JP4987350B2 - 微小ボールの除去方法及び除去装置 - Google Patents

Description

本発明は、微小ボールの搭載方法及び装置の改良に関するもので、特に被搭載物に微小ボールを転写した後に吸着プレートに残存した不要な微小ボールの除去方法及び除去装置に関する。

従来の微小もしくは微細ボール搭載方法において、搭載前のマウントヘッドに装着された吸着プレートに吸着保持された不要な微細ボール(所謂、エキストラボール、ダブルボール等)を検出手段で検出して除去する方法がある。また、微細ボールをウェハや基板等の被搭載物に搭載した後の吸着プレートに残された不要な微細ボール(リメインボール等)を検出して除去する方法として、ノズルからガスを噴射したり、吸引したりして不要な微細ボールを除去する技術がある。

ところが、吸着プレートのボール保持面は、厳密に言えば完全なる水平面ではなく、微妙な傾きを有していたり、僅かな凹凸を有している。使用する微細ボールが直径0.25mm以下、更には0.15mm以下、特に0.10mm以下のレベルの非常に微小な場合、このボール保持面の傾きが単なる誤差ではなくなる。つまり一定の接近量で制御すると、個々の取り除きたい不要な微細ボールとその除去手段となる吸引(あるいはガス噴出)ノズルの距離が異なるものとなり、十分に近づけない場合には、除去効果が発揮できない場合が生ずる。この問題を解決するために例えば、特許文献1に記載されるようにボール保持面と吸引ノズルの微妙な距離を検出する手段が提案されている。

しかしながら、ボールの直径が0.20mm以下、特に0.15mmレベルの場合、前述のボール保持面と吸引ノズルの間隔検出手段の感度設定に何回も実験が必要である。これが時間を要する煩雑な作業となったり、感度調整時の微妙な距離判定が困難であり、結果として不要なボールを除去できない場合が発生したりして問題となっていた。

特に微細ボールを吸着保持し、被搭載物に搭載した後のボール保持面に残ったリメインボールでは、被搭載物に予め塗布されていた粘着性のフラックスがボール保持面と反対側のリメインボール底に付着している場合が多い。このボールを除去する場合、リメインボールの除去手段となる吸引ノズルをリメインボールに接触させてしまうと、フラックスが吸引ノズルに付着して吸引ノズルを汚染したり、吸着プレートのボール保持面にフラックスが付着してボール保持面を汚染する等して、次のボール吸着工程もしくはボール除去工程で更に不要なボールを増加させる原因となっていた。

特開２００４−２２７４５号公報

本発明は、上記従来技術の問題点を解決して、マウントヘッドの吸着プレートの水平度調整や、ボール保持面となる吸着孔が設けられた吸着プレートの交換時等に発生する微妙な吸着プレートのボール保持面の傾斜を吸収し、困難且つ煩雑な不要ボール除去条件設定作業をなくすことによって、簡便且つ確実な不要微小ボールの除去が可能な微小ボール除去方法及び除去装置を提供しようとするものである。

第１の発明は、上記課題を解決するために、微小ボールの除去方法として次の手段を採用する。
複数の吸着孔を有する吸着プレートに微小ボールを吸着保持して、被搭載物の特定位置に前記微小ボールを搭載した後に、吸着プレートに残存する微小ボールを吸引ノズルで吸引除去する方法であって、前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面に沿って移動させ、前記吸着プレートに残存する微小ボール表面における前記吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に前記ボール除去冶具を接触させ、その微小ボールを剥ぎ取った後、前記吸引ノズルで吸引除去することを特徴とする微小ボールの除去方法である。

第２に、前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする前記第１記載の微小ボールの除去方法である。

第３に、前記ボール除去冶具は少なくともその一部が、前記吸着プレートの前記吸着面に接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする前記第１記載の微小ボールの除去方法である。

第４に、前記微小ボールの吸引除去後、前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から出ないよう収納することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の微小ボールの除去方法である。

また、第５の発明は複数の吸着孔を有する吸着プレートに残存する微小ボールを吸引除去する吸引ノズルを有する微小ボールの除去装置であって、前記吸着プレートに残存する微小ボール表面にける前記吸着プレートの吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に接触可能に、かつ前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具と、該ボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面と平行に相対移動させる移動手段とを有することを特徴とする微小ボールの除去装置である。

第６に、前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする前記第５記載の微小ボールの除去装置である。

第７に、前記移動手段は、前記吸着プレートの前記吸着面に前記ボール除去冶具の少なくとも一部が接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする前記第５記載の微小ボール除去装置である。

第８に、前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から突出しないように収納する手段を有することを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の微小ボールの除去装置である。

更に、第９の発明は、吸着プレートに形成した複数の吸着孔に吸着した微小ボールを、被搭載物の特定位置に一括して搭載する微小ボールの一括搭載方法であって、その一括搭載後の前記吸着プレートに残存する前記微小ボールを、前記第１〜４のいずれかの微小ボールの除去方法を用いて除去することを特徴とする微小ボールの一括搭載方法である。

第１０に、前記第１〜４のいずれかの微小ボールの除去方法で使用する前記吸引ノズルを、前記吸着プレートにおいて余剰に吸着された微小ボールの吸引除去にも使用することを特徴とする前記第９記載の微小ボールの一括搭載方法である。

また、第１１の発明は、少なくともマウントヘッドと、このマウントヘッド下面に装着した吸着プレートと、微小ボール供給装置と、被搭載物保持装置と、前記マウントヘッドの移動装置とを有する微小ボールの一括搭載装置であって、装置内に前記第５〜８のいずれかの微小ボールの除去装置を備えることを特徴とする微小ボールの一括搭載装置である。

本発明は、吸着プレートのボール保持面と、ボール保持面の平行線上にある被除去対象ボールの断面径が最大となる面とに挟まれた空間に、ボール除去治具を移動させる。これによって不要ボールを除去するので、微妙なマウントヘッドのボール保持面の傾斜を吸収し、困難且つ煩雑な不要ボール除去条件の設定作業をなくすことができ、簡便且つ確実な不要導電性ボールの除去が可能な微小ボール除去方法及び装置を提供できる。

以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。
図1は一例として、半田ボール搭載装置1の全体を示す概略説明図であり、実施例では本発明における微小ボールとして、直径0.1mmの半田ボール2が用いられている。また、本発明における微小ボールが上記半田ボール2のような導電性の低融点材料に限定されるものではなく、AuやAu合金、SnやSn合金、AgやAg合金、CuやCu合金等を用いても良いし、他の高融点材料を用いても良い。また、実施例では被搭載物としてウエハ31を使用しているが、他に小片チップやBGA基板等のプリント配線基板であってもよいし、セラミックス基板であってもよい。

半田ボール搭載装置1は、図1中の半田ボール2が多数貯留されているボール供給装置3と、半田ボール2を真空吸引して保持するマウントヘッド4と、マウントヘッド4のX軸移動装置6(図1中の左右方向への移動装置)と、マウントヘッド4のZ軸移動装置7(図1中の上下方向への移動装置)と、余剰半田ボール22や残存半田ボール23の位置を検出する検査カメラ8と、余剰半田ボール22、残存半田ボール23を除去するボール除去装置9と、Y-Θ軸方向に移動-回転するウエハ31が載置されるY-Θテーブル32とが設けられている。

マウントヘッド4のX軸移動装置6と、マウントヘッド4のZ軸移動装置7とが、ボール供給装置3とY-Θテーブル32との間で、マウントヘッド4を相対的に移動させる移動機構となる。勿論、相対的に移動可能であればよいので、Y-Θテーブル32等が移動するものであっても、両者が移動するものであってもよい。

X軸移動装置6及びZ軸移動装置7でのマウントヘッド4の移動は、ボール供給装置3上方への移動、ボール吸着のための上下移動及び、余剰ボールや残存ボール等の不要ボール除去のための吸引ノズル10上方への移動、不要ボール除去動作時のX軸方向への移動、不要ボール検査時のX軸方向への移動、Y-Θテーブル32上方への移動、ボール搭載動作のための上下移動がある。尚、Z軸移動装置7は、図示されていないサーボモータ、サーボモータにより回転させられるボールねじ、このボールねじの回転を上下動に変化させるナット部を備えたものである。

Y-Θテーブル32は、Y軸駆動テーブル上にΘ軸駆動部が設置されており、Y軸方向(図1中の紙面直交方向)及びΘ軸方向(回転方向)に平面移動可能に構成されており、搭載の際の位置合わせに用いられる。

マウントヘッド4には、図1や図3(b)に図示するように、半田ボール2を吸着保持する吸着孔15が複数形成された吸着プレート11が、マウントヘッド4の下面に取り付けられている。ボール収容容器3aは、図示されていない振動発振源上に設置されており、ボール吸着時に振動して容器内の半田ボール2を一様に跳躍させて分散状態にし、吸着プレート11に形成された多数の吸着孔15に対して1つの孔に1つの半田ボール2を吸着し易いようにする。吸着時のボール収容容器3aの振動数は、10〜1kHzが好適である。

マウントヘッド4は、図示されていないバキューム源と接続されており、そのバキューム源からの負圧により吸着プレート11に多数形成された吸着孔15に半田ボール2を吸着保持する。

また、マウントヘッド4には、図示されていない振動発生源を備え、ボール吸着時に余剰に半田ボール2が吸着されないように超音波振動を与えることができる。この振動は、正常に吸着する半田ボール2を除去しないで、且つ不要ボールのみを除去するように予め条件設定がなされている。マウントヘッド4に印加する超音波振動数としては1kHz〜1MHzが好適である。また、このマウントヘッド4に印加する振動をボール搭載時に用いて、吸着した半田ボール2を吸着プレート11から脱離し易くすることもできる。この搭載時の振動数は100Hz〜1MHzが好適である。

更には、不要半田ボール除去の過程で振動させることによって、そのボール除去効果を高めることもできる。この場合の振動数としては1kHz〜1MHzが好適である。不要半田ボール除去時の振動印加は、マウントヘッド4自身を振動させても良いし、吸引ノズル10に振動発生源を設置して振動させても良い。振動数は使用するボールサイズや総ボール数、配列状態によって適宜決定される。特にボール搭載時には吸引がないため100Hzレベルの周波数も有効な場合がある。

検査カメラ8は、不要半田ボールの位置を検出するものであり、正確には図3(ａ)に示されるようなボール供給装置3で半田ボール2を吸着保持したマウントヘッド4に余分に保持されている余剰半田ボール22の吸着プレート11上の位置、若しくは図3(b)に示されるような搭載部でウエハ31に半田ボール2を搭載した後、ウエハ31に搭載されずに吸着プレート11にそのまま保持されている残存半田ボール23の吸着プレート11上の位置を検出するものである。

即ち、検査カメラ8による不要な余剰半田ボール22、残存半田ボール23の検出は、マウントヘッド4の往路(ボール搭載前の移動経路)及び復路(ボール搭載後の移動経路)の両方で行うことが可能である。図3(a)は、往路での検査カメラ8での検出した検査画像の例であり、適正に吸着保持された半田ボール2と、余剰ボールである不要な半田ボール22が吸着プレート11上に検出されている。他方、図3(b)は復路での検査カメラ8での検出した検査画像の例であり、ウエハ31に搭載されなかった残存ボールが不要な残存半田ボール23として吸着プレート11上に検出されている。

実際の工程では、復路の検査を実施した結果に応じて、残存半田ボール23がない場合は除去動作を省略し、残存半田ボール23が存在する場合は、除去動作を行うようにすることも可能である。更には、工程簡略のため、復路(搭載後)の検査カメラ8での検出は行わず、搭載後直ぐに吸着プレート11の一括除去動作を行って残存半田ボールは発生しないようにすることもできる。

ボール除去装置9は、図2に示されるように吸引ノズル10を有し、該吸引ノズル10は吸引通路16を介して、図示されていないバキューム源と接続されている。また、吸引ノズル10は、マウントヘッド4のX軸方向に対しては吸引エリア全域をカバーできる長さがある。例えば、8インチ(200mm)ウエハに半田ボールを搭載する場合、吸引ノズル10の長さは200mm以上となる(図2(b)の吸引ノズル10上面の横方向の流路長さ)。吸引ノズル10のボール吸引スリット幅は、半田ボール2の直径が0.1mmの場合、例えば0.2〜1.0mm、好ましくは0.3〜0.8mmである(図2(a)の吸引ノズル10上面の流路幅)。即ち、吸引ノズル10上面の吸引スリット形状は、210×0.6mmと言ったものが好適となる。マウントヘッド4の往路(ボール搭載前の移動経路)では、ウェハサイズ等によるが数万個から数百万個の半田ボールが正常に吸着保持されている。この正常な半田ボール2に干渉しない程度の間隔で吸着プレート11にできるだけ接近させて、余剰半田ボール22を周辺から流入する外気が作用して除去するように形成されている。

一方、マウントヘッド4の復路(ボール搭載後の移動経路)では、搭載歩留が100%であれば、残存半田ボールが0個であるが、ボール数や電極形状、ボール径のばらつき等によって、搭載されずに吸着プレート11に残存する数個から数十個の残存半田ボール23が発生する場合がある。この残存半田ボール23は、吸引ノズル10に設置された残存半田ボール除去治具33に接触させることよって物理的に力が加えられて除去される。

また、図4(a)、図4(b)に示すように残存半田ボール除去治具33は、吸引ノズル10の開口面(最上面)に突出した状態で使用される。この場合、図示されていないエアーシリンダ等による伸縮機能が付帯されており、出し入れ可能である。これによりマウントヘッド4の往路(ボール搭載前の移動経路)では、図2(a)、図2(b)のように吸引ノズル10の開口面から出ないように収納できる。こうすることによって、往路で発生した余剰半田ボールを除去する際に、残存半田ボール除去治具33が邪魔にならず、余剰半田ボール22に対してより吸引ノズル10を近づけることができる。復路で発生している残存半田ボール23は、搭載時の荷重によって吸引孔15により強固に食い込んでいるため、吸引によって流入する外気のみでは除去できないものもある。残存半田ボール除去治具33に接触させることによって、機械的力を作用させて吸引除去することで、残存半田ボールを確実に除去できるようにした。

除去の際、残存半田ボール23には残存半田ボール除去治具33の先端が接触して、機械的除去作用が残存半田ボール23に働く。この場合、残存半田ボール除去治具33の接触する位置によって得られる効果が異なる。図4(b)に示すように吸着プレート11の吸着面と平行な平面であって、残存半田ボール23の断面径が最大となる平面Dと前記吸着面とで挟まれた空間中の残存半田ボール23の表面23Aに、残存半田ボール除去治具33の先端を接触させることが重要である。この吸着プレート11と残存半田ボール23の断面径が最大となる平面Dとで挟まれた表面23Aに、残存半田ボール除去治具33の先端が接触することにより、吸着プレート11と残存半田ボール除去治具33がX軸方向に相対移動した際に吸着プレート11の吸引孔15に食い込んだ残存半田ボール23を剥ぎ取る方向に力が作用する。

仮に、残存半田ボール23の表面23A以外の場所に残存半田ボール除去治具33の先端が接触した場合、残存半田ボール23を吸着プレート11の吸引孔15により食い込ませる方向に力が作用し、除去不良を招くことになる。また、表面23A以外の残存半田ボール23の表面は、ボール搭載時にフラックスが付着している可能性が高く、残存半田ボール除去治具33の先端にフラックスが付着してしまう。この場合は、除去動作の際に吸着プレート11にフラックスを引き伸ばすことになり、次工程のボール吸着時に吸着孔15以外の場所に付着する余剰な不要半田ボール22を大量に発生することにつながる。

また、残存半田ボール除去治具33は、吸引ノズル10の長手幅全体に設置された板形状もしくは箔状のものであるが、半田ボール径と、残存半田ボール23と接触する残存半田ボール除去治具33の先端部分の板厚との関係も重要である。この先端部分の板厚が半田ボール径の1/2を超える場合、残存半田ボール23の表面23A以外の表面に接触する可能性がある。したがって、残存半田ボール除去治具33の先端部分の板厚は、使用する半田ボール径の1/2以下が望ましく、1/5〜1/3が好適である。また、図4(a)のように残存半田ボール除去治具33に弾性を持たせるために、その板厚は先端部分から逆側端に向かって徐々に厚く（即ち、先細）なっていても良いし、段階的に厚さが変化しても良いし、複数枚の板を重ねて端部をずらして使用しても良い。

残存半田ボール除去治具33の材料としては、10〜300μm程度の厚さに加工できる弾性体であれば良い。金属であれば、鉄やステンレス全般、NiやNi合金、CoやCo合金、TiやTi合金等、その他ではポリイミド等の合成樹脂、プラスティック等でも良い。或いは、弱い弾性体を含む構造であれば、弾性のある部材を支持部材として用いるタイプのものでも良い。

吸引ノズル10において、不要半田ボール除去作業は次のように行われる。往路におけるエキストラボールやダブルボール等の余剰半田ボール22に対しては残存半田ボール除去治具33が収納状態で吸引除去が行われる。

半田ボール2を吸着したマウントヘッド4は、X軸移動装置6により、更に図1中で右方への移動を継続し、検査カメラ8の上方に至る。ここで、検査カメラ8は、撮影を行い、撮影データに基づく画像処理によって、ボール供給装置3で半田ボール2を吸着保持したマウントヘッド4に余分に保持されている余剰半田ボール22や、ボール未吸着部分の吸着プレート11上の位置を認識し、検出する。未吸着部分が多い場合は再吸着動作を行っても良い。余剰半田ボール22がない場合は、除去動作をせずにボール搭載へ移行する。

余剰半田ボール22の除去動作は、マウントヘッド4と吸引ノズル10をX方向に相対移動させ、吸引ノズル10上にボール保持面のボール吸着エリアがやや外れた位置に来るようにする。次に、マウントヘッド４のZ軸移動装置7により所定量下降し、吸着プレート11を吸引ノズル10に接近させる。そして、除去に必要な間隔まで近づかせた後、吸引ノズル10にて吸引を開始する。この吸着プレート11と吸引ノズル10との間隔は、例えばボール径0.1mmの場合、0.15mm〜0.3mmが好適である。吸引ノズル10の吸引を維持した状態で、吸引ノズル10とマウントヘッド4を図2(a)のように+X方向に相対移動させ、吸着プレート11上にある余剰半田ボール22を一括して吸引除去する。

余剰半田ボール22を除去した後、マウントヘッド4は、更に図1中の右方へ移動し、Y-Θテーブル32のボール搭載位置上方に移動する。次に、Z軸移動装置7によりマウントヘッド4を下降させてウエハ31上に移動し、ボールを当接させて吸着を解除してボール搭載動作を行う。

ボール搭載動作の後、マウントヘッド4はボール供給装置3へ向かう復路に入る。復路中、検査カメラ8上方に至ったとき、検査カメラ8で吸着プレートの状態を認識し、吸着プレート11に残存する残存半田ボール23の吸着プレート11上での位置を検出する。残存半田ボール23がない場合は、そのまま次工程のボール吸着動作へ移行する。

残存半田ボール23が存在する場合は、図4(a)に示すように残存半田ボール除去治具33を除去ノズル10の開口面(最上面)に突出した状態にする。そして吸着プレート11のボール吸着エリアがやや外れた位置に吸引ノズル10が来るようにマウントヘッド4と吸引ノズル10をX方向に相対移動させる。次に、マウントヘッドのZ軸移動装置7により所定量下降し、吸着プレート11を吸引ノズル10に接近させる。そして、図4(b)に示すように残存半田ボール除去治具33の先端が吸着プレート11に接触し、且つ吸着プレート11の微妙な傾斜や凹凸を吸収できるような位置で停止する。

例えばボール径0.1mmの場合、残存半田ボール除去治具33の先端が吸着プレート11に接触した位置から更に、0.1〜0.5mmほど下降させて、残存半田ボール除去治具33が適度に湾曲した位置が好適である。この後、吸引ノズル10にて吸引を開始する。吸引ノズル10の吸引を維持した状態で、吸引ノズル10とマウントヘッド4を図4(b)のように-X方向に相対移動させ、吸着プレート11上にある残存半田ボール23を一括して吸引除去する。

尚、持ち帰りボールである残存半田ボール23の除去に利用する場合には、余剰ボールである余剰半田ボール22の除去よりマウントヘッド4の下降量を多くし、より近づく。勿論、半田ボール2（22，23）の径により該下降量も異なるのは当然である。

その後、ボール供給装置3にマウントヘッド4が戻り、半田ボール搭載装置1の一連の動作が完了する。一連の動作中、実施形態では検査カメラ8による余剰半田ボール22、残存半田ボール23の検出及びボール除去を往路及び復路の各1回行うものであったが、目的に応じて検査回数、除去動作回数を決定することもできる。

実施形態では、所定位置から余剰半田ボール22、残存半田ボール23の除去に必要な所定間隔へのマウントヘッド4下面と吸引ノズル10の接近を、マウントヘッド4の下降で説明したが、吸引ノズル10の上昇で行っても、又、両者の昇降で行っても良いことは勿論である。

残存半田ボール除去治具33を用いずに、復路の残存半田ボール23の除去を往路と同様に吸引のみで行った結果は、100回のボール吸着及びボール搭載の一連動作を実施した結果、32回の残存半田ボール除去不良が発生した。このため、次工程のボール吸着時に残存半田ボールに付着したフラックスにより新たな余剰半田ボール22が増加し、正常なボール吸着、及びボール搭載ができない状態となった。

一方、同様条件で本発明による残存半田ボールの除去方法及び除去装置を用いて100回のボール吸着、及びボール搭載の一連動作を実施した結果、残存半田ボール23の除去失敗は1度もなく、100%除去できた。更に、残存半田ボール23に付着しているフラックスで吸着プレート11を汚染することも無く、次工程のボール吸着工程で新たな余剰半田ボール22が増加することはなかった。

本発明の実施形態に係る半田ボール搭載装置の全体を示す概略説明図である。 本発明の実施形態に係る余剰ボール除去におけるマウントヘッドとノズル位置関係を示す(a)はボール除去装置の正面図、(b)はボール除去装置の側面図である。 本発明の実施形態に係る検出カメラでの検査画像を示す(a)はボール搭載前の検査画像の平面図、(b)は搭載後の検査画像の平面図である。 本発明の実施形態に係るマウントヘッドとノズルの位置関係の変化を示す(a)は除去動作開始前の状態の側面図、(b)は除去動作での移動状態の側面図である。

符号の説明

1…半田ボール搭載装置
2…半田ボール
3…ボール供給装置
3a…ボール収容容器
4…マウントヘッド
6…X軸移動装置
7…Z軸移動装置
8…検査カメラ
9…ボール除去装置
10…吸引ノズル
11…吸着プレート
13…Y軸移動機構
15…吸着孔
16…吸引通路
22…余剰半田ボール
23…残存半田ボール
31…ウエハ
32…Y-Θテーブル
33…残存半田ボール除去治具

Claims (11)

1. 複数の吸着孔を有する吸着プレートに微小ボールを吸着保持して、被搭載物の特定位置に前記微小ボールを搭載した後に、吸着プレートに残存する微小ボールを吸引ノズルで吸引除去する方法であって、
   前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面に沿って移動させ、前記吸着プレートに残存する微小ボール表面における前記吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に前記ボール除去冶具を接触させ、その微小ボールを剥ぎ取った後、前記吸引ノズルで吸引除去することを特徴とする微小ボールの除去方法。
2. 前記ボール除去冶具は少なくともその一部が、前記吸着プレートの前記吸着面に接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする請求項１に記載の微小ボールの除去方法。
3. 前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の微小ボールの除去方法。
4. 前記微小ボールの吸引除去後、前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から出ないよう収納することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の微小ボールの除去方法。
5. 複数の吸着孔を有する吸着プレートに残存する微小ボールを吸引除去する吸引ノズルを有する微小ボールの除去装置であって、
   前記吸着プレートに残存する微小ボール表面にける前記吸着プレートの吸着面から該吸着面と平行な断面径が最大となるまでの範囲に接触可能に、かつ前記吸引ノズルの最上面に突出した状態で設けたボール除去冶具と、該ボール除去冶具を前記吸着プレートの吸着面と平行に相対移動させる移動手段とを有することを特徴とする微小ボールの除去装置。
6. 前記移動手段は、前記吸着プレートの前記吸着面に前記ボール除去冶具の少なくとも一部が接触しながら、前記吸着プレートの一端から一方向に相対移動することを特徴とする請求項５に記載の微小ボールの除去装置。
7. 前記ボール除去冶具が、弾性を有する板状体であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の微小ボールの除去装置。
8. 前記ボール除去冶具を前記吸引ノズルの最上面から突出しないように収納する手段を有することを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の微小ボールの除去装置。
9. 吸着プレートに形成した複数の吸着孔に吸着した微小ボールを、被搭載物の特定位置に一括して搭載する微小ボールの一括搭載方法であって、
   その一括搭載後の前記吸着プレートに残存する前記微小ボールを、請求項１〜４のいずれか１項に記載の微小ボールの除去方法を用いて除去することを特徴とする微小ボールの一括搭載方法。
10. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の微小ボールの除去方法で使用する前記吸引ノズルを、前記吸着プレートにおいて余剰に吸着された微小ボールの吸引除去にも使用することを特徴とする請求項９に記載の微小ボールの一括搭載方法。
11. 少なくともマウントヘッドと、このマウントヘッド下面に装着した吸着プレートと、微小ボール供給装置と、被搭載物保持装置と、前記マウントヘッドの移動装置とを有する微小ボールの一括搭載装置であって、
    装置内に請求項５〜８のいずれか１項に記載の微小ボールの除去装置を備えることを特徴とする微小ボールの一括搭載装置。

Images