JP2017204559A - リペアユニットを有するシステム - Google Patents
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Abstract
Description
1.制御ユニットが、駆動ユニットにより、支持ユニットを第1の速度で下降すること。
2.支持ユニットを第1の速度より遅い第2の速度で上昇すること。
3.第2の速度で上昇する前に、第2の速度よりも速い第3の速度で、摺動距離だけ支持ユニットを上昇すること。
4.制御ユニットが、駆動ユニットにより、第1の速度で降下する前、および/または第2の速度で上昇した後に、第1の速度より速い第4の速度で支持ユニットを下降および/または上昇すること。
10 ステージユニット
20 検査ユニット
30 リペアユニット
40 フラックス転写ユニット
50 ボール搭載ユニット
60 余剰ボール除去ユニット
61 ピックアップユニット
63 駆動ユニット
64 除去ノズル
65 接触検出ユニット(支持ユニット)
Claims (11)
- 導電性ボールが搭載されたワークの搭載欠陥を処理するリペアユニットを有するシステムであって、
前記リペアユニットは、搭載欠陥の処理のために対象物にアクセスしてピックアップするピックアップユニットを含み、
前記ピックアップユニットは、前記対象物に接触する先端と、
前記先端を支持する部分が上下に摺動する支持ユニットとを含み、
さらに、前記先端が下降して前記対象物に接触して停止する際の前記支持する部分の摺動距離を検出する検出ユニットと、
前記先端を、前記支持ユニットを介して上下に移動する駆動ユニットであって、前記支持ユニットを第1の速度で下降する第1の動作、前記支持ユニットを前記第1の速度より遅い第2の速度で上昇する第2の動作および、前記第2の動作の前に、前記第2の速度より速い第3の速度で、前記摺動距離だけ前記支持ユニットを上昇する第3の動作を含む動作を行う駆動ユニットとを有する、システム。 - 請求項1において、
前記駆動ユニットの前記動作は、前記第1の動作の前、および前記第2の動作の後に、前記第1の速度より速い第4の速度で前記支持ユニットを下降および上昇する第4の動作を含む、システム。 - 請求項1または2において、
前記駆動ユニットの前記動作を制御する制御ユニットを有する、システム。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記ピックアップユニットは、前記ワークの上の余剰ボールをピックアップするユニットである、システム。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記ピックアップユニットは、内側に吸引用の流路を備えたノズルであって、前記流路が前記先端近傍で前記先端に向かってテーパー状に拡張したノズルを含む、システム。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記先端が出し入れされるクリーニングユニットをさらに有し、
前記クリーニングユニットは、挿入された前記先端に接するように配置された回転ブラシを含む、システム。 - 請求項6において、
前記クリーニングユニットは、前記回転ブラシが収納されたハウジングと、
前記ハウジング内を負圧にする負圧ユニットとを含む、システム。 - 請求項1ないし7のいずれかにおいて、
前記リペアユニットが搭載欠陥のリペアを開始する前に、前記ワークの表面全体の状態を観察して搭載欠陥の場所を特定する検査ユニットと、
前記ピックアップユニットに隣接して配置され、処理対象の搭載欠陥の位置を処理の前に再確認するアライメントカメラユニットとを有する、システム。 - 請求項1ないし8のいずれかにおいて、
前記ワークを搭載した状態で前記リペアユニットに対し相対的に前記ワークを移動するステージユニットを有するシステム。 - 導電性ボールが搭載されたワークの搭載欠陥の処理を行うリペアユニットを有するシステムの制御方法であって、
前記リペアユニットは、搭載欠陥の処理のために対象物にアクセスしてピックアップするピックアップユニットを含み、
前記ピックアップユニットは、前記対象物に接触する先端と、前記先端を支持する部分が上下に摺動する支持ユニットとを含み、
さらに、前記リペアユニットは、前記先端が下降して前記対象物に接触して停止する際の前記支持する部分の摺動距離を検出する検出ユニットと、
前記先端を前記支持ユニットを介して上下に移動する駆動ユニットと、
前記駆動ユニットを制御する制御ユニットとを含み、
当該制御方法は、
前記制御ユニットが、前記駆動ユニットにより、前記支持ユニットを第1の速度で下降することと、
前記支持ユニットを前記第1の速度より遅い第2の速度で上昇することと、
前記第2の速度で上昇する前に、前記第2の速度より速い第3の速度で、前記摺動距離だけ前記支持ユニットを上昇することとを有する方法。 - 請求項10において、
前記制御ユニットが、前記駆動ユニットにより、前記第1の速度で下降する前、および前記第2の速度で上昇した後に、前記第1の速度より速い第4の速度で前記支持ユニットを下降および上昇することを有する、方法。
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