JP3733486B2 - 導電性ボール除去装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ボール搭載装置の改良に関するもので、主としてマウントヘッドのボール保持面に保持された不要な導電性ボールを除去するための除去手段とマウントヘッドの昇降量の決定に主眼をおいて開発されたものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より導電性ボール搭載装置において、搭載前のマウントヘッドに吸着保持された不要な導電性ボール(エキストラボール、ダブルボール等)を検出手段で検出して除去する方法や、導電性ボールを被搭載物に搭載した後のマウントヘッドに残された不要な導電性ボール(リメインボール等)を検出して除去する方法が存在した。
【0003】
ところが、マウントヘッドのボール保持面は、厳密に言えば完全なる水平面ではなく、微妙な傾きを有している。そこで、導電性ボールが直径0.1mmと非常に微小な場合、この傾きが単なる誤差ではなくなり、一定の接近量で制御すると、個々の取り除きたい不要な導電性ボールとその除去手段となる吸引ノズルの距離が異なるものとなり、十分に近づけない場合には、除去効果が発揮できない場合が生ずる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ボール保持面となる吸着孔が設けられた吸着プレートの交換時などに、導電性ボール搭載装置の動作前に予めマウントヘッドのボール保持面の傾きを求めておき、不要導電性ボールの除去を行う位置によって、除去手段となる吸引ノズルの上昇量及びマウントヘッドの下降量を異ならせ、ボール保持面と除去手段たる吸引ノズルの先端の間隔を一定に保つようにし、確実に不要導電性ボールの除去が可能な導電性ボール除去装置を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、上記課題を解決するため、導電性ボール除去装置に次の手段を採用する。
第1に、導電性ボールを吸着保持するボール保持面を有し、保持した導電性ボールを被搭載物に搭載するマウントヘッドと、ボール保持面に接近しボール保持面上の不要な導電性ボールに作用して除去する除去手段と、該除去手段をボール保持面に相対的に接近させる昇降手段とを有する導電性ボール搭載装置とする。
第2に、ボール保持面に対し相対的に接近して所定間隔まで接近したことを検出する間隔検出手段を備える。
第3に、上記所定間隔となったときのボール保持面と間隔検出手段との相対的な接近移動量に基づいて、不要な導電性ボールを除去する際のマウントヘッドと除去手段の相対的昇降量を決定する。
【0006】
第2の発明は、第1の発明の改良に関するもので、間隔検出出手段が、ボール保持面に対し相対的に接近しつつ気体を噴射若しくは吸引するノズルと、該ノズル内の圧力変動を検出する圧力検出手段から構成され、所定圧力を検出することでボール保持面とノズルが所定間隔まで接近したことを検出することを特徴とするものである。
更に、第3の発明は、第1又は第2の発明の改良に関するもので、除去手段が、気体を噴射又は吸引するノズルから構成されていることを特徴とするものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。図1は、半田ボール搭載装置1の全体を示す概略説明図であり、実施例では、本発明における導電性ボールとして、直径0.1mmの半田ボール2が用いられている。勿論、本発明における導電性ボールが上記半田ボール2に限定されるものではない。又、実施例では被搭載物としてウエハ31を使用しているが、他にBGA基板などのプリント配線基板であってもよいことは勿論である。
【0008】
該半田ボール搭載装置1は、図1中左方より、半田ボール2が多数貯留されているボール供給装置3と、半田ボール2を真空吸引して保持するマウントヘッド4と、マウントヘッド4のX軸移動装置6(図1中左右への移動装置)と、マウントヘッド4のZ軸移動装置7(図1中上下方向への移動装置)と、不要半田ボール22,23の位置を検出する検査カメラ8と、不要半田ボール22,23に直接的に作用するボール除去装置9と、ボール保持面11とボール除去装置9が所定間隔まで接近したことを検出する圧力検出装置(図1には示されず、図2に示されている。)5と、Y−Θ軸方向に移動するウエハ31が載置されるYーΘテーブル32とが設けられている。
【0009】
マウントヘッド4のX軸移動装置6(図1中左右への移動装置)と、マウントヘッド4のZ軸移動装置7(図1中上下方向への移動装置)とが、ボール供給装置3と、YーΘテーブル32との間でマウントヘッド4を相対的に移動させる移動機構となる。勿論、相対的に移動可能であればよいので、YーΘテーブル32等が移動するものであっても、両者が移動するものであってもよい。
【0010】
X軸移動装置6及びZ軸移動装置7でのマウントヘッド4の移動は、ボール供給装置3上方への移動、ボール吸着のための上下移動及びYーΘテーブル32上方への移動、ボール搭載動作のための上下移動がある。尚、Z軸移動装置7は、図示されていないサーボモータ、サーボモータにより回転させられるボールねじ、ボールねじの回転を上下動に変化させるナット部を備えたもので、Z軸移動装置7は、上記機能以外に、吸引ノズル10内の圧力変動を検出するためのマウントヘッド4の上下移動の駆動機構ともなる。
【0011】
YーΘテーブル32は、Y軸駆動テーブル上にΘ軸駆動部が設置されており、Y軸方向(図1中前後方向)及びΘ軸方向(回転方向)に平面移動可能に構成されており、搭載の際の位置合わせに用いられる。
【0012】
マウントヘッド4は、半田ボール2を吸着保持する吸着孔15が図3(B)に現れるように複数形成されたボール保持面11が、マウントヘッド4の下面に形成されている。マウントヘッド4は、図示されていないバキューム源と接続されており、バキューム源からの負圧によりボール保持面11に多数形成された吸着孔15に半田ボール2を吸着保持する。
【0013】
検査カメラ8は、不要半田ボール22の位置を検出するもので、正確には、図3(A)に示されるようなボール供給装置3で半田ボール2を吸着保持したマウントヘッド4に余分に保持されている不要半田ボール22のボール保持面11上の位置、若しくは図3(B)に示されるような搭載部でウエハ31に半田ボール2を搭載した後のマウントヘッド4に搭載されずに保持されている半田ボール23のボール保持面11上の位置を検出するものである。
【0014】
すなわち、検査カメラ8による不要半田ボール22,23の検出は、マウントヘッド4の往路(ボール搭載前の移動経路)及び復路(ボール搭載後の移動経路)の両方で行われる。図3(A)は、往路での検査カメラ8での検出した検査画像であり、適正に吸着保持された半田ボール2と余剰ボールである不要な半田ボール22がボール保持面11上に検出されている。他方図3(B)は、復路での検査カメラ8での検出した検査画像であり、搭載されなかった残存ボールが不要な半田ボール23としてボール保持面11上に検出されている。尚、図中符号15は、吸着孔である。
【0015】
ボール除去装置9は、図2に示されるように吸引ノズル10を有し、該吸引ノズル10は、吸引通路16を介して図示されていないバキューム源と接続されている。半田ボール2の直径が0.1mmの場合、吸引ノズル10の吸引開口径は0.8mmであって、正規に吸着保持されている半田ボール2に干渉しない程度にボール保持面11にできるだけ接近させて、不要半田ボール22を取り囲むように位置することで不要半田ボール22のほぼ全周から流入する外気が作用するように形成されている。
【0016】
吸引ノズル10での、不要半田ボール22,23の除去作業は次のように行われる。往路におけるエキストラボールやダブルボール等の不要半田ボール22に対しては吸引除去が行われ、復路のリメインボール等の不要半田ボールに対しては、ボール保持面11に当接しない程度に吸引ノズル10を接近させて、不要半田ボール23を吸引ノズル10の先端開口内に位置させ、開口縁で取り囲み、マウントヘッド4若しくは吸引ノズル10を横移動させることで開口縁に当接させて除去する。
【0017】
尚、吸引ノズル10には、マウントヘッド4下面の所定位置まで接近する昇降手段としてエアーシリンダ12と図1中前後方向への移動のためのY軸移動機構13とが装備されている。勿論、吸引ノズル10と、マウントヘッド4下面の接近隔離は相対的なものでよいので、該エアーシリンダ12及びマウントヘッド4のZ軸移動装置7の何れを主としてもよい。
【0018】
吸引ノズル10への吸引通路16の途中には、吸引ノズル10の内部圧力の変動を検出する圧力検出装置5が接続されている。すなわち、該吸引ノズル10が本発明における、除去手段としてのノズルの役割と同時に間隔検出手段を構成するノズルの役割も有するのである。実施例での圧力検出装置5は、吸引ノズル10内の内部圧力の変動、すなわち、吸引圧の変動を検出する。従って、吸引ノズル10と接続されるバキューム源が不要半田ボール22,23の除去に用いられれる吸引の負圧源と、圧力検出のため吸引ノズル10内の内部圧力発生の負圧源となる。圧力検出装置5で検出された吸引ノズル10内の内部圧力は、基台14内部に設けられた制御部17に入力され、記憶される。
【0019】
次に、本実施例におけるボール除去の位置までのマウントヘッド4及び吸引ノズル10の移動量の検出方法について説明する。先ず、半田ボール搭載装置1の搭載動作前に、図4(A)に示されるような原点位置に存在する吸引ノズル10のエアーシリンダ12を作動させ、吸引ノズル10を半田ボール2を吸着保持していないマウントヘッド4のボール保持面11の所定検出位置下方より、図4(B)に示される所定位置まで上昇させる。ここでは吸着孔15を設けたボール保持面11と同一平面となる3点以上の吸着孔15の無い位置を所定検出位置としている。
【0020】
他方、マウントヘッド4も、図4(A)に示される原点位置よりZ軸移動装置7により所定量下降させられ、図4(B)に示される位置に至る。その後、図4(C)に現れるように低速で徐々にボール保持面11に接近させる。両者のギャップが小さくなると、吸引ノズル10内の圧力変動が生じる。図4(C)の位置より、吸引ノズル10内の圧力変動を圧力検出装置5にて検出し、予め設定されている所定圧となったことで、吸引ノズル10先端とマウントヘッド4下面の間隔が所定間隔になったことを検出する。図4(D)がこの位置を表している。このときの制御部17は、吸引ノズル10先端との間隔が所定間隔となったときの、原点位置からのマウントヘッド4の下降量、すなわち接近移動量を求める。尚、吸引ノズル10の昇降手段にサーボモータ等を用い、徐々に上昇させて任意の位置で停止できる機構を設けた場合には、マウントヘッド4を停止させておいて吸引ノズル10をその下面に徐々に接近させて所定圧力を検出し、原点位置から所定間隔となるまでの吸引ノズル10の接近移動量を求めるようにしても良い。更に、マウントヘッド4を徐々に下降させ、吸引ノズル10を徐々に上昇させて、両者の複合的な昇降動により、相対的に接近させて、所定圧力を検出するようにしても良い。
【0021】
制御部17は、更に、求めた3点についての接近移動量から平面方程式によりマウントヘッド4下面の傾きを求め、記憶しておく。すなわち、各点でのマウントヘッド4の機械原点位置からの下降量若しくは吸引ノズル10の上昇量又は両者の相対的な昇降量により、各点の平面位置(X,Y)及び高さ(Z)を求め、平面方程式(AX+BY+CZ)により理想水平面に対するマウントヘッド4下面の傾きを導き、記憶しているのである。マウントヘッド4下面の傾きを求めておくことで、吸引ノズル10を所定の間隔まで接近させるマウントヘッド4と吸引ノズル10との相対的昇降量を、ボール保持面11の位置毎に決定でき、不要な半田ボールを除去する際のボール保持面11と吸引ノズル10の間隔を、ボール保持面11上のどの位置においても、除去に必要な一定間隔とすることができる。
【0022】
尚、実施例は吸引ノズル10でマウントヘッド4下面の傾きを検出する際に、吸引での負圧を利用して行ったが、不要な半田ボール22,23に気体の噴射圧を作用させて除去する導電性ボール除去装置の場合には、ノズル10からエアーを吹き出しながら接近させて、正圧の圧力変動を検出するようにしてもよい。
【0023】
かようにマウントヘッド4下面の傾きの検出、及び、記憶作業の終了後、マウントヘッド4は、X軸移動装置6の作動により、ボール供給装置3上方に移動する。次に、Z軸移動装置7の作動により、マウントヘッド4は下降し、ボール供給装置3より半田ボール2をマウントヘッド4のボール保持面11に設けられた吸着孔15に吸着し、半田ボール2を吸着したら、再びZ軸移動装置7により上昇する。
【0024】
半田ボール2を吸着したマウントヘッド4は、X軸移動装置6により、更に図1中右方への移動を継続し、検査カメラ8の上方に至る。ここで、検査カメラ8は、撮影を行い、撮影データに基づく画像処理によって、ボール供給装置3で半田ボール2を吸着保持したマウントヘッド4に余分に保持されれている不要半田ボール22のボール保持面11上の位置を認識し、検出する。
【0025】
先ず、マウントヘッド4と吸引ノズル10をX−Y方向に相対移動させ、除去すべき不要半田ボール22の下方に吸引ノズル10を位置させる。次に、原点位置に存在する吸引ノズル10のエアーシリンダ12を作動させ、吸引ノズル10を、半田ボール2を不要半田ボール22の検出位置の下方より、所定位置まで上昇させる。
【0026】
他方、マウントヘッド4も、画像処理により求められた不要半田ボール22の位置データから、先に検出し記憶しているマウントヘッド4下面の傾きデータに応じて、マウントヘッド4の原点位置からの下降量を導き出し、先ず、原点位置よりZ軸移動装置7により所定量下降させられ、その後、低速で徐々にボール保持面11を吸引ノズル10に接近させ、除去に必要な間隔まで近づかせた後、不要半田ボール22を吸引ノズル10にて吸引除去する。
【0027】
不要半田ボール22を除去した後、マウントヘッド4は、更に図1中右方へ移動し、YーΘテーブル32のボール搭載位置上方に移動する。次に、Z軸移動装置7によりマウントヘッド4を下降させてウエハ31上に移動し、吸着を解除してボール搭載動作を行うのである。
【0028】
ボール搭載動作の後、マウントヘッド4はボール供給装置3へ向かう復路に入るが、復路中、検査カメラ8上方に至ったとき、検査カメラ8で認識し、マウントヘッド4に残存する半田ボール23のボール保持面11上の位置を検出する。検出結果に基づき、マウントヘッド4と吸引ノズル10をX−Y方向に相対移動させ、除去すべき不要半田ボール23の下方に吸引ノズル10を位置させる。
次に、原点位置に存在する吸引ノズル10のエアーシリンダ12を作動させ、吸引ノズル10を、不要半田ボール22の検出位置の下方より、所定位置まで上昇させる。
【0029】
他方、マウントヘッド4も、画像処理により求められた不要半田ボール23の位置データから、先に検出し記憶しているマウントヘッド4下面の傾きデータに応じて、マウントヘッド4の原点位置からの下降量を導き出し、先ず、原点位置よりZ軸移動装置7により所定量下降させられ、その後、低速で徐々にボール保持面11を吸引ノズル10に接近させ、残存不要半田ボール23に近づけ、不要半田ボール23を吸引ノズル10の先端開口内に位置させ、開口縁で取り囲み、マウントヘッド4を横移動させることで開口縁に当接させて除去する。
【0030】
尚、持ち帰りボールである不要半田ボール23の除去に利用する場合には、余剰ボールである不要半田ボール22の除去よりマウントヘッド4の下降量を多くし、より近づく。勿論、半田ボール2,22、23の径により該下降量も異なるのは当然である。
【0031】
その後、ボール供給装置3にマウントヘッド4が戻り、半田ボール搭載装置1の一連の動作が完了する。一連の動作中、実施例では検査カメラ8による不要半田ボール22,23の検出及びボール除去を往路及び復路の2度行うものであったが、目的に応じ何れか一方を選択してもよい。
【0032】
実施例では所定位置から不要半田ボール22,23の除去に必要な所定間隔へのマウントヘッド4下面と吸引ノズル10の接近を、マウントヘッド4の下降によっていたが、吸引ノズル10の上昇により行っても、又、両者の昇降により行っても良いことは勿論である。更に、間隔検出手段は、実施例のものの他に、除去手段を構成するノズルの先端に静電容量センサ、レーザ変位センサ、接触センサなどの検出部を設けて構成することができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明は、ボール保持面に対し相対的に接近して所定間隔まで接近したことを検出する間隔検出手段を備え、所定間隔となったときのボール保持面と間隔検出手段との相対的な接近移動量に基づいて、不要な導電性ボールを除去する際のマウントヘッドと除去手段の相対的昇降量を決定するので、不要な導電性ボールの除去に必要な移動量を不要導電性ボールの地点毎に求めることができ、除去箇所に適応しした移動量で除去手段を移動させることのできる導電性ボール除去装置となった。
【0034】
請求項2記載の発明の効果ではあるが、ボール保持面に対し相対的に接近しつつ気体を噴射若しくは吸引するノズルと該ノズル内の圧力変動を検出する圧力検出手段から構成され、所定圧力を検出することでボール保持面とノズルが所定間隔まで接近したことを検出する間隔検出手段を備え、所定間隔となったときのボール保持面とノズルの相対的な接近移動量に基づいて、不要な導電性ボールを除去する際のマウントヘッドと除去手段の相対的昇降量を決定するので、高価な機器を用いることなく、不要な導電性ボールの除去に必要な移動量を不要導電性ボールの地点毎に求めることができ、除去箇所に適応した移動量で除去手段を移動させることのできる導電性ボール除去装置となった。
【0035】
請求項3記載の発明の効果ではあるが、除去手段を、気体を噴射又は吸引するノズルから構成するものとしたので、除去手段のノズルと間隔検出手段のノズルを共用させたり、除去手段の利用気体や移動装置を間隔検出手段に利用することができ、装置の複雑化を防止することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係る半田ボール搭載装置の全体を示す概略説明図
【図2】ボール除去装置を示す正面説明図
【図3】検出カメラでの検査画像を示す平面説明図で、(A)はボール搭載前の検査画像を示す図であり、(B)は、搭載後の検査画像を示す図である。
【図4】マウントヘッドとノズルの位置関係の変化を示す図で、(A)は、両者原点位置を示す説明図で、(B)は、両者接近移動状態を示す説明図で、(C)は、マウントヘッドのみの低速下降する状態を示す説明図で、(D)は、所定圧力検出位置を示す説明図である。
【符号の説明】
1......半田ボール搭載装置
2......半田ボール
3......ボール供給装置
4......マウントヘッド
5......圧力検出装置
6......X軸移動装置
7......Z軸移動装置
8.......検査カメラ
9......ボール除去装置
10.....吸引ノズル
11.....ボール保持面
12.....エアーシリンダ
13.....Y軸移動機構
14.....基台
15.....吸着孔
16.....吸引通路
17.....制御部
22、23..不要半田ボール
31......ウエハ
32......YーΘテーブル
Claims (3)
- 導電性ボールを吸着保持するボール保持面を有し、保持した導電性ボールを被搭載物に搭載するマウントヘッドと、ボール保持面に接近しボール保持面上の不要な導電性ボールに作用して除去する除去手段と、該除去手段をボール保持面に相対的に接近させる昇降手段とを有する導電性ボール搭載装置において、ボール保持面に対し相対的に接近して所定間隔まで接近したことを検出する間隔検出手段を備え、所定間隔となったときのボール保持面と間隔検出手段との相対的な接近移動量に基づいて、不要な導電性ボールを除去する際のマウントヘッドと除去手段の相対的昇降量を決定することを特徴とする導電性ボール除去装置。
- 間隔検出手段が、ボール保持面に対し相対的に接近しつつ気体を噴射若しくは吸引するノズルと、該ノズル内の圧力変動を検出する圧力検出手段から構成され、所定圧力を検出することでボール保持面とノズルが所定間隔まで接近したことを検出することを特徴とする請求項1記載の導電性ボール除去装置。
- 除去手段が、気体を噴射又は吸引するノズルから構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の導電性ボール除去装置。
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