JP4987350B2 - 微小ボールの除去方法及び除去装置 - Google Patents
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Description
複数の吸着孔を有する吸着プレートに微小ボールを吸着保持して、被搭載物の特定位置に前記微小ボールを搭載した後に、吸着プレートに残存する微小ボールを吸引ノズルで吸引除去する方法であって、前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面に沿って移動させ、前記吸着プレートに残存する微小ボール表面における前記吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に前記ボール除去冶具を接触させ、その微小ボールを剥ぎ取った後、前記吸引ノズルで吸引除去することを特徴とする微小ボールの除去方法である。
図1は一例として、半田ボール搭載装置1の全体を示す概略説明図であり、実施例では本発明における微小ボールとして、直径0.1mmの半田ボール2が用いられている。また、本発明における微小ボールが上記半田ボール2のような導電性の低融点材料に限定されるものではなく、AuやAu合金、SnやSn合金、AgやAg合金、CuやCu合金等を用いても良いし、他の高融点材料を用いても良い。また、実施例では被搭載物としてウエハ31を使用しているが、他に小片チップやBGA基板等のプリント配線基板であってもよいし、セラミックス基板であってもよい。
2…半田ボール
3…ボール供給装置
3a…ボール収容容器
4…マウントヘッド
6…X軸移動装置
7…Z軸移動装置
8…検査カメラ
9…ボール除去装置
10…吸引ノズル
11…吸着プレート
13…Y軸移動機構
15…吸着孔
16…吸引通路
22…余剰半田ボール
23…残存半田ボール
31…ウエハ
32…Y-Θテーブル
33…残存半田ボール除去治具
Claims (11)
- 複数の吸着孔を有する吸着プレートに微小ボールを吸着保持して、被搭載物の特定位置に前記微小ボールを搭載した後に、吸着プレートに残存する微小ボールを吸引ノズルで吸引除去する方法であって、
前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面に沿って移動させ、前記吸着プレートに残存する微小ボール表面における前記吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に前記ボール除去冶具を接触させ、その微小ボールを剥ぎ取った後、前記吸引ノズルで吸引除去することを特徴とする微小ボールの除去方法。 - 前記ボール除去冶具は少なくともその一部が、前記吸着プレートの前記吸着面に接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする請求項1に記載の微小ボールの除去方法。
- 前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の微小ボールの除去方法。
- 前記微小ボールの吸引除去後、前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から出ないよう収納することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小ボールの除去方法。
- 複数の吸着孔を有する吸着プレートに残存する微小ボールを吸引除去する吸引ノズルを有する微小ボールの除去装置であって、
前記吸着プレートに残存する微小ボール表面にける前記吸着プレートの吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に接触可能に、かつ前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具と、該ボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面と平行に相対移動させる移動手段とを有することを特徴とする微小ボールの除去装置。 - 前記移動手段は、前記吸着プレートの前記吸着面に前記ボール除去冶具の少なくとも一部が接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする請求項5に記載の微小ボールの除去装置。
- 前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の微小ボールの除去装置。
- 前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から突出しないように収納する手段を有することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の微小ボールの除去装置。
- 吸着プレートに形成した複数の吸着孔に吸着した微小ボールを、被搭載物の特定位置に一括して搭載する微小ボールの一括搭載方法であって、
その一括搭載後の前記吸着プレートに残存する前記微小ボールを、請求項1〜4のいずれか1項に記載の微小ボールの除去方法を用いて除去することを特徴とする微小ボールの一括搭載方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の微小ボールの除去方法で使用する前記吸引ノズルを、前記吸着プレートにおいて余剰に吸着された微小ボールの吸引除去にも使用することを特徴とする請求項9に記載の微小ボールの一括搭載方法。
- 少なくともマウントヘッドと、このマウントヘッド下面に装着した吸着プレートと、微小ボール供給装置と、被搭載物保持装置と、前記マウントヘッドの移動装置とを有する微小ボールの一括搭載装置であって、
装置内に請求項5〜8のいずれか1項に記載の微小ボールの除去装置を備えることを特徴とする微小ボールの一括搭載装置。
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