략하고, 클리닝 부재(93)를 진동시켜 그에 따라 프로브(81)의 선단부의 더러움이나 이물질을 제거해도 좋다.

본 발명은 TCP 핸들링 장치의 실가동중일지라도 측정부의 접속단자를 간편히 클리닝할 수 있기 때문에, 효율적으로 시험을 수행하는데 유용하다.

Claims

TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접속단자를 갖는 측정부에 대하여 캐리어 테이프를 누르고, TCP의 외부단자를 상기 측정부의 접속단자에 접속시킴으로써, TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,

상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되어, 상기 측정부의 접속단자를 클리닝할 수 있는 클리닝 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 클리닝 부재는, 해당 클리닝 부재를 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 대하여 삽입 및 퇴출시키는 것, 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접 및 이격시키는 것 및 상기 측정부의 복수의 접속단자의 선단부가 형성하는 면 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 장치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되어, 상기 캐리어 테이프의 소정 부위 및 상기 측정부의 소정 부위를 촬영할 수 있는 촬상 장치를 구비하고 있고,

상기 촬상 장치는, 해당 촬상 장치를 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 대하여 삽입 및 퇴출시키는 것, 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접 및 이격시키는 것 및 상기 측정부의 복수의 접속단자의 선단부가 형성하는 면 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 장치에 설치되어 있고,

상기 클리닝 부재는, 상기 촬상 장치의 어느 부위에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항2 또는 3에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치는 상기 측정부의 접속단자에 대하여 근접·이격 가능한 푸셔 장치를 구비하고 있고,

상기 이동 장치는 상기 푸셔 장치의 상기 접속단자에 대한 이동량을 근거로, 상기 클리닝 부재의 상기 접속단자에 대한 이동량을 결정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1 내지 4중 어느 한 항에 있어서,

상기 클리닝 부재는 연마재인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1 내지 4중 어느 한 항에 있어서,

상기 클리닝 부재는 브러시인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 6에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 브러시 또는 상기 접속단자에 대하여 세정액을 공급할 수 있는 세정액 공급장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1 내지 7중 어느 한 항에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 클리닝 부재 또는 상기 측정부의 접속단자의 근방에 위치할 수 있는 에어 블로어 또는 베큐엄 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1 내지 8중 어느 한 항에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치의 실가동중에서의 상기 클리닝 부재에 의한 상기 측정부의 접속단자의 클리닝은, 피시험 TCP와 상기 접속단자의 접촉불량 또는 접촉률의 저하를 지표로 하여 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
청구항 1 내지 8중 어느 한 항에 있어서,

상기 TCP 핸들링 장치의 실가동중에서의 상기 클리닝 부재에 의한 상기 측정부의 접속단자의 클리닝은, 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.